JP5525794B2 - 板状ワーク着脱方法及び加工装置 - Google Patents
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Description
(1)少なくとも3個の水平方向移動規制ピンを保持面に保持された板状ワークの周囲に位置付ける水平方向移動規制ピン位置付け工程、
(2)液体弁を開放し液体源から保持面に液体を供給することによって保持面から染み出す液体で板状ワークを保持面から浮上させて離反させる離反工程、
(3)気体弁を開放し気体源から保持面に気体を供給することによって液体の表面張力を緩和する表面張力緩和工程、
(4)保持部材を板状ワークの外周縁へ向けて移動させて板状ワークの外周縁を保持する保持工程、
(5)該気体弁及び該液体弁を開放して該液体及び該気体を流通させたまま、板状ワークを保持した保持部を支持した支持プレートを上方に移動させて板状ワークを保持面から離脱させる離脱工程。
2:チャックテーブル
200:保持面 201:枠体 202:基台 203:蛇腹
204:液体連通路 205:液体源 206:連通路
207:気体源 208:液体弁 209:気体弁 210:制御手段
3:加工機構
30:スピンドル 31:ホイールマウント 32:研削ホイール 33:サーボモータ
34:研削砥石
4:送り機構
40:ボールスクリュー 41:ガイドレール 42:パルスモータ 43:摺動部
44:支持部
5a:第一のカセット 5b:第二のカセット
6:搬出入機構 60:保持部 61:アーム部
7:中心合わせ手段 70:載置台 71:突起部
8:洗浄手段 80:保持テーブル
9:第一の搬送機構 90:吸着板 91:アーム部
10:第二の搬送機構
11:アーム部
12:保持機構
13:保持部材
130:係合部材 131:被保持部 131a:雌ねじ穴
14:支持プレート 140:長孔
15:回動プレート
150:中心孔 151:長孔 152:アーム部 153:枢軸
154:リンク 154a:貫通孔 155:連結突起
16:取り付け板 160:貫通孔
17:垂直方向駆動部
18:水平方向移動規制ピン
19:支持柱 19a:雌ねじ穴 190:コイルバネ
20:段つきナット 20a:大径部 20b:小径部
21:ピストンロッド 21a:連結係合部 22:エアシリンダ
23:ボルト 24:スペーサ 25:ボルト 26:ボルト
27:液体層
Claims (2)
- ポーラス部材で形成され板状ワークを負圧によって保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状ワークを加工する加工機構と、該チャックテーブルに対する板状ワークの搬入及び搬出を行う搬送機構と、該保持面に液体を供給する液体源と、該保持面に気体を供給する気体源と、該保持面と該液体源とを連通させる液体連通路と、該液体連通路に配設された液体弁と、該保持面と該気体源とを連通させる気体連通路と、該気体連通路に配設された気体弁とを有し、
該搬送機構は、板状ワークの外周縁を保持する少なくとも3個の保持部材と、該保持部材を該板状ワークの外周縁に対して水平方向に移動可能に支持する支持プレートと、該支持プレートに設けられ該保持部材よりも下方に突出し該板状ワークの水平方向の移動を規制する少なくとも3個の水平方向移動規制ピンと、該保持部材を支持した該支持プレートを鉛直方向に移動させる垂直方向駆動部と、を有する加工装置によって、該チャックテーブルの該保持面に保持された板状ワークを該保持面から離脱させる板状ワーク離脱方法であって、
少なくとも3個の該水平方向移動規制ピンを該保持面に保持された板状ワークの周囲に位置付ける水平方向移動規制ピン位置付け工程と、
該液体弁を開放し該液体源から該保持面に液体を供給することによって該保持面から染み出す液体で板状ワークを該保持面から浮上させて離反させる離反工程と、
該気体弁を開放し該気体源から該保持面に気体を供給することによって液体の表面張力を緩和する表面張力緩和工程と、
該保持部材を板状ワークの外周縁へ向けて移動させて板状ワークの外周縁を保持する保持工程と、
該気体弁及び該液体弁を開放して該液体及び該気体を流通させたまま、板状ワークを保持した該保持部を支持した該支持プレートを上方に移動させて板状ワークを該保持面から離脱させる離脱工程と、
を含む板状ワーク離脱方法。 - ポーラス部材で形成され板状ワークを負圧によって保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状ワークを加工する加工機構と、該チャックテーブルへ板状ワークを搬入搬出する搬送機構と、該保持面に液体を供給する液体源と、該保持面に気体を供給する気体源と、該保持面と該液体源とを連通させる液体連通路と、該液体連通路に配設された液体弁と、該保持面と該気体源とを連通させる気体連通路と、該気体連通路に配設された気体弁と、該液体弁と該気体弁とを制御する制御手段とを有し、
該搬送機構は、板状ワークの外周縁を保持する少なくとも3個の保持部材と、該保持部材を該板状ワークの外周縁に対して水平方向に移動可能に支持する支持プレートと、該支持プレートに設けられ該保持部材よりも下方に突出し該板状ワークの水平方向の移動を規制する少なくとも3個の水平方向移動規制ピンと、該保持部材を支持した該支持プレートを鉛直方向に移動させる垂直方向駆動部と、を有し、
該制御手段は、該液体弁を開放して該保持面から染み出す液体で板状ワークを浮上させて該保持面から離反させ、該気体弁を開放して該保持面に気体を供給することによって液体の表面張力を緩和する制御機能を有し、
該制御手段によって該気体弁及び該液体弁を開放して該液体及び該気体を流通させたまま、該保持部材で該板状ワークの外周縁を保持し、該支持プレートを上方に移動させて、該板状ワークを該保持面から離脱させる
加工装置。
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