JP4930899B2 - 針状体の製造方法 - Google Patents
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Description
請求項1に記載の発明は、アレイ状に一体成型することの出来る微細な針状体の製造方法であって、
(1)結晶面方位が(100)、(110)および(111)のいずれでもないシリコンウエハの表面に対し、複数の針状体を形成すべき箇所を開口部とするようにマスクを施し、エッチングステップとパッシベーションステップを繰り返して、針状体の胴部を形成するドライエッチングを施す工程と、
(2)前記のマスクを剥離し、結晶異方性エッチングを施すことによって、針状体の先端部となるシリコン(111) 面である上部斜面を形成する工程と、
をこの順で有してなることを特徴とする針状体の製造方法である。
請求項2に記載の発明は、前記(1)工程において、シリコンウエハの表面の結晶面方位が(211)であることを特徴とする請求項1に記載の針状体の製造方法である。
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の方法で作製した針状体を母型とし、転写加工成形を行うことにより、生体適合性樹脂を用いた針状体を形成することを特徴とする針状体の製造方法である。
請求項4に記載の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の製造方法により製造されたことを特徴とする針状体である。
このとき、マスクを行うウエハ表面の面方位を制御することにより、ウエハ内部の(111)面を、ウエハ表面に対して任意の角度で配置することができる。
このため、(111)面を、針状体先端部を形成する斜めテーパ面とするようにエッチング加工を行うことで、針状体先端部の角度を自由に選択することが可能となる。
一般的に単結晶のシリコンは、ナゲット状の多結晶シリコンから減圧下での加熱溶解などのプロセスにより、(100)面が表出したインゴットの形で製造される。
前記インゴットを輪切りにスライスし、ウエハを製造する際に、スライス方向を(100)面から傾けることにより、表面が(100)面以外であるウエハを得ることができる。
このとき、スライス方向を(100)面から、どの程度傾けるかにより、ウエハ表面の面方位を選択することができる。例えば、(100)面に対して、35.3度傾けた方向からシリコンのインゴットをスライスすることにより、表面の面方位が(211)面であるシリコンウエハを得ることが出来る。
上述の方法により、表面の結晶面方位が結晶面方位が(100)、(110)および(111)のいずれでもない単結晶シリコンウエハ3(例えば(211)ウエハなど)を用意する。その上で、シリコンウェハ3にフォトレジスト4を塗布し、図4に示されるようにパターニングする。フォトレジスト4には、例えば、東京応化工業社製PMER-N-CA3000を用いることができる。フォトレジスト塗布には、例えばスピンコーターを用いる。露光には、アライナを用いる。現像には、東京応化工業社製P-7G現像液を用いる。
次に、針状体の本体の形状を出すために、図5に示すようにシリコンウェハ3の表側の面からドライエッチング加工を施し、四角柱状体を形成する。なお図5において、シリコンウエハ3の断面は(110)面であり、矢印は、図5に記載された面方位方向をそれぞれ有する。
次に、レジストマスクを除去する。レジストマスクは、例えば酸素プラズマによるアッシングによって除去する。
図6に示される針状体を形成させるために、結晶異方性ウェットエッチング処理がなされる。このエッチング工程によって、図6に示されるように先端に向かって細径化したテーパ状をなす針状体1が形成される。結晶異方性ウェットエッチングを施すことによって、針状体の先端部となるシリコン(111) 面である上部斜面を形成する。
シリコンウエハを加工して形成した前記針状体を複製する場合、針状体の全面にめっき法によって金属層を一様に形成する。次いでシリコンからなる針状体をKOHやTMAH(テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)等の熱アルカリ溶液によるウェットエッチングによって除去し、金属からなる原版を作製する。
前記の原版を用い、インプリント法、ホットエンボス法、射出成形法、キャスティング法などによって、針状体の複製を行う。複製品の材質は特に制限されないが、生体適合性材料であるデキストラン、ポリ乳酸、シリコーン等を用いることで、生体に適用可能な針状体を形成できる。
(211)面を表面にもつ、厚さ525μmの単結晶シリコンウェハ3を準備した。次いで、このシリコンウェハ3の基板の両面を熱酸化して、熱酸化膜層を形成した。熱酸化膜層の厚さは表側の面、裏側の面共に3000Åとした。
実施例1で得られたシリコン製の針状体を母型として転写成形加工を行った。
Claims (4)
- アレイ状に一体成型することの出来る微細な針状体の製造方法であって、
(1)結晶面方位が(100)、(110)および(111)のいずれでもないシリコンウエハの表面に対し、複数の針状体を形成すべき箇所を開口部とするようにマスクを施し、エッチングステップとパッシベーションステップを繰り返して、針状体の胴部を形成するドライエッチングを施す工程と、
(2)前記のマスクを剥離し、結晶異方性エッチングを施すことによって、針状体の先端部となるシリコン(111) 面である上部斜面を形成する工程と、
をこの順で有してなることを特徴とする針状体の製造方法。 - 前記(1)工程において、シリコンウエハの表面の結晶面方位が(211)であることを特徴とする請求項1に記載の針状体の製造方法。
- 請求項1または2に記載の方法で作製した針状体を母型とし、転写加工成形を行うことにより、生体適合性樹脂を用いた針状体を形成することを特徴とする針状体の製造方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の製造方法により製造されたことを特徴とする針状体。
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