JP5524881B2 - 発光装置 - Google Patents
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したn型GaN層14上にTi5nm厚、Al5nm厚を形成し、窒素ガス雰囲気中で450℃、30分間熱処理してn型電極24を形成する。最後に、基板10の裏面を100μmまで研磨してチップを切り出し、マウントすることでLED1が得られる。
ぞれ20個ずつ2組に分けられ、エアブリッジ配線28により直列接続されて2つのLEDアレイを形成している。より詳細には、各LED1は全て同形の正方形で同サイズであり、1つのLEDアレイは上から6個、7個、7個とそれぞれ直線上に配置され、上から第1列目(6個)と第2列目(7個)は互いに逆向きに形成され、第2列目と第3列目も互いに逆向きに形成される。第1列目と第2列目、第2列目と第3列目は互いに離間して配置されている。これは、後述するように他方のLEDアレイの列が交互に挿入されるためである。第1列目の右端のLED1と第2列目の右端のLED1とはエアブリッジ配線28により接続される。第2列目の左端のLED1と第3列目の左端のLED1もエアブリッジ配線28で接続されてジグザグ配列となる。第1列目の左端のLED1は基板10の左上部に形成された電極(パッド)32にエアブリッジ配線28で接続され、第3列目の右端のLED1は基板10の右下部に形成された電極(パッド)32にエアブリッジ配線28で接続される。2つの電極(パッド)32もLED1と同形の正方形である。他方のLEDアレイは上述した一方のLEDアレイの間隙に互い違いとなるように形成される。すなわち、他方のLEDアレイは上から7個、7個、6個とそれぞれ直線上に配置され、上から第1列目は一方のLEDアレイの第1列目と第2列目の間に形成され、第2列目は一方のLEDアレイの第2列目と第3列目の間に形成され、第3列目は一方のLEDアレイの第3列目の下に形成される。他方のLEDアレイの第1列目と第2列目、及び第2列目と第3列目も互いに逆方向となるように形成され、第1列目の右端のLED1は第2列目の右端のLED1にエアブリッジ配線28で接続され、第2列目の左端のLED1は第3列の左端のLED1にエアブリッジ配線28で接続されてジグザグ状となる。他方のLEDアレイの第1列目の左端のLEDは基板10の左上部に形成された電極32にエアブリッジ配線28で接続され、第3列目の右端のLED1は基板10の右下部に形成された電極32にエアブリッジ配線28で接続される。一方のLEDアレイと他方のLEDアレイの電極32に対する極性は互いに逆である。発光装置(チップ)の全体形状は長方形である。電源が供給される2つの電極32は、長方形の対角位置に離間して形成される点も着目されたい。
できる。エアブリッジ配線28を用いる利点の一つである。エアブリッジ配線28は、例えば以下のようにして形成される。すなわち、全面に2μmの厚さのフォトレジストを塗布し、エアブリッジ配線の形状に穴を開けた後にポストベークする。その上に、真空蒸着でTiを10nm、Auを10nm、この順序で蒸着する。さらにその上の全面に2μm厚さでフォトレジストを再度塗布し、エアブリッジ配線を形成する部分のみに穴を開ける。次いで、TiとAuを電極として電解液中でイオンプレーティング(メッキ)により電極全面に3〜5μmの厚さのAuを付着させる。その後、試料をアセトンに浸し、超音波洗浄によりフォトレジストを溶解除去してエアブリッジ配線28が完成する。
(1)各LEDに均一に電流を流し、均一な発光を得るためには各LEDの形状、電極位置が同一であることが望ましい。
(2)ウエハをカットしてチップにするためには、各LEDの辺は直線であることが望ましい。
(3)光取り出し効率を向上させるため、標準的なマウントを使用して周辺からの反射を利用するためにはLEDは平面形状が正方形に近い形状が望ましい。
(4)2つの電極(ボンディングパット)の大きさは100μm角程度で、互いに離れていることが望ましい。
(5)ウエハ面積の有効利用のため、配線、パッドの占める割合は小さい方が望ましい。もちろん、これらは必須ではなく、例えば各LEDの形状としては平面形状三角形を用いることも可能であろう。各LEDの形状が三角形であっても、これらを組み合わせることで全体形状を略正方形とすることができる。以下、二次元アレイパターンの例をいくつか示す。
第1列目は3個のLED1、第2列目は4個のLED1が形成される。第1列目の左端のLEDと第2列目の左端のLED1はエアブリッジ配線28で直列接続され、第1列目の3個のLED同士、及び第2列目の4個のLED1同士もエアブリッジ配線28で直列接続される。基板10の右上部と右下部に電極(パッド)32が形成され、第1列目の右端のLED1は右上部の電極32にエアブリッジ配線で接続され、第2列目の右端のLED1は右下部の電極32に接続される。他方のLEDアレイもジグザグ状に配列され、上から第1列目は4個のLED1、第2列目は3個のLED1が形成される。他方のLEDアレイの第1列目は前記一方のLEDアレイの第1列目と第2列目の間に形成され、他方のLEDアレイの第2列目は前記一方のLEDアレイの第2列目の下方に形成される。第1列目の左端のLED1は第2列目の左端のLED1にエアブリッジ配線28で直列接続される。第1列目の4個のLED1同士、及び第2列目の3個のLED1同士も直列接続される。第1列目の右端のLED1は右上部の電極32にエアブリッジ配線28で接続され、第2列目の右端のLED1は右下部の電極32にエアブリッジ配線28で接続される。図11から分かるように、この例でも2つのLEDアレイは互いに並列に電極32に接続され、かつ、互いに逆極性となるように接続される。したがって、交流電源を供給した場合、2つのLEDアレイは交互に発光することになる。
を高密度に形成して必要な基板面積を小さくすることができる。
列接続される。LED1a〜1cは直線上に配置され、LED1d〜1fは他の直線上に配置される。LED1cとLED1dはエアブリッジ配線28で接続される。この例においても、チップの全体形状を略正方形とすることができる。
12 u−GaN層
14 n型GaN層
16 InGaN発光層
18 AlGaN層
20 p−GaN層
22 p−電極
24 n−電極
Claims (16)
- 基板上に配置された複数の発光素子を有する発光装置であり、
前記複数の発光素子は、直列に接続され、
前記発光素子は、平面視の形状として6辺を有しかつ凹部を有する多角形形状を有し、
前記発光装置の平面視における全体形状は、四辺形の形状であることを特徴とする発光装置。 - 前記平面視における全体形状は、略正方形であることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- それぞれの発光素子は、平面視において他の発光素子と異なる形状を有することを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 前記複数の発光素子は、非直線パターンにて接続されていることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- さらに2つの電極が前記基板に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 前記2つの電極は、前記基板の同じ側に配置されていることを特徴とする請求項5に記載の発光装置。
- 基板上に配置された複数の発光素子を有する発光装置であり、
前記複数の発光素子は、直列に接続され、
前記発光素子の2つは、平面視の形状として凹部を有する互いに異なる形状を有し、
前記発光装置の平面視における全体形状は、四辺形の形状であることを特徴とする発光装置。 - 前記平面視における全体形状は、略正方形であることを特徴とする請求項7に記載の発光装置。
- さらに2つの電極が前記基板に配置されていることを特徴とする請求項7に記載の発光装置。
- 前記2つの電極は、前記基板の同じ側に配置されていることを特徴とする請求項9に記載の発光装置。
- 基板上に配置された複数の発光素子を有し、
前記複数の発光素子は、直列に接続され、
前記発光素子の平面視における形状は、凹部分と凸部分とを有することを特徴とする発光装置。 - 前記複数の発光素子には、直列に接続されている第1の発光素子と第2の発光素子と第3の発光素子とが含まれることを特徴とする請求項11に記載の発光装置。
- 前記第1の発光素子の平面視における凸形状部分が前記第2の発光素子の平面視における凸形状部分と対向し、前記第2の発光素子の平面視における凹形状部分が前記第3の発光素子の平面視における凹形状部分と対向していることを特徴とする請求項12に記載の発光装置。
- 前記複数の発光素子には、直列に接続されている第4の発光素子と第5の発光素子と第6の発光素子とが含まれることを特徴とする請求項12に記載の発光装置。
- 前記第4の発光素子の平面視における凹形状部分が前記第5の発光素子の平面視における凹形状部分と対向し、前記第5の発光素子の平面視における凸形状部分が前記第6の発光素子の平面視における凸形状部分と対向している
ことを特徴とする請求項14に記載の発光装置。 - 前記第1の発光素子と前記第2の発光素子と前記第3の発光素子と前記第4の発光素子と前記第5の発光素子と前記第6の発光素子は、同一のサイズおよび平面視における形状を有することを特徴とする請求項15に記載の発光装置。
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