JP5516212B2 - 感放射線性樹脂組成物及び重合体 - Google Patents
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Description
KrFエキシマレーザー光、電子線、或いはEUV光を用いたリソグラフィープロセスに適したレジストとしては、高感度化の観点から主に酸触媒反応を利用した化学増幅型レジストが用いられており、ポジ型レジストにおいては主成分として、アルカリ水溶液には不溶又は難溶性で、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶となる性質を有するフェノール性ポリマー(以下、「フェノール性酸分解性重合体」という)、及び酸発生剤からなる化学増幅型レジスト組成物が有効に使用されている。
[1]下記一般式(I)で表される繰り返し単位、及び下記一般式(II)で表される繰り返し単位のうちの少なくとも一方と、
下記一般式(1)で表される繰り返し単位と、を有する重合体を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
[2]前記重合体が、更に、下記一般式(2)〜(6)で表される繰り返し単位のうちの少なくとも1種を含有する前記[1]に記載の感放射線性樹脂組成物。
[3]前記重合体が、更に、下記一般式(7)〜(10)で表される繰り返し単位のうちの少なくとも1種を含有する前記[1]又は[2]に記載の感放射線性樹脂組成物。
[4]下記一般式(I)で表される繰り返し単位、及び下記一般式(II)で表される繰り返し単位のうちの少なくとも一方を有する重合体(p1)と、
下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有する重合体(p2)と、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
[5]下記一般式(I)で表される繰り返し単位、及び下記一般式(II)で表される繰り返し単位のうちの少なくとも一方と、
下記一般式(1)で表される繰り返し単位と、を有することを特徴とする重合体。
本発明の重合体は、KrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザー、EUV等の(極)遠紫外線、シンクロトロン放射線等のX線、電子線に有効に感応し、ナノエッジラフネス、感度及び解像度に優れ、微細パターンを高精度に且つ安定して形成可能な化学増幅型レジスト膜を成膜するための感放射線性樹脂組成物における重合体成分として、好適に用いることができる。
[1]感放射線性樹脂組成物(i)
本発明の感放射線性樹脂組成物(i)は、特定の重合体を含有することを特徴とする。
本発明の感放射線性樹脂組成物(i)に含まれる重合体(以下、「重合体(A)」ともいう。)は、アルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の重合体であって、酸の作用によりアルカリ易溶性となる重合体である。尚、ここでいう「アルカリ不溶性又はアルカリ難溶性」とは、重合体(A)を含有する感放射線性樹脂組成物から形成されたレジスト被膜からレジストパターンを形成する際に採用されるアルカリ現像条件下で、当該レジスト被膜の代わりに重合体(A)のみを用いた膜厚100nmの被膜を現像した場合に、当該被膜の初期膜厚の50%以上が現像後に残存する性質を意味する。
上記R1〜R3におけるアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、2−メチルプロピル基、1−メチルプロピル基、t−ブチル基等を挙げることができる。これらのなかでも、炭素数1〜4のものが好ましい。
上記R1〜R3におけるシクロアルキル基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等を挙げることができる。これらのなかでも、炭素数5〜6のものが好ましい。
上記R1〜R3におけるアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、i−プロポキシ基、n−ブトキシ基、2−メチルプロポキシ基、1−メチルプロポキシ基、t−ブトキシ基等を挙げることができる。これらのなかでも、炭素数1〜4のものが好ましい。
尚、アルキル基、シクロアルキル基及びアルコキシ基の各々における1以上の水素原子は置換されていてもよい。具体的な置換基としては、例えば、ハロゲン原子(フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、フェニル基、アセトキシ基、アルキル基、アルコキシ基等を挙げることができる。
また、上記R6のアリール基としては、例えば、フェニル基、1−ナフチル基、2−ナフチル基、1−アントリル基、及び1−フェナントリル基等を挙げることができる。これらのなかでも、炭素数6〜12のものが好ましい。
尚、R6のアルキル基及びアリール基の各々における1以上の水素原子は前述の置換基により置換されていてもよい。
ヘテロ原子を2つ以上有する基の具体例としては、例えば、下記式(h1)〜(h8)で表される構造の基等を挙げることができる。これらのなかでも、(h1)、(h2)で表される基が好ましい。
また、mは0〜5の整数を示し、好ましくは0〜2の整数である。
更に、nは0〜5の整数を示し、好ましくは0〜2の整数である。
上記R7〜R11におけるアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、2−メチルプロピル基、1−メチルプロピル基、t−ブチル基等を挙げることができる。これらのなかでも、炭素数1〜4のものが好ましい。また、このアルキル基における1以上の水素原子は前述の置換基により置換されていてもよい。
上記R8〜R10におけるアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、i−プロポキシ基、n−ブトキシ基、2−メチルプロポキシ基、1−メチルプロポキシ基、t−ブトキシ基等を挙げることができる。これらのなかでも、炭素数1〜4のものが好ましい。
尚、R8〜R10におけるアラルキル基、及びアルコキシ基の各々における1以上の水素原子は前述の置換基により置換されていてもよい。
また、上記R12のアリール基としては、例えば、フェニル基、1−ナフチル基、2−ナフチル基、1−アントリル基、及び1−フェナントリル基等を挙げることができる。これらのなかでも、炭素数6〜12のものが好ましい。
尚、Aにおけるアルキル基、及びアリール基の各々における1以上の水素原子は前述の置換基により置換されていてもよい。
上記Eのアリーレン基としては、例えば、フェニレン基、ナフチレン基、メチルフェニレン、エチルフェニレン、クロロフェニレン基、ブロモフェニレン基、フルオロフェニレン基等が挙げられる。これらのなかでも、炭素数6〜12のものが好ましい。
尚、Eにおけるメチレン基、アルキレン基、及びアリーレン基の各々における1以上の水素原子は前述の置換基により置換されていてもよい。
また、一般式(II−m)で表される単量体は、例えば、下記反応式で表されるように、一般式(X)で表される化合物と一般式(XX)で表される化合物とを塩化メチレン/水混合溶媒中反応させることにより製造することができる。
これらのなかでも、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデカニル基、及びシクロドデカニル基等のシクロアルキル基;アダマンチル基、デカリン残基、ノルボルニル基等が好ましい。特に、炭素数5〜15のシクロアルキル基であることが好ましい。
また、このアリール基における1以上の水素原子は置換されていてもよい。置換基の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、ヒドロキシ基、カルボキシル基、ハロゲン原子(フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、アルコキシ基(メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等)、アルキルオキシカルボニル基等を挙げることができる。
一般式(2)におけるXの酸不安定基は特に限定されないが、具体的には、下記一般式(L1)〜(L4)で示される基、炭素数4〜20(好ましくは4〜15)の三級アルキル基、各アルキル基がそれぞれ炭素数1〜6のトリアルキルシリル基、炭素数4〜20のオキソアルキル基等を挙げることができる。
一般式(L1)において、RL01及びRL02は、各々独立に、水素原子、又は炭素数1〜18(好ましくは1〜10)の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基を示す。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、2−エチルヘキシル基、n−オクチル基、ノルボルニル基、トリシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、アダマンチル基等が例示できる。
また、RL03は、炭素数1〜18(好ましくは1〜10)の酸素原子等のヘテロ原子を有してもよい一価の炭化水素基を示す。例えば、直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、これらのアルキル基における水素原子の一部がヒドロキシル基、アルコキシ基、オキソ基、アミノ基、アルキルアミノ基等に置換されたもの等を挙げることができる。具体的には下記の置換アルキル基等が例示できる。
三級アルキル基としては、具体的には、tert−ブチル基、tert−アミル基、1,1−ジエチルプロピル基、2−シクロペンチルプロパン−2−イル基、2−シクロヘキシルプロパン−2−イル基、2−(ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−2−イル)プロパン−2−イル基、2−(アダマンタン−1−イル)プロパン−2−イル基、1−エチルシクロペンチル基、1−ブチルシクロペンチル基、1−エチルシクロヘキシル基、1−ブチルシクロヘキシル基、1−エチル−2−シクロペンテニル基、1−エチル−2−シクロヘキセニル基、2−メチル−2−アダマンチル基、2−エチル−2−アダマンチル基等が例示できる。
トリアルキルシリル基としては、具体的には、トリメチルシリル基、トリエチルシリル基、ジメチル−tert−ブチルシリル基等が例示できる。
オキソアルキル基としては、具体的には、3−オキソシクロヘキシル基、4−メチル−2−オキソオキサン−4−イル基、5−メチル−2−オキソオキソラン−5−イル基等が例示できる。
また、yは0〜6の整数である。
置換されていてもよいアルキル基としては、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、tert−アミル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基、又は、これらのアルキル基における水素原子の一部がヒドロキシル基、アルコキシ基、カルボキシ基、アルコキシカルボニル基、オキソ基、アミノ基、アルキルアミノ基、シアノ基、メルカプト基、アルキルチオ基、スルホ基等に置換されたもの等が例示できる。
置換されていてもよいアリール基としては、具体的には、フェニル基、メチルフェニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナンスリル基、ピレニル基等が例示できる。
また、mは0又は1であり、nは0〜3の整数であり、2≦2m+n≦3を満たす。
RL07〜RL16はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1〜15の一価の炭化水素基を示す。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、tert−アミル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−オクチル基、n−ノニル基、n−デシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロペンチルメチル基、シクロペンチルエチル基、シクロペンチルブチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、シクロヘキシルブチル基等の直鎖状、分岐状若しくは環状のアルキル基、又は、これらのアルキル基における水素原子の一部がヒドロキシル基、アルコキシ基、カルボキシ基、アルコキシカルボニル基、オキソ基、アミノ基、アルキルアミノ基、シアノ基、メルカプト基、アルキルチオ基、スルホ基等に置換されたもの等が例示できる。
RL07〜RL16はそれらの2個が互いに結合してそれらが結合する炭素原子と共に環を形成していてもよく(例えば、RL07とRL08、RL07とRL09、RL08とRL10、RL09とRL10、RL11とRL12、RL13とRL14等)、その場合にはその結合に関与するものは炭素数1〜15の二価の炭化水素基を示し、具体的には上記一価の炭化水素基で例示したものから水素原子を1個除いたもの等が例示できる。また、RL07〜RL16は隣接する炭素に結合するもの同士で何も介さずに結合し、二重結合を形成してもよい(例えば、RL07とRL09、RL09とRL15、RL13とRL15等)。
RL41はそれぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基等の1価炭化水素基を示す。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、tert−アミル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等を例示できる。
上記繰り返し単位(1)の含有量は、重合体(A)における全繰り返し単位の合計を100モル%とした場合に、5モル%以上であることが好ましく、より好ましくは5〜50モル%、更に好ましくは10〜45モル%である。この含有量が5モル%以上あると、ナノエッジラフネスに優れるものとすることができる。
上記繰り返し単位(2)〜(6)の含有量の合計は、重合体(A)における全繰り返し単位の合計を100モル%とした場合に、5〜95モル%であることが好ましく、より好ましくは10〜90モル%、更に好ましくは10〜80モル%である。この含有量が5モル%以上である場合には、ナノエッジラフネスに優れるものとすることができる。
上記繰り返し単位(7)〜(10)の含有量の合計は、重合体(A)における全繰り返し単位の合計を100モル%とした場合に、5〜95モル%であることが好ましく、より好ましくは10〜90モル%、更に好ましくは10〜80モル%である。この含有量が5モル%以上である場合には、ナノエッジラフネスに優れるものとすることができる。
尚、この重合の際には、必要に応じて、2,2,6,6−テトラメチル−1−ピペリジニルオキシ、沃素、メルカプタン、スチレンダイマー等の重合助剤を添加することもできる。
また、反応時間は、開始剤の種類や反応温度により異なるが、開始剤が50%以上消費される反応時間が望ましく、多くの場合0.5〜24時間程度である。
また、反応時間は、開始剤の種類や反応温度により異なるが、開始剤が50%以上消費される反応時間が望ましく、多くの場合0.5〜24時間程度である。
更に、塩基としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の無機塩基;トリエチルアミン、N−メチル−2−ピロリドン、ピペリジン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等の有機塩基等が挙げられる。
これらのなかでも、アセトン、メチルアミルケトン、メチルエチルケトン、テトラヒドロフラン、メタノール、エタノール、プロパノール、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等が好ましい。
また、重合体(A)のMwと、GPCで測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」ともいう)との比(Mw/Mn)は、通常1〜5であり、より好ましくは1〜3、更に好ましくは1〜2.5である。
本発明の感放射線性樹脂組成物(i)は、上記重合体(A)以外に、酸拡散制御剤(以下、「酸拡散制御剤(B)」ともいう)を更に含有することが好ましい。
酸拡散制御剤(B)は、露光により重合体(A)から生じる酸の、レジスト膜(レジスト被膜)中における拡散現象を制御し、非露光領域における好ましくない化学反応を抑制する作用を有する成分である。
本発明の感放射線性樹脂組成物においては、この酸拡散制御剤(B)が配合されることにより、得られる感放射線性樹脂組成物の貯蔵安定性が向上すると共に、形成されるレジスト膜の解像度を十分に向上させることができる。更には、露光後から露光後の加熱処理までの引き置き時間(PED)の変動に起因するレジストパターンの線幅変化を抑えることができ、プロセス安定性に極めて優れた感放射線性樹脂組成物が得られる。
上記含窒素有機化合物としては、例えば、下記一般式(i)で表される化合物(以下、「含窒素化合物(i)」という)、同一分子内に窒素原子を2個有する化合物(以下、「含窒素化合物(ii)」という)、窒素原子を3個以上有するポリアミノ化合物や重合体(以下、これらをまとめて「含窒素化合物(iii)」という)、アミド基含有化合物、ウレア化合物、含窒素複素環化合物等を挙げることができる。
また、上記置換基を有してもよい脂環式炭化水素基としては、上記一般式(a−1)〜(a−50)の構造等が挙げられる。尚、この脂環式炭化水素基は、ヒドロキシ基、カルボキシル基、ハロゲン原子(フッ素原子、臭素原子等)、アルコキシ基(メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、t−ブトキシ基等)、アルキルオキシカルボニル基(t−ブトキシカルボニルメチルオキシ基等)等の置換基により置換されていてもよい。
更に、上記ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられる。
尚、上記式(B1)において、R13は、全て同一であってもよいし、一部又は全てが異なっていてもよい。また、上記式(B2)において、R14は、同一であってもよいし、異なっていてもよい。
上記R15の1価の有機基としては、例えば、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基を挙げることができる。
特に、上記Z−としては、CH3COO−、及び下記式で表される化合物(Z−1)〜(Z−4)であることが好ましい。
本発明の感放射線性樹脂組成物(i)は、上記重合体(A)以外に、活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する他の酸発生化合物を含有していてもよい。
本発明における重合体(A)中の上記繰り返し単位(I)及び(II)の合計と、他の酸発生化合物との比率は、モル比で100/0〜20/80、好ましくは100/0〜40/60、更に好ましくは100/0〜50/50である。
他の酸発生化合物としては、光カチオン重合の光開始剤、光ラジカル重合の光開始剤、色素類の光消色剤、光変色剤、或いはマイクロレジスト等に使用されている公知の光により酸を発生する化合物及びそれらの混合物を適宜に選択して使用することができる。
(1)トリハロメチル基が置換した下記一般式(PAG1)で表されるオキサゾール誘導体又は一般式(PAG2)で表されるS−トリアジン誘導体。
本発明の感放射線性樹脂組成物(i)は、上記重合体(A)以外に、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂(以下、他の樹脂(X)ともいう。)を含有していてもよい。
この他の樹脂(X)としては、樹脂の主鎖又は側鎖、或いは、主鎖及び側鎖の両方に、酸で分解し得る基を有する樹脂である。この内、酸で分解し得る基を側鎖に有する樹脂がより好ましい。
酸で分解し得る基として好ましい基は、−COOA0、−O−B0基であり、更にこれらを含む基としては、−R0−COOA0、又は−Ar−O−B0で示される基が挙げられる。
ここでA0は、−C(R01)(R02)(R03)、−Si(R01)(R02)(R03)若しくは−C(R04)(R05)−O−R06基を示す。B0は、−A0又は−CO−O−A0基を示す(R0、R01〜R06、及びArは後述のものと同義である)。
また、矩形プロファイルを達成する点から遠紫外光やエキシマレーザー光に対する透過率が高いアルカリ可溶性樹脂が好ましい。好ましくは、1μm膜厚の248nmでの透過率が20〜90%である。
このような観点から、特に好ましいアルカリ可溶性樹脂は、o−,m−,p−ポリ(ヒドロキシスチレン)及びこれらの共重合体、水素化ポリ(ヒドロキシスチレン)、ハロゲン若しくはアルキル置換ポリ(ヒドロキシスチレン)、ポリ(ヒドロキシスチレン)の一部、O−アルキル化若しくはO−アシル化物、スチレン−ヒドロキシスチレン共重合体、α−メチルスチレン−ヒドロキシスチレン共重合体及び水素化ノボラック樹脂である。
ここで、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーのポリスチレン換算値をもって定義される。
本発明の感放射線性樹脂組成物(i)は、上記重合体(A)、他の樹脂(X)以外に、水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂(以下、アルカリ可溶性樹脂ともいう。)を含有していてもよい。
上記アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、ノボラック樹脂、水素化ノボラック樹脂、アセトン−ピロガロール樹脂、o−ポリヒドロキシスチレン、m−ポリヒドロキシスチレン、p−ポリヒドロキシスチレン、水素化ポリヒドロキシスチレン、ハロゲン若しくはアルキル置換ポリヒドロキシスチレン、ヒドロキシスチレン−N−置換マレイミド共重合体、o/p−及びm/p−ヒドロキシスチレン共重合体、ポリヒドロキシスチレンの水酸基に対する一部O−アルキル化物(例えば、5〜30モル%のO−メチル化物、O−(1−メトキシ)エチル化物、O−(1−エトキシ)エチル化物、O−2−テトラヒドロピラニル化物、O−(t−ブトキシカルボニル)メチル化物等)若しくはO−アシル化物(例えば、5〜30モル%のo−アセチル化物、O−(t−ブトキシ)カルボニル化物等)、スチレン−無水マレイン酸共重合体、スチレン−ヒドロキシスチレン共重合体、α−メチルスチレン−ヒドロキシスチレン共重合体、カルボキシル基含有メタクリル系樹脂及びその誘導体を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
特に好ましいアルカリ可溶性樹脂はノボラック樹脂及びo−ポリヒドロキシスチレン、m−ポリヒドロキシスチレン、p−ポリヒドロキシスチレン及びこれらの共重合体、アルキル置換ポリヒドロキシスチレン、ポリヒドロキシスチレンの一部O−アルキル化、若しくはO−アシル化物、スチレン−ヒドロキシスチレン共重合体、α−メチルスチレン−ヒドロキシスチレン共重合体である。該ノボラック樹脂は所定のモノマーを主成分として、酸性触媒の存在下、アルデヒド類と付加縮合させることにより得られる。
これらのアルデヒド類は、単独で若しくは2種類以上組み合わせて用いられる。酸性触媒としては塩酸、硫酸、ギ酸、酢酸、シュウ酸等を使用することができる。
また、ノボラック樹脂以外の上記ポリヒドロキシスチレン、及びその誘導体、共重合体の重量平均分子量は、2000以上、好ましくは5000〜200000、より好ましくは10000〜100000である。また、レジスト膜の耐熱性を向上させるという観点からは、25000以上が好ましい。
ここで、重量平均分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィーのポリスチレン換算値をもって定義される。
上記アルカリ可溶性樹脂は2種類以上混合して使用しても良い。アルカリ可溶性樹脂の使用量は、感放射線性樹脂組成物の全質量(溶媒を除く)を基準として、40〜97質量%、好ましくは60〜90質量%である。
本発明の感放射線性樹脂組成物(i)は、上記重合体(A)以外に、低分子酸分解性溶解阻止化合物を含有していてもよい。
上記酸分解性溶解阻止化合物としては、その構造中に酸で分解し得る基を少なくとも2個有し、該酸分解性基間の距離が最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を少なくとも8個経由する化合物である。
本発明において、好ましくは酸分解性溶解阻止化合物は、その構造中に酸で分解し得る基を少なくとも2個有し、該酸分解性基間の距離が最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を少なくとも10個、好ましくは少なくとも11個、更に好ましくは少なくとも12個経由する化合物、又は酸分解性基を少なくとも3個有し、該酸分解性基間の距離が最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を少なくとも9個、好ましくは少なくとも10個、更に好ましくは少なくとも11個経由する化合物である。又、上記結合原子の好ましい上限は50個、更に好ましくは30個である。
本発明において、酸分解性溶解阻止化合物が、酸分解性基を3個以上、好ましくは4個以上有する場合、又酸分解性基を2個有するものにおいても、該酸分解性基が互いにある一定の距離以上離れている場合、アルカリ可溶性樹脂に対する溶解阻止性が著しく向上する。
尚、本発明における酸分解性基間の距離は、酸分解性基を除く、経由結合原子数で示される。例えば、以下の化合物(1)及び(2)の場合、酸分解性基間の距離は、各々結合原子4個であり、化合物(3)では結合原子12個である。
更に、酸分解性溶解阻止化合物の分子量は3,000以下であり、好ましくは500〜3,000、更に好ましくは1,000〜2,500である。
ここで、A0は、−C(R01)(R02)(R03)、−Si(R01)(R02)(R03)若しくは−C(R04)(R05)−O−R06基を示す。B0は、A0又は−CO−O−A0基を示す。
R01、R02、R03、R04及びR05は、それぞれ同一でも相異していても良く、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基若しくはアリール基を示し、R06はアルキル基若しくはアリール基を示す。但し、R01〜R03の内少なくとも2つは水素原子以外の基であり、又、R01〜R03、及びR04〜R06の内の2つの基が結合して環を形成してもよい。R0は置換基を有していても良い2価以上の脂肪族若しくは芳香族炭化水素基を示し、−Ar−は単環若しくは多環の置換基を有していても良い2価以上の芳香族基を示す。
また、置換基としては水酸基、ハロゲン原子(フツ素、塩素、臭素、ヨウ素)、ニトロ基、シアノ基、上記のアルキル基、メトキシ基・エトキシ基・ヒドロキシエトキシ基・プロポキシ基・ヒドロキシプロポキシ基・n−ブトキシ基・イソブトキシ基・sec−ブトキシ基・t−ブトキシ基等のアルコキシ基、メトキシカルボニル基・エトキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基、ベンジル基・フエネチル基・クミル基等のアラルキル基、アラルキルオキシ基、ホルミル基・アセチル基・ブチリル基・ベンゾイル基・シアナミル基・バレリル基等のアシル基、ブチリルオキシ基等のアシロキシ基、上記のアルケニル基、ビニルオキシ基・プロペニルオキシ基・アリルオキシ基・ブテニルオキシ基等のアルケニルオキシ基、上記のアリール基、フエノキシ基等のアリールオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアリールオキシカルボニル基を挙げることができる。
R150、R151:同一でも異なっていても良く、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、−OH、−COOH、−CN、ハロゲン原子、−R152−COOR153若しくは−R154−OH、
R152、R154:アルキレン基、
R153:水素原子、アルキル基、アリール基、若しくはアラルキル基、
R99、R103〜R107、R109、R111〜R118、R121〜R123、R128〜R129、R131〜R134、R138〜R141及びR143:同一でも異なっても良く、水素原子、水酸基、アルキル基、アルコキシ基、アシル基、アシロキシ基、アリール基、アリールオキシ基、アラルキル基、アラルキルオキシ基、ハロゲン原子、ニトロ基、カルボキシル基、シアノ基、若しくは−N(R155)(R156)(R155、R156:H、アルキル基、若しくはアリール基)
R110:単結合、アルキレン基、若しくは
R158:水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アシル基、アシロキシ基、アリール基、ニトロ基、水酸基、シアノ基、若しくはカルボキシル基、但し、水酸基が酸分解性基(例えば、t−ブトキシカルボニルメチル基、テトラヒドロピラニル基、1−エトキシ−1−エチル基、1−t−ブトキシ−1−エチル基)で置換されてもよい。
R124〜R127:同一でも異なっても良く、水素原子若しくはアルキル基、
R135〜R137:同一でも異なっても良く、水素原子,アルキル基、アルコキシ基、アシル基、若しくはアシロキシ基、
R142:水素原子,−R0−COO−C(R01)(R02)(R03)又は−CO−O−C(R01)(R02)(R03)、若しくは
R146〜R149:同一でも異なっていても良く、水素原子、水酸基、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、カルボニル基、アルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アラルキル基、アラルキルオキシ基、アシル基、アシロキシ基、アルケニル基、アルケニルオキシ基、アリール基、アリールオキシ基、若しくはアリールオキシカルボニル基、但し、各4個の同一記号の置換基は同一の基でなくても良い、
Y:−CO−、若しくは−SO2−、
Z、B:単結合、若しくは−O−、
A:メチレン基、低級アルキル置換メチレン基、ハロメチレン基、若しくはハロアルキル基、
E:単結合、若しくはオキシメチレン基、
a〜z、a1〜y1:複数の時、()内の基は同一又は異なっていてもよい、
a〜q、s、t、v、g1〜i1、k1〜m1、o1、q1、s1、u1:0若しくは1〜5の整数、
r、u、w、x、y、z、a1〜f1、p1、r1、t1、v1〜x1:0若しくは1〜4の整数、
j1、n1、z1、a2、b2、c2、d2:0若しくは1〜3の整数、
z1、a2、c2、d2のうち少なくとも1つは1以上、
y1:3〜8の整数、
(a+b)、(e+f+g)、(k+l+m)、(q+r+s)、(w+x+y)、(c1+d1)、(g1+h1+i1+j1)、(o1+p1)、
(s1+t1)≧2、
(j1+n1)≦3、
(r+u)、(w+z)、(x+a1)、(y+b1)、(c1+e1)、(d1+f1)、(p1+r1)、(t1+v1)、(x1+w1)≦4
、但し一般式[V]の場合は(w+z)、(x+a1)≦5、
(a+c)、(b+d)、(e+h)、(f+i)、(g+j)、(k+n)、(l+o)、(m+p)、(q+t)、(s+v)、(g1+k1)、(h1+l1)、(i1+m1)、(o1+q1)、(s1+u1)≦5、
を表す。
本発明の感放射線性樹脂組成物(i)には、必要に応じて、更に、染料、顔料、可塑剤、界面活性剤、光増感剤、及び現像液に対する溶解性を促進させるフェノール性OH基を2個以上有する化合物等を含有させることができる。
また、これらの分光増感剤は、光源の遠紫外光の吸光剤としても使用可能である。この場合、吸光剤は基板からの反射光を低減し、レジスト膜内の多重反射の影響を少なくさせることで、定在波改良の効果を発現する。
本発明の感放射線性樹脂組成物(i)に用いられる溶剤としては、例えば、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、2−ヘプタノン、γ−ブチロラクトン、メチルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−メトキシエチルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N−メチルピロリドン、テトラヒドロフラン等が好ましく用いられる。これらの溶媒は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
この界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリルエーテル類、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロックコポリマー類、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタントリステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテ−ト、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤、エフトップEF301、EF303、EF352(新秋田化成(株)製)、メガファックF171、F173(大日本インキ(株)製)、フロラ−ドFC430、FC431(住友スリーエム(株)製)、アサヒガードAG710、サーフロンS−382、SC101、SC102、SC103、SC104、SC105、SC106(旭硝子(株)製)等のフッ素系界面活性剤、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)やアクリル酸系若しくはメタクリル酸系(共)重合ポリフローNo.75、No.95(共栄社油脂化学工業(株)製)等を挙げることができる。
界面活性剤の配合量は、本発明の組成物中の固形分100質量部当たり、通常、2質量部以下、好ましくは1質量部以下である。
これらの界面活性剤は1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の感放射線性樹脂組成物(ii)は、特定の重合体(p1)及び(p2)を含有することを特徴とする。
本発明の感放射線性樹脂組成物(ii)は、重合体成分(以下、「重合体成分(P)」ともいう。)として、上記繰り返し単位(I)、及び上記繰り返し単位(II)のうちの少なくとも一方を有する重合体(p1)を含有する。
この重合体(p1)において、繰り返し単位(I)及び(II)は、それぞれ、1種のみ含まれていてもよいし、2種以上含まれていてもよい。
尚、この重合体(p1)は、上記繰り返し単位(1)を含有しないものである。
これらの繰り返し単位(2)〜(10)は、それぞれ、1種のみ含まれていてもよいし、2種以上含まれていてもよい。
上記繰り返し単位(2)〜(6)の含有量の合計は、重合体(p1)における全繰り返し単位の合計を100モル%とした場合に、10〜95モル%であることが好ましく、より好ましくは20〜95モル%、更に好ましくは30〜95モル%である。この含有量が10〜95モル%である場合には、ナノエッジラフネスに優れるものとすることができる。
上記繰り返し単位(7)〜(10)の含有量の合計は、重合体(p1)における全繰り返し単位の合計を100モル%とした場合に、5〜90モル%であることが好ましく、より好ましくは5〜80モル%、更に好ましくは5〜70モル%である。この含有量が5〜90モル%である場合には、ナノエッジラフネスに優れるものとすることができる。
また、重合体(A)のMwと、GPCで測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」ともいう)との比(Mw/Mn)は、通常1〜5であり、より好ましくは1〜3、更に好ましくは1〜2.5である。
この重合体(p2)において、繰り返し単位(1)は、1種のみ含まれていてもよいし、2種以上含まれていてもよい。
尚、この重合体(p2)は、上記繰り返し単位(I)又は(II)を含有しないものである。
これらの繰り返し単位(2)〜(10)は、それぞれ、1種のみ含まれていてもよいし、2種以上含まれていてもよい。
上記繰り返し単位(2)〜(6)の含有量の合計は、重合体(p2)における全繰り返し単位の合計を100モル%とした場合に、10〜95モル%であることが好ましく、より好ましくは20〜95モル%、更に好ましくは30〜95モル%である。この含有量が10〜95モル%である場合には、ナノエッジラフネスに優れるものとすることができる。
上記繰り返し単位(7)〜(10)の含有量の合計は、重合体(p2)における全繰り返し単位の合計を100モル%とした場合に、5〜90モル%であることが好ましく、より好ましくは5〜80モル%、更に好ましくは10〜70モル%である。この含有量が5〜90モル%である場合には、ナノエッジラフネスに優れるものとすることができる。
また、重合体(A)のMwと、GPCで測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」ともいう)との比(Mw/Mn)は、通常1〜5であり、より好ましくは1〜3、更に好ましくは1〜2.5である。
本発明の感放射線性樹脂組成物(ii)は、上記重合体成分(P)以外に、上述の感放射線性樹脂組成物(i)において説明した上記酸拡散制御剤(B)を更に含有することが好ましい。この酸拡散制御剤(B)は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
酸拡散制御剤(B)の配合量は、重合体(p1)及び(p2)の合計100質量部に対して、15質量部以下であることが好ましく、より好ましくは0.001〜10質量部、更に好ましくは0.005〜5質量部である。この酸拡散制御剤(B)の配合量が15質量部を超えると、形成したレジスト膜の感度や露光部の現像性が低下するおそれがある。一方、この配合量が0.001質量部未満であると、プロセス条件によっては、形成したレジスト膜のパターン形状や寸法忠実度が低下するおそれがある。
本発明の感放射線性樹脂組成物(ii)は、上記重合体成分(P)以外に、上述の感放射線性樹脂組成物(i)において説明した、活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する他の酸発生化合物を含有していてもよい。この他の酸発生化合物は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明における重合体(p1)中の上記繰り返し単位(I)及び(II)の合計と、他の酸発生化合物との比率は、モル比で100/0〜20/80、好ましくは100/0〜40/60、更に好ましくは100/0〜50/50である。
本発明の感放射線性樹脂組成物(ii)は、上記重合体成分(P)以外に、上述の感放射線性樹脂組成物(i)において説明した、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する他の樹脂(X)を含有していてもよい。この他の樹脂(X)は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明における樹脂(X)の使用量は、感放射線性樹脂組成物の全質量(溶媒を除く)を基準として40〜99質量%、好ましくは60〜95質量%である。更に、アルカリ溶解性を調節するために、酸で分解し得る基を有さないアルカリ可溶性樹脂を混合しても良い。
本発明の感放射線性樹脂組成物(ii)は、上記重合体成分(P)、上記他の樹脂(X)以外に、上述の感放射線性樹脂組成物(i)において説明した、水不溶でアルカリ水溶液に可溶なアルカリ可溶性樹脂を含有していてもよい。このアルカリ可溶性樹脂は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の使用量は、感放射線性樹脂組成物の全質量(溶媒を除く)を基準として、40〜97質量%、好ましくは60〜90質量%である。
本発明の感放射線性樹脂組成物(ii)は、上記重合体成分(P)以外に、上述の感放射線性樹脂組成物(i)において説明した低分子酸分解性溶解阻止化合物を含有していてもよい。この低分子酸分解性溶解阻止化合物は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
上記溶解阻止化合物の添加量は、重合体(p1)及び(p2)の合計100質量部に対して3〜50質量%であり、好ましくは5〜40質量%、より好ましくは10〜35質量%の範囲である。
本発明の感放射線性樹脂組成物(ii)には、必要に応じて、更に、上述の感放射線性樹脂組成物(i)において説明した染料、顔料、可塑剤、界面活性剤、光増感剤、及び、現像液に対する溶解性を促進させるフェノール性OH基を2個以上有するフェノール化合物等を含有させることができる。
上記フェノール化合物の添加量は重合体(p1)及び(p2)の合計100質量部に対して2〜50質量%であり、更に好ましくは5〜30質量%である。50質量%を越えた添加量では、現像残渣が悪化し、また現像時にパターンが変形するという新たな欠点が発生して好ましくない。
本発明の感放射線性樹脂組成物(ii)に用いられる溶剤としては、上述の感放射線性樹脂組成物(i)において説明した溶剤を用いることができる。これらの溶媒は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の感放射線性樹脂組成物(i)及び(ii)は、化学増幅型ポジ型レジスト膜を成膜可能な材料として有用である。
上記化学増幅型ポジ型レジスト膜においては、露光により重合体成分〔上記重合体(A)若しくは上記重合体(p1)〕から発生した酸の作用によって、重合体成分中の酸解離性基が脱離し、重合体成分がアルカリ可溶性となる。即ち、レジスト膜に、アルカリ可溶性部位が生じる。このアルカリ可溶性部位は、レジストの露光部であり、この露光部はアルカリ現像液によって溶解、除去することができる。このようにして所望の形状のポジ型のレジストパターンを形成することができる。以下、具体的に説明する。
また、現像液は、pH8〜14であることが好ましく、より好ましくはpH9〜14である。
尚、アルカリ性水溶液からなる現像液で現像した後は、水で洗浄して乾燥することもできる。
<Mw(重量平均分子量)及びMn(数平均分子量)>
樹脂の分子量(Mw、Mn)測定には、MALLSを検出器として用いた。東ソー社製GPCカラム(TSKgel α−2500、TSKgel α−M)を用い、流量1.0ミリリットル/分、溶出溶媒としてLiBrを30mmol/lとH3PO4を10mmol/l溶解させたジメチルホルムアミドを用い、カラム温度40℃の分析条件で、MALLS(Wyatt社製、DAWN DSP、セルタイプK5、レーザー波長632.8nm)を検出器として用いるゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)により測定した。
<13C−NMR分析>
日本電子社製核磁気共鳴装置「JNM−EX270」(型式名)を用いて測定した。
<重合体A−1の合成(合成例1)>
下記化合物(P−1)20.45g(10モル%)、下記化合物(M−1)47.10g(50モル%)、下記化合物(M−2)32.43g(40モル%)、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)5.99gを、2−ブタノン200gに溶解し、単量体溶液を調製した。一方、100gの2−ブタノンを投入した500mlの3つ口フラスコを30分窒素パージした。窒素パージの後、反応釜を撹拌しながら80℃に加熱し、事前に準備した上記単量体溶液を反応釜に滴下漏斗を用いて3時間かけて滴下した。滴下開始を重合開始時間とし、重合反応を6時間実施した。重合終了後、重合溶液を水冷により30℃以下に冷却し、冷却後、2000gの2−プロパノールへ投入し、析出した白色固体をろ別した。次いで、ろ別された白色粉末を100gの2−プロパノールにてスラリー状で2回洗浄した。その後、ろ別し、50℃にて12時間乾燥し、白色粉末の重合体を得た(52g、収率52%)。
この重合体はMwが6000、Mw/Mnが2.3であり、13C−NMR分析の結果、化合物(P−1)由来の繰り返し単位:化合物(M−1)由来の繰り返し単位:化合物(M−2)由来の繰り返し単位の含有量比率(モル比)が11:48:41の共重合体であった。以下、この重合体を重合体(A−1)とする。
下記化合物(P−2)20.42g(10モル%)、下記化合物(M−1)39.19g(40モル%)、下記化合物(M−2)33.71g(40モル%)、下記化合物(M−3)6.68g(10モル%)、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)6.23gを、2−ブタノン200gに溶解し、単量体溶液を調製した。一方、100gの2−ブタノンを投入した500mlの3つ口フラスコを30分窒素パージした。窒素パージの後、反応釜を撹拌しながら80℃に加熱し、事前に準備した上記単量体溶液を反応釜に滴下漏斗を用いて3時間かけて滴下した。滴下開始を重合開始時間とし、重合反応を6時間実施した。重合終了後、重合溶液を水冷により30℃以下に冷却し、冷却後、2000gの2−プロパノールへ投入し、析出した白色固体をろ別した。次いで、ろ別された白色粉末を100gの2−プロパノールにてスラリー状で2回洗浄した。その後、ろ別し、50℃にて12時間乾燥し、白色粉末の重合体を得た(55g、収率55%)。
この重合体はMwが6100、Mw/Mnが2.2であり、13C−NMR分析の結果、化合物(P−2)由来の繰り返し単位:化合物(M−1)由来の繰り返し単位:化合物(M−2)由来の繰り返し単位:化合物(M−3)由来の繰り返し単位の含有量比率(モル比)が11:37:42:10の共重合体であった。以下、この重合体を重合体(A−2)とする。
化合物(M−1)を47.10g(50モル%)と、化合物(M−2)40.54g(50モル%)を用いた以外は合成例1と同様にして、Mwが7000、Mw/Mnが2.4であり、13C−NMR分析の結果、化合物(M−1)由来の繰り返し単位:化合物(M−2)由来の繰り返し単位の含有量比率(モル比)が50:50の共重合体を合成した。以下、この重合体を重合体(A−3)とする。
下記化合物(P−1)23.74g(10モル%)、下記化合物(M−4)38.60g(50モル%)、下記化合物(M−2)37.65g(40モル%)、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)6.96gを、2−ブタノン200gに溶解し、単量体溶液を調製した。一方、100gの2−ブタノンを投入した500mlの3つ口フラスコを30分窒素パージした。窒素パージの後、反応釜を撹拌しながら80℃に加熱し、事前に準備した上記単量体溶液を反応釜に滴下漏斗を用いて3時間かけて滴下した。滴下開始を重合開始時間とし、重合反応を6時間実施した。重合終了後、重合溶液を水冷により30℃以下に冷却し、冷却後、2000gの2−プロパノールへ投入し、析出した白色固体をろ別した。次いで、ろ別された白色粉末を100gの2−プロパノールにてスラリー状で2回洗浄した。その後、ろ別し、50℃にて12時間乾燥し、白色粉末の重合体を得た(50g、収率50%)。
この重合体はMwが5500、Mw/Mnが2.0であり、13C−NMR分析の結果、化合物(P−1)由来の繰り返し単位:化合物(M−4)由来の繰り返し単位:化合物(M−2)由来の繰り返し単位の含有量比率(モル比)が11:47:42の共重合体であった。以下、この重合体を重合体(A−4)とする。
<実施例1〜3及び比較例1>
表1に示す割合で、(A)重合体、(B)酸拡散制御剤、及び(D)溶剤を混合し、得られた混合液を孔径200nmのメンブランフィルターでろ過することにより、実施例1〜3及び比較例1の各組成物溶液(感放射線性樹脂組成物)を調製した。
(A)重合体
(A−1)〜(A−4):上記重合体(A−1)〜(A−4)
(B)酸拡散制御剤
(B−1):トリ−n−オクチルアミン
(D)溶剤
(D−1):プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(D−2):シクロヘキサノン
東京エレクトロン社製の「クリーントラックACT−8」内で、シリコンウエハー上に各組成物溶液(実施例1〜3及び比較例1の各感放射線性樹脂組成物)をスピンコートした後、表2に示す条件でPB(加熱処理)を行い、膜厚60nmのレジスト被膜を形成した。その後、簡易型の電子線描画装置(日立製作所社製、型式「HL800D」、出力;50KeV、電流密度;5.0アンペア/cm2)を用いてレジスト被膜に電子線を照射した。電子線の照射後、表2に示す条件でPEBを行った。その後、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用い、23℃で1分間、パドル法により現像した後、純水で水洗し、乾燥して、レジストパターンを形成した。このようにして形成したレジストについて下記項目の評価を行った。尚、実施例1〜3及び比較例1の各感放射線性樹脂組成物の評価結果を表2に併記する。
線幅150nmのライン部と、隣り合うライン部によって形成される間隔が150nmのスペース部(即ち、溝)と、からなるパターン〔いわゆる、ライン・アンド・スペースパターン(1L1S)〕を1対1の線幅に形成する露光量を最適露光量とし、この最適露光量により感度を評価した。
図1は、ライン・アンド・スペースパターンの形状を模式的に示す平面図である。また、図2は、ライン・アンド・スペースパターンの形状を模式的に示す断面図である。
設計線幅150nmのライン・アンド・スペースパターン(1L1S)のラインパターンを、半導体用走査電子顕微鏡(高分解能FEB測長装置、商品名「S−9220」、日立製作所社製)にて観察した。観察された形状について、図1及び図2に示すように、シリコンウエハー1上に形成したレジスト膜のライン部2の横側面2aに沿って生じた凹凸の最も著しい箇所における線幅と、設計線幅150nmとの差「ΔCD」を、CD−SEM(日立ハイテクノロジーズ社製、「S−9220」)にて測定することにより、ナノエッジラフネスを評価した。
ライン・アンド・スペースパターン(1L1S)について、最適露光量により解像されるラインパターンの最小線幅(nm)を解像度とした。
2;レジストパターン
2a;レジストパターンの横側面
Claims (5)
- 下記一般式(I)で表される繰り返し単位、及び下記一般式(II)で表される繰り返し単位のうちの少なくとも一方と、
下記一般式(1)で表される繰り返し単位と、を有する重合体を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
- 下記一般式(I)で表される繰り返し単位、及び下記一般式(II)で表される繰り返し単位のうちの少なくとも一方を有する重合体(p1)と、
下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有する重合体(p2)と、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
- 下記一般式(I)で表される繰り返し単位、及び下記一般式(II)で表される繰り返し単位のうちの少なくとも一方と、
下記一般式(1)で表される繰り返し単位と、を有することを特徴とする重合体。
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