JP5524560B2 - ヒータユニット反射板および該反射板を備えたヒータユニット - Google Patents
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Description
本発明の実施形態による作用効果を説明する。
以上より、本発明例による反射板およびこれを用いたヒータユニットが最も性能が高いことが判明した。
Claims (2)
- 通電によって加熱されるヒータを含み、半導体基板を加熱処理するヒータユニットに用いられるヒータユニット反射板であって、
炭化ケイ素からなる第1層及びステンレスからなる第2層のみによって構成されており、
前記第2層は、前記第1層に対して前記ヒータ側に積層されており、
前記第2層には、スリットが形成されているヒータユニット反射板。 - 通電によって加熱されるヒータと該ヒータの下側に配設される反射板とを備え、半導体基板を加熱処理するヒータユニットであって、
前記反射板は、炭化ケイ素からなる第1層及びステンレスからなる第2層のみによって構成されており、
前記第2層は、前記第1層に対して前記ヒータ側に積層されており、
前記第2層には、スリットが形成されているヒータユニット。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP5524560B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
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JP5869905B2 (ja) * | 2012-02-16 | 2016-02-24 | 株式会社ブリヂストン | 加熱装置 |
KR102037081B1 (ko) * | 2013-02-20 | 2019-10-29 | 가부시키가이샤 미스즈 코우쿄우 | 히터 장치 |
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JP2001201062A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-27 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 熱線反射板 |
EP1463097A1 (en) * | 2000-06-02 | 2004-09-29 | Ibiden Co., Ltd. | Hot plate unit |
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