JP5518867B2 - レーザ加工システムにおける補償光学ビーム整形 - Google Patents
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Description
Claims (20)
- 選択的に整形された空間強度プロファイルを有するレーザビームを用いて被加工物を加工する方法であって、
前記被加工物の第1部分を加工特性の第1セットと関連付け、前記被加工物の第2部分を加工特性の第2セットと関連付けるステップ、
第1空間強度プロファイルを前記特性の第1セットと関連付け、第2空間強度プロファイルを前記特性の第2セットと関連付けるステップであって、前記第1および第2空間強度プロファイルは対物レンズの焦点面に実質的に入射する出力レーザビームの形状にそれぞれ対応しているステップ、
入力レーザビームの位相と振幅のうち少なくとも1つを変調して、前記第1空間強度プロファイルを有する出力レーザビームを生成するステップであって、前記変調は1以上の補償光学素子によって実施されるステップ、
前記第1空間強度プロファイルを有する前記出力レーザビームを用いて前記被加工物の前記第1部分を加工するステップ、
所定のスイッチング時間の範囲内で、前記1以上の補償光学素子を用いて前記入力レーザビームの変調を調整することによって、前記出力レーザビームの前記第1空間強度プロファイルから前記出力レーザビームの前記第2空間強度プロファイルへ動的にスイッチするステップ、
前記第2空間強度プロファイルを有する前記出力レーザビームを用いて前記被加工物の前記第2部分を加工するステップ、
を有し、
前記変調は、それぞれ個別に、第1変調特性セットを用いて低次横モードを有する第1ビーム成分を変調するとともに、第2変調特性セットを用いて高次横モードを有する第2ビーム成分を変調して、パワー損失が減少した高解像度を有する前記第1空間強度プロファイルを生成する
ことを特徴とする方法。 - 前記第1空間強度プロファイルと前記第2空間強度プロファイルの間の前記スイッチング時間は、約10μsから約5msの間の範囲内にある
ことを特徴とする請求項1記載の方法。 - 前記入力レーザビームと前記出力レーザビームのうち少なくとも1つの属性を測定するステップ、
前記第1空間強度プロファイルの所定の属性と前記測定した属性の間の目標関数値を決定するステップ、
前記目標関数値に基づき前記入力レーザビームの前記変調を調整して前記第1空間強度プロファイルを最適化するステップ、
をさらに有することを特徴とする請求項1記載の方法。 - 前記1以上の補償光学素子は、可変鏡、液晶変調器、電気光学空間光変調器を含むグループから選択されている
ことを特徴とする請求項1記載の方法。 - 前記入力レーザビームを、前記低次横モードを有する前記第1ビーム成分と、前記第1ビーム成分と比較して高次の前記高次横モードを有する前記第2ビーム成分とへ空間フィルタリングするステップをさらに有する
ことを特徴とする請求項1記載の方法。 - 前記方法はさらに、
前記変調された第1ビーム成分と前記変調された第2ビーム成分を再結合して、前記パワー損失が減少した高解像度を有する第1空間強度プロファイルを生成するステップ、
を有することを特徴とする請求項5記載の方法。 - 選択的に整形された空間強度プロファイルを用いるレーザ加工システムであって、
入力レーザビームを生成するレーザ源、
前記入力レーザビームを、低次横モードを有する第1ビーム成分と、前記第1ビーム成分と比較して高次の横モードを有する第2ビーム成分とへ空間的に分離する空間フィルタ、
前記第1ビーム成分の位相と振幅のうち少なくとも1つを変調する第1補償光学素子、
前記第2ビーム成分の位相と振幅のうち少なくとも1つを変調する第2補償光学素子、
前記変調された第1ビーム成分と前記変調された第2ビーム成分を、被加工物を加工するための出力レーザビームへ再結合する光学素子、
を備えることを特徴とするシステム。 - 実質的に対物レンズの焦点面に位置する前記出力レーザビームの第1空間強度プロファイルを調整するため前記第1補償光学素子の変調と前記第2補償光学素子の変調を制御する制御システムをさらに備える
ことを特徴とする請求項7記載のシステム。 - 前記制御システムはさらに、
前記被加工物の第1部分を加工するとき前記出力レーザビームの前記第1空間強度プロファイルを選択し、
前記第1変調光学素子と前記第2補償光学素子の前記変調を変更して、前記第1空間強度プロファイルから、前記被加工物の第2部分を加工するとき実質的に前記対物レンズの焦点面に位置する第2空間強度プロファイルへスイッチする
ように構成されていることを特徴とする請求項8記載のシステム。 - 前記第1空間強度プロファイルから前記第2空間強度プロファイルへ変更するスイッチング時間は、約10μsから約5msの間の範囲内にある
ことを特徴とする請求項9記載のシステム。 - 前記入力レーザビームと前記出力レーザビームのうち少なくとも1つの特性を測定するセンサをさらに備え、
前記制御システムは、前記第1空間強度プロファイルの所定の属性と前記測定した属性の間の目標関数値を決定し、
前記制御システムは、前記目標関数値に基づき前記第1補償光学素子と前記第2補償光学素子を調整する
ことを特徴とする請求項8記載のシステム。 - 前記センサは、波面センサ、電荷結合素子(CCD)カメラ、相補型MOS(CMOS)カメラ、熱電対列アレイ、フォトダイオードアレイ、ナイフエッジ検出器、スリット検出器を含むグループから選択されている
ことを特徴とする請求項11記載のシステム。 - 前記第1補償光学素子と前記第2補償光学素子のうち少なくとも1つは、可変鏡、液晶変調器、電気光学空間光変調器を含むグループから選択されている
ことを特徴とする請求項7記載のシステム。 - 前記低次横モードはTEM00モードであることを特徴とする請求項7記載のシステム。
- 選択的に整形された空間強度プロファイルを有するレーザビームを用いて被加工物を加工する方法であって、
入力レーザビームを、低次横モードを有する第1ビーム成分と、前記第1ビーム成分と比較して高次の横モードを有する第2ビーム成分とへ空間フィルタリングするステップ、
第1変調特性セットを用いて前記第1ビーム成分の位相と振幅のうち少なくとも1つを変調するステップ、
前記第1変調特性セットとは異なる第2変調特性セットを用いて前記第2ビーム成分の位相と振幅のうち少なくとも1つを変調するステップ、
前記変調された第1ビーム成分と前記変調された第2ビーム成分を、実質的に対物レンズの焦点面に位置する第1空間強度プロファイルを有する出力レーザビームへ再結合するステップ、
前記被加工物の第1部分を前記出力レーザビームで加工するステップ、
を有することを特徴とする方法。 - 前記被加工物の前記第1部分は第1タイプの形状に関連付けられ、前記被加工物の第2部分は第2タイプの形状に関連付けられ、前記方法はさらに、
前記第1ビーム成分と前記第2ビーム成分のうち少なくとも1つの前記変調を調整し、前記第1空間強度プロファイルから、前記第2タイプの形状に関連付けられた第2空間強度プロファイルへスイッチするステップ、
前記被加工物の第2部分を、実質的に前記対物レンズの焦点面に位置する前記第2空間強度プロファイルを有する前記出力レーザビームで加工するステップ、
を有することを特徴とする請求項15記載の方法。 - 約10μsから約5msの間の範囲内のスイッチング時間の間に前記第1空間強度プロファイルから前記第2空間強度プロファイルへスイッチングするステップをさらに有する ことを特徴とする請求項16記載の方法。
- 前記入力レーザビームと前記出力レーザビームのうち少なくとも1つの特性を測定するステップ、
前記第1空間強度プロファイルの所定の特性と前記測定した特性の間の目標関数値を決定するステップ、
前記目標関数値に基づき前記第1ビーム成分と前記第2ビーム成分のうち少なくとも1つの前記変調を調整して前記第1空間強度プロファイルを最適化するステップ、
をさらに有することを特徴とする請求項15記載の方法。 - 前記第1ビーム成分と前記第2ビーム成分の少なくとも1つを変調するステップは、
可変鏡、液晶変調器、電気光学空間光変調器を含むグループから選択された補償光学素子の変調パラメータを制御するステップを有する
ことを特徴とする請求項15記載の方法。 - 入力レーザビームを生成するレーザ源、
前記入力レーザビームの位相と振幅のうち少なくとも1つを変調する補償光学素子であって、前記変調によって前記入力レーザビームの1以上の特性を補正する補償光学素子、
実質的に対物レンズの焦点面に位置する選択された空間強度プロファイルを有する出力レーザビームを生成するため、前記補正された入力レーザビームを整形する回折光学素子、
を備え、
前記変調は、それぞれ個別に、第1変調特性セットを用いて低次横モードを有する第1ビーム成分を変調するとともに、第2変調特性セットを用いて高次横モードを有する第2ビーム成分を変調する
ことを特徴とするレーザ加工システム。
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