JP5524201B2 - 窒素添加レス・オゾン発生ユニット及びオゾンガス供給システム - Google Patents
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Description
・窒素分子のイオン化反応
N2+e⇒2N+
・NO2の生成反応
2N++O2+M⇒NO2
(数ppm〜数十ppmのNO2ガス生成)
(2) NO2の放電光による触媒効果での酸素原子Oの生成
・NO2の光解離反応
NO2+hν⇒NO+O
・NOの酸化反応
NO+O2(原料酸素)⇒NO2+O
*上記2つの反応でNO2が触媒になって酸素原子が生成
(2)の反応で生成した多量の酸素原子Oと酸素ガス分子O2との反応でオゾンO3が生成される。
R2;O+O2+M→O3+M
上記(1)〜(3)によって、高濃度なオゾンを発生させている。
N2*;窒素の励起
窒素ガスによる紫外光
H2O+e⇒H+OH+e (水蒸気の電離)
N2+e⇒2N-+e (窒素分子の電離)
NO2+hν(295〜400nm)⇒NO+O(3P)
H+O2+M⇒HO2+M
HO2+NO⇒OH+NO2
N2O5+H2O⇒2HNO3
OH+NO2+M⇒HNO3+M
このように、オゾンガス以外にNOX副生ガスや硝酸も生成される。
この発明の実施の形態で述べるオゾンガス供給システムで用いる窒素添加レス・オゾン発生器を図1ないし図4について説明する。図1は窒素添加レス・オゾン発生器を中心としたガス系統の構成を示すブロック図である。
以下、この発明の実施の形態1を図5から図10に基づいて説明する。以下、図5〜図10の概要は以下の通りである。図5は本発明の実施の形態1であるオゾンガス供給システムの構成を示すブロック図である。図6は図5で示したオゾンガス供給システムにおけるオゾンガス出力流量管理ユニットの内部構成を示す説明図である。図7は実施の形態1のオゾンガス供給システムにおけるメイン操作パネルの表示状態を模式的に示す説明図である。図8は図5で示した窒素添加レス・オゾン発生ユニット内のオゾン制御部の構成を示すブロック図である。図9は図5で示したオゾン発生ユニット内のデータメモリの記憶内容(オゾン発生ユニットの濃度、流量制御を行うための初期条件等)を模式的に示す説明図である。図10は図5で示した窒素添加レス・オゾン発生ユニット7に対し出力濃度制御を行った出力濃度制御波形を示すグラフである。
図5に示すように、オゾンガス供給システム10は内部にn(≧2)個の窒素添加レス・オゾン発生ユニット7−1〜7−nを有している。以下、窒素添加レス・オゾン発生ユニット7−1〜7−nのうち窒素添加レス・オゾン発生ユニット7−2を代表して取り上げその内部構成を図5中心に参照して説明する。
図6に示すように、オゾンガス出力流量管理ユニット9は窒素添加レス・オゾン発生ユニット7−1〜7−nの出力部に対応してオゾンガス入力口29−1〜29−nを有しており、オゾン処理装置12−1〜12−nの入力部に対応してオゾンガス出力口39−1〜39−nを有している。そして、オゾンガス出力口39−1〜39−n(オゾンガス出力口25−1〜25−n)とオゾン処理装置12−1〜12−nとの間にオゾンガス開閉弁22−1〜22−nが介挿される。オゾン処理装置12−1〜12−nはオゾンガス供給時にオゾンガス開閉弁22−1〜22−nを開状態にする。本オゾンガス供給システム10はオゾンガス出力口39−1〜39−nのn個のオゾンガス出力口を設けたシステムにしているが、ユーザ側のオゾン処理装置数がn個より少ない場合は出力しないオゾンガス出力口39部分の配管継手をキャップ継手にし、出力ガスを栓することで対応することもできる。
図7に示すように、オゾンガス供給システム10のメイン操作パネル85の表示面において、窒素添加レス・オゾン発生ユニット7−1〜7−n及びオゾン処理装置12−1〜12−nに対応づけて、オゾンガス制御弁9a,9b,9c,9bc,9ab,9caの開閉状態を示している。さらに、オゾン処理装置12−1〜12−nの要求オゾン流量Qs12(SLM)、要求オゾン濃度Cs12(g/m3)が示されている。
図8に示すように、各窒素添加レス・オゾン発生ユニット7内に設けられるオゾン制御部19は、オゾン電源2を制御することにより窒素添加レス・オゾン発生器1のオゾン発生内容(ガス流量、オゾンガス濃度)を制御する。
窒素添加レス・オゾン発生ユニット7のオゾン濃度、オゾン流量制御を行うための初期条件を記憶したデータメモリ1S6は、図9に示すように、窒素添加レス・オゾン発生器1の設定圧力Psをパラメータとして、複数個のメモリバンクBK1〜BK4を有しており(図9では説明の都合上、4個の場合を示している)、窒素添加レス・オゾン発生器1の設定圧力Psが決れば、設定圧力Psに対応するメモリバンクBKx(1〜4のいずれか)が選び出される。
上述した実施の形態1では、1つのオゾンガス供給システム10に複数の窒素添加レス・オゾン発生ユニット7−1〜7−nを備え、各窒素添加レス・オゾン発生ユニット7は、オゾンガスを発生させる手段を有する窒素添加レス・オゾン発生器1、オゾン発生に供給する電力を供給と制御する手段を有するオゾン電源2、原料ガスもしくはオゾンガス流量Qを一定値に制御する手段を有するMFC3、窒素添加レス・オゾン発生器1内の圧力Pを一定に制御する手段を有する自動制御するAPC4、及び出力するオゾンガスの濃度値Cを検出する手段を有するオゾン濃度計5を搭載している。
実施の形態2ではオゾンガス供給システム10内における窒素添加レス・オゾン発生ユニット7−1〜7−nそれぞれに相当する、1単位の窒素添加レス・オゾン発生ユニット7に着目し、窒素添加レス・オゾン発生ユニット7の小型化を図ったことを特徴としている。
図12は、窒素添加レス・オゾン発生器1およびオゾン電源部2のメイン部品の一体化を実現させてコンパクト化した回路構成を示している。
図13は、窒素添加レス・オゾン発生器1、オゾン電源2、MFC5、ガスフィルター51、オゾン濃度計5、APC4、およびガス配管集積ブロック30を集約した1単位の窒素添加レス・オゾン発生ユニット7Xを示している。
実施の形態3では実施の形態2と同様、1単位の窒素添加レス・オゾン発生ユニット7に着目し、オゾンガス出力流量管理ユニット9をも組み合わせた窒素添加レス・オゾン発生ユニット7の小型化を図ったことを特徴としている。
図14は図5で示したオゾンガス供給システム10に相当する、実施の形態3のオゾンガス供給システム20によるオゾンガス出力流量管理ユニットの内部構成を示す説明図である。
図15は実施の形態3の1単位の窒素添加レス・オゾン発生ユニットの組合せ構造を模式的に示す斜視図である。図15に示すように、実施の形態3の窒素添加レス・オゾン発生ユニット7Yは、窒素添加レス・オゾン発生器1、オゾン電源2、MFC5、ガスフィルター51、オゾン濃度計5、APC4、およびガス配管集積ブロック30に加え、オゾンガス出力流量管理ユニット9の構成部分をも集約している。
実施の形態4では実施の形態2のオゾンガス供給システム構成内に原料ガス供給部に原料ガスに含まれる水分をトラップするガスフィルターである超高純度水分除去器を装着して、装置内に供給する原料ガスの純度を増すことで、装置内で生成するオゾンガスに付随して生成される活性ガスを抑制できるようにしたことを特徴としている。
従来の窒素が数千ppm以上添加したオゾン発生器では、発生器内で生成される二酸化窒素NO2の触媒作用で、酸素分子の解離が促進され、酸素分子と解離した酸素原子との三体結合で、高濃度のオゾン化ガスが生成されていた。この場合は、二酸化窒素NO2はガスであるため、原料ガスの水分露点が−50℃(水分量約100ppm)以下であれば、ほとんどオゾン濃度低下の影響がなかった。そのため、従来のオゾン発生器では、原料ガスに含まれる水分量を除去は、水分露点が−50℃以下を確保できる簡易水分除去器で十分であった(図28参照)。
実施の形態5では、実施の形態2の「窒素添加レス・オゾン発生ユニット7−1〜7−nそれぞれに相当する、1単位の窒素添加レス・オゾン発生ユニット7に着目し、窒素添加レス・オゾン発生ユニット7の小型化を図ったもの」の他の実施の形態を示す。特に、実施の形態2の原料ガスの流量コントロール手段であるMFC3の変わりに、発生させたオゾンガスの出力ガス部に流量コントロール手段であるMFC53を配置し、窒素添加レス・オゾン発生ユニット7の小型化を図ったものである。
図18は図5で示したオゾンガス供給システム10に相当する、実施の形態5のオゾンガス供給システム102によるオゾンガス流量コントロールするための内部構成を示す説明図である。図19は実施の形態4の1単位の窒素添加レス・オゾン発生ユニットの組合せ構造を模式的に示す斜視図である。
図20は本発明の実施の形態6であるオゾンガス供給システムの構成を示すブロック図である。図17に示すように、オゾンガス供給システム103は、原料ガス供給口14から供給される原料ガスに含まれる微量の水分を超高純度にトラップできる機能を有する一つの超高純度水分除去器59を、窒素添加レス・オゾン発生ユニット7−1〜7−n間で共用されるように追加している。
図22は本発明の実施の形態7であるオゾンガス供給システムの構成を示すブロック図である。
図23は実施の形態7の1単位のオゾン発生ユニット7X5の組合せ構造を模式的に示す斜視図である。
以上、実施の形態1〜実施の形態7では、オゾン処理装置として、主に、オゾン発生量が数十g/h〜500g/h程度のオゾンを必要とする半導体製造装置で用いられるオゾンガスの多処理装置における所定のオゾン流量、オゾン濃度のオゾンガスを供給するシステムについて述べてきた。
Claims (8)
- 所定の供給流量、濃度に設定したオゾンガスをオゾン処理装置に供給する窒素添加レス・オゾン発生ユニット(7X,7Y)であって、
放電面にオゾンを生成するための光触媒物質を塗布し、オゾンガスを発生する窒素添加レス・オゾン発生器(1)と、
前記窒素添加レス・オゾン発生器に供給する電力を制御するオゾン電源(2)と、
前記オゾン発生器に関連した制御手段(3〜5、51)とを備え、
前記制御手段は、
前記窒素添加レス・オゾン発生器に入力される原料ガス流量(Q)を制御するマスフローコントローラ(MFC)(3)を含む流量検出・流量調整手段、
前記窒素添加レス・オゾン発生器が出力するオゾンガスに対して不純物や異物を除去する処理を行うガスフィルター(51)手段、
前記窒素添加レス・オゾン発生器内の圧力である内部圧力を自動制御するオートプレッシャコントローラ(APC)(4)を含む圧力検出・圧力調整手段、及び
前記窒素添加レス・オゾン発生器が出力するオゾンガスのオゾン濃度値を検出するオゾン濃度計(5)を含むオゾン濃度検知手段のうち、少なくとも2つの手段を有し、
前記窒素添加レス・オゾン発生器に外部から原料ガスを供給するための原料ガス供給口(14)と、
前記窒素添加レス・オゾン発生器から前記制御手段の少なくとも一部を介して得られるオゾンガスを外部に出力するオゾンガス出力口(15)と、
外部から得られる冷却水を前記窒素添加レス・オゾン発生器に供給及び排出するための冷却水入出口(13A,13B)と、
前記原料ガス供給口(14(14−1〜14−n))から供給される前記原料ガスに含まれる微量の水分を除去して、前記窒素添加レス・オゾン発生ユニット内に供給する超高純度水分除去器(59(59−1〜59−n))とを備え、
前記窒素添加レス・オゾン発生ユニットは、
ユニット前面に操作パネル(85−i)を配置し、
前記オゾン電源をユニット前面パネル面の裏面のユニットの前部分に配置し、
前記オゾン発生器は、前記原料ガス供給口、前記オゾンガス出力口及び前記冷却水入出口をユニット背面側に配置できるように、前記オゾン電源の後段位置に配置し、前記原料ガス供給口に前記流量検出・流量調整手段が接続され、前記オゾンガス出力口に前記ガスフィルター手段、前記圧力検出・圧力調整手段及び前記オゾン濃度検知手段が接続され、
前記流量検出・流量調整手段を前記オゾン発生器の後方に配置し、前記ガスフィルター手段、前記圧力検出・圧力調整手段及び前記オゾン濃度検知手段を前記オゾン発生器の後方に配置し、
前記原料ガス供給口、前記オゾンガス出力口および前記冷却水入出口をユニット背面から接続できるようにして、
前記窒素添加レス・オゾン発生ユニットを、
前記窒素添加レス・オゾン発生器、前記オゾン電源、前記制御手段、前記原料ガス供給口、前記オゾンガス出力口及び前記冷却水入出口を集約した一体化構造で形成したことを特徴とする、
窒素添加レス・オゾン発生ユニット。 - 請求項1記載の窒素添加レス・オゾン発生ユニットであって、
前記窒素添加レス・オゾン発生ユニットは、前記超高純度水分除去器をも集約して一体構造で形成したことを特徴とする、
窒素添加レス・オゾン発生ユニット。 - 請求項1記載の窒素添加レス・オゾン発生ユニットであって、
前記原料ガス供給口(14(14−1〜14−n))から供給される前記原料ガスに含まれる不純物ガスを除去して、前記窒素添加レス・オゾン発生ユニット内に供給する原料ガス用ガスフィルター(52(52−1〜52−n))をさらに備え、
前記窒素添加レス・オゾン発生ユニットは、前記原料ガス用ガスフィルターをも集約して一体構造で形成したことを特徴とする、
窒素添加レス・オゾン発生ユニット。 - 請求項1ないし請求項3のうち、いずれか1項に記載の窒素添加レス・オゾン発生ユニットであって、
前記オゾン電源の初期動作として所定の設定電力量(Ws)で前記オゾン電源を駆動させ、所定時間後に前記オゾン濃度計で検知したオゾン濃度(C)と設定したオゾン濃度(Cs)との比較に基づき、前記オゾン電源が供給する電力をPID制御するオゾン制御部(19)をさらに備えたことを特徴とする、
窒素添加レス・オゾン発生ユニット。 - 所定の供給流量、濃度に設定したオゾンガスをオゾン処理装置に供給する窒素添加レス・オゾン発生ユニット(7X,7Y)であって、
放電面にオゾンを生成するための光触媒物質を塗布し、オゾンガスを発生する窒素添加レス・オゾン発生器(1)と、
前記窒素添加レス・オゾン発生器に供給する電力を制御するオゾン電源(2)と、
前記オゾン発生器に関連した制御手段(3〜5、51)とを備え、
前記制御手段は、
前記窒素添加レス・オゾン発生器に入力される原料ガス流量(Q)を制御するマスフローコントローラ(MFC)(3)を含む流量検出・流量調整手段、
前記窒素添加レス・オゾン発生器が出力するオゾンガスに対して不純物や異物を除去する処理を行うガスフィルター(51)手段、
前記窒素添加レス・オゾン発生器内の圧力である内部圧力を自動制御するオートプレッシャコントローラ(APC)(4)を含む圧力検出・圧力調整手段、及び
前記窒素添加レス・オゾン発生器が出力するオゾンガスのオゾン濃度値を検出するオゾン濃度計(5)を含むオゾン濃度検知手段のうち、少なくとも2つの手段を有し、
前記窒素添加レス・オゾン発生器に外部から原料ガスを供給するための原料ガス供給口(14)と、
前記窒素添加レス・オゾン発生器から前記制御手段の少なくとも一部を介して得られるオゾンガスを外部に出力するオゾンガス出力口(15)と、
外部から得られる冷却水を前記窒素添加レス・オゾン発生器に供給及び排出するための冷却水入出口(13A,13B)と、
前記原料ガス供給口(14(14−1〜14−n))から供給される前記原料ガスに含まれる微量の水分を除去して、前記窒素添加レス・オゾン発生ユニット内に供給する超高純度水分除去器(59(59−1〜59−n))とを備え、
前記制御手段は、前記流量検出・流量調整手段、前記ガスフィルター手段、前記圧力検出・圧力調整手段及びオゾン濃度検知手段を含み、
前記窒素添加レス・オゾン発生器、前記流量検出・流量調整手段、前記ガスフィルター手段、前記圧力検出・圧力調整手段、前記オゾン濃度検知手段、前記原料ガス供給口、前記オゾンガス出力口及び前記冷却水入出口それぞれを密接して装着するガス配管集積ブロック(30)をさらに備え、
前記ガス配管集積ブロックは複数の内部配管経路(R30a〜R30f)を有し、
前記複数の内部配管経路と、前記オゾン発生器、前記流量検出・流量調整手段、前記ガスフィルター手段、前記圧力検出・圧力調整手段、前記オゾン濃度検知手段、前記原料ガス供給口、及び前記オゾンガス出力口とが繋がることにより、前記原料ガス供給口から前記流量検出および流量調整手段を介して前記窒素添加レス・オゾン発生器に至る原料ガス入力配管経路、及び前記窒素添加レス・オゾン発生器から前記ガスフィルター手段、前記オゾン濃度検知手段、前記オゾン発生器内の圧力検出および圧力調整手段を介して前記オゾンガス出力口に至るオゾンガス出力配管経路が形成されることを特徴とする、
窒素添加レス・オゾン発生ユニット。 - 複数の窒素添加レス・オゾン発生ユニット(7−1〜7−n)を有し、所定の供給流量、濃度に設定したオゾンガスを複数のオゾン処理装置に供給するオゾンガス供給システム(20)であって、
前記複数のオゾン発生ユニットはそれぞれ請求項5記載の窒素添加レス・オゾン発生ユニットを含み、
前記オゾンガス供給システムは、
前記複数の窒素添加レス・オゾン発生ユニット内の複数の前記窒素添加レス・オゾン発生器からの複数のオゾンガス出力を受け、内部に設けた複数のオゾンガス制御弁(9a,9b,9c,9bc,9ab,9ca)の開閉動作によって、前記複数のオゾンガス出力の1または複数の組合せを、前記複数のオゾン処理装置のうち任意のオゾン処理装置に選択的に出力するオゾンガス出力流量制御が実行可能なオゾンガス出力流量管理ユニット(9)と、
前記複数のオゾン処理装置からの処理オゾンガスイベント信号(16)に基づき、前記複数の窒素添加レス・オゾン発生ユニットそれぞれの前記オゾンガスの出力内容を制御し、前記オゾンガス出力流量管理ユニットに対し前記オゾンガス出力流量制御を行う、オゾンガス出力流量管理ユニット制御部(8)とをさらに備える、
オゾンガス供給システム。 - 請求項6記載のオゾンガス供給システムであって、
前記複数のオゾンガス制御弁は、電気もしくはエアー圧力によって開閉できる電動バルブもしくは空圧弁を含み、
前記オゾンガス出力流量管理ユニット制御部は、前記複数のオゾン処理装置それぞれに供給するオゾン流量、オゾン濃度を所望の値になるように、前記制御信号を出力する、
オゾンガス供給システム。 - 請求項6のオゾンガス供給システムであって、
前記オゾンガス出力流量管理ユニットは、
前記複数のオゾンガス制御弁(90x,90xy)に対応する複数のオゾンガス制御弁収納部(931,932)をさらに備え、
前記複数のオゾンガス制御弁(90x,90xy)はそれぞれ対応する前記オゾンガス制御弁収納部(931,932)内に設けられ、
前記複数のオゾンガス制御弁収納部はそれぞれ対応する前記窒素添加レス・オゾン発生ユニットにおける前記ガス配管集積ブロックに密着して装着され、前記オゾンガス出力配管経路上に介挿される、
オゾンガス供給システム。
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