JP5510151B2 - Abrasive cloth and method for producing the same - Google Patents

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本発明は、研磨布、特に磁気記録ディスクに用いられるアルミニウム合金基板やガラス基板を、超高精度の仕上げで研磨加工および/またはクリーニング加工を施す際に好適に用いられ得る研磨布に関するものである。   The present invention relates to a polishing cloth, and particularly to a polishing cloth that can be suitably used when an aluminum alloy substrate or a glass substrate used for a magnetic recording disk is subjected to polishing and / or cleaning processing with an ultra-high precision finish. .

磁気記録ディスクは、近年の高記憶密度化に伴い、ディスク表面の極限までの平滑化が求められている。近年の記録方式は、磁性膜内の磁化容易軸が垂直方向に配向した垂直記録媒体が主流となっているため、磁性層形成前の基板に凹凸や傷が存在すると磁性膜製膜時後に磁化容易軸が傾き異常部となる恐れがある。そのため、磁性膜形成前のディスク表面は、基板表面粗さを0.1nm以下とし、かつスクラッチ欠点と呼ばれる基板表面の傷を極小化することが要求されている。また、垂直記録媒体以降の記録方式においても、磁性層製膜前の基板への要求は前記と同様極限までの平滑化である。
磁気記録ディスクの基板には、硬質ポリウレタンフォームなどからなる研磨パッドによってスラリー研削を行った後、微小な傷や突起を研削して平滑性を高めるべく、研磨布の表面に遊離砥粒を付着させ、研磨加工を行う方法が用いられている。
With the recent increase in storage density, magnetic recording disks are required to be smooth to the limit of the disk surface. In recent recording methods, since perpendicular recording media in which the easy axis of magnetization in the magnetic film is oriented in the vertical direction have become mainstream, if there are irregularities or scratches on the substrate before the magnetic layer is formed, the magnetic film is magnetized after film formation. There is a risk that the easy axis may become an abnormal portion of tilt. Therefore, it is required that the surface of the disk before forming the magnetic film has a substrate surface roughness of 0.1 nm or less and minimizes scratches on the substrate surface called scratch defects. Also, in the recording method after the perpendicular recording medium, the requirement for the substrate before the magnetic layer is formed is smoothing to the limit as described above.
Slurry grinding is performed on the magnetic recording disk substrate with a polishing pad made of hard polyurethane foam, etc., and then free abrasive grains are adhered to the surface of the polishing cloth in order to increase the smoothness by grinding minute scratches and protrusions. A method of performing polishing is used.

研磨加工とは具体的には、磁気記録ディスクの基板を連続回転させた状態で、テープ状の研磨布(研磨テープ)をゴムローラーにより基板に押し付けながら、基板の径方向に往復運動させ、連続的に研磨テープを走行させる。このとき、スラリーを研磨テープと基板との間に供給し、スラリー中に含まれる遊離砥粒が、研磨テープ表面の繊維に微分散した状態で把持され、基板に押し付けられることによって研磨を行うものである。また、同加工において、遊離砥粒を用いないクリーニング加工も行われている。   Specifically, the polishing process is performed by continuously reciprocating the substrate in the radial direction of the substrate while pressing the tape-like polishing cloth (polishing tape) against the substrate with a rubber roller while the substrate of the magnetic recording disk is continuously rotated. The abrasive tape is run. At this time, the slurry is supplied between the polishing tape and the substrate, and the free abrasive grains contained in the slurry are gripped in a state of being finely dispersed in the fibers on the surface of the polishing tape and pressed against the substrate for polishing. It is. In the same process, a cleaning process that does not use loose abrasive grains is also performed.

研磨加工やクリーニング加工において用いられる研磨布としては、従来、不織布を構成する繊維を極細化して磁気記録ディスクの基板表面粗さを小さくし、さらに不織布に弾性重合体を含浸させてクッション性を持たせることによりスクラッチ欠点を極少化するという提案がなされており、一定の成果を上げている(特許文献1〜4参照。)。   As polishing cloths used in polishing and cleaning processes, conventionally, the fibers constituting the nonwoven fabric are made ultrafine to reduce the substrate surface roughness of the magnetic recording disk, and the nonwoven fabric is impregnated with an elastic polymer to provide cushioning properties. It has been proposed that the scratch defects are minimized by making them, and certain results have been achieved (see Patent Documents 1 to 4).

ただし、上記従来技術の研磨布は、表面の極細繊維の分散状態が十分なレベルとはいえないため研磨加工時に極細繊維の捩れが発生しやすく、捩れた束状極細繊維が砥粒を強く把持することにより、基板表面に深い傷が入りやすく、スクラッチ性能が低下する傾向があった。
また、研磨布の立毛方法として、バフ段数、サンドペーパー番手、各段における研削重量、サンドペーパー走行速度、およびシート走行速度を調節する方法が提案されており、研磨布の立毛繊維を緻密化し、立毛の方向性を少なくすることに成功している(特許文献5参照。)。しかしながら、この提案では、人工皮革全般に共通する一般的なバフ条件が記載されているに過ぎず、例えば、極細繊維の繊維径を細くした場合等には、最適な条件とすることは困難であった。すなわち、研磨布の繊維径が変わった場合でも、十分な分散性を維持可能な表面を得るための普遍的な立毛条件の設定が求められていた。
However, in the above-mentioned conventional polishing cloth, the dispersion state of the ultrafine fibers on the surface cannot be said to be a sufficient level, and the twist of the ultrafine fibers is likely to occur during the polishing process, and the twisted bundle of ultrafine fibers strongly grips the abrasive grains. By doing so, the substrate surface tends to be deeply scratched, and the scratch performance tends to be lowered.
In addition, as a napping method of the polishing cloth, a method of adjusting the buff stage number, sandpaper count, grinding weight in each stage, sandpaper traveling speed, and sheet traveling speed has been proposed, and the napped fibers of the polishing cloth are densified, It has succeeded in reducing the direction of napping (see Patent Document 5). However, this proposal only describes general buffing conditions that are common to all artificial leather. For example, when the fiber diameter of ultrafine fibers is made thin, it is difficult to achieve optimum conditions. there were. That is, even when the fiber diameter of the polishing cloth is changed, it is required to set a universal napping condition for obtaining a surface capable of maintaining sufficient dispersibility.

特開2001−1252号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-1252 特開2002−273650号公報JP 2002-273650 A 特許第3457478号公報Japanese Patent No. 3457478 特開2007−144614号公報JP 2007-144614 A 特許第4423915号公報Japanese Patent No. 4423915

そこで本発明の目的は、基板表面粗さの低減を達成しながらも、従来の研磨布よりもスクラッチ欠点を抑えることのできる研磨布を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a polishing cloth that can suppress scratch defects as compared with conventional polishing cloths while achieving reduction in substrate surface roughness.

すなわち本発明は、上記の課題を解決せんとするものであり、平均繊維径0.1〜3.0μmの極細繊維を主体とする繊維絡合体と弾性重合体で構成され表面の極細繊維が起毛された研磨布であって、前記の起毛された極細繊維の50.0〜100.0%の極細繊維の先端部が、繊維径に対し120〜300%の大きさの径を有することを特徴とする研磨布である。   That is, the present invention is intended to solve the above-mentioned problem, and is composed of a fiber entangled body mainly composed of ultrafine fibers having an average fiber diameter of 0.1 to 3.0 μm and an elastic polymer, and the surface ultrafine fibers are raised. The tip of the ultrafine fiber of 50.0 to 100.0% of the raised ultrafine fiber has a diameter of 120 to 300% of the fiber diameter. A polishing cloth.

また、本発明の研磨布の製造方法は、平均繊維径0.1〜3.0μmの極細繊維を主体とする繊維絡合体と弾性重合体で構成されたシートを走行させ、前記の極細繊維の平均繊維径に対し10〜90倍の平均砥粒径のサンドペーパーを、シート速度に対して100〜160倍の速度で走行する前記シートの進行方向と逆方に回転させ、トータル研削量を10〜80g/m、研削負荷を200〜1000W/mの範囲としてバッフィング研削することを特徴とする研磨布の製造方法である。 Moreover, the manufacturing method of the polishing cloth of the present invention allows a sheet composed of a fiber entangled body mainly composed of ultrafine fibers having an average fiber diameter of 0.1 to 3.0 μm and an elastic polymer to travel, and A sandpaper having an average abrasive grain size 10 to 90 times the average fiber diameter is rotated in the opposite direction to the traveling direction of the sheet running at a speed 100 to 160 times the sheet speed, so that the total grinding amount is 10 It is a manufacturing method of polishing cloth characterized by carrying out buffing grinding in a range of ˜80 g / m 2 and a grinding load in the range of 200 to 1000 W / m.

本発明の研磨布の製造方法の好ましい態様によれば、前記のバッフィング研削時、シートとサンドペーパーの接触長は5〜50mmの範囲である。   According to the preferable aspect of the manufacturing method of the abrasive cloth of this invention, the contact length of a sheet | seat and sandpaper is the range of 5-50 mm at the time of the said buffing grinding.

本発明の研磨布の製造方法の好ましい態様によれば、前記のバッフィング研削時、研削クリアランスは、目標厚みに対し0.1〜0.9倍の範囲である。   According to the preferable aspect of the manufacturing method of the polishing cloth of the present invention, the grinding clearance is in the range of 0.1 to 0.9 times the target thickness during the buffing grinding.

本発明によれば、研磨布の表面繊維の分散状態が改善されることにより、従来の研磨布に対比して繊維の捩れ、融着等に起因するスクラッチ等の欠点を発生させにくくすることができ、基板表面を平滑化することが可能となる。   According to the present invention, by improving the dispersion state of the surface fibers of the polishing cloth, it is possible to make it less likely to cause defects such as scratches due to fiber twisting and fusion as compared with conventional polishing cloths. And the substrate surface can be smoothed.

図1は、本発明の研磨布表面の一例を示す図面代用SEM拡大(2000倍)写真である。FIG. 1 is a drawing-substitute SEM enlarged (2000 ×) photograph showing an example of the surface of the polishing cloth of the present invention. 図2は、本発明の実施例2で得られた研磨布表面の図面代用SEM拡大(40倍)写真である。FIG. 2 is a SEM enlarged (40 ×) photograph of the polishing cloth surface obtained in Example 2 of the present invention.

本発明の研磨布は、平均繊維径0.1〜3.0μmの極細繊維を主体とする繊維絡合体と弾性重合体で構成され表面の極細繊維が起毛された研磨布であり、極細繊維の束(極細繊維束)が絡合してなる不織布等の繊維絡合体を有してなるものである。本発明では、極細繊維を採用することにより、研磨対象の表面粗さを小さくすることができ、かつスクラッチ等の欠点を発生させにくくすることができる。   The abrasive cloth of the present invention is an abrasive cloth composed of a fiber entanglement mainly composed of ultrafine fibers having an average fiber diameter of 0.1 to 3.0 μm and an elastic polymer, and the surface ultrafine fibers are raised. It has a fiber entanglement such as a nonwoven fabric formed by entanglement of a bundle (extra fine fiber bundle). In the present invention, by using ultrafine fibers, the surface roughness of the object to be polished can be reduced, and defects such as scratches can be made difficult to occur.

極細繊維を形成するポリマーとしては、例えば、ポリエステル、ポリアミド、ポリオレフィンおよびポリフェニレンスルフィド(PPS)等を挙げることができる。ポリエステルやポリアミドに代表される重縮合系ポリマーは融点が高いものが多く、研磨加工時に発生する熱に対する耐熱性に優れており好ましく用いられる。ポリエステルの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレートおよびポチトリメチレンテレフタレート等を挙げることができる。また、ポリアミドの具体例としては、ナイロン6、ナイロン66およびナイロン12等を挙げることができる。   Examples of the polymer that forms the ultrafine fiber include polyester, polyamide, polyolefin, polyphenylene sulfide (PPS), and the like. Many polycondensation polymers represented by polyester and polyamide have a high melting point, and are excellent in heat resistance against heat generated during polishing and are preferably used. Specific examples of the polyester include polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, and potytrimethylene terephthalate. Specific examples of the polyamide include nylon 6, nylon 66, nylon 12, and the like.

また、極細繊維を構成するポリマーには、他の成分が共重合されていても良いし、粒子、難燃剤および帯電防止剤等の添加剤を含有させても良い。   In addition, the polymer constituting the ultrafine fiber may be copolymerized with other components, or may contain additives such as particles, flame retardant, and antistatic agent.

極細繊維の平均繊維径は、0.1〜3.0μmとすることが重要である。平均繊維径を3.0μm以下、好ましくは2.5μm以下とすることにより、研磨対象の表面粗さを小さくすることができる。一方、平均繊維径を0.1μm以上、好ましくは0.3μm以上とすることにより、繊維強度および剛性を維持することができるため、研磨を効率良く行うことができる。   It is important that the average fiber diameter of the ultrafine fibers is 0.1 to 3.0 μm. By setting the average fiber diameter to 3.0 μm or less, preferably 2.5 μm or less, the surface roughness of the object to be polished can be reduced. On the other hand, when the average fiber diameter is 0.1 μm or more, preferably 0.3 μm or more, the fiber strength and rigidity can be maintained, so that polishing can be performed efficiently.

極細繊維束の形態としては、極細繊維同士が多少離れていてもよいし、部分的に結合していてもよいし、凝集していてもよい。ここで、結合とは、化学的な反応や物理的な融着等によるものを指し、凝集とは、水素結合等の分子間力によるものを指す。   As a form of the ultrafine fiber bundle, the ultrafine fibers may be slightly separated from each other, may be partially bonded, or may be aggregated. Here, the bond refers to a chemical reaction or physical fusion, and the aggregation refers to a molecular force such as a hydrogen bond.

本発明の研磨布に用いられる不織布等の繊維絡合体において、上記に定義される極細繊維よりも太い繊維が混合されていてもよい。太い繊維が混合されることにより、研磨布の強度が補強され、またクッション性等の特性を向上させることができる。このような極細繊維よりも太い繊維を形成するポリマーとしては、前述の極細繊維を構成するポリマーと同様のものを採用することができる。極細繊維よりも太い繊維の不織布に対する混合量としては、好ましくは30質量%以下、より好ましくは10質量%以下とすることにより、研磨布表面の平滑性を維持することができる。また、前記太い繊維は、研磨性能の観点から表面に露出していないことが好ましい。   In a fiber entangled body such as a nonwoven fabric used for the polishing cloth of the present invention, fibers thicker than the ultrafine fibers defined above may be mixed. By mixing thick fibers, the strength of the polishing cloth can be reinforced and characteristics such as cushioning can be improved. As a polymer which forms a fiber thicker than such an ultrafine fiber, the same polymer as that constituting the aforementioned ultrafine fiber can be employed. The blending amount of the fibers thicker than the ultrafine fibers with respect to the nonwoven fabric is preferably 30% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, so that the smoothness of the polishing cloth surface can be maintained. Moreover, it is preferable that the said thick fiber is not exposed to the surface from a viewpoint of polishing performance.

実施例の測定方法においても後述するように、本発明においては、繊維径が10μmを超える繊維が混在している場合には、当該繊維は極細繊維に該当しないものとして平均繊維径の測定対象から除外するものとする。   As will be described later in the measurement methods of the examples, in the present invention, when fibers having a fiber diameter exceeding 10 μm are mixed, the fibers are not considered as ultrafine fibers and are measured from the average fiber diameter. Shall be excluded.

本発明の研磨布に用いられる、繊維絡合体である不織布としては、短繊維をカードおよびクロスラッパーを用いて積層繊維ウェブを形成させた後にニードルパンチやウォータジェットパンチを施して得られる短繊維不織布や、スパンボンド法やメルトブロー法などから得られる長繊維不織布、および抄紙法で得られる不織布などを適宜採用することができる。なかでも、短繊維不織布やスパンボンド不織布は、後述するような極細繊維束の態様をニードルパンチ処理により得ることができる。   As the nonwoven fabric which is a fiber entangled body used in the polishing cloth of the present invention, a short fiber nonwoven fabric obtained by forming a laminated fiber web using short fibers with a card and a cross wrapper and then performing needle punching or water jet punching Alternatively, a long-fiber nonwoven fabric obtained from a spunbond method or a melt blow method, a nonwoven fabric obtained from a papermaking method, or the like can be appropriately employed. Especially, the short fiber nonwoven fabric and the spun bond nonwoven fabric can obtain the aspect of the ultrafine fiber bundle as described later by needle punching.

本発明の研磨布は、前記の繊維絡合体が弾性重合体を含有していることが必要である。弾性重合体を含有させることによって、弾性重合体のバインダー効果により極細繊維が研磨布から抜け落ちるのを防止し、起毛時に均一な立毛を形成することが可能となる。また、弾性重合体を含有させることによって、研磨布にクッション性を付与しスクラッチ欠点をより少なくすることができる。   In the polishing cloth of the present invention, the fiber entangled body needs to contain an elastic polymer. By containing the elastic polymer, it is possible to prevent the ultrafine fibers from falling off from the polishing cloth due to the binder effect of the elastic polymer, and to form uniform napping at the time of raising. Moreover, by containing an elastic polymer, cushioning properties can be imparted to the polishing cloth and scratch defects can be reduced.

本発明で用いられる弾性重合体としては、例えば、ポリウレタン、ポリウレア、ポリウレタン・ポリウレアエラストマー、ポリアクリル酸、アクリロニトリル・ブタジエンエラストマーおよびスチレン・ブタジエンエラストマー等を用いることができる。中でも、ポリウレタン、ポリウレタン・ポリウレアエラストマーなどのポリウレタン系エラストマーが好ましく用いられる。   Examples of the elastic polymer used in the present invention include polyurethane, polyurea, polyurethane / polyurea elastomer, polyacrylic acid, acrylonitrile / butadiene elastomer, and styrene / butadiene elastomer. Among these, polyurethane elastomers such as polyurethane and polyurethane / polyurea elastomer are preferably used.

ポリウレタン系エラストマーのポリオール成分としては、ポリエステル系、ポリエーテル系およびポリカーボネート系のジオール、もしくはこれらの共重合物を用いることができる。また、ジイソシアネート成分としては、芳香族ジイソシアネート、脂環式イソシアネートおよび脂肪族系イソシアネートなどを使用することができる。   As the polyol component of the polyurethane-based elastomer, polyester-based, polyether-based and polycarbonate-based diols, or copolymers thereof can be used. Moreover, aromatic diisocyanate, alicyclic isocyanate, aliphatic isocyanate, etc. can be used as a diisocyanate component.

ポリウレタン系エラストマーの重量平均分子量は、好ましくは50,000〜300,000である。重量平均分子量を50,000以上、より好ましくは100,000以上、さらに好ましくは150,000以上とすることにより、研磨布の強度を保持し、また極細繊維の脱落を防ぐことができる。また、重量平均分子量を300,000以下、より好ましくは250,000以下とすることにより、ポリウレタン溶液の粘度の増大を抑えて極細繊維層への含浸を行いやすくすることができる。   The weight average molecular weight of the polyurethane elastomer is preferably 50,000 to 300,000. By setting the weight average molecular weight to 50,000 or more, more preferably 100,000 or more, and further preferably 150,000 or more, it is possible to maintain the strength of the polishing cloth and prevent the fine fibers from falling off. Further, by setting the weight average molecular weight to 300,000 or less, more preferably 250,000 or less, it is possible to suppress the increase in the viscosity of the polyurethane solution and facilitate the impregnation of the ultrafine fiber layer.

また、弾性重合体には、ポリエステル系、ポリアミド系およびポリオレフィン系などのエラストマー樹脂、アクリル樹脂、およびエチレン−酢酸ビニル樹脂などが含まれていても良い。また、これらの樹脂の含有率は、ポリウレタンの特性を損なわない範囲で含有することが好ましい。含有率としては、0〜30質量%の範囲が好ましく、より好ましくは0〜20質量%の範囲である。   The elastic polymer may contain polyester resins, polyamide resins, polyolefin resins, etc., acrylic resins, ethylene-vinyl acetate resins, and the like. Moreover, it is preferable to contain the content rate of these resin in the range which does not impair the characteristic of a polyurethane. As a content rate, the range of 0-30 mass% is preferable, More preferably, it is the range of 0-20 mass%.

また、弾性重合体には、必要に応じて着色剤、酸化防止剤、帯電防止剤、分散剤、柔軟剤、凝固調整剤、難燃剤、抗菌剤および防臭剤などの添加剤が配合されていてもよい。   In addition, additives such as colorants, antioxidants, antistatic agents, dispersants, softeners, coagulation modifiers, flame retardants, antibacterial agents, and deodorizers are blended in the elastic polymer as necessary. Also good.

弾性重合体の含有率は、極細繊維束が絡合してなる繊維構造体に対し、好ましくは5〜200質量%である。弾性重合体の含有量によって、研磨布の表面状態、クッション性、硬度および強度などを調節することができる。弾性重合体の含有量を5質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは30質量%以上とすることにより、繊維脱落を少なくすることができる。一方、弾性重合体の含有量を200質量%以下、より好ましくは100質量%以下、さらに好ましくは80質量%以下とすることにより、加工性および生産性が向上するとともに、表面上において極細繊維が均一分散した状態を得ることができる。   The content of the elastic polymer is preferably 5 to 200% by mass with respect to the fiber structure formed by entanglement of the ultrafine fiber bundle. Depending on the content of the elastic polymer, the surface state, cushioning properties, hardness, strength, and the like of the polishing cloth can be adjusted. By setting the content of the elastic polymer to 5% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and even more preferably 30% by mass or more, fiber dropping can be reduced. On the other hand, when the content of the elastic polymer is 200% by mass or less, more preferably 100% by mass or less, and further preferably 80% by mass or less, processability and productivity are improved, and ultrafine fibers are formed on the surface. A uniformly dispersed state can be obtained.

本発明の研磨布の、後述する補強層を除く部分の目付は、好ましくは100〜600g/mである。目付を100g/m以上、より好ましくは150g/m以上とすることにより、研磨布の形態安定性・寸法安定性に優れ、研磨加工時の研磨布の伸びによる加工ムラ、スクラッチ欠点の発生を抑えることができる。一方、目付を600g/m以下、より好ましくは300g/m以下とすることにより、研磨テープの取扱い性が容易となり、また、研磨布のクッション性を適度に抑え、研磨加工時において非研磨面からのゴムローラーによる押付圧を研磨表面に適度に伝播させ、効率的な研磨加工を行うことができる。 The basis weight of the portion of the polishing cloth of the present invention excluding the reinforcing layer described later is preferably 100 to 600 g / m 2 . By setting the basis weight to 100 g / m 2 or more, more preferably 150 g / m 2 or more, it is excellent in the form stability and dimensional stability of the polishing cloth. Can be suppressed. On the other hand, when the basis weight is 600 g / m 2 or less, more preferably 300 g / m 2 or less, the handling property of the polishing tape becomes easy, and the cushioning property of the polishing cloth is moderately suppressed. The pressing pressure by the rubber roller from the surface can be appropriately propagated to the polishing surface, and efficient polishing can be performed.

また、本発明の研磨布の、後述する補強層を除く部分の厚さは、好ましくは0.1〜10mmである。厚さを0.1mm以上、好ましくは0.3mm以上とすることにより、研磨布の形態安定性・寸法安定性に優れ、研磨加工時の研磨布の伸びによる加工ムラ、スクラッチ欠点の発生を抑えることができる。一方、厚さを10mm以下、より好ましくは5mm以下とすることにより、研磨加工時の押付圧を充分に伝播させることができる。   Moreover, the thickness of the part except the reinforcement layer mentioned later of the polishing cloth of this invention becomes like this. Preferably it is 0.1-10 mm. By setting the thickness to 0.1 mm or more, preferably 0.3 mm or more, the shape and dimensional stability of the polishing cloth are excellent, and processing unevenness and scratch defects due to elongation of the polishing cloth during polishing processing are suppressed. be able to. On the other hand, by setting the thickness to 10 mm or less, more preferably 5 mm or less, the pressing pressure at the time of polishing can be sufficiently propagated.

また、本発明の研磨布は、後述する極細繊維起毛面(研磨に供する側の面)の他方の面に補強層を有することも好ましい態様である。補強層を設けることにより、研磨布の形態安定性・寸法安定性に優れ、研磨加工時の研磨布の伸びによる加工ムラ、およびスクラッチ欠点の発生を抑えることができる。   Moreover, it is also a preferable aspect that the polishing cloth of the present invention has a reinforcing layer on the other surface of the ultrafine fiber raised surface (surface to be subjected to polishing) described later. By providing the reinforcing layer, the polishing cloth is excellent in form stability and dimensional stability, and processing unevenness due to elongation of the polishing cloth during polishing and generation of scratch defects can be suppressed.

補強層としては、織物、編物、不織布(紙を含む)およびフィルム状物(プラスチックフィルム、金属薄膜シートなど)等を採用することができる。   As the reinforcing layer, a woven fabric, a knitted fabric, a nonwoven fabric (including paper), a film-like material (plastic film, metal thin film sheet, etc.), and the like can be employed.

本発明の研磨布は、起毛された極細繊維の50.0〜100.0%の極細繊維の先端部が、繊維径に対し120〜300%の大きさの径を有することが重要である。前記のように極細繊維の先端部が、繊維径に対し120〜300%の大きさの径を有する状態とは、極細繊維の先端部に球状形等の突起状物が形成されている状態をいう。極細繊維の先端部が繊維径に対し120〜300%の大きさの径を有することで、極細繊維間に適度な距離を維持することができ、立毛した極細繊維の分散性を得ることが可能となり、かつ先端部の径が300%より大きすぎないことにより、先端部の球状形等の突起状物により、基板表面へのスクラッチ等の欠点を誘発しない。先端部の径は、繊維径に対し好ましくは130〜280%の範囲大きさであり、より好ましくは140〜260%の範囲の大きさである。   In the polishing cloth of the present invention, it is important that the tip portion of 50.0 to 100.0% of the ultrafine fibers raised has a diameter of 120 to 300% of the fiber diameter. As described above, the state in which the tip of the ultrafine fiber has a diameter of 120 to 300% of the fiber diameter is a state in which a protrusion such as a spherical shape is formed at the tip of the ultrafine fiber. Say. Since the tip of the ultrafine fiber has a diameter of 120 to 300% of the fiber diameter, it is possible to maintain an appropriate distance between the ultrafine fibers and to obtain the dispersibility of the raised ultrafine fibers. In addition, since the tip portion is not too large in diameter, it does not induce defects such as scratches on the surface of the substrate due to the projections such as a spherical shape at the tip portion. The diameter of the tip is preferably in the range of 130 to 280%, more preferably in the range of 140 to 260% with respect to the fiber diameter.

また、図1に示されるように、先端部の突起状物は球状(球状先端部1)が大部分であるが、台形状のものに代表される多角形状(多角形状先端部2)のものも突起状物とする。また、多角形状の突起については、その最大径(幅)を有する部分を、突起の大きさとして測定するものとする。   Also, as shown in FIG. 1, the protrusions at the tip are mostly spherical (spherical tip 1), but are polygonal (polygonal tip 2) represented by a trapezoidal shape. Is also a protrusion. Moreover, about a polygonal processus | protrusion, the part which has the largest diameter (width | variety) shall be measured as a magnitude | size of a processus | protrusion.

また、前記の極細繊維の先端部とは、極細繊維の先端から50μm内に存在する部分を指す。極細繊維の先端から50μmより先(研磨布側)内側に存在する突起は、節や異物として先端部の突起としてはカウントしないものとする。   Further, the tip of the ultrafine fiber refers to a portion existing within 50 μm from the tip of the ultrafine fiber. Protrusions existing on the inner side (abrasive cloth side) beyond 50 μm from the tip of the ultrafine fiber are not counted as protrusions at the tip as nodes or foreign matters.

また、本発明においては、前記極細繊維の先端部に突起状物を有する起毛は、測定した全極細繊維の50.0〜100.0%の範囲で存在することが重要である。突起状物を有する起毛が50.0%以上存在させることにより十分な分散性が得られ、60.0%以上の範囲とすることにより、より分散性を向上させることができる。   Moreover, in this invention, it is important that the raising | fluff which has a protrusion in the front-end | tip part of the said ultrafine fiber exists in the range of 50.0-100.0% of all the measured ultrafine fibers. Sufficient dispersibility can be obtained by providing 50.0% or more of raised hairs having protrusions, and dispersibility can be further improved by setting the amount to 60.0% or more.

本発明の研磨布は、研磨に供する側の面の表面に起毛処理が施され立毛を有することが重要である。立毛を形成することにより、前記のような極細繊維の分散を得ることができ、さらに表面繊維に適度なクッション性が得られるため、スクラッチ欠点をより少なくすることができる。   In the polishing cloth of the present invention, it is important that the surface on the side subjected to polishing is subjected to raising treatment and has napping. By forming the napping, the dispersion of the ultrafine fibers as described above can be obtained, and further, the cushioning property suitable for the surface fibers can be obtained, so that the scratch defects can be further reduced.

本発明の研磨布の立毛長は、0.1〜2.0mmの範囲であることが好ましい。立毛長が2.0mmより長いと、研磨時に極細繊維間の捩れが発生しやすくなり、スクラッチ性能が低下する。また、立毛長が0.1mm未満では、研磨布表面に存在する立毛した極細繊維の面積が少なくなるため、立毛が存在しない部分に砥粒が凝集しやすくなることにより、加工ムラやスクラッチ性能の低下を招く。   The napped length of the polishing cloth of the present invention is preferably in the range of 0.1 to 2.0 mm. When the napped length is longer than 2.0 mm, twisting between ultrafine fibers is likely to occur during polishing, and the scratch performance is lowered. In addition, when the napped length is less than 0.1 mm, the area of the raised ultrafine fibers existing on the surface of the polishing cloth is reduced, so that the abrasive grains are likely to aggregate in a portion where the napped is not present, resulting in processing unevenness and scratch performance. Incurs a decline.

後に詳しく説明するように、上記のような極細繊維先端部を得るためには、起毛処理時、極細繊維に対して、適切な砥粒のサイズ、研磨布シート加工速度に対し適切なサンドペーパー速度、適切な研削量、研削負荷、シートとサンドペーパーの接触長および研削クリアランスをとることにより、ポリウレタンと結合した極細繊維が効率的に掘り起こされ、かつ極細繊維がサンドペーパーの砥粒により若干引き伸ばされた後に引きちぎられることにより、引き伸ばされた部分が収縮し、先端部に極細繊維より径の大きい球状形等の突起状物が形成されることになる。   As will be described in detail later, in order to obtain the ultrafine fiber tip as described above, the sandpaper speed suitable for the abrasive fiber sheet processing speed suitable for the ultrafine fiber size during the raising treatment By taking appropriate grinding amount, grinding load, sheet-sandpaper contact length and grinding clearance, the ultrafine fibers combined with polyurethane are efficiently dug up, and the ultrafine fibers are slightly stretched by the sandpaper abrasive grains After being torn off, the stretched portion contracts, and a protrusion such as a spherical shape having a diameter larger than that of the ultrafine fiber is formed at the tip.

次に、本発明の研磨布を製造する方法について説明する。   Next, a method for producing the polishing cloth of the present invention will be described.

極細繊維束が絡合してなる不織布のような繊維絡合体を得る手段としては、極細繊維発生型繊維を用いることが好ましい。極細繊維から直接繊維絡合体を製造することは困難であるが、極細繊維発生型繊維から繊維絡合体を製造し、この繊維絡合体における海島型複合繊維から極細繊維を発生させることにより、極細繊維束が絡合してなる繊維絡合体を得ることができる。   As a means for obtaining a fiber entanglement such as a nonwoven fabric formed by entanglement of ultrafine fiber bundles, it is preferable to use ultrafine fiber generating fibers. Although it is difficult to produce a fiber entanglement directly from an ultrafine fiber, a fiber entanglement is produced from an ultrafine fiber-generating fiber, and an ultrafine fiber is generated from a sea-island composite fiber in the fiber entanglement. A fiber entangled body in which the bundle is entangled can be obtained.

極細繊維発生型繊維としては、溶剤溶解性の異なる2成分の熱可塑性樹脂を海成分と島成分とし、海成分を溶剤などを用いて溶解除去することによって島成分を極細繊維とする海島型繊維や、2成分の熱可塑性樹脂を繊維断面に放射状または多層状に交互に配置し、各成分を剥離分割することによって極細繊維に割繊する剥離型複合繊維などを採用することができる。   As ultra-fine fiber-generating fibers, two-component thermoplastic resins with different solvent solubility are used as sea components and island components, and the sea components are dissolved and removed using a solvent, etc., so that the island components are made into ultra-fine fibers. Alternatively, a two-component thermoplastic resin may be alternately disposed in a radial or multilayer manner on the fiber cross section, and a peelable composite fiber that is split into ultrafine fibers by separating and separating each component may be employed.

海島型繊維には、海島型複合用口金を用い海成分と島成分の2成分を相互配列して紡糸する海島型複合繊維や、海成分と島成分の2成分を混合して紡糸する混合紡糸繊維などがあるが、均一な繊度の極細繊維が得られる点、また十分な長さの極細繊維が得られシート状物の強度にも資する点から、海島型複合繊維が好ましく用いられる。   For sea-island type fibers, sea-island type composite fibers that use a sea-island type composite base to spun two components of the sea component and the island component, and mixed spinning that mixes and spins the two components of the sea component and the island component are spun. Although there are fibers and the like, sea-island type composite fibers are preferably used from the viewpoint that ultrafine fibers having a uniform fineness are obtained, and that a sufficiently long ultrafine fiber is obtained and contributes to the strength of the sheet-like material.

海島型繊維の海成分としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ナトリウムスルホイソフタル酸やポリエチレングリコールなどを共重合した共重合ポリエステル、およびポリ乳酸等を用いることができる。
海成分の溶解除去は、弾性重合体を付与する前、付与した後、起毛処理後、のいずれのタイミングで行ってもよい。
不織布等の繊維絡合体を得る方法としては、前述のとおり、繊維ウェブをニードルパンチやウォータジェットパンチにより絡合させる方法、スパンボンド法、メルトブロー法および抄紙法などを採用することができ、なかでも、前述のような極細繊維束の態様とする上で、ニードルパンチやウォータジェットパンチなどの処理を経るものが好ましい。
As the sea component of the sea-island fiber, polyethylene, polypropylene, polystyrene, copolymer polyester obtained by copolymerizing sodium sulfoisophthalic acid, polyethylene glycol, or the like, and polylactic acid can be used.
The dissolution removal of the sea component may be performed at any timing before, after applying, and after raising the elastic polymer.
As a method for obtaining a fiber entangled body such as a nonwoven fabric, as described above, a method of entanglement of a fiber web with a needle punch or a water jet punch, a spun bond method, a melt blow method, a paper making method, etc. can be adopted. In order to achieve the above-described form of the ultrafine fiber bundle, it is preferable to undergo treatment such as needle punching or water jet punching.

ニードルパンチ処理に用いられるニードルにおいて、ニードルバーブ(切りかき)の数は好ましくは1〜9本である。ニードルバーブを1本以上とすることにより効率的な繊維の絡合が可能となる。一方、ニードルバーブを9本以下とすることにより繊維損傷を抑えることができる。   In the needle used for the needle punching process, the number of needle barbs (cuts) is preferably 1 to 9. By using one or more needle barbs, efficient fiber entanglement becomes possible. On the other hand, fiber damage can be suppressed by using 9 or less needle barbs.

ニードルバーブのトータルデプスは、好ましくは0.04〜0.09mmである。トータルデプスを0.04mm以上とすることにより、繊維束への十分な引掛かりが得られるため効率的な繊維絡合が可能となる。一方、トータルデプスを0.09mm以下とすることにより繊維損傷を抑えることが可能となる。   The total depth of the needle barb is preferably 0.04 to 0.09 mm. By setting the total depth to 0.04 mm or more, a sufficient catch on the fiber bundle can be obtained, so that efficient fiber entanglement is possible. On the other hand, fiber damage can be suppressed by setting the total depth to 0.09 mm or less.

パンチング本数は、好ましくは1000〜4000本/cmである。パンチング本数を1000本/cm以上とすることにより、緻密性が得られ、高精度の仕上げを得ることができる。一方、パンチング本数を4000本/cm以下とすることにより、加工性の悪化、繊維損傷および強度低下を防ぐことができる。 The number of punching is preferably 1000 to 4000 / cm 2 . By setting the number of punching to 1000 pieces / cm 2 or more, denseness can be obtained and high-precision finishing can be obtained. On the other hand, when the number of punching is 4000 / cm 2 or less, deterioration of workability, fiber damage, and strength reduction can be prevented.

また、ウォータジェットパンチ処理を行う場合には、水は柱状流の状態で行うことが好ましい。具体的には、直径0.05〜1.0mmのノズルから圧力1〜60MPaで水を噴出させると良い。   Moreover, when performing a water jet punch process, it is preferable to perform water in the state of a columnar flow. Specifically, water may be ejected from a nozzle having a diameter of 0.05 to 1.0 mm at a pressure of 1 to 60 MPa.

ニードルパンチ処理あるいはウォータジェットパンチ処理後の極細繊維発生型繊維不織布(繊維絡合体)の見掛け密度は、0.15〜0.35g/cmであることが好ましい。見掛け密度を0.15g/cm以上とすることにより、研磨布の形態安定性と寸法安定性に優れ、研磨加工時の研磨布の伸びによる加工ムラ、およびスクラッチ欠点の発生を抑えることができる。一方、見掛け密度を0.35g/cm以下とすることにより、弾性重合体を付与するための十分な空間を維持することができる。 The apparent density of the ultrafine fiber generating fiber nonwoven fabric (fiber entangled body) after the needle punching process or water jet punching process is preferably 0.15 to 0.35 g / cm 3 . By setting the apparent density to 0.15 g / cm 3 or more, the polishing cloth has excellent shape stability and dimensional stability, and can suppress the processing unevenness due to the elongation of the polishing cloth and the occurrence of scratch defects. . On the other hand, by setting the apparent density to 0.35 g / cm 3 or less, a sufficient space for applying the elastic polymer can be maintained.

このようにして得られた極細繊維発生型繊維不織布(繊維絡合体)は、緻密化の観点から、乾熱もしくは湿熱、またはその両者によって収縮させ、さらに高密度化することが好ましい。また、カレンダー処理等により厚み方向に圧縮してもよい。   From the viewpoint of densification, the ultrafine fiber-generating fiber nonwoven fabric (fiber entangled body) thus obtained is preferably shrunk by dry heat or wet heat, or both, and further densified. Moreover, you may compress in the thickness direction by a calendar process etc.

極細繊維発生型繊維から易溶解性ポリマー(海成分)を溶解する溶剤としては、海成分がポリエチレンやポリスチレン等のポリオレフィンであればトルエンやトリクロロエチレン等の有機溶媒が用いられ、海成分がポリ乳酸や共重合ポリエステルであれば水酸化ナトリウム等のアルカリ水溶液を用いることができる。また、極細繊維発生加工(脱海処理)は、溶剤中に極細繊維発生型繊維(からなる不織布)を浸漬し、窄液することによって行うことができる。   As the solvent for dissolving the easily soluble polymer (sea component) from the ultrafine fiber generating fiber, if the sea component is a polyolefin such as polyethylene or polystyrene, an organic solvent such as toluene or trichloroethylene is used. In the case of a copolyester, an alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide can be used. Further, the ultrafine fiber generation processing (sea removal treatment) can be performed by immersing the ultrafine fiber generation type fiber (nonwoven fabric made of) in a solvent and squeezing it.

また、極細繊維発生加工には、連続染色機、バイブロウォッシャー型脱海機、液流染色機、ウィンス染色機およびジッガー染色機等の公知の装置を用いることができる。極細繊維発生加工は、立毛処理前に行ってもよいし立毛処理後に行ってもよい。   In addition, for the ultrafine fiber generation processing, known apparatuses such as a continuous dyeing machine, a vibro-washer type sea removal machine, a liquid dyeing machine, a Wins dyeing machine, and a jigger dyeing machine can be used. The ultrafine fiber generation processing may be performed before the napping treatment or after the napping treatment.

また、研磨布表面の繊維分布の緻密性および均一性を得るためには、ポリウレタンを主成分とした弾性重合体は、極細繊維の繊維束が絡合してなる不織布(繊維絡合体)について、極細繊維の繊維束内部には実質的に存在しないことが好ましい。繊維束内部にまで弾性重合体が存在すると、弾性重合体が各極細繊維と接着して存在することになるため、バフィング処理の際に表面繊維が引きちぎられやすく、かつ、立毛を形成し難い。   In addition, in order to obtain the fineness and uniformity of the fiber distribution on the surface of the polishing cloth, the elastic polymer mainly composed of polyurethane is a nonwoven fabric (fiber entangled body) in which fiber bundles of ultrafine fibers are entangled. It is preferable that the microfiber is not substantially present inside the fiber bundle. When the elastic polymer is present even inside the fiber bundle, the elastic polymer is present by adhering to each ultrafine fiber, so that the surface fibers are easily torn during the buffing process and it is difficult to form napped hairs.

弾性重合体が、極細繊維の繊維束内部には実質的に存在しない形態を得る方法としては、弾性重合体をジメチルホルムアミドなどの溶剤により溶液とし、
(1)極細繊維発生型の海島型複合繊維が絡合した不織布(繊維絡合体)に、前記弾性重合体溶液を含浸し、水もしくは有機溶媒水溶液中で凝固させた後、海島型複合繊維の海成分を、弾性重合体は溶解しない溶剤で溶解除去する方法や、
(2)極細繊維発生型の海島型複合繊維が絡合した不織布に、鹸化度が好ましくは80%以上のポリビニルアルコールを付与し、繊維の周囲の大部分を保護した後、海島型複合繊維の海成分を、ポリビニルアルコールは溶解しない溶剤で溶解除去し、次いで弾性重合体の溶液を含浸し、水もしくは有機溶剤水溶液中で凝固させた後、ポリビニルアルコールを除去する方法
などを好ましく用いることができる。
As a method of obtaining a form in which the elastic polymer does not substantially exist inside the fiber bundle of ultrafine fibers, the elastic polymer is made into a solution with a solvent such as dimethylformamide,
(1) After impregnating the elastic polymer solution into a nonwoven fabric (fiber entangled body) entangled with an ultra-fine fiber generating type sea-island type composite fiber, and coagulating it in water or an organic solvent aqueous solution, A method of dissolving and removing the sea component with a solvent that does not dissolve the elastic polymer,
(2) After applying a polyvinyl alcohol having a saponification degree of preferably 80% or more to a nonwoven fabric entangled with an ultra-fine fiber generating type sea-island composite fiber, and protecting most of the periphery of the fiber, A method in which the sea component is dissolved and removed with a solvent that does not dissolve polyvinyl alcohol, then impregnated with an elastic polymer solution, solidified in water or an organic solvent aqueous solution, and then the polyvinyl alcohol is removed can be preferably used. .

前記弾性重合体を繊維絡合体に付与する際に用いられる溶媒としては、N,N’−ジメチルホルムアミドやジメチルスルホキシド等を好ましく用いることができる。また、水中にエマルジョンとして分散させた水系ポリウレタンとしてもよい。   As a solvent used when the elastic polymer is applied to the fiber entanglement, N, N′-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, or the like can be preferably used. Alternatively, an aqueous polyurethane dispersed as an emulsion in water may be used.

溶媒に溶解した弾性重合体溶液に繊維絡合体を浸漬する等して弾性重合体を繊維絡合体に付与し、その後、乾燥することによって弾性重合体を実質的に凝固し固化させる。乾燥にあたっては繊維絡合体および弾性重合体の性能が損なわない程度の温度で加熱してもよい。   The elastic polymer is applied to the fiber entangled body by immersing the fiber entangled body in an elastic polymer solution dissolved in a solvent, and then dried to substantially solidify and solidify the elastic polymer. In drying, the fiber entangled body and the elastic polymer may be heated at a temperature that does not impair the performance.

このようにして得られた研磨布用のシートの起毛処理は、サンドペーパーやロールサンダーなどを用いて行うことができる。特に、サンドペーパーを用いることにより、均一かつ緻密な立毛を形成することができる。さらに、研磨布の表面に前記のような均一な極細繊維の立毛を形成させるためには、(1)極細繊維と用いられるサンドペーパーの砥粒径の比率、(2)サンドペーパーとシート速度の比率、(3)研削量、および(4)研削負荷を適切な範囲に制御する必要がある。また、研削負荷を低減するために、バフ段数を3段以上の多段バッフィングとし、前半の1〜2段以上でトータル研削量の70〜90%、最終の1段で30〜10%の研削を行い、表面を整えることが好ましい。また、3段バッフィングの場合は、トータル研削量に対し、1段目で50〜70%、2段目で20〜30%、3段目で10〜20%とすることが好ましい。1段目で50%以上研削を行うことにより粗い厚み調整を行い、2、3段目で仕上げを行うことが好ましい。具体的には、2段目で1段目の半分以下の研削とし、3段目は2段目の半分以下の研削として仕上げ研削を行うことが好ましい。   Thus, the raising | fluff process of the sheet | seat for polishing cloths obtained can be performed using a sandpaper, a roll sander, etc. In particular, by using sandpaper, uniform and dense napping can be formed. Furthermore, in order to form the above-mentioned uniform ultrafine fiber napping on the surface of the polishing cloth, (1) the ratio of the abrasive grain size of the sandpaper used with the ultrafine fiber, (2) the sandpaper and the sheet speed It is necessary to control the ratio, (3) grinding amount, and (4) grinding load within an appropriate range. In order to reduce the grinding load, multi-stage buffing with 3 or more buff stages is used, with 70 to 90% of the total grinding amount in the first and second stages or more, and 30 to 10% in the final stage. It is preferable to carry out and prepare the surface. In the case of three-stage buffing, it is preferable to set the total grinding amount to 50 to 70% at the first stage, 20 to 30% at the second stage, and 10 to 20% at the third stage. It is preferable that coarse thickness adjustment is performed by grinding 50% or more in the first stage, and finishing is performed in the second and third stages. Specifically, it is preferable to perform finish grinding by grinding the half of the first stage in the second stage and grinding the half of the second stage in the second stage.

前記の起毛処理を行うためには、(1)極細繊維の平均繊維径に対し10〜90倍の平均粒径の砥粒のサンドペーパーを用いて表面研削することが重要である。平均繊維径に対し、平均砥粒径を前記範囲とすることにより、弾性重合体と結合した極細繊維を、効率的に起毛処理して立毛を形成することが可能であり、立毛による極細繊維同士の融着等を発生しにくくすることが可能である。繊維径に対する平均砥粒径は、好ましくは15〜85倍であり、より好ましくは20〜80倍である。   In order to perform the above-mentioned raising treatment, it is important to (1) surface grind using an abrasive sandpaper having an average particle diameter of 10 to 90 times the average fiber diameter of the ultrafine fibers. By setting the average abrasive particle size to the above range with respect to the average fiber diameter, it is possible to efficiently raise the ultrafine fibers combined with the elastic polymer to form napped, It is possible to make it difficult to cause fusion or the like. The average abrasive particle size with respect to the fiber diameter is preferably 15 to 85 times, more preferably 20 to 80 times.

また、(2)サンドペーパーの速度とシート速度の関係は、サンドペーパーをシートの進行方向に対して100〜160倍の速度で、シートの進行方向と逆方向に回転させることが重要である。シート速度とサンドペーパーの速度を前記範囲とすることにより、研削負荷を抑え、極細繊維同士の融着等を発生しにくくすることが可能である。   (2) Regarding the relationship between the speed of the sandpaper and the sheet speed, it is important to rotate the sandpaper at a speed of 100 to 160 times the traveling direction of the sheet in the direction opposite to the traveling direction of the sheet. By setting the sheet speed and the sandpaper speed within the above ranges, it is possible to suppress the grinding load and make it difficult to cause fusion between ultrafine fibers.

サンドペーパーの速度は、400〜1500m/分であることが好ましく、より好ましくは500〜1200m/分である。シート速度は、3.0〜18.0m/分であることが好ましく、より好ましくは4.0〜16.0m/分である。また、サンドペーパーの速度は、シート速度に対し、100〜160倍の速度が好ましく、より好ましくは105〜155倍である。   The speed of the sandpaper is preferably 400 to 1500 m / min, more preferably 500 to 1200 m / min. The sheet speed is preferably 3.0 to 18.0 m / min, and more preferably 4.0 to 16.0 m / min. The sandpaper speed is preferably 100 to 160 times, more preferably 105 to 155 times the sheet speed.

また、(3)バッフィング研削により研削する量は、10〜80g/mとすることが重要である。研削量を10g/m以上とすることにより十分な品位を得ることができ、研削量を80g/m以下とすることにより繊維の融着を抑えることができる。研削量は、好ましくは20〜70g/mであり、より好ましくは30〜60g/mである。 In addition, it is important that the amount of grinding by (3) buffing grinding is 10 to 80 g / m 2 . By setting the grinding amount to 10 g / m 2 or more, sufficient quality can be obtained, and by setting the grinding amount to 80 g / m 2 or less, fiber fusion can be suppressed. The grinding amount is preferably 20 to 70 g / m 2 , more preferably 30 to 60 g / m 2 .

また、(4)バッフィング研削での研削負荷は、200〜1000W/mの範囲とすることが重要であり、研削負荷は、好ましくは300〜900W/mの範囲である。研削負荷を1000W/m以下とすることにより、繊維の融着等を発生させることなく、極細繊維を有効に削り出すことが可能となり、研削負荷を200W/m以上とすることにより十分な研削が実施できる。多段バッフィングの場合は、各段における最大負荷を前記範囲とすることが必要である。   Further, it is important that the grinding load in (4) buffing grinding is in the range of 200 to 1000 W / m, and the grinding load is preferably in the range of 300 to 900 W / m. By setting the grinding load to 1000 W / m or less, it becomes possible to effectively cut out ultrafine fibers without causing fiber fusion or the like. By setting the grinding load to 200 W / m or more, sufficient grinding can be achieved. Can be implemented. In the case of multistage buffing, the maximum load in each stage needs to be within the above range.

また、バッフィング研削でのシートとサンドペーパーの接触長は、シート進行方向全幅に対し、5〜50mmの範囲が好ましく、より好ましくは10〜40mmの範囲である。接触長を5mm以上とすることにより、バッフィングに十分な研削長を維持することが可能であり、接触長を50mm以下とすることにより、シートにかかる負荷を一定以下に低減することができ、繊維の融着等を発生させない。   Further, the contact length between the sheet and the sandpaper in the buffing grinding is preferably in the range of 5 to 50 mm, more preferably in the range of 10 to 40 mm with respect to the full width in the sheet traveling direction. By making the contact length 5 mm or more, it is possible to maintain a grinding length sufficient for buffing, and by making the contact length 50 mm or less, the load on the sheet can be reduced to a certain level or less. No fusing or the like occurs.

また、バッフィング研削での研削クリアランスは、目標厚みに対し、0.1〜0.9倍であることが好ましく、より好ましくは0.2〜0.8倍の範囲である。研削クリアランスを0.1倍以上とすることにより、シートが破断しない程度の押付け状態を維持することができ、研削クリアランスを0.9倍以下とすることによりサンドペーパーの十分な押付状態を維持できる。   In addition, the grinding clearance in the buffing grinding is preferably 0.1 to 0.9 times, more preferably 0.2 to 0.8 times the target thickness. By setting the grinding clearance to 0.1 times or more, it is possible to maintain a pressing state that does not break the sheet, and by setting the grinding clearance to 0.9 times or less, it is possible to maintain a sufficient pressing state of the sandpaper. .

上記条件でバッフィング研削することにより、ポリウレタン等の弾性性重合体と結合した極細繊維が効率的に掘り起こされ、さらに掘り起こされた極細繊維一本一本が、サンドペーパーの砥粒により若干引き伸ばされた後に引きちぎられることにより、引き伸ばされた部分が収縮し、先端部に極細繊維より径の大きい球状、あるいは多角形状の突起状物が形成されることになる。   By buffing and grinding under the above conditions, ultrafine fibers bonded to an elastic polymer such as polyurethane were efficiently dug up, and each of the dugout ultrafine fibers was slightly stretched by sandpaper abrasive grains. By being torn off later, the stretched portion contracts, and a spherical or polygonal protrusion having a diameter larger than that of the ultrafine fiber is formed at the tip.

なお、特許文献5の図4の写真では、研磨布表面繊維の先端が一部球状になっているように見えるが、3段バッフィングの研削比率や、研削負荷が本発明の研磨条件とは異なるため、先端部が繊維径に対し120〜300%の大きさの径を有する極細繊維は、20〜40%程度しか存在しないものである。   In the photograph of FIG. 4 of Patent Document 5, the tip of the polishing cloth surface fiber appears to be partially spherical, but the grinding ratio and grinding load of the three-stage buffing are different from the polishing conditions of the present invention. For this reason, there are only about 20 to 40% of ultrafine fibers having a tip having a diameter of 120 to 300% of the fiber diameter.

本発明の研磨布は、例えば、加工効率と安定性の観点から30〜50mm幅のテープ状にカットして研磨加工用テープやクリーニング加工用テープとして用いることができる。   The polishing cloth of the present invention can be used, for example, as a polishing tape or a cleaning tape by cutting into a tape having a width of 30 to 50 mm from the viewpoint of processing efficiency and stability.

研磨加工方法としては、上記のような研磨加工用テープと遊離砥粒を含むスラリーとを用いて、アルミニウム合金等からなる磁気記録ディスク基板の研磨加工を行うことができる。スラリーとしては、ダイヤモンド微粒子などの高硬度砥粒を水系分散媒に分散したものが好ましく用いられる。砥粒径としては、本発明の研磨布を構成する極細繊維に適合した砥粒の保持性と分散性の観点から、100nm以下のものが好ましい。   As a polishing method, a magnetic recording disk substrate made of an aluminum alloy or the like can be polished using the polishing tape as described above and a slurry containing loose abrasive grains. As the slurry, those obtained by dispersing high-hardness abrasive grains such as diamond fine particles in an aqueous dispersion medium are preferably used. The abrasive grain size is preferably 100 nm or less from the viewpoint of retention and dispersibility of abrasive grains suitable for the ultrafine fibers constituting the polishing cloth of the present invention.

また、本発明の研磨布は、遊離砥粒を用いないクリーニング加工にも好ましく用いることができる。   In addition, the polishing cloth of the present invention can be preferably used for cleaning processing that does not use loose abrasive grains.

[測定方法と評価用加工方法]
(1)融点
パーキンエルマー社(Perkin Elmaer)製DSC−7を用いて2nd runでポリマーの溶融を示すピークトップ温度をポリマーの融点とした。このときの昇温速度は16℃/分で、サンプル量は10mgとした。
[Measuring method and processing method for evaluation]
(1) Melting Point Using a DSC-7 manufactured by Perkin Elmer, the peak top temperature indicating the melting of the polymer at 2nd run was defined as the melting point of the polymer. At this time, the rate of temperature increase was 16 ° C./min, and the sample amount was 10 mg.

(2)メルトフローレイト(MFR)
試料ペレット4〜5gを、MFR計電気炉のシリンダーに入れ、東洋精機製メルトインデクサー(S101)を用いて、荷重2160gf、温度285℃の条件で、10分間に押し出される樹脂の量(g)を測定した。同様の測定を3回繰り返し、平均値をMFRとした。
(3)バッフィング加工時の研削負荷
研磨布表面起毛時のバッフィング工程において、シートと接触していないときのサンドペーパーの回転にかかる電力:仕事量(W0)を事前に測定し、その後、シートを通しバッフィング加工を行った際の電力(W1)を測定し、W1−W0により、バッフィング加工にかかる電力(W2)を算出した。多段バッフィングの場合は、研削負荷が高い段が1段でもあると融着等の影響が出るため、研削負荷が最も大きい段の値を最大研削負荷とした。
(2) Melt flow rate (MFR)
4-5 g of sample pellets are placed in a cylinder of an MFR electric furnace and the amount of resin extruded in 10 minutes under a load of 2160 gf and a temperature of 285 ° C. using a Toyo Seiki melt indexer (S101) (g) Was measured. The same measurement was repeated 3 times, and the average value was defined as MFR.
(3) Grinding load at the time of buffing processing In the buffing process at the time of raising the surface of the polishing cloth, the power applied to the rotation of the sandpaper when not in contact with the sheet: the work amount (W0) is measured in advance, and then the sheet is The electric power (W1) when the through buffing process was performed was measured, and the electric power (W2) required for the buffing process was calculated from W1-W0. In the case of multi-stage buffing, if even one stage with a high grinding load is affected by fusion, the value of the stage with the largest grinding load is taken as the maximum grinding load.

(4)極細繊維の平均繊維径
研磨布の極細繊維を含む厚み方向に垂直な断面を、走査型電子顕微鏡(SEM キーエンス社製VE−7800型)を用いて3000倍で観察し、30μm×30μmの視野内で無作為に抽出した50本の単繊維直径をμm単位で、有効数字3桁で測定した。ただし、これを3ヶ所で行い、合計150本の単繊維の直径を測定し、有効数字3桁目を四捨五入し平均値を有効数字2桁で算出した。繊維径が10μmを超える繊維が混在している場合には、当該繊維は極細繊維に該当しないものとして平均繊維径の測定対象から除外するものとする。また、極細繊維が異形断面の場合、まず単繊維の断面積を測定し、当該断面を円形と見立てた場合の直径を算出することによって単繊維の直径を求める。
(4) Average fiber diameter of ultrafine fibers A cross section perpendicular to the thickness direction including the ultrafine fibers of the polishing cloth was observed at a magnification of 3000 using a scanning electron microscope (VE-7800 manufactured by SEM KEYENCE), and was 30 μm × 30 μm. The diameters of 50 single fibers extracted at random within the visual field were measured in μm units with 3 significant digits. However, this was performed at three locations, the diameter of a total of 150 single fibers was measured, and the third significant digit was rounded off to calculate the average value with two significant digits. When fibers having a fiber diameter exceeding 10 μm are mixed, the fibers are excluded from the measurement target of the average fiber diameter as not corresponding to the ultrafine fibers. When the ultrafine fiber has an irregular cross section, first, the cross sectional area of the single fiber is measured, and the diameter of the single fiber is calculated by calculating the diameter when the cross section is regarded as a circle.

(5)研磨布表面の極細繊維先端の繊維径
研磨布表面を、SEMを用いて2000倍で写真撮影し、得られた写真中に存在する、先端部分が明確に確認できる極細繊維を3本抽出し、先端部分の繊維径と直角方向の径を測定し、極細繊維の繊維径で割り返した値を百分率で算出した。これを10箇所で行い、極細繊維30本の平均値を算出した。
(5) Fiber diameter of the tip of the ultrafine fiber on the surface of the polishing cloth The surface of the polishing cloth was photographed at a magnification of 2000 using an SEM, and three ultrafine fibers present in the obtained photograph with which the tip portion can be clearly confirmed Extraction was performed, the diameter in the direction perpendicular to the fiber diameter of the tip portion was measured, and the value divided by the fiber diameter of the ultrafine fiber was calculated as a percentage. This was performed at 10 locations, and the average value of 30 ultrafine fibers was calculated.

(6)研磨加工
研磨布を、30mm幅のテープとした。研磨対象として、表面粗さが0.3nm以下に制御されたKMG社製のアモルファスガラスからなるガラス基板を用いた。研磨布表面に1次粒子径5nm単結晶ダイヤモンド粒子が平均径80nmにクラスター化した遊離砥粒の濃度0.01%のスラリーを、50ml/分で滴下した。また、テープ走行速度70mm/分、ディスク回転数は600rpm、揺動は100回/分とし、押付圧は1.5kgfとし、15秒間研磨した。これを、各ディスクの両面について実施した。
(6) Polishing process A polishing cloth was used as a tape having a width of 30 mm. As a polishing target, a glass substrate made of amorphous glass manufactured by KMG whose surface roughness was controlled to 0.3 nm or less was used. A slurry having a concentration of 0.01% of free abrasive grains in which single crystal diamond particles having a primary particle diameter of 5 nm were clustered to an average diameter of 80 nm was dropped onto the polishing cloth surface at a rate of 50 ml / min. Further, the tape running speed was 70 mm / min, the disk rotation speed was 600 rpm, the swing was 100 times / min, the pressing pressure was 1.5 kgf, and polishing was performed for 15 seconds. This was performed on both sides of each disk.

(7)基板表面粗さ
Veeco社製“AFM NanoScope”(登録商標)IIIaを用い、タッピングモードで測定した。基板上の観察領域は、10μm×10μmとし、基板上の任意の1点を測定し、任意の3点の平均値を表面粗さ(Ra)とした。
(7) Substrate Surface Roughness Measured in a tapping mode using “AFM NanoScope” (registered trademark) IIIa manufactured by Veeco. The observation area on the substrate was 10 μm × 10 μm, an arbitrary point on the substrate was measured, and the average value of the arbitrary three points was defined as the surface roughness (Ra).

(8)スクラッチ点数
研磨加工後の基板5枚の両面、すなわち計10表面の全領域を測定対象として、光学表面分析計(Candela6100)を用いて、深さ5nm以上の溝をスクラッチとしてスクラッチ点数を測定し、10表面の測定値の平均値で評価した。数値が低いほど高性能であることを示す。
(8) Scratch point Using both the surface of 5 substrates after polishing, that is, the total area of the surface of 10 substrates as a measurement object, using an optical surface analyzer (Candela 6100), the scratch point is determined by scratching a groove having a depth of 5 nm or more. It measured and evaluated by the average value of the measured value of 10 surfaces. The lower the value, the higher the performance.

[実施例1]
(原綿)
(海成分と島成分)
融点220℃、MFR58.3のナイロン6を島成分とし、融点53℃、MFR300のアクリル酸2−エチルヘキシルを22mol%共重合した共重合ポリスチレン(co−PSt)を海成分とした。
[Example 1]
(raw cotton)
(Sea component and island component)
Nylon 6 having a melting point of 220 ° C. and MFR 58.3 was used as an island component, and copolymerized polystyrene (co-PSt) obtained by copolymerizing 22 mol% of 2-ethylhexyl acrylate having a melting point of 53 ° C. and MFR 300 was used as a sea component.

(紡糸・延伸)
上記の島成分と海成分を用い、376島/ホールの海島型複合口金を用いて、紡糸温度285℃、島/海質量比率40/60、吐出量1.9g/分・ホール、紡糸速度1000m/分で溶融紡糸した。次いで、85℃の温度の液浴中で3.0倍に延伸し、押し込み型捲縮機を用いて捲縮を付与し、カットして、単繊維繊度が4.7dtex、繊維長が51mmの海島型複合繊維の原綿を得た。
(Spinning / drawing)
Using the above-mentioned island component and sea component, using a 376 island / hole sea-island type composite die, spinning temperature 285 ° C., island / sea mass ratio 40/60, discharge rate 1.9 g / min / hole, spinning speed 1000 m Melt spun at / min. Next, the film is stretched 3.0 times in a liquid bath at a temperature of 85 ° C., crimped using an indentation type crimper, cut, and the single fiber fineness is 4.7 dtex and the fiber length is 51 mm. The raw cotton of sea-island type composite fiber was obtained.

(極細繊維発生型繊維不織布)
上記の海島型複合繊維の原綿を用い、カード工程とクロスラッパー工程を経て、積層繊維ウェブを形成した。次いで、得られた積層繊維ウェブを、トータルバーブデプス0.08mmのニードル1本を植込んだニードルパンチ機を用いて、針深度8mm、パンチ本数2000本/cmでニードルパンチし、目付が700g/m、見掛け密度が0.219g/cmの極細繊維発生型繊維不織布を作製した。
(Extra-fine fiber generation type nonwoven fabric)
A laminated fiber web was formed through the carding process and the cross wrapping process using the raw cotton of the above-mentioned sea-island type composite fibers. Next, the obtained laminated fiber web was needle punched at a needle depth of 8 mm and a number of punches of 2000 / cm 2 using a needle punch machine in which one needle having a total barb depth of 0.08 mm was implanted, and the basis weight was 700 g. An ultrafine fiber-generating fiber nonwoven fabric having an / m 2 apparent density of 0.219 g / cm 3 was produced.

(研磨布)
上記の極細繊維発生型繊維不織布を95℃の温度で熱水収縮処理させた後、ポリビニルアルコールを繊維質量に対し24質量%付与後、乾燥させた。このようにして得られた不織布に、ポリマージオールがポリエーテル系75質量%とポリエステル系25質量%とからなるポリウレタンを、繊維質量に対して固形分で21質量%付与し、液温35℃の30%DMF水溶液でポリウレタンを凝固させ、約85℃の温度の熱水で処理し、DMFおよびポリビニルアルコールを除去した。その後、エンドレスのバンドナイフを有する半裁機により厚み方向に半裁してシートを得た。得られたシートの非半裁面を、平均砥粒径55μm(砥粒径/極細繊維径の比率:75)のサンドペーパーを用いて、サンドペーパー速度800m/分とし、サンドペーパーの回転と逆方向にシートを進行させ、シート速度5.3m/分(比率:151)、サンドペーパーの接触長を40mm、クリアランスを目標厚みの0.7倍とし、3段バッフィングにて研削量60:30:10の比率で、トータル研削量50g/m、最大研削負荷を600W/m、バッフィング研削し起毛された立毛を有する研磨布を作製した。
(Polishing cloth)
The ultrafine fiber generating fiber nonwoven fabric was subjected to hot water shrinkage treatment at a temperature of 95 ° C., and then 24 wt% polyvinyl alcohol was added to the fiber mass, followed by drying. The nonwoven fabric obtained in this way was provided with 21% by mass of a solid content with respect to the fiber mass of polyurethane consisting of 75% by mass of a polyether diol and 25% by mass of a polyester, and a liquid temperature of 35 ° C. The polyurethane was coagulated with 30% DMF aqueous solution and treated with hot water at a temperature of about 85 ° C. to remove DMF and polyvinyl alcohol. Thereafter, the sheet was cut in the thickness direction by a half-cutting machine having an endless band knife. Using the sandpaper having an average abrasive particle size of 55 μm (ratio of abrasive particle size / ultrafine fiber diameter: 75), the speed of the sandpaper is 800 m / min, and the non-semi-finished surface of the obtained sheet is in the opposite direction to the rotation of the sandpaper. The sheet speed is 5.3 m / min (ratio: 151), the contact length of the sandpaper is 40 mm, the clearance is 0.7 times the target thickness, and the grinding amount is 60:30:10 by three-stage buffing. In this ratio, a polishing cloth having napped bristles produced by buffing grinding was prepared with a total grinding amount of 50 g / m 2 , a maximum grinding load of 600 W / m.

得られた研磨布は、極細繊維の平均繊維径が0.73μm、厚さが0.53mm、目付が175g/m、見かけ密度が0.330g/cmであった。得られた研磨布を用いて研磨性能評価を実施したところ、基板表面粗さ、スクラッチ個数ともに満足のいくものであり、研磨後の表面も均一性の高いものであった。結果を表1に示す。 The obtained polishing cloth had an average fiber diameter of ultrafine fibers of 0.73 μm, a thickness of 0.53 mm, a basis weight of 175 g / m 2 , and an apparent density of 0.330 g / cm 3 . When the polishing performance was evaluated using the obtained polishing cloth, the substrate surface roughness and the number of scratches were satisfactory, and the surface after polishing was also highly uniform. The results are shown in Table 1.

[実施例2]
(原綿)
島本数200島/ホールの海島型複合口金を用いて、吐出量2.0g/分・ホールとしたこと以外は、実施例1と同様にして、単繊維繊度が5.6dtex、繊維長が51mmの海島型複合繊維の原綿を得た。
[Example 2]
(raw cotton)
A single fiber fineness of 5.6 dtex and a fiber length of 51 mm were used in the same manner as in Example 1 except that a sea-island type composite base with 200 islands / hole was used and the discharge rate was 2.0 g / min / hole. A raw cotton of sea-island type composite fiber was obtained.

(極細繊維発生型繊維不織布)
上記の海島型複合繊維の原綿を用いたこと以外は、実施例1と同様にして極細繊維発生型繊維不織布を得た。
(Extra-fine fiber generation type nonwoven fabric)
An ultrafine fiber-generating fiber nonwoven fabric was obtained in the same manner as in Example 1 except that the above-mentioned sea-island type composite fiber was used.

(研磨布)
平均砥粒径90μm(砥粒径/極細繊維径の比率:82)のサンドペーパーを用いて、ペーパー速度1000m/分、シート速度10.0m/分(比率:100)、3段バッフィングのトータルバッフィング研削量43g/m、最大研削負荷を550W/mでバッフィング研削し起毛された立毛を有する研磨布を作製したこと以外は、実施例1と同様にして研磨布を得た。得られた研磨布は、極細繊維の平均繊維径が1.1μm、厚さが0.52mm、目付が169g/m、見かけ密度が0.325g/cmであった。結果を表1に示す。
(Polishing cloth)
Using a sandpaper with an average abrasive particle size of 90 μm (ratio of abrasive particle size / ultrafine fiber diameter: 82), a paper speed of 1000 m / min, a sheet speed of 10.0 m / min (ratio: 100), and total buffing of three-stage buffing A polishing cloth was obtained in the same manner as in Example 1 except that a polishing cloth having bristles raised by buffing grinding with a grinding amount of 43 g / m 2 and a maximum grinding load of 550 W / m was produced. The obtained polishing cloth had an average fiber diameter of 1.1 μm, a thickness of 0.52 mm, a basis weight of 169 g / m 2 , and an apparent density of 0.325 g / cm 3 . The results are shown in Table 1.

[実施例3]
(原綿)
島本数36島/ホールの海島型複合口金を用いて、吐出量1.1g/分・ホールとしたこと以外は、実施例1と同様にして、繊度が5.4dtex、繊維長が51mmの海島型複合繊維の原綿を得た。
[Example 3]
(raw cotton)
A sea island having a fineness of 5.4 dtex and a fiber length of 51 mm in the same manner as in Example 1 except that a discharge amount of 1.1 g / min · hole was made using a sea-island type composite base having 36 islands / hole. A raw cotton of type composite fiber was obtained.

(極細繊維発生型繊維不織布)
上記の海島型複合繊維の原綿を用いたこと以外は、実施例1と同様にして極細繊維発生型繊維不織布を得た。
(Extra-fine fiber generation type nonwoven fabric)
An ultrafine fiber-generating fiber nonwoven fabric was obtained in the same manner as in Example 1 except that the above-mentioned sea-island type composite fiber was used.

(研磨布)
平均砥粒径55μm(砥粒径/極細繊維径の比率:21)のサンドペーパーを用いて、ペーパー速度1000m/分、シート速度8.0m/分(比率:125)、3段バッフィングのトータルバッフィング研削量75g/m、最大研削負荷を900W/mでバッフィング研削し起毛された立毛を有する研磨布を作製したこと以外は、実施例1と同様にして研磨布を得た。得られた研磨布は、極細繊維の平均繊維径が2.6μm、厚さが0.51mm、目付が165g/m、見かけ密度が0.324g/cmであった。結果を表1に示す。
(Polishing cloth)
Using sandpaper with an average abrasive particle size of 55 μm (ratio of abrasive particle size / ultrafine fiber diameter: 21), paper speed of 1000 m / min, sheet speed of 8.0 m / min (ratio: 125), total buffing of three-stage buffing A polishing cloth was obtained in the same manner as in Example 1 except that a polishing cloth having napped bristles was produced by buffing grinding with a grinding amount of 75 g / m 2 and a maximum grinding load of 900 W / m. The obtained abrasive cloth had an average fiber diameter of 2.6 μm, a thickness of 0.51 mm, a basis weight of 165 g / m 2 , and an apparent density of 0.324 g / cm 3 . The results are shown in Table 1.

[実施例4]
(原綿)
融点260℃、MFR46.5のPETを島成分とし、融点85℃、MFR117のポリスチレンを海成分としたこと以外は、実施例2と同様にして、繊度が5.5dtex、繊維長が51mmの海島型複合繊維の原綿を得た。
[Example 4]
(raw cotton)
A sea island having a fineness of 5.5 dtex and a fiber length of 51 mm in the same manner as in Example 2 except that PET having a melting point of 260 ° C. and MFR 46.5 was used as an island component, and a melting point of 85 ° C. and polystyrene having MFR 117 was used as a sea component. A raw cotton of type composite fiber was obtained.

(極細繊維発生型繊維不織布)
上記の海島型複合繊維の原綿を用いたこと以外は、実施例1と同様にして極細繊維発生型繊維不織布を得た。
(Extra-fine fiber generation type nonwoven fabric)
An ultrafine fiber-generating fiber nonwoven fabric was obtained in the same manner as in Example 1 except that the above-mentioned sea-island type composite fiber was used.

(研磨布)
平均砥粒径55μm(砥粒径/極細繊維径の比率:55)のサンドペーパーを用いて、ペーパー速度800m/分、シート速度5.5m/分(比率:145)、3段バッフィングのトータルバッフィング研削量54g/m、最大研削負荷を630W/mでバッフィング研削し起毛された立毛を有する研磨布を作製したこと以外は、実施例1と同様にして研磨布を得た。得られた研磨布は、極細繊維の平均繊維径が1.0μm、厚さが0.53mm、目付が168g/m、見かけ密度が0.317g/cmであった。結果を表1に示す。
(Polishing cloth)
Using sandpaper with an average abrasive particle size of 55 μm (ratio of abrasive particle size / ultrafine fiber diameter: 55), a paper speed of 800 m / min, a sheet speed of 5.5 m / min (ratio: 145), total buffing of three-stage buffing A polishing cloth was obtained in the same manner as in Example 1 except that a polishing cloth having bristles raised by buffing grinding with a grinding amount of 54 g / m 2 and a maximum grinding load of 630 W / m was produced. The obtained polishing cloth had an average fiber diameter of ultrafine fibers of 1.0 μm, a thickness of 0.53 mm, a basis weight of 168 g / m 2 , and an apparent density of 0.317 g / cm 3 . The results are shown in Table 1.

[実施例5]
(原綿)
融点260℃、MFR46.5のPETを島成分とし、融点230℃、MFR100の5−ナトリウムイソフタル酸8モル%を共重合させた共重合PETを海成分としたこと以外は、実施例1と同様にして、繊度4.7dtex、繊維長51mmの海島型複合繊維の原綿を得た。
[Example 5]
(raw cotton)
Same as Example 1 except that PET having a melting point of 260 ° C. and MFR 46.5 was used as an island component, and a copolymer PET obtained by copolymerizing 8 mol% of 5-sodium isophthalic acid having a melting point of 230 ° C. and MFR 100 was used as a sea component. As a result, raw cotton of sea-island type composite fiber having a fineness of 4.7 dtex and a fiber length of 51 mm was obtained.

(極細繊維発生型繊維不織布)
上記の海島型複合繊維の原綿を用いたこと以外は、実施例1と同様にして目付が695g/m、見掛け密度が0.228g/cmの海島型複合繊維からなる不織布を得た。
(Extra-fine fiber generation type nonwoven fabric)
A non-woven fabric made of sea-island composite fibers having a basis weight of 695 g / m 2 and an apparent density of 0.228 g / cm 3 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the above-mentioned sea-island composite fiber raw cotton was used.

(水分散型ポリウレタン液)
非イオン系強制乳化型ポリウレタンエマルジョン(ポリカーボネート系)に、感熱ゲル化剤として硫酸ナトリウムをポリウレタン固形分対比4質量%添加し、ポリウレタン液濃度が10質量%となるように水分散型ポリウレタン液を調整した。
(研磨布)
上記の海島型複合繊維からなる不織布に、上記の水分散型ポリウレタン液を付与し、乾燥温度120℃で5分間熱風乾燥して、ポリウレタンの付着量が不織布の島成分に対して30質量%であるポリウレタン付シートを得た。
(Water-dispersed polyurethane liquid)
Add 4% by mass of sodium sulfate as a heat-sensitive gelling agent to nonionic forced emulsification type polyurethane emulsion (polycarbonate) relative to the solid content of polyurethane, and adjust the water-dispersed polyurethane liquid so that the polyurethane liquid concentration becomes 10% by mass. did.
(Polishing cloth)
The above-mentioned water-dispersed polyurethane liquid is applied to the nonwoven fabric composed of the sea-island type composite fibers, and is dried with hot air at a drying temperature of 120 ° C. for 5 minutes. The amount of polyurethane attached is 30% by mass with respect to the island components of the nonwoven fabric. A certain sheet with polyurethane was obtained.

上記ポリウレタン付シートを、液流染色機を用いて90℃の温度に加熱した濃度20g/Lの水酸化ナトリウム水溶液に浸漬し、30分間処理し、海島型複合繊維から海成分を溶解除去した。その後、エンドレスのバンドナイフを有する半裁機により厚み方向に半裁し、非半裁面を平均砥粒径55μm(砥粒径/極細繊維径の比率:82)のサンドペーパーを用いて、ペーパー速度1000m/分、シート速度10.0m/分(比率:100)、3段バッフィングのトータルバッフィング研削量43g/m、最大研削負荷を530W/mでバッフィング研削し起毛された立毛を有する研磨布を作製したこと以外は、実施例1と同様にして研磨布を得た。得られた研磨布は、極細繊維の平均繊維径が0.67μm、厚さが0.52mm、目付が173g/m、見かけ密度が0.333g/cmであった。結果を表1に示す。
[実施例6]
(原綿)
島本数600島/ホールの海島型複合口金を用いて、吐出量1.0g/分・ホールとしたこと以外は、実施例1と同様にして、単繊維繊度が2.2dtex、繊維長が51mmの海島型複合繊維の原綿を得た。
The sheet with polyurethane was immersed in a 20 g / L sodium hydroxide aqueous solution heated to a temperature of 90 ° C. using a liquid dyeing machine, treated for 30 minutes, and sea components were dissolved and removed from the sea-island composite fibers. Thereafter, the paper is cut in the thickness direction by a half-cutting machine having an endless band knife, and the non-half-cut surface is sand paper having an average abrasive grain size of 55 μm (abrasive grain size / extra fine fiber diameter ratio: 82), and a paper speed of 1000 m / And a sheet speed of 10.0 m / min (ratio: 100), a three-stage buffing total buffing grinding amount of 43 g / m 2 and a maximum grinding load of 530 W / m were buffed to produce a polishing cloth having raised napping. A polishing cloth was obtained in the same manner as in Example 1 except that. The obtained polishing cloth had an average fiber diameter of ultrafine fibers of 0.67 μm, a thickness of 0.52 mm, a basis weight of 173 g / m 2 , and an apparent density of 0.333 g / cm 3 . The results are shown in Table 1.
[Example 6]
(raw cotton)
A single fiber fineness of 2.2 dtex and a fiber length of 51 mm were obtained in the same manner as in Example 1 except that a sea-island type composite base having 600 islands / hole was used and the discharge rate was 1.0 g / min / hole. A raw cotton of sea-island type composite fiber was obtained.

(極細繊維発生型繊維不織布)
上記の海島型複合繊維の原綿を用いたこと以外は、実施例1と同様にして極細繊維発生型繊維不織布を得た。
(Extra-fine fiber generation type nonwoven fabric)
An ultrafine fiber-generating fiber nonwoven fabric was obtained in the same manner as in Example 1 except that the above-mentioned sea-island type composite fiber was used.

(研磨布)
平均砥粒径15μm(砥粒径/極細繊維径の比率:38)のサンドペーパーを用いて、ペーパー速度800m/分、シート速度5.5m/分(比率:145)、3段バッフィングのトータルバッフィング研削量19g/m、最大研削負荷を210W/mでバッフィング研削し起毛された立毛を有する研磨布を作製したこと以外は、実施例1と同様にして研磨布を得た。得られた研磨布は、極細繊維の平均繊維径が0.40μm、厚さが0.55mm、目付が190g/m、見かけ密度が0.345g/cmであった。結果を表1に示す。
(Polishing cloth)
Using sandpaper with an average abrasive particle size of 15 μm (ratio of abrasive particle size / ultrafine fiber diameter: 38), a paper speed of 800 m / min, a sheet speed of 5.5 m / min (ratio: 145), a total buffing of three-stage buffing A polishing cloth was obtained in the same manner as in Example 1 except that a polishing cloth having bristles raised by buffing grinding with a grinding amount of 19 g / m 2 and a maximum grinding load of 210 W / m was produced. The obtained polishing cloth had an average fiber diameter of 0.40 μm, a thickness of 0.55 mm, a basis weight of 190 g / m 2 , and an apparent density of 0.345 g / cm 3 . The results are shown in Table 1.

[比較例1]
(原綿)
実施例1で用いたと同様の、単繊維繊度が4.7dtex、繊維長が51mmの海島型複合繊維の原綿を用いた。
[Comparative Example 1]
(raw cotton)
The same raw material of sea-island type composite fiber having a single fiber fineness of 4.7 dtex and a fiber length of 51 mm, similar to that used in Example 1, was used.

(極細繊維発生型繊維不織布)
実施例1と同様にして、極細繊維発生型繊維からなる不織布を得た。
(Extra-fine fiber generation type nonwoven fabric)
In the same manner as in Example 1, a nonwoven fabric made of ultrafine fiber generating fibers was obtained.

(研磨布)
平均砥粒径55μm(砥粒径/極細繊維径の比率:75)のサンドペーパーを用いて、ペーパー速度800m/分、シート速度10.0m/分(比率:80)、3段バッフィングのトータルバッフィング研削量50g/m、最大研削負荷を640W/mでバッフィング研削し起毛された立毛を有する研磨布を作製したこと以外は、実施例1と同様にして研磨布を得た。得られた研磨布は、極細繊維の平均繊維径が0.73μm、厚さが0.53mm、目付が172g/m、見かけ密度が0.325g/cmであった。ペーパー速度とシート速度の比率が80と低かったため、研削が有効にされておらず、繊維長はまばらで、表面繊維に融着が散見されるものであり、研磨性能についても、基板表面粗さ、スクラッチ個数ともに満足のいくものではなかった。結果を表1に示す。
(Polishing cloth)
Using sandpaper with an average abrasive particle size of 55 μm (ratio of abrasive particle size / ultrafine fiber diameter: 75), a paper speed of 800 m / min, a sheet speed of 10.0 m / min (ratio: 80), and total buffing of three-stage buffing A polishing cloth was obtained in the same manner as in Example 1 except that a polishing cloth having raised napping was produced by buffing grinding with a grinding amount of 50 g / m 2 and a maximum grinding load of 640 W / m. The obtained abrasive cloth had an average fiber diameter of 0.73 μm, a thickness of 0.53 mm, a basis weight of 172 g / m 2 , and an apparent density of 0.325 g / cm 3 . Since the ratio of the paper speed to the sheet speed was as low as 80, grinding was not effective, the fiber length was sparse, the surface fibers were scattered, and the polishing performance was also the substrate surface roughness. The number of scratches was not satisfactory. The results are shown in Table 1.

[比較例2]
(原綿)
実施例3で用いた海島型複合繊維の原綿と同様の原綿を用いた。
[Comparative Example 2]
(raw cotton)
The same raw cotton as that of the sea-island type composite fiber used in Example 3 was used.

(極細繊維発生型繊維不織布)
上記の海島型複合繊維の原綿を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、極細繊維発生型繊維不織布を得た。
(Extra-fine fiber generation type nonwoven fabric)
An ultrafine fiber-generating fiber nonwoven fabric was obtained in the same manner as in Example 1 except that the above-mentioned sea-island type composite fiber was used.

(研磨布)
平均砥粒径15μm(砥粒径/極細繊維径の比率:6)のサンドペーパーにて、ペーパー速度1000m/分、シート速度10.0m/分(比率:100)、3段バッフィングのトータルバッフィング研削量50g/m、最大研削負荷を570W/mでバッフィング研削し起毛された立毛を有する研磨布を作製したこと以外は、実施例1と同様にして研磨布を得た。得られた研磨布は、極細繊維の平均繊維径が2.6μm、厚さが0.52mm、目付が168g/m、見かけ密度が0.323g/cmであった。砥粒径と繊維径の比率が6であったため、砥粒径が小さすぎることで効率的に研削が行えず、繊維長がまばらとなるばかりでなく、一部表面繊維には融着が見られた。また、研磨性能についても、基板表面粗さ、スクラッチ個数ともに満足のいくものではなかった。結果を表1に示す。
(Polishing cloth)
Total buffing grinding of three-stage buffing with sandpaper having an average abrasive grain size of 15 μm (ratio of abrasive grain size / ultrafine fiber diameter: 6), paper speed of 1000 m / min, sheet speed of 10.0 m / min (ratio: 100) A polishing cloth was obtained in the same manner as in Example 1 except that a polishing cloth having napped bristles was produced by buffing grinding at an amount of 50 g / m 2 and a maximum grinding load of 570 W / m. The obtained polishing cloth had an average fiber diameter of 2.6 μm, a thickness of 0.52 mm, a basis weight of 168 g / m 2 , and an apparent density of 0.323 g / cm 3 . Since the ratio of the abrasive particle diameter to the fiber diameter was 6, grinding was not efficient because the abrasive particle diameter was too small, the fiber length was not sparse, and some surface fibers were not fused. It was. Also, regarding the polishing performance, neither the substrate surface roughness nor the number of scratches was satisfactory. The results are shown in Table 1.

[比較例3]
(原綿)
実施例4と同様の、繊度が5.5dtex、繊維長が51mmの海島型複合繊維の原綿を用いた。
[Comparative Example 3]
(raw cotton)
The same raw material of sea-island type composite fiber having a fineness of 5.5 dtex and a fiber length of 51 mm was used as in Example 4.

(極細繊維発生型繊維不織布)
上記の海島型複合繊維の原綿を用いたこと以外は、実施例1と同様にして極細繊維発生型繊維不織布を得た。
(Extra-fine fiber generation type nonwoven fabric)
An ultrafine fiber-generating fiber nonwoven fabric was obtained in the same manner as in Example 1 except that the above-mentioned sea-island type composite fiber was used.

(研磨布)
3段バッフィングのトータルバッフィング研削量7g/m、最大研削負荷を130W/mでバッフィング研削し起毛された立毛を有する研磨布を作製したこと以外は、実施例4と同様にして研磨布を得た。得られた研磨布は、極細繊維の平均繊維径が1.0μm、厚さが0.54mm、目付が176g/m、見かけ密度が0.326g/cmであった。研削量が7g/mであり、研削負荷も130W/mであったため、研削が十分行えず、繊維長がまばらであるだけでなく、表面にポリウレタンの削り残しが散見されるものであった。また、研磨性能についても、基板表面粗さ、スクラッチ個数ともに満足のいくものではなかった。結果を表1に示す。
(Polishing cloth)
A polishing cloth was obtained in the same manner as in Example 4, except that a buffing grinding was performed with buffing grinding at a maximum grinding load of 130 W / m and a raised buffing was produced, with a total buffing grinding amount of 3 steps buffing of 7 g / m 2 . It was. The obtained polishing cloth had an average fiber diameter of ultrafine fibers of 1.0 μm, a thickness of 0.54 mm, a basis weight of 176 g / m 2 , and an apparent density of 0.326 g / cm 3 . Since the grinding amount was 7 g / m 2 and the grinding load was 130 W / m, grinding could not be performed sufficiently, the fiber length was not sparse, and polyurethane uncut residue was observed on the surface. . Also, regarding the polishing performance, neither the substrate surface roughness nor the number of scratches was satisfactory. The results are shown in Table 1.

[比較例4]
(原綿)
実施例4で用いたのと同様のPETとポリスチレンを、それぞれ海成分と島成分として用いた。また、島本数16島/ホールの海島型複合口金を用いて、島/海質量比率60/40、吐出量1.9g/分・ホール、島としたこと以外は、実施例1と同様にして、繊度3.6dtex、繊維長51mmの海島型複合繊維の原綿を得た。
[Comparative Example 4]
(raw cotton)
PET and polystyrene similar to those used in Example 4 were used as the sea component and the island component, respectively. Moreover, it is the same as that of Example 1 except that the island / sea mass ratio is 60/40, the discharge rate is 1.9 g / min / hole, and the island is made using a sea-island type composite base having 16 islands / hole. A raw cotton of a sea-island type composite fiber having a fineness of 3.6 dtex and a fiber length of 51 mm was obtained.

(極細繊維発生型繊維不織布)
上記の海島型複合繊維の原綿を用いたこと以外は、実施例1と同様にして極細繊維発生型繊維不織布を得た。
(Extra-fine fiber generation type nonwoven fabric)
An ultrafine fiber-generating fiber nonwoven fabric was obtained in the same manner as in Example 1 except that the above-mentioned sea-island type composite fiber was used.

(研磨布)
平均砥粒径75μm(砥粒径/極細繊維径の比率:21)のサンドペーパーを用いて、ペーパー速度1000m/分、シート速度10.0m/分(比率:100)、3段バッフィングのトータルバッフィング研削量43g/m、最大研削負荷を460W/mでバッフィング研削し起毛された立毛を有する研磨布を作製したこと以外は、実施例1と同様にして研磨布を得た。得られた研磨布は、極細繊維の平均繊維径が3.5μm、厚さ0.52mm、目付178g/m、見かけ密度0.342g/cmであった。研磨布の繊維径が3.5μmと太いために、表面の極細繊維の先端は引きちぎられた状態となっており、極細繊維先端に球状の突起は形成されなかった。また、繊維径が太いことにより、研磨性能についても、基板表面粗さ、スクラッチ個数ともに満足のいくものではなかった。結果を表1に示す。
(Polishing cloth)
Using a sandpaper with an average abrasive grain size of 75 μm (ratio of abrasive grain size / ultrafine fiber diameter: 21), a paper speed of 1000 m / min, a sheet speed of 10.0 m / min (ratio: 100), and total buffing of three-stage buffing A polishing cloth was obtained in the same manner as in Example 1 except that a polishing cloth having a raised surface was produced by buffing grinding with a grinding amount of 43 g / m 2 and a maximum grinding load of 460 W / m. The obtained polishing cloth had an average fiber diameter of ultrafine fibers of 3.5 μm, a thickness of 0.52 mm, a basis weight of 178 g / m 2 , and an apparent density of 0.342 g / cm 3 . Since the fiber diameter of the polishing cloth was as thick as 3.5 μm, the tip of the ultrafine fiber on the surface was torn off, and no spherical protrusion was formed on the tip of the ultrafine fiber. Further, due to the large fiber diameter, the substrate surface roughness and the number of scratches were not satisfactory in terms of polishing performance. The results are shown in Table 1.

[比較例5]
(原綿)
実施例1で用いた海島型複合繊維の原綿と同様の原綿を用いた。
[Comparative Example 5]
(raw cotton)
The same raw cotton as that of the sea-island type composite fiber used in Example 1 was used.

(極細繊維発生型繊維不織布)
上記の海島型複合繊維の原綿を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、極細繊維発生型繊維不織布を得た。
(Extra-fine fiber generation type nonwoven fabric)
An ultrafine fiber-generating fiber nonwoven fabric was obtained in the same manner as in Example 1 except that the above-mentioned sea-island type composite fiber was used.

(研磨布)
平均砥粒径75μm(砥粒径/極細繊維径の比率:103)のサンドペーパーにて、ペーパー速度800m/分、シート速度5.3m/分(比率:151)、3段バッフィングのトータルバッフィング研削量50g/m、最大研削負荷を580W/mでバッフィング研削し起毛された立毛を有する研磨布を作製したこと以外は、実施例1と同様にして研磨布を得た。得られた研磨布は、極細繊維の平均繊維径が0.73μm、厚さが0.53mm、目付が170g/m、見かけ密度が0.321g/cmであった。砥粒径と繊維径の比率が103であったため、砥粒径が大きすぎることで効率的に研削が行えず、繊維長がまばらとなった。また、研磨性能についても、基板表面粗さ、スクラッチ個数ともに満足のいくものではなかった。結果を表1に示す。
(Polishing cloth)
Using a sandpaper with an average abrasive particle size of 75 μm (ratio of abrasive particle size / ultrafine fiber diameter: 103), a paper speed of 800 m / min, a sheet speed of 5.3 m / min (ratio: 151), and total buffing grinding with three-stage buffing A polishing cloth was obtained in the same manner as in Example 1 except that a polishing cloth having bristles raised by buffing grinding at an amount of 50 g / m 2 and a maximum grinding load of 580 W / m was produced. The obtained polishing cloth had an average fiber diameter of ultrafine fibers of 0.73 μm, a thickness of 0.53 mm, a basis weight of 170 g / m 2 , and an apparent density of 0.321 g / cm 3 . Since the ratio of the abrasive particle diameter to the fiber diameter was 103, the abrasive particle diameter was too large, so that grinding could not be performed efficiently, and the fiber length was sparse. Also, regarding the polishing performance, neither the substrate surface roughness nor the number of scratches was satisfactory. The results are shown in Table 1.

[比較例6]
(原綿)
実施例1で用いた海島型複合繊維の原綿と同様の原綿を用いた。
[Comparative Example 6]
(raw cotton)
The same raw cotton as that of the sea-island type composite fiber used in Example 1 was used.

(極細繊維発生型繊維不織布)
上記の海島型複合繊維の原綿を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、極細繊維発生型繊維不織布を得た。
(Extra-fine fiber generation type nonwoven fabric)
An ultrafine fiber-generating fiber nonwoven fabric was obtained in the same manner as in Example 1 except that the above-mentioned sea-island type composite fiber was used.

(研磨布)
1、2段目のペーパー速度800m/分、シート速度5.0m/分(比率:160)、3段目のペーパー速度600m/分、シート速度5.0m/分(比率:120)、バッフィングの各段の研削量を20、15、5g/mとし(50:38:12)、トータルバッフィング研削量40g/m、最大研削負荷を1060W/mでバッフィング研削し起毛された立毛を有する研磨布を作製したこと以外は、実施例1と同様にして研磨布を得た。得られた研磨布は、極細繊維の平均繊維径が0.73μm、厚さが0.52mm、目付が171g/m、見かけ密度が0.329g/cmであった。1段目に対し、2段目の研削比率が高いことから、仕上がり後も、2段目で多く研削した影響が残っており、表面状態が均一なものではなかった。また、研削負荷が1060W/mと高かったため、繊維の間の融着が見られた。研磨性能についても、基板表面粗さ、スクラッチ個数ともに満足のいくものではなかった。結果を表1に示す。
(Polishing cloth)
First and second stage paper speeds of 800 m / min, sheet speed of 5.0 m / min (ratio: 160), third stage paper speed of 600 m / min, sheet speed of 5.0 m / min (ratio: 120), buffing the grinding amount of each stage and 20,15,5g / m 2 (50:38:12), polishing with a buffing abrasive brushed been napped total buffing grinding amount 40 g / m 2, the maximum grinding load 1060W / m An abrasive cloth was obtained in the same manner as in Example 1 except that the cloth was produced. The obtained polishing cloth had an average fiber diameter of ultrafine fibers of 0.73 μm, a thickness of 0.52 mm, a basis weight of 171 g / m 2 , and an apparent density of 0.329 g / cm 3 . Since the grinding ratio of the second stage was higher than that of the first stage, the effect of grinding much in the second stage remained even after finishing, and the surface state was not uniform. Moreover, since the grinding load was as high as 1060 W / m, fusion between the fibers was observed. As for the polishing performance, neither the substrate surface roughness nor the number of scratches was satisfactory. The results are shown in Table 1.

[比較例7]
(原綿)
実施例1で用いた海島型複合繊維の原綿と同様の原綿を用いた。
[Comparative Example 7]
(raw cotton)
The same raw cotton as that of the sea-island type composite fiber used in Example 1 was used.

(極細繊維発生型繊維不織布)
上記の海島型複合繊維の原綿を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、極細繊維発生型繊維不織布を得た。
(Extra-fine fiber generation type nonwoven fabric)
An ultrafine fiber-generating fiber nonwoven fabric was obtained in the same manner as in Example 1 except that the above-mentioned sea-island type composite fiber was used.

(研磨布)
3段バッフィングのトータルバッフィング研削量89g/m、最大研削負荷を870W/mでバッフィング研削し起毛された立毛を有する研磨布を作製したこと以外は、実施例1と同様にして研磨布を得た。得られた研磨布は、極細繊維の平均繊維径が0.73μm、厚さが0.50mm、目付が158g/m、見かけ密度が0.316g/cmであった。研削量が89g/mと多かったため、研削熱により繊維の融着が多数見られた。また、研磨性能についても、基板表面粗さ、スクラッチ個数ともに満足のいくものではなかった。結果を表1に示す。
(Polishing cloth)
A three-stage buffing Total Buffing grinding amount 89 g / m 2, except that to prepare a polishing cloth having a maximum grinding load is buffing grinding brushed with 870W / m nap, to obtain a polishing cloth in the same manner as in Example 1 It was. The obtained polishing cloth had an average fiber diameter of 0.73 μm, a thickness of 0.50 mm, a basis weight of 158 g / m 2 , and an apparent density of 0.316 g / cm 3 . Since the grinding amount was as large as 89 g / m 2 , many fiber fusions were observed due to grinding heat. Also, regarding the polishing performance, neither the substrate surface roughness nor the number of scratches was satisfactory. The results are shown in Table 1.

1:球状先端部
2:多角形状先端部
1: Spherical tip 2: Polygonal tip

Claims (4)

平均繊維径0.1〜3.0μmの極細繊維を主体とする繊維絡合体と弾性重合体で構成され表面の極細繊維が起毛された研磨布であって、前記の起毛された極細繊維の50.0〜100.0%の極細繊維の先端部が、繊維径に対し120〜300%の大きさの径を有することを特徴とする研磨布。   A polishing cloth composed of a fiber entanglement mainly composed of ultrafine fibers having an average fiber diameter of 0.1 to 3.0 μm and an elastic polymer, and having raised ultrafine fibers on the surface, and 50 of the raised ultrafine fibers. A polishing cloth characterized in that the tip of 0.0 to 100.0% of ultrafine fibers has a diameter of 120 to 300% of the fiber diameter. 平均繊維径0.1〜3.0μmの極細繊維を主体とする繊維絡合体と弾性重合体で構成されたシートを走行させ、前記の極細繊維の平均繊維径に対し10〜90倍の平均砥粒径のサンドペーパーを、シート速度に対して100〜160倍の速度で走行する前記シートの進行方向と逆方に回転させ、トータル研削量を10〜80g/m、研削負荷を200〜1000W/mの範囲としてバッフィング研削することを特徴とする研磨布の製造方法。 A sheet composed of a fiber entangled body mainly composed of ultrafine fibers having an average fiber diameter of 0.1 to 3.0 μm and an elastic polymer is run, and an average abrasive 10 to 90 times the average fiber diameter of the ultrafine fibers. The sandpaper having a particle size is rotated in the direction opposite to the traveling direction of the sheet traveling at a speed of 100 to 160 times the sheet speed, the total grinding amount is 10 to 80 g / m 2 , and the grinding load is 200 to 1000 W. A method for producing an abrasive cloth, characterized in that buffing is performed within a range of / m. バッフィング研削時、シートとサンドペーパーの接触長が5〜50mmの範囲であることを特徴とする請求項2記載の研磨布の製造方法。   The method for producing an abrasive cloth according to claim 2, wherein the contact length between the sheet and the sandpaper is in the range of 5 to 50 mm during buffing grinding. バッフィング研削時、研削クリアランスが、目標厚みに対し0.1〜0.9倍の範囲であることを特徴とする請求項2または3記載の研磨布の製造方法。   4. The method for producing an abrasive cloth according to claim 2, wherein the grinding clearance is 0.1 to 0.9 times the target thickness during buffing grinding.
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