JP5216312B2

JP5216312B2 - 医薬物運搬用器具の製造方法

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Publication number: JP5216312B2
Application number: JP2007322975A
Authority: JP
Inventors: 浩児大道; 宗久藤巻
Original assignee: Fujikura Ltd
Current assignee: Fujikura Ltd
Priority date: 2007-12-14
Filing date: 2007-12-14
Publication date: 2013-06-19
Anticipated expiration: 2027-12-14
Also published as: JP2009142465A

Description

本発明は、医薬物運搬システムに使用する医薬物運搬用器具に係わり、特に無痛で皮膚下に穿刺可能とするとともに、効果的な医薬物供与を広範囲に渡って高効率に行うことができる医薬物運搬用器具の製造方法に関する。

近年、医薬物の過剰投与および副作用を抑制せしめて、より安全に、効果的に医薬物を投与するために、「必要最小限の医薬物を、必要な場所に、必要なときに供給する」ことを命題としたドラッグデリバリーシステム（Drug Delivery System：ＤＤＳ）の研究が活発に行われている。そして、このＤＤＳには、（１）医薬物を一定期間にわたって一定速度で放出する、いわゆる「医薬物の徐放化」、（２）医薬物を目的とする患部に選択的に輸送する、いわゆる「ターゲッティング」の大きな２つの目標命題を有している。

ところで、これらの目標命題を達成して実用化するには、医薬物の改良だけでは困難であり、医薬物を担持、搬送する運搬用器具の開発が不可欠である。

例えば、経皮吸収治療システム（Transdermal Therapeutic System：ＴＴＳ）と総称される、皮膚から医薬物を投与し、体内の一部もしくは全身に前記医薬物の作用発現を実現させる技術がある。従来、このＴＴＳに適用できる医薬物はニトログリセリン、硝酸イソソルビド、クロニジン等に代表される皮膚透過性の高いものに限られてきた。しかしながら近年、前記皮膚透過性の高い医薬物をより効果的に体内に吸収させたり、皮膚透過性が低い医薬物をＴＴＳに適用させる要求が高まっており、これらを実現させるための医薬物運搬器具が提案されている。

非特許文献１および特許文献１には、基部となるＳｉの表面をＳＦ_６とＯ_２の混合ガスによるドライエッチングプロセスにて加工し、高さ１００μｍ程度のアレイ状針状体（非特許文献１では、「マイクロニードル」と記載されている）を形成して得られる医薬物運搬用器具が開示されている。さらに、特許文献１には、ドライエッチング時にクロム（Ｃｒ）からなるマスク（以下、Ｃｒマスクと記す）に対して適当量のサイドエッチング（特許文献１では、「わずかな横方向の予備エッチング」と記載されている）を進行させ、Ｃｒマスクが剥離するまでエッチング処理して略錐状のアレイ針状体（特許文献１では、「シリコンスパイクのアレイ」と記載されている）を製造する方法が開示されている。

また、特許文献２には、ドライエッチングプロセスにおいて、等方性エッチングと異方性エッチングを組み合わせて、基部となるＳｉの表面に、先端に向かって細径化したテーパ状をなす先端部と該先端部に連なる長手方向にわたって同一方向の基端部を有するアレイ状針状体（特許文献２では、「シリコン製の針状体」と記載されている）を製造する方法が開示されている。より具体的には、ＳＦ_６ガスのみで等方性エッチングを行って先端部を形成し、次いでＳＦ_６ガスとＣ_４Ｆ_８ガスを交互に供給して異方性エッチングを行って基端部を形成し、最後に再びＳＦ_６ガスのみで等方性エッチングを行ってマスクを剥離させてアレイ状針状体を得ている。

Ｓｉを素材としたアレイ状針状体は、マスク設計やドライエッチングプロセスの条件などにより、種々の形状の針状体を比較的精度良く製造できる点で優れている。

一方、Ｓｉよりも生体に対してより安全なポリマ素材を用いてアレイ状針状体を製造する技術が、特許文献１および特許文献３に記載されている。特許文献３には、ピラミッド形状の構造体を備えたマスタ（特許文献３では、「ポジティブモールド」と記載されている）に対してニッケル（Ｎｉ）電鋳を行い、然る後にマスタのみを選択的に除去してＮｉ金型（特許文献３では、「ネガティブモールド」と記載されている）を作製することで、該Ｎｉ金型を用いてインジェクションモールド法によりポリマ製のアレイ状針状体（特許文献３では、「マイクロニードル」と記載されている）を製造する方法が開示されてる。

以上説明した技術を組み合わせて、ドライエッチングプロセスにより作製したＳｉ製のアレイ状針状体をマスタ（以下、Ｓｉマスタ）とし、該Ｓｉマスタに対してＮｉ電鋳を行い、然る後にＳｉマスタのみを選択的に除去してＮｉ金型を作製することと、該Ｎｉ金型を用いてインジェクションモールド法などのプレス加工によりポリマ製のアレイ状針状体を製造することは容易に考えうる。

この製造方法において、医薬物運搬用器具の形状を決定するのはＳｉマスタの形状である。つまり、Ｓｉマスタの形状精度（針状体の高さ、先端の先鋭性など）により、ポリマ製のアレイ状針状体からなる医薬物運搬用器具の性能が決まる。
D. V. McAllister et al., "MICROFABRICATED MICRONEEDLES: A NOVEL APPROACH TO TRANSDERMAL DRUG DELIVERY", Proceed. Int' 1. Symp. Control. Rel. Bioact. Mater., 25 (1998) Controlled Release Society, Inc. 特表２００２−５１７３００号公報特許第３６９６５１３号公報ＷＯ２００５／０８２５９６号パンフレット

前記の観点より、高性能なポリマ製のアレイ状針状体を製造するためには、精度良くＳｉマスタを作製することが重要であるが、特許文献１および特許文献２に記載されているＳｉ製のアレイ状針状体の製造方法では、いずれもドライエッチングプロセスによりマスクを剥離させて針状体を得るので、特に針状体の高さを制御性良く製造することが困難である。

針状体の高さの制御性を向上させる手段として、ドライエッチングプロセス時にマスクを剥離させることなく柱状もしくは錐台状の針状体を得る手段が考えられるが、この針状体の形状がそのまま金型に転写されるために、該金型より製造したポリマ素材の医薬物運搬用器具は、針状体先端が先鋭でなく、優れた医薬物運搬特性を示さない問題がある。

本発明は、前記事情に鑑みてなされ、無痛で皮膚下に穿刺可能とするとともに、効果的な医薬物供与を広範囲に渡って高効率に行うことができる医薬物運搬用器具の提供を目的とする。

前記目的を達成するため、本発明は、基部と、その表面に凸部を有し、前記凸部が、前記基部に対して略垂直な第１の角度で立設された柱部と、該柱部上に前記第１の角度よりも小さい第２の角度で連設された先端部とから形成され、前記基部及び凸部が、ポリ乳酸素材で構成されている医薬物運搬用器具の製造方法であって、前記凸部を形成するための凹部を有する金型と基材とを対向して配置し、前記金型と前記基材の少なくともいずれか一方を加熱した上で基材に圧力を加えて前記金型の形状を前記基材に転写させる工程と、冷却して前記基材を離型する工程とを有し、前記金型は、基部とその表面に立設された柱状の凸部とを備えたシリコンマスタを製造する工程と、次いで、このシリコンマスタの表面を導電化した後にニッケル電鋳する工程と、次いで、表面を導電化したシリコンマスタを選択的にエッチングし、柱部を形成するための凹部がニッケル中に形成され、且つ該凹部内に残存したシリコンによって、柱部上に連設される前記先端部を形成するための凹部が形成された時点でエッチングストップし、前記金型を得る工程と、を備える方法によって製造され、かつ、前記柱部を形成するための凹部がニッケルで構成され、前記柱部上に連設される前記先端部を形成するための凹部がシリコンで構成されていることを特徴とする医薬物運搬用器具の製造方法を提供する。

本発明に係る金型の製造方法は、Ｓｉマスタを製造する際、Ｃｒマスクを剥離することなく柱状の凸部を形成するために、Ｓｉマスタの製造歩留まりが非常に高い。
また、本発明の金型の製造方法を用いることにより、柱状のＳｉマスタから先端が先鋭な（医薬物運搬特性が優れた）凸部を備えた医薬物運搬用器具を製造可能な金型を得ることができる。
本発明の医薬物運搬用器具は、前述した金型を用いて製造することで、先端が先鋭な凸部を備えたものとなり、無痛で皮膚下に穿刺可能とするとともに、効果的な医薬物供与を広範囲に渡って高効率に行うことができる。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図１は、本発明の医薬物運搬用器具の第１実施形態を示す図であり、図１（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）中のＡ−Ｂ間断面図である。本実施形態では、本発明の医薬物運搬用器具の一例として、皮膚に無痛で穿刺し、医薬物の運搬を行うアレイ状針状体（以下、アレイ状無痛針と示す）を例示している。図１中、符号１はアレイ状無痛針、２は基部、３は凸部、４は柱部、５は先端部である。

このアレイ状無痛針１は、基部２と、その表面に整列して設けられた複数の微細な凸部３とからなる。この凸部３は、基部２に対して略垂直な第１の角度θ１で立設された略四角柱状の柱部４と、該柱部４上に前記第１の角度θ１よりも小さい第２の角度θ２で連設された略四角錐状をなす先端部５とから形成されている。第１の角度θ１は、７０度〜９０度の範囲が好ましく、８０度〜９０度の範囲がより好ましい。第２の角度θ２は、５０度〜６０度の範囲が好ましく、５５度程度がより好ましい。

このアレイ状無痛針１を構成する素材は、各種ポリマ材料のなかから適宜選択することができ、その中でも製造が容易で歩留まりが良好なことから、熱可塑性ポリマを用いることが望ましい。さらに、熱可塑性ポリマの中でも、ポリ乳酸素材が好ましい。

このアレイ状無痛針１において、図２中の各部の寸法は、例えば次の範囲に設定することができる。なお、図２は、アレイ状無痛針１の要部断面図を示している。
・基部厚さａ：２００〜１０００μｍ。
・凸部高さｂ：５０〜５００μｍ。
・凸部の形成ピッチｃ：３０〜１０００μｍ（但し、ｃ＞ｄ）。
・凸部下底幅ｄ：２０〜１５０μｍ。
・凸部上底幅ｅ：３μｍ以下。
・基部に対する柱部の立設角度（第１の角度）θ１：７０〜９０度。
・柱部に対する先端部の立設角度（第２の角度）θ２：約５５度。

なお、本実施形態において、特に器具の寸法に関して制限される部分は、柱部４に対する先端部５の立設角度θ２（約５５度）のみであり、それ以外の寸法は最初の設計及びその製造プロセスにより如何様にも変更することが可能である。

図３は、アレイ状無痛針の製造方法の一例を工程順に示す断面図である。この図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、アレイ状無痛針６は、（ａ）凸部を形成するための凹部を有する金型７とアレイ状無痛針６となる熱可塑性ポリマからなる基材８とを対向して配置し、（ｂ）金型７と基材８の少なくともいずれか一方を加熱した上で基材８に圧力をかけた状態で保持し、（ｃ）成形後冷却し、次いで金型からアレイ状無痛針６を離型する工程により行われる。
なお、以降の実施形態の例示において、基材８とは凸部３と基部２を形成するための素材であることを指し、基部２とは医薬物運搬用器具の一構成部を指す。

この図３に従って第１実施形態のアレイ状無痛針を製造する一例を、次の製造例に詳述するが、この製造例は単なる例示であり、本発明を限定するためのものではない。

（アレイ状無痛針の製造例）
図３（ａ）は、アレイ状無痛針６を製造するための金型７と厚さ１０００μｍの板状ポリ乳酸基材８（以下、ポリ乳酸基材と記す）である。金型７の詳細な製造例は後記するが、本金型７は、柱部４を形成するための略四角柱状の凹部がＮｉで構成され、先端部５を形成するための略四角錐状の凹部がＳｉで構成されている。

図３（ｂ）は、金型７の形状をポリ乳酸基材８に転写する工程を示す。金型７とポリ乳酸基材８を１００℃に加熱した後、金型７上部よりポリ乳酸基材８を１０ＭＰａの圧力で押圧する。押圧した状態で１０分間保持することにより、金型７の形状がほぼ正確にポリ乳酸基材８に転写され、アレイ状無痛針６が形成される。

図３（ｃ）は、金型７からポリ乳酸基材（アレイ状無痛針６）を離型する工程を示す。金型７とアレイ状無痛針６を５０℃に冷却した後、金型７からアレイ状無痛針６を離型する。
以上の工程を経て、ポリ乳酸素材で構成されたアレイ状無痛針６が形成できる。

本製造例に用いる基材は、熱可塑性ポリマであれば基本的にいかなるものでも構わないが、ポリ乳酸基材８は、生体に対して無毒であり、且つ生体吸収性があるため、例えばアレイ状無痛針が折れて体内に残留したとしても、いずれ体内で分解する特徴があるため、好適である。

次に、図４および図５を用いて本発明のアレイ状無痛針の製造例において必要となるＳｉマスタおよび金型のより詳細な製造例を詳述するが、これらの製造例は単なる例示であり、本発明を限定するためのものではない。

（Ｓｉマスタの製造例）
図４は、本発明に関わるＳｉマスタを製造する工程を順に示す断面図である。

図４（ａ）Ｓｉウェーハ
Ｓｉマスタ１４の製造には、片面をミラー研磨した厚さ５００μｍの単結晶Ｓｉウェーハ（以下、Ｓｉウェーハ９）を用いる。このＳｉウェーハの結晶方位面は、（１００）である。

図４（ｂ）（エッチングマスクとなる）クロム薄膜の形成
スパッタリング法により、Ｓｉウェーハ９の表面に厚さ約４μｍのクロム（Ｃｒ）薄膜１０を形成する。

図４（ｃ）凹部のフォトレジストパターンの形成
次いで、フォトリソグラフィ技術により、Ｓｉウェーハ９の表面に凸部１３のネガパターン、即ち、凸部１３形成位置にフォトレジスト１１を残し、非凸部のフォトレジストを除去したパターンを形成する。本製造例においては、凸部１３のマスク形状を５０μｍ角の正方形とした。

図４（ｄ）Ｃｒパターンの形成
次いで、フォトレジスト１１をマスクとし、フォトレジスト１１下部に配置されたＣｒ薄膜１０をエッチングし、Ｃｒパターン１２を形成する。Ｃｒ薄膜１０のエッチングは、硝酸第２セリウム塩と過塩素酸を主成分とする水溶液を用いたウェットエッチングにより行った。

図４（ｅ）凸部完成
次いで、Ｃｒパターン１２をマスクとし、Ｓｉウェーハ９表面に凸部１３を形成する。凸部１３の形成はドライエッチングプロセスにより行う。Ｓｉウェーハ９を平行平板型ドライエッチング装置のチャンバ内に設置し、真空排気を行った後、以下の条件でエッチングを行った。
・エッチングガス流量：ＳＦ_６＝５０ｓｃｃｍ／Ｏ_２＝３ｓｃｃｍ（ＳＦ_６とＯ_２の混合ガス）
・プロセス真空度：１．３Ｐａ
・ＲＦ投入電力：１００Ｗ
Ｓｉエッチング速度が約２０μｍ／ｈであることを鑑みて、エッチング時間を１２．５時間とし、Ｓｉウェーハ９表面に下底幅約５０μｍ、高さ約２５０μｍの凸部１３を形成した。このエッチング条件では垂直異方性が高いため、凸部１３はＳｉウェーハ９表面に対して約８７度の立設角度を有する略四角柱状となった。
本エッチング条件では、Ｃｒマスクを損なうことがないため、凸部１３の高さおよび幅を精度良く作製することができ、非常に歩留まりが高い。

図４（ｆ）Ｓｉマスタ完成
最後に、硝酸第２セリウム塩と過塩素酸を主成分とする水溶液を用いたウェットエッチングによりＳｉ表面に残存するＣｒマスクを除去し、Ｓｉマスタ１４とした。なお、Ｓｉマスタ１４の基部裏面から凸部先端までの総厚みは、使用したＳｉウェーハ９の厚みと同じく５００μｍであった。

（Ｓｉマスタ製造方法の比較）
Ｓｉマスタ製造方法の比較として、特許文献１および特許文献２を参照してＳｉマスタを製造した。

＜比較例１＞
Ｃｒパターンをマスクとし、下記に示すドライエッチング条件によりＳｉウェーハ表面に凸部を形成した。なお、このときの凸部のマスク形状は、９０μｍ角の正方形とした。
・エッチングガス流量：ＳＦ_６＝５０ｓｃｃｍ／Ｏ_２＝７ｓｃｃｍ
・プロセス真空度：１．６Ｐａ
・ＲＦ投入電力：１００Ｗ

Ｓｉエッチング速度が約２０μｍ／ｈであることを鑑みてエッチング時間を１２．５時間とし、Ｓｉウェーハ表面に下底幅約７０μｍ、高さ約２５０μｍの凸部を形成した。このエッチング条件ではサイドエッチングが大きい（垂直異方性が低い）ため、凸部は四角錐状となりＣｒマスクがエッチング途中で剥離した。このときの凸部の上底幅は、約１μｍであった。

＜比較例２〉
Ｃｒパターンをマスクとし、下記に示すドライエッチング条件によりＳｉウェーハ表面に凸部を形成した。なお、このときの凸部のマスク形状は、９０μｍ角の四角形とした。
『工程１（先端部作製）』
・エッチングガス流量：ＳＦ_６＝５０ｓｃｃｍ／Ｏ_２＝１２ｓｃｃｍ
・プロセス真空度：１．８Ｐａ
・ＲＦ投入電力：１００Ｗ
『工程２（柱部作製）』
・エッチングガス流量：ＳＦ_６＝５０ｓｃｃｍ／Ｏ_２＝３ｓｃｃｍ
・プロセス真空度：１．３Ｐａ
・ＲＦ投入電力：１００Ｗ
『工程３（マスク剥離）』
・エッチングガス流量：ＳＦ_６＝５０ｓｃｃｍ／Ｏ_２＝１２ｓｃｃｍ
・プロセス真空度：１．８Ｐａ
・ＲＦ投入電力：１００Ｗ

Ｓｉエッチング速度が約２０μｍ／ｈであることを鑑みてエッチング時間を工程１では３．５時間、工程２では９時間とし、最後にマスクが剥離するまで工程３のエッチングを行った。Ｓｉウェーハ表面に対して約８７度の立設角度を有する略四角柱状の柱部と、該柱部上に約７０度の立設角度を有する略四角錐上の先端部からなる凸部を形成した。このときの凸部の下底幅は約７０μｍ、上底幅は、約１μｍ、高さは約２５０μｍであった。

＜各製造方法における形状精度比較＞
本発明の製造例、比較例１，比較例２の形状精度の比較を行った。
各製造方法によりＳｉウェーハ表面の１０ｍｍ角正方形の領域に、４００本の凸部を作製し、高さが設計値である２５０μｍに対して１０％以上低い（即ち、２２５μｍ以下）である凸部が、全凸部数の１０％以上（即ち、４０本以上）存在するＳｉマスタを不良品として、歩留まりの評価を行った。結果を表１に示す。

本発明の製造例では歩留まりが１００％であったのに対し、比較例１では４５％、比較例２では６０％であった。ドライエッチング工程にてマスクを剥離させる従来の製造方法では、４００本の凸部のマスクが均一に剥離しない場合に凸部高さが大きくバラつく（早期にマスクが剥離した凸部は、高さが低くなる）ために、歩留まりが低くなった。

（金型の製造例）
図５は、本発明の金型を製造する工程を順に示す断面図である。

図５（ａ）Ｓｉマスタ
このＳｉマスタは、図４に示すＳｉマスタの製造工程で作製したＳｉマスタ１４である。このＳｉマスタ１４は、基部に多数の略四角柱状をなす凸部１３が立設された構造になっている。

図５（ｂ）Ｓｉマスタ表面の導電化
スパッタリング法により、Ｓｉマスタ１４の表面に、厚さ約０．３μｍのＮｉ薄膜１５を堆積してＳｉマスタ１４表面を導電化した。堆積させる薄膜は、Ｓｉマスタ１４表面を導電化できるものであれば如何なるものでも構わない。例えば、Ａｕ、Ｃｒ、Ｃｕなども用いることができる。

図５（ｃ）Ｎｉ電鋳
次いで、導電化したＳｉマスタ１４をＮｉめっき浴に浸漬してＮｉ電鋳を行う。Ｎｉめっき浴はスルファミン酸ニッケルを主成分としており、これを５０℃い加熱・保持して電鋳を行う。陽極となるＮｉ板と陰極となるＳｉマスタ１４間に０．５〜２．０Ａの電流を流し、約２４時間電鋳することで、厚さ約５００μｍのＮｉ電鋳層１６を得た。

図５（ｄ）Ｓｉマスタの選択エッチング
次いで、約６０％に希釈した水酸化カリウム（化学式：ＫＯＨ）溶液を８０℃に加熱・保持し、該溶液中にＳｉマスタ１４およびＮｉ電鋳層１６を浸漬させる。まず、Ｓｉマスタ１４の基部がエッチングされ、次いで凸部１３（Ｎｉ電鋳層１６の凹部）がエッチングされる（図５（ｄ）中、符号１４Ａは、残存するＳｉ部分を示す。）。このとき、Ｓｉマスタ１４の凸部１３は約５５度の角度を保ってエッチングが進行していく。このように約５５度の角度を保ってエッチングを進行させることができるエッチング溶液として、ＫＯＨ溶液の他、水酸化テトラメチルアンモニウム（略式名称：ＴＭＡＨ）を用いることができる。

図５（ｅ）エッチングストップ
次いで、上記ＫＯＨ溶液の濃度および温度の条件においてＳｉのエッチング速度が３０μｍ／ｈであることを鑑みて、１７時間浸漬エッチングしたところでエッチングストップした。これにより、柱部４を形成するための略四角形上の凹部がＮｉで構成され、該四角柱状の凹部の先端に連設された、先端部５を形成するための略四角錐状の凹部がＳｉ部分１４Ａで形成されている金型７を得ることができた。なお、１８時間以上浸漬エッチングを行うと、ほぼ完全にＳｉマスタ１４が除去されて凹部の形状は略四角錐状になることが確認された。

図５（ａ）〜（ｄ）の工程により金型を製造する方法は一般的に知られており、一般には（ｄ）の工程においてＳｉマスタ１４が完全に除去されるまでエッチングを進行させて金型を得るが、本発明の製造方法では、Ｓｉマスタ１４が残存する時点でエッチングストップし、所望の金型形状（アレイ状無痛針用の凸部形状）を得る点で異なる。

以上説明したＳｉマスタおよびＳｉマスタより製造した金型を用いることにより、本発明の医薬物運搬用器具を製造することが可能となる。

本発明の金型は、医薬物運搬用器具に限らず、種々の微細形状部品や器具の製造に用いることができる。例えば、反射防止や偏光分離、偏光変換などの光学特性を有する微細形状光学部品などの製造に用いることができる。

本発明の医薬物運搬用器具の第１実施形態であるアレイ状無痛針を示し、（ａ）はアレイ状無痛針の平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ｂ断面図である。アレイ状無痛針の各部の位置を示す要部断面図である。アレイ状無痛針の製造工程を順に示す断面図である。Ｓｉマスタの製造工程を順に示す断面図である。金型の製造工程を順に示す断面図である。

符号の説明

１…アレイ状無痛針（医薬物運搬用器具）、２…基部、３…凸部、４…柱部、５…先端部、６…アレイ状無痛針、７…金型、８…ポリ乳酸基材、９…Ｓｉウェーハ、１０…Ｃｒ薄膜、１１…フォトレジスト、１２…Ｃｒパターン、１３…凸部、１４…Ｓｉマスタ、１４Ａ…Ｓｉ部分、１５…Ｎｉ薄膜、１６…Ｎｉ電鋳層。

Claims

基部と、その表面に凸部を有し、前記凸部が、前記基部に対して略垂直な第１の角度で立設された柱部と、該柱部上に前記第１の角度よりも小さい第２の角度で連設された先端部とから形成され、前記基部及び凸部が、ポリ乳酸素材で構成されている医薬物運搬用器具の製造方法であって、
前記凸部を形成するための凹部を有する金型と基材とを対向して配置し、前記金型と前記基材の少なくともいずれか一方を加熱した上で基材に圧力を加えて前記金型の形状を前記基材に転写させる工程と、冷却して前記基材を離型する工程とを有し、
前記金型は、基部とその表面に立設された柱状の凸部とを備えたシリコンマスタを製造する工程と、次いで、このシリコンマスタの表面を導電化した後にニッケル電鋳する工程と、次いで、表面を導電化したシリコンマスタを選択的にエッチングし、柱部を形成するための凹部がニッケル中に形成され、且つ該凹部内に残存したシリコンによって、柱部上に連設される前記先端部を形成するための凹部が形成された時点でエッチングストップし、前記金型を得る工程と、を備える方法によって製造され、
かつ、前記柱部を形成するための凹部がニッケルで構成され、前記柱部上に連設される前記先端部を形成するための凹部がシリコンで構成されていることを特徴とする医薬物運搬用器具の製造方法。