JP5540017B2 - 光デバイス検査のための光イメージング - Google Patents
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Description
本出願は米国仮特許出願61/145,527(2009年1月17日出願)からの優先権を主張する。これらの内容は参照により本明細書に組み込まれている。
Claims (15)
- 光周波数領域測定法(OFDM)に基づいた光イメージング装置であって、
光が検査対象デバイスの第1の位置から進入するように前記検査対象デバイスに光を送出する光源であって、前記検査対象デバイスは当該検査対象デバイスに沿った1つまたは複数の位置で光を散乱するデバイスである、前記光源と、
前記検査対象デバイスに沿った前記複数の位置のそれぞれにおいて散乱した光の一部を検出する光検出器であって、前記検出される光は、前記第1の位置とは異なる前記複数の位置のそれぞれにおいて散乱した光である、前記光検出器と、
時間の関数であるデータであって、前記検査対象デバイスに沿った前記複数の位置のそれぞれで収集された光の光量に対応した前記データを生成するOFDM処理回路と、
前記検査対象デバイスに沿った前記複数の位置のそれぞれについての前記データを記憶する記憶装置と、
前記記憶装置に記憶された時間領域での前記データに基づいて、前記検査対象デバイスに沿った前記複数の位置のそれぞれにおいて散乱した光の光量を示す情報をユーザに提供するユーザインタフェースと
を含むことを特徴とする光イメージング装置。 - 前記ユーザインタフェースは、
前記記憶装置に記憶された時間領域での前記データに基づいて、前記検査対象デバイスに入力された光の動きを、前記検査対象デバイスに沿った光の伝搬として表示すること、
前記記憶装置に記憶された時間領域での前記データに基づいて、前記光源から光が出力されたときから特定の時間が経過したときに前記検査対象デバイスによって散乱された光の強度または輝度を表示すること、
前記記憶装置に記憶された時間領域での前記データに基づいて算出された前記検査対象デバイスに沿って伝搬する光パルスとして、前記検査対象デバイスに沿った複数の位置で当該検査対象デバイスによって散乱された光の強度または輝度を、前記光検出器によってさらに検出された当該検査対象デバイスのクラッドモードの光と区別して、表示すること、および、
前記検査対象デバイスの内部を伝搬する実際の光の伝搬速度よりも遅い速度で、前記光パルスの動きを表示すること
のうち、少なくとも1つを実行することを特徴とする請求項1に記載の光イメージング装置。 - 前記検査対象デバイスは、ウエハ上に形成された複数の平面光波回路(PLC)を含み、
前記光イメージング装置は、前記ウエハ上に形成された前記複数の平面光波回路(PLC)を個別のPLCダイに分割せずに、前記複数の平面光波回路(PLC)のそれぞれを検査することを特徴とする請求項1に記載の光イメージング装置。 - 前記複数の位置は、千個を超える位置であることを特徴とする請求項1に記載の光イメージング装置。
- 前記検査対象デバイスに沿った複数の位置のそれぞれで収集された光の光量に対応した時間の関数である前記データは、前記検査対象デバイスのインパルス応答の測定値に対応しており、
前記インパルス応答の測定値の分解能は、1ピコ秒よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の光イメージング装置。 - 前記OFDM処理回路は、前記複数の位置のそれぞれについての光強度に関連付けて前記検査対象デバイスの位置データを生成し、
前記記憶装置は、前記複数の位置のそれぞれについての光強度に関連付けられた前記検査対象デバイスの位置データを記憶することを特徴とする請求項1に記載の光イメージング装置。 - 前記OFDM処理回路は、30ミクロンオーダーでの光遅延距離に対して時間分解能が0.1ピコ秒のオーダーで前記検査対象デバイスの位置データを生成することで、一兆分の一のオーダーの散乱量を検出することを特徴とする請求項1に記載の光イメージング装置。
- 前記光検出器の下方で前記検査対象デバイスを移動させるように配置された平行移動ステージをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の光イメージング装置。
- 散乱光を検出する複数のファイバ検出器をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の光イメージング装置。
- 走査ミラーと、
前記検査対象デバイスに沿った前記複数の位置で散乱光を得る対物レンズと
をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の光イメージング装置。 - 前記検査対象デバイスに沿った前記複数の位置へ前記光検出器を自動的に移動させる電子平行移動装置をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の光イメージング装置。
- 前記光源は、チューナブルレーザーであり、
前記OFDM処理回路は、
前記チューナブルレーザーからの入射光を第1のビームと第2のビームとに分岐する第1の光スプリッタと、
前記第1のビームを使用して、前記光源の波長の変動を測定するモニター干渉計と、
前記第2のビームを基準光と、前記検査対象デバイスへ導かれる測定光とに分岐する第2の光スプリッタと、
前記測定光を前記検査対象デバイスの内部に入力する入力部と、
前記光検出器へ結合する光出力部と、
前記光出力部に接続され、前記基準光と前記検査対象デバイスからの散乱光とを合成し、干渉縞を生成するカプラと、
前記カプラから出力された前記合成された合成光のうち2つの光偏波状態であるsとpとにある合成光をsp検出器へ導く、ファイバ接続型偏波ビームスプリッタと、
前記ユーザインタフェースに接続され、前記sp検出器からの出力信号を処理して、前記検査対象デバイスに沿った前記複数の位置のそれぞれで収集された光の光量に対応した時間の関数である時間領域のデータを生成するデータ取得処理回路と
をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の光イメージング装置。 - 前記第1のビームを使用して前記光源の絶対波長を確定するガスセルをさらに含み、
前記OFDM処理回路は、
前記sp検出器の直流レベルが近似的に等価となるように調整を実行する偏波制御器を含むことを特徴とする請求項12に記載の光イメージング装置。 - 前記検査対象デバイスからの散乱光を収集する光学部品が、前記検査対象デバイスのエバネッセントフィールドの外側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の光イメージング装置。
- 光周波数領域測定法(OFDM)に基づいて光イメージングを実行する方法であって、
検査対象デバイスに沿った1つまたは複数の位置で光を散乱する当該検査対象デバイスに対して、光が前記検査対象デバイスの第1の位置から進入するように当該光を導くステップと、
前記検査対象デバイスに沿った前記複数の位置のそれぞれにおいて散乱した光の一部を検出するステップであって、前記検出される光は、前記第1の位置とは異なる前記複数の位置のそれぞれにおいて散乱した光である、ステップと、
前記光周波数領域測定法を使用して、時間の関数であるデータであって、前記検査対象デバイスに沿った前記複数の位置のそれぞれで収集された光の光量に対応した前記データを生成するステップと、
前記検査対象デバイスに沿った前記複数の位置のそれぞれについての前記データを記憶するステップと、
前記記憶された時間領域での前記データに基づいて、前記検査対象デバイスに沿った前記複数の位置のそれぞれにおいて散乱した光の光量を示す情報を提供するステップと
を有することを特徴とする方法。
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