JP5507938B2 - Photosensitive resin composition for color filter, color filter, and liquid crystal display - Google Patents

Photosensitive resin composition for color filter, color filter, and liquid crystal display Download PDF

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Description

本発明は、カラーフィルター用感光性樹脂組成物、並びにその感光性樹脂組成物を用いて製造されたカラーフィルター及び液晶表示ディスプレイに関する。 The present invention relates to a photosensitive resin composition for a color filter, and a color filter and a liquid crystal display manufactured using the photosensitive resin composition.

感光性樹脂組成物は、露光・現像により所望の形状の樹脂パターンを得ることができるため、印刷板、ホトレジスト、或いは液晶表示ディスプレイにおけるカラーフィルター、スペーサー等の種々の用途に用いられている。例えば、カラーフィルターを製造する場合には、先ず、基板に黒色の感光性樹脂組成物を塗布し、真空乾燥装置(VCD)により減圧乾燥(真空乾燥)させた後、露光、現像し、ブラックマトリクスを形成する。次いで、R、G、B各色の感光性樹脂組成物毎に、塗布、露光、現像を繰り返すことで、各色のパターンを所定の位置に形成してカラーフィルターを製造する。   Since the photosensitive resin composition can obtain a resin pattern having a desired shape by exposure and development, it is used for various applications such as a color filter and a spacer in a printing plate, a photoresist, or a liquid crystal display. For example, when manufacturing a color filter, first, a black photosensitive resin composition is applied to a substrate, dried under reduced pressure (vacuum drying) with a vacuum drying apparatus (VCD), exposed to light, developed, and black matrix. Form. Next, coating, exposure, and development are repeated for each of the R, G, and B photosensitive resin compositions, thereby forming a pattern of each color at a predetermined position to manufacture a color filter.

このような用途においては、塗布後の感光性樹脂層の膜厚を均一にすることが重要な課題の1つである。従来、感光性樹脂層の膜厚を均一にするためには、感光性樹脂組成物にレベリング効果を有する界面活性剤を添加することが一般的である(特許文献1,2等を参照)。   In such applications, it is one of the important issues to make the film thickness of the photosensitive resin layer after coating uniform. Conventionally, in order to make the film thickness of the photosensitive resin layer uniform, it is common to add a surfactant having a leveling effect to the photosensitive resin composition (see Patent Documents 1 and 2, etc.).

特開2005−107131号公報JP-A-2005-107131 特開2005−105045号公報JP 2005-105045 A

しかしながら、特に着色剤を含有する感光性樹脂組成物の場合、着色剤を分散させる分散剤の構造が界面活性剤の構造と類似しているため、界面活性剤の効果が十分に得られず、感光性樹脂層の塗布均一性・平坦性が悪くなっていた。また、近年では、カラーフィルターやブラックマトリクスにおいて高い色濃度や高いOD(Optical Density)値が望まれる結果、着色剤の添加量が増加する傾向にあり、このことが、感光性樹脂組成物の流動性の低下に繋がり、感光性樹脂層の塗布均一性・平坦性がより悪くなる要因となっていた。   However, particularly in the case of a photosensitive resin composition containing a colorant, since the structure of the dispersant for dispersing the colorant is similar to the structure of the surfactant, the effect of the surfactant cannot be sufficiently obtained. The coating uniformity and flatness of the photosensitive resin layer were poor. In recent years, as a result of the desire for high color density and high OD (Optical Density) value in color filters and black matrices, the amount of colorant added tends to increase. This has led to a decrease in the coating property and the coating uniformity and flatness of the photosensitive resin layer become worse.

さらに、感光性樹脂層を真空乾燥させた際に、感光性樹脂層にディフェクト(欠陥)が生じたり、加熱処理を施した際に、基板を支持するプロキシピンの跡(ピン跡)が感光性樹脂層に残ったりすることがあるが、本件発明者らが調査・研究したところ、界面活性剤の種類・性質がこれらの要因の1つであることが分かった。   Furthermore, when the photosensitive resin layer is vacuum-dried, defects (defects) occur in the photosensitive resin layer, or when the heat treatment is performed, the traces of proxy pins (pin marks) that support the substrate are photosensitive. Although it may remain in the resin layer, the present inventors investigated and studied, and it was found that the type and property of the surfactant is one of these factors.

本発明は、このような従来の実情に鑑みてなされたものであり、レベリング効果が高く、着色剤を含有する場合であっても塗布均一性・平坦性に優れた感光性樹脂層を得ることが可能であり、かつ、ディフェクトやピン跡の発生を低減することが可能な感光性樹脂組成物、並びにその感光性樹脂組成物を用いて製造されたカラーフィルター及び液晶表示ディスプレイを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a conventional situation, and obtains a photosensitive resin layer having a high leveling effect and excellent coating uniformity and flatness even when a colorant is contained. A photosensitive resin composition capable of reducing the occurrence of defects and pin marks, and a color filter and a liquid crystal display manufactured using the photosensitive resin composition are provided. Objective.

本発明者らは、上記課題を解決するため、様々な種類の界面活性剤について鋭意研究を重ねた。そして、シリコーン系の界面活性剤はフッ素系の界面活性剤よりもレベリング効果が低く、また、形成した感光性樹脂層の上に別の感光性樹脂組成物を塗布する場合の塗布性が低く、塗りムラが発生する虞があることから、フッ素系の界面活性剤を中心にさらに検討を重ねた。その結果、特定のフッ素系の界面活性剤を用いることにより上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的には、本発明は以下のようなものを提供する。   In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have conducted extensive research on various types of surfactants. And, the silicone-based surfactant has a lower leveling effect than the fluorine-based surfactant, and the coating property when applying another photosensitive resin composition on the formed photosensitive resin layer is low, Since there is a risk of uneven coating, further investigations were repeated with a focus on fluorine-based surfactants. As a result, the inventors have found that the above problem can be solved by using a specific fluorine-based surfactant, and have completed the present invention. Specifically, the present invention provides the following.

本発明の第一の態様は、(A)樹脂成分、(B)感光剤、及び(C)界面活性剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(C)界面活性剤が、炭素数1〜20のフッ素化アルキル基(但し、エーテル結合、エステル結合、カルボニル基、ウレタン結合で中断されていてもよい。)と親媒性基とを側鎖に有し、かつ質量平均分子量が10000〜50000の重合体である感光性樹脂組成物である。   A first aspect of the present invention is a photosensitive resin composition containing (A) a resin component, (B) a photosensitive agent, and (C) a surfactant, wherein the (C) surfactant is carbon. It has a fluorinated alkyl group of 1 to 20 (but may be interrupted by an ether bond, an ester bond, a carbonyl group or a urethane bond) and a philic group in the side chain, and has a mass average molecular weight. It is the photosensitive resin composition which is a 10000-50000 polymer.

本発明の第二の態様は、本発明に係る感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターンを有するカラーフィルターである。   The second aspect of the present invention is a color filter having a pattern formed using the photosensitive resin composition according to the present invention.

本発明の第三の態様は、本発明に係るカラーフィルターを有する液晶表示ディスプレイである。   A third aspect of the present invention is a liquid crystal display having the color filter according to the present invention.

本発明に係る感光性樹脂組成物はレベリング性が高いため、着色剤を含有する場合であっても、塗布均一性・平坦性に優れた感光性樹脂層を得ることができる。また、液晶表示ディスプレイのカラーフィルターを製造する場合にも、感光性樹脂層におけるディフェクトやピン跡の発生を低減することができる。   Since the photosensitive resin composition according to the present invention has a high leveling property, a photosensitive resin layer excellent in coating uniformity and flatness can be obtained even when it contains a colorant. Further, when manufacturing a color filter for a liquid crystal display, it is possible to reduce the occurrence of defects and pin marks in the photosensitive resin layer.

本発明の実施例におけるムラ幅を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the nonuniformity width | variety in the Example of this invention.

≪感光性樹脂組成物≫
本発明に係る感光性樹脂組成物は、(A)樹脂成分、(B)感光剤、及び(C)界面活性剤を含有するものである。この感光性樹脂組成物は、ネガ型であってもポジ型であってもよく、ポジ型の場合には非化学増幅型であっても化学増幅型であってもよい。以下、感光性樹脂組成物に含有される各成分について詳細に説明する。
≪Photosensitive resin composition≫
The photosensitive resin composition according to the present invention contains (A) a resin component, (B) a photosensitive agent, and (C) a surfactant. This photosensitive resin composition may be a negative type or a positive type, and in the case of a positive type, it may be a non-chemical amplification type or a chemical amplification type. Hereinafter, each component contained in the photosensitive resin composition will be described in detail.

<(A)樹脂成分>
本発明に係る感光性樹脂組成物に含有される(A)樹脂成分は、該感光性樹脂組成物がネガ型であるかポジ型であるか、或いは非化学増幅型であるか化学増幅型であるかによって異なる。
<(A) Resin component>
The resin component (A) contained in the photosensitive resin composition according to the present invention is a negative or positive type, a non-chemically amplified type or a chemically amplified type. It depends on whether there is.

本発明に係る感光性樹脂組成物がネガ型である場合、(A)樹脂成分としてアルカリ可溶性樹脂が用いられ、このアルカリ可溶性樹脂は光重合性樹脂を含む。この光重合性樹脂としては、エチレン性不飽和基を有する樹脂が好ましい。
エチレン性不飽和基を有する樹脂としては、(メタ)アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテル(メタ)アクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、カルドエポキシジアクリレート等が重合したオリゴマー類;多価アルコール類と一塩基酸又は多塩基酸とを縮合して得られるポリエステルプレポリマーに(メタ)アクリル酸を反応させて得られるポリエステル(メタ)アクリレート、ポリオールと2個のイソシアネート基を持つ化合物とを反応させた後、(メタ)アクリル酸を反応させて得られるポリウレタン(メタ)アクリレート;ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノール又はクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、レゾール型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ポリカルボン酸ポリグリシジルエステル、ポリオールポリグリシジルエステル、脂肪族又は脂環式エポキシ樹脂、アミンエポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸とを反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂等が挙げられる。さらに、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂に多塩基酸無水物を反応させた樹脂を好適に用いることができる。
When the photosensitive resin composition according to the present invention is a negative type, (A) an alkali-soluble resin is used as the resin component, and the alkali-soluble resin contains a photopolymerizable resin. As this photopolymerizable resin, a resin having an ethylenically unsaturated group is preferred.
As the resin having an ethylenically unsaturated group, (meth) acrylic acid, fumaric acid, maleic acid, monomethyl fumarate, monoethyl fumarate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, ethylene glycol monomethyl ether (meth) acrylate, ethylene Glycol monoethyl ether (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, (meth) acrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) Acrylate, benzyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetrae Lenglycol di (meth) acrylate, butylene glycol dimethacrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolpropane tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra Oligomers in which (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, cardoepoxy diacrylate, etc. are polymerized; polyhydric alcohols (Meth) acrylate obtained by reacting (meth) acrylic acid with polyester prepolymer obtained by condensing monobasic acid or polybasic acid with And polyurethane (meth) acrylate obtained by reacting a polyol and a compound having two isocyanate groups and then reacting with (meth) acrylic acid; bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S Type epoxy resin, phenol or cresol novolac type epoxy resin, resol type epoxy resin, triphenolmethane type epoxy resin, polycarboxylic acid polyglycidyl ester, polyol polyglycidyl ester, aliphatic or cycloaliphatic epoxy resin, amine epoxy resin, dihydroxy Examples include epoxy (meth) acrylate resins obtained by reacting an epoxy resin such as a benzene type epoxy resin with (meth) acrylic acid. Furthermore, a resin obtained by reacting an epoxy (meth) acrylate resin with a polybasic acid anhydride can be suitably used.

また、エチレン性不飽和基を有する樹脂としては、エポキシ化合物と不飽和基含有カルボン酸化合物との反応物を、さらに多塩基酸無水物と反応させることにより得られる樹脂を好適に用いることができる。
その中でも、下記式(a1)で表される化合物が好ましい。この式(a1)で表される化合物は、それ自体が、光硬化性が高い点で好ましい。

Figure 0005507938
As the resin having an ethylenically unsaturated group, a resin obtained by further reacting a reaction product of an epoxy compound and an unsaturated group-containing carboxylic acid compound with a polybasic acid anhydride can be preferably used. .
Among these, the compound represented by the following formula (a1) is preferable. The compound represented by the formula (a1) itself is preferable in terms of high photocurability.
Figure 0005507938

上記式(a1)中、Xは、下記式(a2)で表される基を示す。

Figure 0005507938
In the above formula (a1), X represents a group represented by the following formula (a2).
Figure 0005507938

上記式(a2)中、R1aは、それぞれ独立に水素原子、炭素数1〜6の炭化水素基、又はハロゲン原子を示し、R2aは、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、Wは、単結合又は下記式(a3)で表される基を示す。

Figure 0005507938
In the above formula (a2), R 1a independently represents a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or a halogen atom, R 2a independently represents a hydrogen atom or a methyl group, and W represents , A single bond or a group represented by the following formula (a3).
Figure 0005507938

また、上記式(a1)中、Yは、ジカルボン酸無水物から酸無水物基(−CO−O−CO−)を除いた残基を示す。ジカルボン酸無水物の例としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸等が挙げられる。   In the formula (a1), Y represents a residue obtained by removing the acid anhydride group (—CO—O—CO—) from the dicarboxylic acid anhydride. Examples of dicarboxylic acid anhydrides include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorendic anhydride, methyltetrahydro Examples thereof include phthalic anhydride and glutaric anhydride.

また、上記式(a1)中、Zは、テトラカルボン酸二無水物から2個の酸無水物基を除いた残基を示す。テトラカルボン酸二無水物の例としては、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
また、上記式(a1)中、nは、0〜20の整数を示す。
In the formula (a1), Z represents a residue obtained by removing two acid anhydride groups from tetracarboxylic dianhydride. Examples of tetracarboxylic dianhydrides include pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, biphenyl tetracarboxylic dianhydride, biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, and the like.
Moreover, in said formula (a1), n shows the integer of 0-20.

エチレン性不飽和基を有する樹脂の酸価は、樹脂固形分で、10〜150mgKOH/gであることが好ましく、70〜110mgKOH/gであることがより好ましい。酸価を10mgKOH/g以上とすることにより、現像液に対する十分な溶解性が得られる。また、酸価を150mgKOH/g以下とすることにより、十分な硬化性を得ることができ、表面性を良好にすることができる。   The acid value of the resin having an ethylenically unsaturated group is preferably 10 to 150 mgKOH / g, and more preferably 70 to 110 mgKOH / g, in terms of resin solids. By setting the acid value to 10 mgKOH / g or more, sufficient solubility in the developer can be obtained. Moreover, by making an acid value into 150 mgKOH / g or less, sufficient sclerosis | hardenability can be obtained and surface property can be made favorable.

また、エチレン性不飽和基を有する樹脂の質量平均分子量(Mw:ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)のポリスチレン換算による測定値。本明細書において同じ。)は、1000〜40000であることが好ましく、2000〜30000であることがより好ましい。質量平均分子量を1000以上とすることにより、耐熱性、膜強度を向上させることができる。また、質量平均分子量を40000以下とすることにより、現像液に対する十分な溶解性を得ることができる。   The mass average molecular weight of the resin having an ethylenically unsaturated group (Mw: measured value in terms of polystyrene in gel permeation chromatography (GPC). Same in this specification) is preferably 1000 to 40000, 2000 More preferably, it is ˜30000. By setting the mass average molecular weight to 1000 or more, heat resistance and film strength can be improved. Moreover, sufficient solubility with respect to a developing solution can be acquired by making a mass mean molecular weight into 40000 or less.

一方、本発明に係る感光性樹脂組成物がポジ型である場合、非化学増幅型の感光性樹脂組成物と化学増幅型の感光性樹脂組成物とが存在する。   On the other hand, when the photosensitive resin composition according to the present invention is a positive type, there are a non-chemically amplified photosensitive resin composition and a chemically amplified photosensitive resin composition.

本発明に係る感光性樹脂組成物がポジ型かつ非化学増幅型である場合、(A)樹脂成分としてアルカリ可溶性樹脂が用いられる。このアルカリ可溶性樹脂としては、フェノール類(フェノール、m−クレゾール、p−クレゾール、キシレノール、トリメチルフェノール等)と、アルデヒド類(ホルムアルデヒド、ホルムアルデヒド前駆体、プロピオンアルデヒド、2−ヒドロキシベンズアルデヒド、3−ヒドロキシベンズアルデヒド、4−ヒドロキシベンズアルデヒド等)及び/又はケトン類(メチルエチルケトン、アセトン等)とを、酸性触媒存在下に縮合させて得られるノボラック樹脂;(メタ)アクリル酸又はその誘導体を重合させて得られるアクリル系樹脂;ヒドロキシスチレンの単独重合体、又はヒドロキシスチレンと他のスチレン系モノマーとの共重合体;ヒドロキシスチレンと(メタ)アクリル酸又はその誘導体との共重合体等が挙げられる。
その中でも、p−ヒドロキシルフェニル(メタ)アクリレート、p−ヒドロキシフェニルエチル(メタ)アクリレート等のヒドロキシフェニル基を有する(メタ)アクリル酸誘導体と、グリシジル(メタ)アクリレート等の熱架橋性基を有する(メタ)アクリル酸誘導体との共重合体が好ましい。
When the photosensitive resin composition according to the present invention is positive and non-chemically amplified, an alkali-soluble resin is used as the resin component (A). Examples of the alkali-soluble resin include phenols (phenol, m-cresol, p-cresol, xylenol, trimethylphenol, etc.) and aldehydes (formaldehyde, formaldehyde precursor, propionaldehyde, 2-hydroxybenzaldehyde, 3-hydroxybenzaldehyde, 4-hydroxybenzaldehyde, etc.) and / or ketones (methyl ethyl ketone, acetone, etc.) in the presence of an acidic catalyst, a novolak resin; an acrylic resin obtained by polymerizing (meth) acrylic acid or its derivative A homopolymer of hydroxystyrene or a copolymer of hydroxystyrene and another styrene-based monomer; a copolymer of hydroxystyrene and (meth) acrylic acid or a derivative thereof;
Among them, (meth) acrylic acid derivatives having a hydroxyphenyl group such as p-hydroxylphenyl (meth) acrylate and p-hydroxyphenylethyl (meth) acrylate, and thermally crosslinkable groups such as glycidyl (meth) acrylate ( A copolymer with a (meth) acrylic acid derivative is preferred.

このようなアルカリ可溶性樹脂の質量平均分子量は、2000〜50000であることが好ましく、5000〜30000であることがより好ましい。質量平均分子量を2000以上とすることにより、容易に膜状に形成することが可能となる。また、質量平均分子量を50000以下とすることによって、現像液に対する十分な溶解性を得ることができる。   The mass average molecular weight of such an alkali-soluble resin is preferably 2000 to 50000, and more preferably 5000 to 30000. By setting the mass average molecular weight to 2000 or more, it can be easily formed into a film. Moreover, sufficient solubility with respect to a developing solution can be acquired by making a mass mean molecular weight into 50000 or less.

また、本発明に係る感光性樹脂組成物がポジ型かつ化学増幅型である場合、(A)樹脂成分として、酸の作用によりアルカリ溶解性が増大する樹脂が用いられる。このような樹脂としては、酸解離性溶解抑制基で保護されたアルカリ可溶性樹脂が用いられ、ArFエキシマレーザー用、KrFエキシマレーザー用等のレジスト用樹脂に用いられるものとして従来から知られている多数のものが使用可能である。   When the photosensitive resin composition according to the present invention is positive and chemically amplified, (A) a resin whose alkali solubility is increased by the action of an acid is used as the resin component. As such a resin, an alkali-soluble resin protected with an acid dissociable, dissolution inhibiting group is used, and there are many known hitherto used as resist resins for ArF excimer laser, KrF excimer laser, etc. Can be used.

このような酸の作用によりアルカリ溶解性が増大する樹脂の質量平均分子量は、2000〜50000であることが好ましく、3000〜30000であることがより好ましく、4000〜20000であることがさらに好ましく、5000〜20000であることが特に好ましい。上記の範囲とすることにより、例えばレジスト組成物として使用する場合にレジスト溶剤に対して十分溶解性が得られ、また、耐ドライエッチング性が向上し、得られる樹脂パターンの断面形状も良好なものとなる。   The mass average molecular weight of the resin whose alkali solubility is increased by the action of such an acid is preferably 2000 to 50000, more preferably 3000 to 30000, still more preferably 4000 to 20000, and 5000. It is especially preferable that it is -20,000. By using the above range, for example, when used as a resist composition, sufficient solubility with respect to a resist solvent is obtained, dry etching resistance is improved, and the resulting resin pattern has a good cross-sectional shape. It becomes.

<(E)光重合性モノマー>
本発明に係る感光性樹脂組成物がネガ型である場合、該感光性樹脂組成物は、(A)樹脂成分としての光重合性樹脂に加え、(E)光重合性モノマーを含有することが好ましい。この(E)光重合性モノマーとしては、エチレン性不飽和基を有する単官能モノマー又は多官能モノマーが好ましい。
<(E) Photopolymerizable monomer>
When the photosensitive resin composition according to the present invention is a negative type, the photosensitive resin composition may contain (E) a photopolymerizable monomer in addition to (A) a photopolymerizable resin as a resin component. preferable. As this (E) photopolymerizable monomer, the monofunctional monomer or polyfunctional monomer which has an ethylenically unsaturated group is preferable.

単官能モノマーとしては、(メタ)アクリルアミド、メチロール(メタ)アクリルアミド、メトキシメチル(メタ)アクリルアミド、エトキシメチル(メタ)アクリルアミド、プロポキシメチル(メタ)アクリルアミド、ブトキシメトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、クロトン酸、2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、tert−ブチルアクリルアミドスルホン酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシ−2−ヒドロキシプロピルフタレート、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノ(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの単官能モノマーは、単独で用いてもよく、2種以上組み合わせて用いてもよい。   Monofunctional monomers include (meth) acrylamide, methylol (meth) acrylamide, methoxymethyl (meth) acrylamide, ethoxymethyl (meth) acrylamide, propoxymethyl (meth) acrylamide, butoxymethoxymethyl (meth) acrylamide, N-methylol ( (Meth) acrylamide, N-hydroxymethyl (meth) acrylamide, (meth) acrylic acid, fumaric acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, crotonic acid, 2-acrylamide- 2-methylpropane sulfonic acid, tert-butylacrylamide sulfonic acid, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate Cyclohexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 2-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- (Meth) acryloyloxy-2-hydroxypropyl phthalate, glycerin mono (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, dimethylamino (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl ( And (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, and half (meth) acrylate of a phthalic acid derivative. These monofunctional monomers may be used alone or in combination of two or more.

一方、多官能モノマーとしては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシジエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシポリエトキシフェニル)プロパン、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロイルオキシプロピル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ(メタ)アクリレート、グリセリントリアクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート(すなわち、トリレンジイソシアネート)、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートとヘキサメチレンジイソシアネートと2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートとの反応物、メチレンビス(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリルアミドメチレンエーテル、多価アルコールとN−メチロール(メタ)アクリルアミドとの縮合物等の多官能モノマーや、トリアクリルホルマール等が挙げられる。これらの多官能モノマーは、単独で用いてもよく、2種以上組み合わせて用いてもよい。   On the other hand, as the polyfunctional monomer, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, butylene glycol Di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexane glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol Tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol di (meta Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, 2,2-bis (4- (meth) acryloxydi Ethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4- (meth) acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2-hydroxy-3- (meth) acryloyloxypropyl (meth) acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether di (meth) Acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diglycidyl phthalate ester di (meth) acrylate, glycerin triacrylate, glycerin polyglycidyl ether poly (Meth) acrylate, urethane (meth) acrylate (ie, tolylene diisocyanate), reaction product of trimethylhexamethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, methylenebis (meth) acrylamide, (meth) acrylamide methylene Examples thereof include polyfunctional monomers such as ethers, polyhydric alcohols and N-methylol (meth) acrylamide condensates, and triacryl formal. These polyfunctional monomers may be used alone or in combination of two or more.

(E)光重合性モノマーを含有する場合、その含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して5〜50質量%であることが好ましく、10〜40質量%であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、感度、現像性、解像性のバランスがとりやすい傾向がある。   (E) When it contains a photopolymerizable monomer, the content thereof is preferably 5 to 50% by mass, more preferably 10 to 40% by mass with respect to the solid content of the photosensitive resin composition. . By setting it as the above range, it tends to be easy to balance sensitivity, developability, and resolution.

<(B)感光剤>
本発明に係る感光性樹脂組成物に含有される(B)感光剤は、該感光性樹脂組成物がネガ型であるかポジ型であるか、或いは非化学増幅型であるか化学増幅型であるかによって異なる。
<(B) Photosensitive agent>
The photosensitive agent (B) contained in the photosensitive resin composition according to the present invention may be a negative type or a positive type, or a non-chemically amplified type or a chemically amplified type. It depends on whether there is.

本発明に係る感光性樹脂組成物がネガ型である場合、(B)感光剤としては、光重合開始剤が用いられる。
光重合開始剤としては、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−ドデシルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、ビス(4−ジメチルアミノフェニル)ケトン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾル−3−イル]−1−(o−アセチルオキシム)、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、4−ベンゾイル−4’−メチルジメチルスルフィド、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4−ジメチルアミノ−2−エチルヘキシル安息香酸、4−ジメチルアミノ−2−イソアミル安息香酸、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、o−ベンゾイル安息香酸メチル、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン、チオキサンテン、2−クロロチオキサンテン、2,4−ジエチルチオキサンテン、2−メチルチオキサンテン、2−イソプロピルチオキサンテン、2−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンパーオキシド、2−メルカプトベンゾイミダール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、p,p’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−n−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、p−tert−ブチルトリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、α,α−ジクロロ−4−フェノキシアセトフェノン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、ジベンゾスベロン、ペンチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス−(9−アクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス−(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス−(9−アクリジニル)プロパン、p−メトキシトリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジン、及び2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジン等が挙げられる。その中でも、オキシム系の光重合開始剤を用いることが、感度の面で特に好ましい。これらの光重合開始剤は、単独で用いてもよく、2種以上組み合わせて用いてもよい。
When the photosensitive resin composition according to the present invention is a negative type, a photopolymerization initiator is used as (B) the photosensitive agent.
As photopolymerization initiators, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-hydroxy-2 -Methyl-1-propan-1-one, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-dodecylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane -1-one, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, bis (4-dimethylaminophenyl) ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpho Linopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, ethanone-1- [ -Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (o-acetyloxime), 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 4-benzoyl-4'-methyl Dimethyl sulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, butyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylamino-2-ethylhexylbenzoic acid, 4-dimethylamino- 2-isoamylbenzoic acid, benzyl-β-methoxyethyl acetal, benzyldimethyl ketal, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, methyl o-benzoylbenzoate, 2,4- Diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2 4-dimethylthioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, thioxanthene, 2-chlorothioxanthene, 2,4-diethylthioxanthene, 2-methylthioxanthene, 2-isopropylthioxanthene, 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide, cumene peroxide, 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole, 2, -(O-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer, benzophenone, 2-chlorobenzophenone, p, p'-bisdimethylaminobenzophenone, 4,4 ' Bisdiethylaminobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin Butyl ether, acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, p-tert-butylacetophenone, p-dimethylaminoacetophenone, p-tert-butyltrichloro Acetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, α, α-dichloro-4-phenoxyace Tophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, 9-phenylacridine, 1,7-bis- (9-acridinyl) heptane, 1,5-bis- (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis- (9-acridinyl) propane, p-methoxytriazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2) -Yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino) -2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s -Triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2 -(4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (3-bromo-4- Butoxy) styryl phenyl -s- triazine, and 2,4-bis - trichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) styrylphenyl -s- triazine. Among these, it is particularly preferable in terms of sensitivity to use an oxime-based photopolymerization initiator. These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

この光重合開始剤の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して0.1〜50質量%であることが好ましい。上記の範囲とすることにより、十分な耐熱性、耐薬品性を得ることができ、また塗膜形成能を向上させ、光硬化不良を抑制することができる。   The content of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 50% by mass with respect to the solid content of the photosensitive resin composition. By setting it as said range, sufficient heat resistance and chemical-resistance can be acquired, a coating-film formation ability can be improved, and photocuring failure can be suppressed.

一方、本発明に係る感光性樹脂組成物がポジ型かつ非化学増幅型である場合、(B)感光剤としては、キノンジアジド基含有化合物が用いられる。
キノンジアジド基含有化合物としては、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン等のフェノール化合物と、ナフトキノン−1,2−ジアジド−5−スルホン酸、ナフトキノン−1,2−ジアジド−4−スルホン酸等のナフトキノンジアジドスルホン酸化合物との、完全エステル化物や部分エステル化物;オルトベンゾキノンジアジド、オルトナフトキノンジアジド、若しくはオルトアントラキノンジアジド、又はオルトナフトキノンジアジドスルホン酸エステル類等のこれらの核置換誘導体;オルトキノンジアジドスルホニルクロリドと水酸基又はアミノ基を有する化合物、例えばフェノール、p−メトキシフェノール、ジメチルフェノール、ヒドロキノン、ビスフェノールA、ナフトール、ピロカテコール、ピロガロール、ピロガロールモノメチルエテール、ピロガロール−1,3−ジメチルエーテル、没食子酸、水酸基を一部残してエステル化又はエーテル化された没食子酸、アニリン、p−アミノジフェニルアミン等との反応生成物等が挙げられる。これらのキノンジアジド基含有化合物は、単独で用いてもよく、2種以上組み合わせて用いてもよい。
On the other hand, when the photosensitive resin composition according to the present invention is positive and non-chemically amplified, a quinonediazide group-containing compound is used as the photosensitive agent (B).
Examples of the quinonediazide group-containing compound include phenol compounds such as 2,3,4-trihydroxybenzophenone and 2,3,4,4′-tetrahydroxybenzophenone, naphthoquinone-1,2-diazide-5-sulfonic acid, and naphthoquinone- Completely esterified products and partially esterified products with naphthoquinone diazide sulfonic acid compounds such as 1,2-diazide-4-sulfonic acid; orthobenzoquinone diazide, orthonaphthoquinone diazide, or orthoanthraquinone diazide, or orthonaphthoquinone diazide sulfonic acid esters, etc. Of these compounds: orthoquinonediazidesulfonyl chloride and a compound having a hydroxyl group or an amino group, such as phenol, p-methoxyphenol, dimethylphenol, hydroquinone, bisphenol A, naphtho Toll, pyrocatechol, pyrogallol, pyrogallol monomethyl ether, pyrogallol-1,3-dimethyl ether, gallic acid, reaction products with gallic acid, aniline, p-aminodiphenylamine, etc. that are esterified or etherified leaving some hydroxyl groups Thing etc. are mentioned. These quinonediazide group-containing compounds may be used alone or in combination of two or more.

このキノンジアジド基含有化合物の含有量は、(A)樹脂成分100質量部に対して5〜50質量部であることが好ましい。上記の範囲とすることにより、解像度を向上させ、樹脂パターンを形成した後の膜減り量を低減させることが可能となり、また、適度な感度や透過率を付与することが可能となる。   It is preferable that content of this quinonediazide group containing compound is 5-50 mass parts with respect to 100 mass parts of (A) resin component. By setting it as said range, it becomes possible to improve the resolution, to reduce the amount of film loss after forming the resin pattern, and to impart appropriate sensitivity and transmittance.

また、本発明に係る感光性樹脂組成物がポジ型かつ化学増幅型である場合、(B)感光剤として光酸発生剤が用いられる。
光酸発生剤としては、ArFエキシマレーザー用、KrFエキシマレーザー用等のレジスト用樹脂に用いられるものとして従来から知られている多数のものが使用可能である。例えば、ヨードニウム塩やスルホニウム塩等のオニウム塩系酸発生剤、オキシムスルホネート系酸発生剤、ビスアルキル又はビスアリールスルホニルジアゾメタン類、ポリ(ビススルホニル)ジアゾメタン類等のジアゾメタン系酸発生剤、ニトロベンジルスルホネート系酸発生剤、イミノスルホネート系酸発生剤、ジスルホン系酸発生剤等の多種のものを用いることができる。
When the photosensitive resin composition according to the present invention is positive and chemically amplified, a photoacid generator is used as the photosensitive agent (B).
As the photoacid generator, a number of conventionally known photoacid generators that can be used for resist resins such as for ArF excimer laser and KrF excimer laser can be used. For example, onium salt acid generators such as iodonium salts and sulfonium salts, oxime sulfonate acid generators, bisalkyl or bisarylsulfonyldiazomethanes, diazomethane acid generators such as poly (bissulfonyl) diazomethanes, nitrobenzyl sulfonates A variety of acid generators such as acid generators, iminosulfonate acid generators and disulfone acid generators can be used.

この光酸発生剤の含有量は、(A)樹脂成分100質量部に対して0.5〜30質量部であることが好ましく、1〜20質量部であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、パターン形成が十分に行われる。また、均一な溶液が得られ、保存安定性が良好となるため好ましい。   The content of the photoacid generator is preferably 0.5 to 30 parts by mass and more preferably 1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin component (A). By setting it as the above range, pattern formation is sufficiently performed. Moreover, since a uniform solution is obtained and storage stability becomes favorable, it is preferable.

<(C)界面活性剤>
本発明に係る感光性樹脂組成物に含有される(C)界面活性剤は、炭素数1〜20のフッ素化アルキル基(但し、エーテル結合、エステル結合、カルボニル基、ウレタン結合で中断されていてもよい。)と親媒性基とを側鎖に有する重合体である。
<(C) Surfactant>
The surfactant (C) contained in the photosensitive resin composition according to the present invention is a fluorinated alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (provided that it is interrupted by an ether bond, an ester bond, a carbonyl group, or a urethane bond). And a polymer having a philic group in the side chain.

フッ素化アルキル基としては、炭素数1〜20であれば特に限定されず、エーテル結合(−O−)、エステル結合(−CO−O−)、カルボニル基(−CO−)、ウレタン結合(−NH−CO−O−)で中断されていてもよいが、これらの基で中断されていないもの、すなわち−C(kは1〜20の整数を示し、lは0〜40の整数を示し、mは1〜41の整数を示し、l+m=2k+1である。)で表されるものが好ましい。 The fluorinated alkyl group is not particularly limited as long as it has 1 to 20 carbon atoms, and is an ether bond (—O—), an ester bond (—CO—O—), a carbonyl group (—CO—), a urethane bond (— NH-CO-O-) may be interrupted by, but shall not be interrupted by these groups, i.e. -C k H l F m (k is an integer of from 1 to 20, l is 0 to 40 In which m represents an integer of 1 to 41, and 1 + m = 2k + 1.

ここで、近年、フッ素化された炭素数が7以上であるパーフルオロアルキル基を有する化合物は、発癌性等の生態影響があると報告されており、米国の生態影響関連規則である重要新規利用規則(SNUR)の対象ともなり得る。したがって、フッ素化アルキル基としては、炭素数1〜5のパーフルオロアルキル基を含み、残りの炭素原子はフッ素化されていないものが好ましい。パーフルオロアルキル基の炭素数は3〜5であることがより好ましい。   Here, in recent years, it has been reported that compounds having a perfluoroalkyl group having 7 or more fluorinated carbon atoms have ecological effects such as carcinogenicity. It can also be subject to rules (SNUR). Therefore, as a fluorinated alkyl group, a C1-C5 perfluoroalkyl group is preferable, and the remaining carbon atoms are not fluorinated. More preferably, the perfluoroalkyl group has 3 to 5 carbon atoms.

一方、親媒性基としては、従来公知のノニオン系界面活性剤に含まれるものが挙げられるが、エーテル結合、エステル結合、又はカルボニル基により中断されたアルキレン基を含むものが好ましい。その中でも、ポリアルキレンオキシ基(ポリエチレンオキシ基、ポリプロピレンオキシ基、ポリブチレンオキシ基等)を含むものが好ましい。   On the other hand, examples of the amphiphilic group include those contained in conventionally known nonionic surfactants, and those containing an alkylene group interrupted by an ether bond, an ester bond, or a carbonyl group are preferable. Among these, those containing a polyalkyleneoxy group (polyethyleneoxy group, polypropyleneoxy group, polybutyleneoxy group, etc.) are preferable.

フッ素化アルキル基と親媒性基とのモル比は、感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、4:6〜9:1であることが好ましく、4:6〜8:2であることがより好ましく、5:5〜7:3であることがさらに好ましい。   The molar ratio between the fluorinated alkyl group and the amphiphilic group varies depending on the composition of the photosensitive resin composition, but is preferably 4: 6 to 9: 1, and is 4: 6 to 8: 2. Is more preferable, and 5: 5 to 7: 3 is more preferable.

このような界面活性剤は、上記フッ素化アルキル基を有するモノマーと上記親媒性基を有するモノマーとを少なくとも重合させることにより得ることができる。フッ素化アルキル基を有するモノマー及び親媒性基を有するモノマーとしては、それぞれ下記式(c1)、(c2)で表されるモノマーが好ましい。

Figure 0005507938
Such a surfactant can be obtained by polymerizing at least the monomer having the fluorinated alkyl group and the monomer having the philic group. As the monomer having a fluorinated alkyl group and the monomer having an amphiphilic group, monomers represented by the following formulas (c1) and (c2) are preferable.
Figure 0005507938

上記式(c1)中、R1cは、水素原子又はメチル基を示し、R2cは、炭素数1〜15、好ましくは炭素数1〜10の直鎖状、分岐鎖状、又は環状のアルキレン基を示し、Rfは、炭素数1〜5、好ましくは炭素数3〜5のパーフルオロアルキル基を示す。 In the above formula (c1), R 1c represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 2c represents a linear, branched or cyclic alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, preferably 1 to 10 carbon atoms. Rf represents a perfluoroalkyl group having 1 to 5 carbon atoms, preferably 3 to 5 carbon atoms.

上記式(c2)中、R3cは、水素原子又はメチル基を示し、R4cは、炭素数2〜4のアルキレン基を示し、R5cは、水素原子又は炭素数1〜15、好ましくは炭素数1〜10のアルキル基を示す。
また、上記式(c2)中、pは、1〜50の整数を示す。
In the above formula (c2), R 3c represents a hydrogen atom or a methyl group, R 4c represents an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms, and R 5c represents a hydrogen atom or 1 to 15 carbon atoms, preferably carbon. The alkyl group of number 1-10 is shown.
Moreover, in said formula (c2), p shows the integer of 1-50.

上記式(c1)で表されるモノマーの具体例としては、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3,3−ペンタフルオロプロピル(メタ)アクリレート、2−(パーフルオロブチル)エチル(メタ)アクリレート、2−(パーフルオロ−3−メチルブチル)エチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Specific examples of the monomer represented by the above formula (c1) include 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3,3-pentafluoropropyl (meth) acrylate, 2- (Perfluorobutyl) ethyl (meth) acrylate, 2- (perfluoro-3-methylbutyl) ethyl (meth) acrylate and the like.

また、上記式(c2)で表されるモノマーの具体例としては、(メタ)アクリル酸メトキシポリエチレングリコールエステル[例えば、エチレングリコール繰返し単位の数(r)が1〜50のもの]、(メタ)アクリル酸メトキシポリプロピレングリコールエステル[例えば、プロピレングリコール繰返し単位の数(r)が1〜50のもの]、(メタ)アクリル酸メトキシポリ(エチレン−プロピレン)グリコールエステル[例えば、エチレングリコール繰返し単位の数とプロピレングリコール繰返し単位の数との合計(r)が2〜50のもの]、(メタ)アクリル酸メトキシポリ(エチレン−テトラメチレン)グリコールエステル[例えば、エチレングリコール繰返し単位の数とテトラメチレングリコール繰返し単位の数との合計(r)が2〜50のもの]、(メタ)アクリル酸ブトキシポリ(エチレン−プロピレン)グリコールエステル[例えば、エチレングリコール繰返し単位の数とプロピレングリコール繰返し単位の数との合計(r)が2〜50のもの]、(メタ)アクリル酸オクトキシポリ(エチレン−プロピレン)グリコールエステル[例えば、エチレングリコール繰返し単位の数とプロピレングリコール繰返し単位の数との合計(r)が2〜50のもの]、(メタ)アクリル酸ラウロキシポリエチレングリコールエステル[例えば、エチレングリコール繰返し単位の数(r)が2〜50のもの]、(メタ)アクリル酸ラウロキシポリ(エチレン−プロピレン)グリコールエステル[例えば、エチレングリコール繰返し単位の数とプロピレングリコール繰返し単位の数との合計(r)が2〜50のもの]、ポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール−ポリブチレングリコール(メタ)アクリレート、ポリスチリルエチル(メタ)アクリレート、或いは共栄社化学社製のライトエステルHOA−MS、ライトエステルHOMS等が挙げられる。   Specific examples of the monomer represented by the formula (c2) include (meth) acrylic acid methoxypolyethylene glycol ester [for example, those having 1 to 50 ethylene glycol repeating units (r)], (meth) Acrylic acid methoxypolypropylene glycol ester [for example, one having 1 to 50 propylene glycol repeating units (r)], (meth) acrylic acid methoxypoly (ethylene-propylene) glycol ester [for example, ethylene glycol repeating unit number and propylene The total number of glycol repeating units (r) is 2 to 50], (meth) acrylic acid methoxy poly (ethylene-tetramethylene) glycol ester [for example, the number of ethylene glycol repeating units and the number of tetramethylene glycol repeating units And the sum (r) is ˜50], (meth) acrylic acid butoxy poly (ethylene-propylene) glycol ester [for example, the sum of the number of ethylene glycol repeating units and the number of propylene glycol repeating units (r) is 2 to 50], ( (Meth) acrylic acid octoxy poly (ethylene-propylene) glycol ester [for example, one having a total (r) of 2 to 50 ethylene glycol repeating units and propylene glycol repeating units), (meth) acrylic acid lauroxy polyethylene Glycol esters [for example, those having 2 to 50 ethylene glycol repeating units (r)], (meth) acrylic acid lauroxy poly (ethylene-propylene) glycol esters [for example, the number of ethylene glycol repeating units and propylene glycol repeating units number In which the total (r) is 2 to 50], polyethylene glycol (meth) acrylate, polypropylene glycol (meth) acrylate, polyethylene glycol-polypropylene glycol (meth) acrylate, polyethylene glycol-polybutylene glycol (meth) acrylate, polystyryl Examples include ethyl (meth) acrylate, Kyoeisha Chemical Co., Ltd. light ester HOA-MS, light ester HOMS, and the like.

上記式(c1)で表されるモノマーと上記式(c2)で表されるモノマーとを重合させる際のモル比は、4:6〜9:1であることが好ましく、4:6〜8:2であることがより好ましく、5:5〜7:3であることがさらに好ましい。   The molar ratio when the monomer represented by the above formula (c1) and the monomer represented by the above formula (c2) are polymerized is preferably 4: 6 to 9: 1. 2 is more preferable, and 5: 5 to 7: 3 is more preferable.

(C)界面活性剤は、上記式(c1)で表されるモノマーと上記式(c2)で表されるモノマーとに加えて、本発明の効果を損なわない範囲で、(メタ)アクリル酸アルキルエステルを重合させたものであってもよい。(メタ)アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、n−オクチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、i−ノニル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ヘキサデシル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート等が挙げられる。   (C) In addition to the monomer represented by the formula (c1) and the monomer represented by the formula (c2), the surfactant is an alkyl (meth) acrylate as long as the effects of the present invention are not impaired. It may be a polymerized ester. Specific examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i -Butyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, i-nonyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, hexadecyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, cyclohexyl (Meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, etc. are mentioned.

この界面活性剤は、ランダム重合体及びグラフト重合体のいずれであってもよいが、グラフト重合体であることが好ましい。グラフト重合体とすることにより、(A)アルカリ可溶性樹脂との相溶性を保ちながら、レベリング効果をより高めることができる。また、グラフト重合体の場合には、含有量を増やしても白濁する虞が少ない。   The surfactant may be either a random polymer or a graft polymer, but is preferably a graft polymer. By using a graft polymer, the leveling effect can be further enhanced while maintaining compatibility with the (A) alkali-soluble resin. Moreover, in the case of a graft polymer, there is little possibility of becoming cloudy even if content is increased.

界面活性剤のsp値は、8.0〜9.5(cal/cm1/2であることが好ましい。上記の範囲とすることにより、樹脂成分及び溶剤との相溶性を向上させ、界面活性剤としての効果を向上させることができる。なお、sp値は、例えば特開2005−290128号公報に記載の方法により測定できる。 The sp value of the surfactant is preferably 8.0 to 9.5 (cal / cm 3 ) 1/2 . By setting it as said range, compatibility with a resin component and a solvent can be improved and the effect as surfactant can be improved. In addition, sp value can be measured by the method of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-290128, for example.

また、界面活性剤中に含まれる樹脂の質量平均分子量は、10000〜50000であり、10000〜30000であることが好ましい。一般にフッ素化アルキル基の炭素数が少ない化合物からなる界面活性剤はレベリング効果が低いが、質量平均分子量を上記の範囲とすることにより、フッ素化アルキル基の炭素数が例えば5以下と少ない場合であっても十分なレベリング効果を得ることができる。また、質量平均分子量を上記の範囲とすることにより、塗布均一性・平坦性に優れた感光性樹脂層を得ることができる。   The mass average molecular weight of the resin contained in the surfactant is 10,000 to 50,000, and preferably 10,000 to 30,000. In general, a surfactant made of a compound having a small number of carbon atoms in the fluorinated alkyl group has a low leveling effect. Even if it exists, sufficient leveling effect can be acquired. Moreover, the photosensitive resin layer excellent in application | coating uniformity and flatness can be obtained by making a mass mean molecular weight into said range.

すなわち、一般に界面活性剤では、溶剤に対する不溶性部位と可溶性部位とを有することにより界面活性効果を発揮する。しかしながら、低分子量の界面活性剤において、炭素数が少ないフッ素化アルキル基を不溶性部位として用いた場合には、不溶性部位としての効果が小さ過ぎるために、十分な界面活性効果が得られなかった。また、不溶性部位の割合を増加させると可溶性部位が少なくなってしまうため、十分な溶解性が得られなかった。これに対して、炭素数の少ないフッ素化アルキル基を用いた場合において、界面活性剤の質量平均分子量を10000以上とすることにより、界面活性剤1分子中における不溶性部位(フッ素化アルキル基)の量を増やすことができるため、溶剤に対する溶解性を落とすことができ、界面活性効果を確保することができる。また、可溶性部位の比率も大きくとれるため、この可溶性部位による立体障害によりフッ化アルキル基の密集を防ぐことができる。また、溶剤に対する溶解性を確保できるため、界面活性剤の添加量を増やしても白濁しにくくすることができる。
また、感光性樹脂組成物をスピン塗布する場合、感光性樹脂組成物を基板に滴下し、基板を回転させて塗布することになる。従来の低分子量の界面活性剤を使用した場合、ストリエーションを消すことは可能であるが、基板の端部に感光性樹脂組成物の液たまりが発生するため、最終的に端部に感光性樹脂組成物の盛り上がった部分が形成されてしまう。つまり、塗布均一性・平坦性の悪いものとなってしまう。これに対して、本発明に係る感光性樹脂組成物では、質量平均分子量が10000以上の界面活性剤を使用しているため、スピン塗布においても端部の盛り上がりを解消することができる。特に、感光性樹脂組成物における固形分濃度が30質量%以上である場合に、端部の盛り上がりの解消に大きな効果がある。
さらに、スリットコーターにより塗布する場合には、一般に感光性樹脂組成物の固形分濃度を低くする傾向にある。感光性樹脂組成物の固形分濃度を低くする場合には、感光性樹脂組成物の流動性が大きくなるため、塗布した感光性樹脂組成物の膜厚が不均一になりやすい。また、塗布した感光性樹脂組成物を乾燥させる工程があるが、一旦塗布した感光性樹脂組成物に生じる表面張力、温度、乾燥時の濃度変化等の影響により、乾燥工程時に基板の端部から中央部へと液戻りが起こり、膜厚の均一性がより悪くなりやすくなっている。特に大型基板を用いた場合には、膜厚の均一性に影響が大きかった。これに対して、本発明に係る感光性樹脂組成物では、質量平均分子量が10000以上の界面活性剤を使用しているため、膜厚均一性を改善することができる。
That is, in general, a surfactant exhibits a surface active effect by having an insoluble part and a soluble part in a solvent. However, in a low molecular weight surfactant, when a fluorinated alkyl group having a small number of carbon atoms is used as an insoluble site, the effect as an insoluble site is too small, so that a sufficient surfactant effect cannot be obtained. Further, when the proportion of the insoluble part is increased, the soluble part is decreased, so that sufficient solubility cannot be obtained. In contrast, when a fluorinated alkyl group having a small number of carbon atoms is used, by setting the mass average molecular weight of the surfactant to 10,000 or more, the insoluble portion (fluorinated alkyl group) in one molecule of the surfactant is reduced. Since the amount can be increased, the solubility in a solvent can be lowered, and the surface active effect can be ensured. Moreover, since the ratio of a soluble site | part can also be taken large, crowding of a fluorinated alkyl group can be prevented by the steric hindrance by this soluble site | part. Moreover, since the solubility with respect to a solvent can be ensured, even if it increases the addition amount of surfactant, it can become difficult to become cloudy.
Moreover, when spin-coating the photosensitive resin composition, the photosensitive resin composition is dropped on the substrate, and the substrate is rotated for coating. When a conventional low molecular weight surfactant is used, striation can be eliminated, but a liquid puddle of the photosensitive resin composition is generated at the edge of the substrate. A raised part of the resin composition is formed. That is, the coating uniformity and flatness are poor. On the other hand, since the photosensitive resin composition according to the present invention uses a surfactant having a mass average molecular weight of 10,000 or more, the bulge of the end can be eliminated even in spin coating. In particular, when the solid content concentration in the photosensitive resin composition is 30% by mass or more, there is a great effect in eliminating the rising of the end portion.
Furthermore, when apply | coating with a slit coater, it exists in the tendency which makes the solid content concentration of the photosensitive resin composition low generally. When the solid content concentration of the photosensitive resin composition is lowered, the flowability of the photosensitive resin composition increases, so that the applied photosensitive resin composition tends to have a non-uniform film thickness. In addition, there is a step of drying the applied photosensitive resin composition, but due to the effects of surface tension, temperature, concentration change during drying, etc. once applied to the photosensitive resin composition, from the edge of the substrate during the drying step The liquid returns to the center, and the uniformity of the film thickness tends to become worse. In particular, when a large substrate was used, the film thickness uniformity was greatly affected. On the other hand, since the photosensitive resin composition according to the present invention uses a surfactant having a mass average molecular weight of 10,000 or more, the film thickness uniformity can be improved.

この(C)界面活性剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全量に対して0.005〜1質量%であることが好ましく、0.01〜0.5質量%であることがより好ましく、0.05〜0.2質量%がさらに好ましい。上記の範囲とすることにより、塗布均一性・平坦性に優れた感光性樹脂層を得ることができる。また、カラーフィルターを製造する場合にも、ディフェクトやピン跡の発生を低減することができる。   The content of the surfactant (C) is preferably 0.005 to 1% by mass and more preferably 0.01 to 0.5% by mass with respect to the total amount of the photosensitive resin composition. 0.05 to 0.2% by mass is more preferable. By setting it as said range, the photosensitive resin layer excellent in application | coating uniformity and flatness can be obtained. Also, when producing a color filter, the occurrence of defects and pin marks can be reduced.

なお、本発明に係る感光性樹脂組成物には、本発明の効果を損なわない範囲で、従来公知の他の界面活性剤を含んでいてもよい。   The photosensitive resin composition according to the present invention may contain other conventionally known surfactants as long as the effects of the present invention are not impaired.

<(D)着色剤>
本発明に係る感光性樹脂組成物は、(D)着色剤を含有していてもよい。この(D)着色剤としては、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists社発行)においてピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているもの等が挙げられる。この着色剤は、単独で用いてもよく、色調を整えるために2種以上組み合わせて用いてもよい。
<(D) Colorant>
The photosensitive resin composition according to the present invention may contain (D) a colorant. Examples of the colorant (D) include, for example, compounds classified as pigments in the color index (CI; issued by The Society of Dyers and Colorists), specifically, the following color Examples are those with index (CI) numbers. These colorants may be used alone or in combination of two or more in order to adjust the color tone.

C.I.ピグメントイエロー1(以下、「C.I.ピグメントイエロー」は同様で番号のみ記載する。)、3、11、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、61、65、71、73、74、81、83、86、93、95、97、98、99、100、101、104、106、108、109、110、113、114、116、117、119、120、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、166、167、168、175、180、185;
C.I.ピグメントオレンジ1(以下、「C.I.ピグメントオレンジ」は同様で番号のみ記載する。)、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、73;
C.I.ピグメントバイオレット1(以下、「C.I.ピグメントバイオレット」は同様で番号のみ記載する。)、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、50;
C.I.ピグメントレッド1(以下、「C.I.ピグメントレッド」は同様で番号のみ記載する。)、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、40、41、42、48:1、48:2、48:3、48:4、49:1、49:2、50:1、52:1、53:1、57、57:1、57:2、58:2、58:4、60:1、63:1、63:2、64:1、81:1、83、88、90:1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、177、178、179、180、185、187、188、190、192、193、194、202、206、207、208、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、243、245、254、255、264、265;
C.I.ピグメントブルー1(以下、「C.I.ピグメントブルー」は同様で番号のみ記載する。)、2、15、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66;
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン37;
C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.ピグメントブラウン26、C.I.ピグメントブラウン28;
C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7。
C. I. Pigment Yellow 1 (hereinafter, “CI Pigment Yellow” is the same and only the number is described) 3, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 55, 60, 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116, 117, 119, 120, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, 175, 180, 185;
C. I. Pigment Orange 1 (hereinafter, “CI Pigment Orange” is the same, and only the number is described) 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46, 49, 51, 55, 59, 61, 63, 64, 71, 73;
C. I. Pigment Violet 1 (hereinafter, “CI Pigment Violet” is the same and only the numbers are described), 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40, 50;
C. I. Pigment Red 1 (hereinafter, “CI Pigment Red” is the same and only the number is described) 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 21, 22, 23, 30, 31, 32, 37, 38, 40, 41, 42, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49: 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1, 53: 1, 57, 57: 1, 57: 2, 58: 2, 58: 4, 60: 1, 63: 1, 63: 2, 64: 1, 81: 1, 83, 88, 90: 1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155, 166, 168, 170, 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 79, 180, 185, 187, 188, 190, 192, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 242, 243, 245, 254, 255, 264, 265;
C. I. Pigment Blue 1 (hereinafter, “CI Pigment Blue” is the same and only the numbers are described), 2, 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64, 66;
C. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36, C.I. I. Pigment green 37;
C. I. Pigment brown 23, C.I. I. Pigment brown 25, C.I. I. Pigment brown 26, C.I. I. Pigment brown 28;
C. I. Pigment black 1, C.I. I. Pigment Black 7.

また、液晶表示ディスプレイにおけるブラックマトリクスを形成する際に用いる場合には、(D)着色剤として黒色顔料が用いられる。   Moreover, when using it when forming the black matrix in a liquid crystal display, a black pigment is used as (D) coloring agent.

黒色顔料としては、カーボンブラックやチタンブラックを用いることが好ましい。この他、Cu、Fe、Mn、Cr、Co、Ni、V、Zn、Se、Mg、Ca、Sr、Ba、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Hg、Pb、Bi、Si、Al等の各種金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸塩、金属炭酸塩等の無機顔料も用いることができる。   As the black pigment, it is preferable to use carbon black or titanium black. In addition, Cu, Fe, Mn, Cr, Co, Ni, V, Zn, Se, Mg, Ca, Sr, Ba, Pd, Ag, Cd, In, Sn, Sb, Hg, Pb, Bi, Si, Al Inorganic pigments such as various metal oxides, composite oxides, metal sulfides, metal sulfates, metal carbonates, and the like can also be used.

カーボンブラックとしては、チャンネルブラック、ファーネスブラック、サーマルブラック、ランプブラック等の公知のカーボンブラックを用いることができるが、特にチャンネルブラックは遮光性に優れることから好適に用いることができる。また、樹脂被覆カーボンブラックを用いることもできる。具体的には、カーボンブラックと、カーボンブラック表面に存在するカルボキシル基、水酸基、カルボニル基との反応性を有する樹脂とを混合し、50〜380℃で加熱して得た樹脂被覆カーボンブラックや、水−有機溶剤混合系又は水−界面活性剤混合系にエチレン性モノマーを分散し、ラジカル重合開始剤の存在下でラジカル重合又はラジカル共重合させて得た樹脂被覆カーボンブラック等が挙げられる。この樹脂被覆カーボンブラックは、樹脂被覆のないカーボンブラックに比べて導電性が低いことから、液晶表示ディスプレイ等のカラーフィルターとして用いた場合に電流のリークが少なく、信頼性の高い低消費電力のディスプレイが形成できる。   As the carbon black, known carbon blacks such as channel black, furnace black, thermal black, lamp black and the like can be used. In particular, channel black can be preferably used because of its excellent light shielding properties. Resin-coated carbon black can also be used. Specifically, carbon black and a resin-coated carbon black obtained by mixing a resin having reactivity with a carboxyl group, a hydroxyl group, and a carbonyl group present on the surface of the carbon black and heating at 50 to 380 ° C., Examples thereof include resin-coated carbon black obtained by dispersing an ethylenic monomer in a water-organic solvent mixed system or water-surfactant mixed system and performing radical polymerization or radical copolymerization in the presence of a radical polymerization initiator. This resin-coated carbon black has low conductivity compared to carbon black without resin coating, so there is little current leakage when used as a color filter for liquid crystal display displays, etc., and a highly reliable display with low power consumption Can be formed.

また、上記の無機黒色顔料に補助顔料として有機顔料を加えてもよい。有機顔料は無機黒色顔料の補色を呈するものを適切に選択して加えることにより、次のような効果が得られる。例えば、カーボンブラックは赤みがかった黒色を呈する。したがって、カーボンブラックに補助顔料として赤色の補色である青色を呈する有機顔料を加えることにより、カーボンブラックの赤みが消え、全体としてより好ましい黒色を呈する。有機顔料は、無機黒色顔料と有機顔料との総和100質量部に対して10〜80質量部であることが好ましく、20〜60質量部であることがより好ましく、20〜40質量部であることが最も好ましい。   Moreover, you may add an organic pigment as an auxiliary pigment to said inorganic black pigment. By appropriately selecting and adding an organic pigment that exhibits a complementary color of an inorganic black pigment, the following effects can be obtained. For example, carbon black exhibits a reddish black color. Therefore, by adding an organic pigment exhibiting a blue color that is a complementary color of red as an auxiliary pigment to the carbon black, the redness of the carbon black disappears and a more preferable black color as a whole is exhibited. The organic pigment is preferably 10 to 80 parts by mass, more preferably 20 to 60 parts by mass, and more preferably 20 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the sum of the inorganic black pigment and the organic pigment. Is most preferred.

上記の無機黒色顔料及び有機顔料としては、通常、分散剤を用いて顔料を適当な濃度で分散させた溶液が用いられる。例えば、無機黒色顔料としては、御国色素社製のカーボン分散液CFブラック(カーボン濃度20%含有)、御国色素社製のカーボン分散液CFブラック(高抵抗カーボン24%含有)、御国色素社製のチタンブラック分散液CFブラック(黒チタン顔料20%含有)等が挙げられる。また、有機顔料としては、例えば、御国色素社製のブルー顔料分散液CFブルー(ブルー顔料20%含有)、御国色素社製のバイオレット顔料分散液(バイオレット顔料10%含有)等が挙げられる。また、分散剤としては、ウレタン樹脂系の高分子分散剤を好適に用いることができる。   As said inorganic black pigment and organic pigment, the solution which disperse | distributed the pigment at a suitable density | concentration using a dispersing agent is used normally. For example, as the inorganic black pigment, carbon dispersion CF black (containing 20% carbon concentration) manufactured by Mikuni Color Co., Ltd., carbon dispersion CF black (containing high resistance carbon 24%) manufactured by Mikuni Color Co., Ltd. Examples thereof include titanium black dispersion CF black (containing 20% black titanium pigment). Examples of the organic pigment include Blue pigment dispersion CF blue (containing 20% blue pigment) manufactured by Mikuni Dye, and Violet pigment dispersion (containing 10% violet pigment) manufactured by Mikuni Dye. As the dispersant, a urethane resin-based polymer dispersant can be suitably used.

(D)着色剤を含有する場合、その含有量は、感光性樹脂組成物の固形分100質量部に対して1〜70質量部であることが好ましく、20〜60質量部であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、形成される着色パターンの着色性能を向上させることができ、また、パターン形成能を高めることができる。   (D) When it contains a coloring agent, it is preferable that the content is 1-70 mass parts with respect to 100 mass parts of solid content of the photosensitive resin composition, and it is more preferable that it is 20-60 mass parts. preferable. By setting it as said range, the coloring performance of the coloring pattern formed can be improved, and pattern formation ability can be improved.

また、(D)着色剤として黒色顔料を用いる場合には、形成される膜の膜厚1μmあたりのOD値が3.5以上、好ましくは4.0以上となるように調整することが好ましい。膜厚1μmあたりのOD値が3.5以上あれば、液晶表示ディスプレイのブラックマトリクスに用いた場合に、十分な表示コントラストを得ることができ、必要な性能が得られる。   Further, when a black pigment is used as the colorant (D), it is preferable to adjust the OD value per 1 μm of the film to be formed to 3.5 or more, preferably 4.0 or more. If the OD value per film thickness of 1 μm is 3.5 or more, sufficient display contrast can be obtained when used in a black matrix of a liquid crystal display, and necessary performance can be obtained.

従来、このような着色剤を含有する感光性樹脂組成物では、界面活性剤に似た構造を有する分散剤が含有されることになるため、分散剤の影響により、界面活性剤を添加しても十分なレベリング効果を得ることができなかった。これに対して、上記の(C)界面活性剤はレベリング効果が高いため、感光性樹脂組成物に着色剤が含有されている場合であっても塗布均一性・平坦性に優れた感光性樹脂層を得ることができる。   Conventionally, a photosensitive resin composition containing such a colorant contains a dispersant having a structure similar to that of a surfactant. Therefore, a surfactant is added under the influence of the dispersant. However, a sufficient leveling effect could not be obtained. On the other hand, since the surfactant (C) has a high leveling effect, the photosensitive resin composition is excellent in coating uniformity and flatness even when a colorant is contained in the photosensitive resin composition. A layer can be obtained.

<(S)溶剤>
本発明に係る感光性樹脂組成物は、希釈のための(S)溶剤を含むことが好ましい。この(S)溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル、酢酸イソブチル、蟻酸n−ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。その中でも、シクロヘキサノン及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの少なくとも1種を用いることが好ましい。これらの溶剤は、単独で用いてもよく、2種以上組み合わせて用いてもよい。
<(S) Solvent>
The photosensitive resin composition according to the present invention preferably contains a (S) solvent for dilution. Examples of the solvent (S) include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n- Propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether , Dipropylene glycol monomethyl ether, di (Poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monoethyl ether; ethylene (Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate; diethylene glycol dimethyl Other ethers such as ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran; ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone; methyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxypropionate, etc. Lactic acid alkyl esters; ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, hydroxyacetic acid Ethyl, methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate Lopionate, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, n-pentyl formate, isopentyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, isopropyl butyrate, n-butyl butyrate , Other esters such as methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate and ethyl 2-oxobutanoate; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene; N- Examples include amides such as methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, and the like. Among these, it is preferable to use at least one of cyclohexanone and propylene glycol monomethyl ether acetate. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

(S)溶剤を含有する場合、その含有量は、感光性樹脂組成物の固形分濃度が1〜50質量%となる量が好ましく、5〜30質量%となる量がより好ましい。   (S) When a solvent is contained, the content is preferably such that the solid content concentration of the photosensitive resin composition is 1 to 50% by mass, and more preferably 5 to 30% by mass.

<感光性樹脂組成物の調製方法>
本発明に係る感光性樹脂組成物は、上記の各成分、及び必要に応じて添加剤を全て撹拌機で混合することにより得られる。得られた混合物が均一なものとなるように、フィルタを用いて濾過してもよい。
<Method for preparing photosensitive resin composition>
The photosensitive resin composition according to the present invention is obtained by mixing all of the above components and, if necessary, all the additives with a stirrer. You may filter using a filter so that the obtained mixture may become uniform.

≪パターン形成方法≫
本発明に係る感光性樹脂組成物を用いて樹脂パターンを形成する場合には、先ず、ロールコータ、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置、或いはスピンナー(回転式塗布装置)、スリットコーター、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて、本発明に係る感光性樹脂組成物を、ガラス、ポリエチレンテレフタレート、アクリル樹脂、ポリカーボネート等からなる基板上に塗布する。
≪Pattern formation method≫
When forming a resin pattern using the photosensitive resin composition according to the present invention, first, a contact transfer type coating device such as a roll coater, a reverse coater, a bar coater, or a spinner (rotary coating device), a slit coater. The photosensitive resin composition according to the present invention is applied on a substrate made of glass, polyethylene terephthalate, acrylic resin, polycarbonate, or the like using a non-contact type coating apparatus such as a curtain flow coater.

次いで、塗布された感光性樹脂組成物を乾燥させて感光性樹脂層を形成する。乾燥方法としては、例えば真空乾燥装置(VCD)を用いて室温にて減圧乾燥し、その後、ホットプレートにて80〜120℃、好ましくは90〜100℃の条件で60〜120秒間乾燥する方法等が挙げられる。   Next, the applied photosensitive resin composition is dried to form a photosensitive resin layer. As a drying method, for example, vacuum drying at room temperature using a vacuum drying apparatus (VCD), followed by drying on a hot plate at 80 to 120 ° C., preferably 90 to 100 ° C. for 60 to 120 seconds, etc. Is mentioned.

次いで、この感光性樹脂層に、マスクを介して紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射して部分的に露光する。照射するエネルギー線量は、感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、30〜2000mJ/cmであることが好ましい。 Next, the photosensitive resin layer is partially exposed by irradiating active energy rays such as ultraviolet rays and excimer laser light through a mask. Although the energy dose to be irradiated varies depending on the composition of the photosensitive resin composition, it is preferably 30 to 2000 mJ / cm 2 .

次いで、露光後の感光性樹脂層を現像液により現像し、所望の形状の樹脂パターンを得る。現像方法としては、浸漬法、スプレー法等が挙げられる。現像液としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。   Next, the exposed photosensitive resin layer is developed with a developer to obtain a resin pattern having a desired shape. Examples of the developing method include an immersion method and a spray method. Examples of the developer include organic ones such as monoethanolamine, diethanolamine, and triethanolamine, and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia, and quaternary ammonium salts.

次いで、現像後の樹脂パターンを例えば220〜250℃で加熱(ポストベーク)する。塗布した感光性樹脂組成物がネガ型である場合には、この際、形成された樹脂パターンを全面露光することが好ましい。以上により、所定の形状の樹脂パターンを得ることができる。   Next, the developed resin pattern is heated (post-baked) at 220 to 250 ° C., for example. When the applied photosensitive resin composition is a negative type, it is preferable to expose the formed resin pattern on the entire surface. As described above, a resin pattern having a predetermined shape can be obtained.

≪カラーフィルター≫
本発明に係るカラーフィルターは、本発明に係る感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターンを有するものである。このカラーフィルターを製造するには、先ず、黒色顔料が分散された感光性樹脂組成物を用いて、上記のパターン形成方法に従って樹脂パターンを形成する。この樹脂パターンがブラックマトリクスとなる。次いで、赤色、緑色、及び青色の着色剤が分散された感光性樹脂組成物について同様にパターン形成を行い、各色の画素パターンを形成する。これにより、カラーフィルターが製造される。
≪Color filter≫
The color filter according to the present invention has a pattern formed using the photosensitive resin composition according to the present invention. In order to produce this color filter, first, a resin pattern is formed using the photosensitive resin composition in which a black pigment is dispersed according to the above-described pattern forming method. This resin pattern becomes a black matrix. Next, pattern formation is performed in the same manner for the photosensitive resin composition in which red, green, and blue colorants are dispersed to form pixel patterns of respective colors. Thereby, a color filter is manufactured.

なお、カラーフィルターの製造にあたっては、ブラックマトリクスによって区画された各領域に赤色、緑色、及び青色の各色のインクをインクジェットノズルから吐出し、溜められたインクを熱又は光で硬化させ、カラーフィルターを製造することもできる。   In manufacturing the color filter, the ink of each color of red, green, and blue is ejected from the inkjet nozzles to each area partitioned by the black matrix, and the stored ink is cured by heat or light, and the color filter is It can also be manufactured.

従来、着色剤を含有する感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルターを製造する場合には、感光性樹脂組成物中に含有されることになる分散剤により、平坦な感光性樹脂層を得ることができなかった。特に、着色剤の含有量が多い場合には、感光性樹脂組成物の流動性が低下し、感光性樹脂層の塗布均一性・平坦性がより悪くなっていた。さらに、カラーフィルターを製造する場合には、感光性樹脂層を真空乾燥させた際に、感光性樹脂層にディフェクト(欠陥)が生じたり、加熱処理を施した際に、基板を支持するプロキシピンの跡(ピン跡)が感光性樹脂層に残ったりすることがあった。これに対して、本発明の感光性樹脂組成物によれば、着色剤を含有する場合であっても塗布均一性・平坦性に優れた感光性樹脂層を得ることができ、かつ、ディフェクトやピン跡の発生を低減することができる。   Conventionally, when a color filter is produced using a photosensitive resin composition containing a colorant, a flat photosensitive resin layer is obtained using a dispersant that is contained in the photosensitive resin composition. I could not. In particular, when the content of the colorant is large, the fluidity of the photosensitive resin composition is lowered, and the coating uniformity and flatness of the photosensitive resin layer are worsened. Furthermore, when manufacturing a color filter, when the photosensitive resin layer is vacuum-dried, defects (defects) occur in the photosensitive resin layer, or when the heat treatment is performed, the proxy pins that support the substrate In some cases, traces of pins (pin traces) may remain in the photosensitive resin layer. On the other hand, according to the photosensitive resin composition of the present invention, a photosensitive resin layer excellent in coating uniformity and flatness can be obtained even when a colorant is contained, and defects and The occurrence of pin marks can be reduced.

≪液晶表示ディスプレイ≫
本発明に係る液晶表示ディスプレイは、本発明に係るカラーフィルターを有するものである。この液晶表示ディスプレイを製造するには、先ず、一方の基板上に上記のカラーフィルターを形成し、次いで、電極、スペーサー等を順次形成する。そして、他方の基板上に電極等を形成し、両者を貼り合わせた後、所定量の液晶を注入し、封止する。これにより、液晶表示ディスプレイが製造される。
≪LCD display≫
The liquid crystal display according to the present invention has the color filter according to the present invention. In order to manufacture this liquid crystal display, first, the color filter is formed on one substrate, and then electrodes, spacers, and the like are sequentially formed. Then, after an electrode or the like is formed on the other substrate and bonded together, a predetermined amount of liquid crystal is injected and sealed. Thereby, a liquid crystal display is manufactured.

以下、本発明について実施例を参照して詳細に説明する。なお、本発明は、下記の実施例に何ら限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples. In addition, this invention is not limited to the following Example at all.

<実施例1〜7、比較例1〜10>
[(A)アルカリ可溶性樹脂の合成]
先ず、500ml四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂(エポキシ当量235)235g、テトラメチルアンモニウムクロライド110mg、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノール100mg、及びアクリル酸72.0gを仕込み、これに25ml/分の速度で空気を吹き込みながら90〜100℃で加熱溶解した。次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、120℃に加熱して完全溶解させた。この際、溶液は次第に透明粘稠になったが、そのまま撹拌を継続した。この間、酸価を測定し、1.0mgKOH/g未満になるまで加熱撹拌を続けた。酸価が目標値に達するまで12時間を要した。そして室温まで冷却し、無色透明で固体状の下記式(a4)で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。

Figure 0005507938
<Examples 1-7, Comparative Examples 1-10>
[(A) Synthesis of alkali-soluble resin]
First, in a 500 ml four-necked flask, 235 g of bisphenolfluorene type epoxy resin (epoxy equivalent 235), 110 mg of tetramethylammonium chloride, 100 mg of 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol, and 72.0 g of acrylic acid Was heated and dissolved at 90 to 100 ° C. while blowing air at a rate of 25 ml / min. Next, the temperature was gradually raised while the solution was clouded, and the solution was heated to 120 ° C. to be completely dissolved. At this time, the solution gradually became transparent and viscous, but stirring was continued as it was. During this time, the acid value was measured, and heating and stirring were continued until the acid value was less than 1.0 mgKOH / g. It took 12 hours for the acid value to reach the target value. And it cooled to room temperature and obtained the bisphenol fluorene type epoxy acrylate represented by the following formula (a4) of colorless and transparent solid.
Figure 0005507938

次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート307.0gに3−メトキシブチルアセテート600gを加えて溶解した後、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物80.5g及び臭化テトラエチルアンモニウム1gを混合し、徐々に昇温して110〜115℃で4時間反応させた。酸無水物基の消失を確認した後、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸38.0gを混合し、90℃で6時間反応させ、樹脂(A−1)を得た。酸無水物基の消失はIRスペクトルにより確認した。質量平均分子量は3400であった。   Next, after adding 600 g of 3-methoxybutyl acetate to 307.0 g of the bisphenolfluorene type epoxy acrylate thus obtained and dissolving, 80.5 g of benzophenonetetracarboxylic dianhydride and 1 g of tetraethylammonium bromide were added. The mixture was gradually heated and reacted at 110 to 115 ° C. for 4 hours. After confirming disappearance of the acid anhydride group, 38.0 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was mixed and reacted at 90 ° C. for 6 hours to obtain Resin (A-1). The disappearance of the acid anhydride group was confirmed by IR spectrum. The weight average molecular weight was 3400.

[感光性樹脂組成物の調製]
下記の表1に示すとおり、(A)アルカリ可溶性樹脂、(E)光重合性モノマー、(C)界面活性剤、及び(D)着色剤に、(S)溶剤を加えて固形分濃度を15質量%又は17質量%に調整し、撹拌機で2時間混合した後、5μmメンブランフィルターで濾過し、感光性樹脂組成物を調製した。なお、表1中の各成分の配合量は「質量部」である。
[Preparation of photosensitive resin composition]
As shown in Table 1 below, (S) a solvent is added to (A) an alkali-soluble resin, (E) a photopolymerizable monomer, (C) a surfactant, and (D) a colorant to obtain a solid concentration of 15 It adjusted to the mass% or 17 mass%, and after mixing for 2 hours with the stirrer, it filtered with a 5 micrometer membrane filter, and prepared the photosensitive resin composition. In addition, the compounding quantity of each component in Table 1 is a "mass part".

Figure 0005507938
Figure 0005507938

表1で使用した(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)感光剤、(D)着色剤、(S)有機溶剤の詳細は以下のとおりである。
(A)−1:樹脂(A−1)に3−メトキシブチルアセテートを加え、固形分濃度50質量%に調整した調製液
(E)−1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(B)−1:IRGACURE OXE 02(チバスペシャルティケミカルズ社製)
(B)−2:IRGACURE 369(チバスペシャルティケミカルズ社製)
(D)−1:カーボンブラック(御国色素社製、カーボン濃度:55%、溶剤:3−メトキシブチルアセテート)
(S)−1:3−メトキシブチルアセテート/シクロヘキサノン/プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート=60/20/20(質量比)
The details of (A) alkali-soluble resin, (B) photosensitizer, (D) colorant, and (S) organic solvent used in Table 1 are as follows.
(A) -1: Preparation liquid (E) -1: dipentaerythritol hexaacrylate (B) -1: IRGACURE prepared by adding 3-methoxybutyl acetate to resin (A-1) to adjust the solid content concentration to 50% by mass OXE 02 (Ciba Specialty Chemicals)
(B) -2: IRGACURE 369 (Ciba Specialty Chemicals)
(D) -1: Carbon black (manufactured by Mikuni Color Co., Ltd., carbon concentration: 55%, solvent: 3-methoxybutyl acetate)
(S) -1: 3-methoxybutyl acetate / cyclohexanone / propylene glycol monomethyl ether acetate = 60/20/20 (mass ratio)

また、表1で使用した(C)界面活性剤の詳細は下記の表2に示すとおりである。表2中、(C4)−1〜(C4)−9の共重合体における括弧内の数字は、共重合体を合成する際のモノマー全体量を100質量部としたときの各モノマーの仕込み量の割合を示す。また、(C8)−1、Si−1は共栄社化学社製である。   The details of the (C) surfactant used in Table 1 are as shown in Table 2 below. In Table 2, the numbers in parentheses in the copolymers of (C4) -1 to (C4) -9 are the charged amounts of each monomer when the total monomer amount when synthesizing the copolymer is 100 parts by mass. Indicates the percentage. (C8) -1 and Si-1 are manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.

Figure 0005507938
Figure 0005507938

Figure 0005507938
Figure 0005507938

<評価>
[ムラ幅評価」
上記で得られた実施例1〜7、比較例1〜10の感光性樹脂組成物を、スピンコーター(MIKASA社製)を用いて、100mm×100mmのガラス基板(1737ガラス)上にそれぞれ塗布した後、ホットプレート上に設置した5mm幅のガラス片の上に載せ、90℃で120秒間プリベークした。その際のムラ幅を表面粗さ測定機サーフコーダSE−2300((株)小坂研究所製)を用いて測定した。その結果を表1に併記する。
なお、ムラ幅とは、図1に示す箇所を測定しムラ幅(nm)としている。ガラス基板に対して熱が伝わるのがガラス片からのみになるため、加熱された場所から対流が起きて感光性樹脂組成物を弾くようになり、この弾きがビードとなる。この弾きが少ないほど、つまり、膜厚が極端に薄くなった部分が少ないほど、塗布均一性・平坦性が良好なものとなる。
<Evaluation>
[Evaluation of uneven width]
The photosensitive resin compositions of Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 10 obtained above were applied onto a 100 mm × 100 mm glass substrate (1737 glass) using a spin coater (manufactured by MIKASA). Then, it mounted on the glass piece of 5 mm width installed on the hotplate, and prebaked at 90 degreeC for 120 second. The unevenness width at that time was measured using a surface roughness measuring machine Surfcorder SE-2300 (manufactured by Kosaka Laboratory Ltd.). The results are also shown in Table 1.
The unevenness width is the unevenness width (nm) measured at the location shown in FIG. Since heat is transmitted only to the glass substrate from the glass substrate, convection occurs from the heated place and the photosensitive resin composition is repelled, and this repelling becomes a bead. The smaller the repelling, that is, the smaller the portion where the film thickness is extremely thin, the better the coating uniformity and flatness.

[ピン跡評価]
上記で得られた実施例1〜7、比較例1〜10の感光性樹脂組成物を、スピン塗布装置TR−45310(東京応化工業社製)を用いて、680mm×880mmのガラス基板上にそれぞれ塗布した後、ホットプレート上に設置したリフトピン上に載せ、120℃で100秒間プリベークして、1.3μmの膜厚を有する感光性樹脂層を得た。この感光性樹脂層について、「AOI」(TAKANO社製)を用いて、感光性樹脂層表面のピン跡の評価を行った。評価基準は以下のとおりであり、その結果を表1に併記する。
◎:ピン跡無し
○:薄くピン跡は見えるが、問題ないレベル
△:ピン跡が少量見受けられる
×:ピン跡が多数見受けられる
[Pin mark evaluation]
Using the spin coating apparatus TR-45310 (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.), the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 10 obtained above were each formed on a glass substrate of 680 mm × 880 mm. After the coating, it was placed on a lift pin installed on a hot plate and prebaked at 120 ° C. for 100 seconds to obtain a photosensitive resin layer having a thickness of 1.3 μm. About this photosensitive resin layer, the pin mark on the surface of the photosensitive resin layer was evaluated using “AOI” (manufactured by TAKANO). The evaluation criteria are as follows, and the results are also shown in Table 1.
◎: No pin traces ○: Thin pin traces are visible, but no problem level △: A small amount of pin traces are observed ×: Many pin traces are observed

表1から分かるように、特定の界面活性剤を用いた実施例1〜7では、着色剤を含有する場合であっても、塗布均一性・平坦性に優れた感光性樹脂層を得ることができた。また、表面にピン跡も確認されなかった。一方、他の界面活性剤を用いた比較例1〜10では、ムラ幅が大きく、塗布均一性・平坦性が悪かった。また、表面にピン跡も残っていた。   As can be seen from Table 1, in Examples 1 to 7 using a specific surfactant, a photosensitive resin layer excellent in coating uniformity and flatness can be obtained even when a colorant is contained. did it. Moreover, no pin trace was confirmed on the surface. On the other hand, in Comparative Examples 1 to 10 using other surfactants, the unevenness width was large, and the coating uniformity and flatness were poor. Also, pin marks remained on the surface.

[高速塗布性評価]
比較例1と同じ感光性樹脂組成物A(固形分濃度15質量%)、比較例1において固形分濃度を15質量%から12質量%に変更した感光性樹脂組成物B、実施例2の感光性樹脂組成物において、(A)アルカリ可溶性樹脂の配合量を20質量部に変更し、(E)光重合性モノマーの配合量を8質量部に変更し、(B)感光剤を(B)−1単独で10質量部に変更し、(D)着色剤の配合量を120質量部に変更し、有機溶剤を3−メトキシブチルアセテート/シクロヘキサノン/プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/=65/25/10(質量比)に変更し、固形分濃度を12質量%に調整した感光性樹脂組成物Cをそれぞれ調製した。この感光性樹脂組成物A〜Cを、ノンスピン型塗布装置TR130200FC(東京応化工業社製)を用いて、2160mm×2460mmのガラス基板(厚さ0.7mm)上に高速塗布(塗布速度:250nm/sec、塗布GAP:130μm)した後、13Paで10秒間減圧乾燥し、感光性樹脂層を得た。その結果、感光性樹脂組成物Aでは液切れが発生してしまい、高速塗布を行うことができなかった。感光性樹脂組成物Bでは高速塗布はできたものの、塗布直後から液戻りが発生し、感光性樹脂層が波打っていた(液戻り幅3〜4mm)。一方、感光性樹脂組成物Cでは高速塗布後の液戻りがなく、塗布性は良好であった。
[High-speed applicability evaluation]
The same photosensitive resin composition A as in Comparative Example 1 (solid content concentration of 15% by mass), the photosensitive resin composition B in which the solid content concentration was changed from 15% by mass to 12% by mass in Comparative Example 1, and the photosensitivity of Example 2 In the photosensitive resin composition, the blending amount of (A) the alkali-soluble resin is changed to 20 parts by mass, the blending amount of the (E) photopolymerizable monomer is changed to 8 parts by mass, and (B) the photosensitive agent is (B). -1 alone is changed to 10 parts by mass, the blending amount of (D) colorant is changed to 120 parts by mass, and the organic solvent is 3-methoxybutyl acetate / cyclohexanone / propylene glycol monomethyl ether acetate / = 65/25/10 It changed into (mass ratio), and each photosensitive resin composition C which adjusted solid content concentration to 12 mass% was prepared. The photosensitive resin compositions A to C are applied at a high speed (application speed: 250 nm / second) on a 2160 mm × 2460 mm glass substrate (thickness 0.7 mm) using a non-spin type application apparatus TR130200FC (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.). sec., coating GAP: 130 μm) and then dried under reduced pressure at 13 Pa for 10 seconds to obtain a photosensitive resin layer. As a result, the photosensitive resin composition A was out of liquid and could not be applied at high speed. Although the photosensitive resin composition B was able to be applied at high speed, liquid return occurred immediately after the application, and the photosensitive resin layer was wavy (liquid return width 3 to 4 mm). On the other hand, with the photosensitive resin composition C, there was no liquid return after high-speed application, and the applicability was good.

[膜厚均一性評価]
膜厚測定装置MCPD(大塚電子社製)を用いて、塗布後の基板の膜厚均一性を評価した。なお、感光性樹脂組成物Aは高速塗布ができなかったことから、評価できなかった。また、感光性樹脂組成物Bは液戻りが激しく、評価できなかった。一方、感光性樹脂組成物Cは面内の膜厚ばらつきが少なく、良好な結果であった。
[Evaluation of film thickness uniformity]
The film thickness uniformity of the substrate after coating was evaluated using a film thickness measuring device MCPD (manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). The photosensitive resin composition A could not be evaluated because it could not be applied at high speed. Moreover, the photosensitive resin composition B had a severe liquid return and could not be evaluated. On the other hand, the photosensitive resin composition C had a good result with little in-plane film thickness variation.

Claims (6)

(A)樹脂成分、(B)感光剤、(C)界面活性剤、及び(D)着色剤を含有するカラーフィルター用感光性樹脂組成物であって、
前記(C)界面活性剤が、少なくとも下記式(c1)で表されるモノマーと下記式(c2)で表されるモノマーとを4:6〜9:1のモル比で重合させて得られる重合体であり、該重合体の質量平均分子量が10000〜50000であるカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
Figure 0005507938
(式(c1)、(c2)中、R 1c 、R 3c はそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、R 2c は炭素数1〜15のアルキレン基を示し、R 4c は炭素数2〜4のアルキレン基を示し、R 5c は水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を示し、Rfは炭素数1〜5のパーフルオロアルキル基を示す。pは1〜50の整数を示す。)
A photosensitive resin composition for a color filter containing (A) a resin component, (B) a photosensitive agent , ( C) a surfactant , and (D) a colorant ,
The weight obtained by polymerizing at least a monomer represented by the following formula (c1) and a monomer represented by the following formula (c2) in a molar ratio of 4: 6 to 9: 1. a coalescing, the polymer of the mass average molecular weight of the color filter for the photosensitive resin composition is from 10,000 to 5000 0.
Figure 0005507938
(In formulas (c1) and (c2), R 1c and R 3c each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, R 2c represents an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, and R 4c represents 2 to 4 carbon atoms. R 5c represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, Rf represents a perfluoroalkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and p represents an integer of 1 to 50.)
前記(C)界面活性剤は、sp値が8.0〜9.5(cal/cm1/2である請求項1記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。 The surfactant (C) is, sp value 8.0~9.5 (cal / cm 3) 1/2 in a claim 1 Symbol placement color filter photosensitive resin composition. 前記(A)樹脂成分が光重合性樹脂を含み、前記(B)感光剤が光重合開始剤である請求項1又は2記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition for a color filter according to claim 1 or 2, wherein the (A) resin component contains a photopolymerizable resin, and the (B) photosensitive agent is a photopolymerization initiator. 前記(D)着色剤が黒色顔料を含有する請求項1から3のいずれか1項記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。 Wherein (D) any one color filter photosensitive resin composition according to claims 1-3 in which the coloring agent contains a black pigment. 請求項1から4のいずれか1項記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターンを有するカラーフィルター。 The color filter which has a pattern formed using the photosensitive resin composition for color filters of any one of Claim 1 to 4 . 請求項記載のカラーフィルターを有する液晶表示ディスプレイ。 A liquid crystal display having the color filter according to claim 5 .
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