JP5531495B2 - Color resist composition, color filter, and liquid crystal display device - Google Patents

Color resist composition, color filter, and liquid crystal display device Download PDF

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本発明は、塗布性、現像性に優れたカラーレジスト組成物、それを用いたカラーフィルター及び液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a color resist composition excellent in coatability and developability, a color filter using the same, and a liquid crystal display device.

カラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルターは、一般に赤(R)、緑(G)、青(B)の各画素と、その間に表示コントラスト向上等の目的でブラックマトリックス(BM)が形成された基本構成を有する。カラーフィルターの作製においては、一般的にガラス基板上にカラーレジスト組成物をスピンコート、スリットコート等の塗布方法によって塗布し、乾燥後マスクを用いて露光、次いで現像して着色パターンを形成させるが、塗布の平滑性が良好でなく膜厚にムラがある場合や塗布ムラ、ハジキなどがある場合は画素の色ムラが発生する。このような色ムラを有するカラーフィルターを用いてカラー液晶表示装置を作製した場合、該ディスプレイに得られる画像にも色ムラが生じる問題が発生する。すなわち、カラーフィルターにおけるこれらのR、G、B各画素及びBMの表面は高い平滑性が要求されており、そのためにはカラーレジスト組成物を塗布する際には均一な膜厚で、かつ塗布ムラ、ハジキを生じず、色ムラとならないように塗布を行なう必要がある。   The color filter used in the color liquid crystal display device is generally a basic in which each pixel of red (R), green (G), and blue (B) and a black matrix (BM) are formed between them for the purpose of improving display contrast. It has a configuration. In the production of a color filter, a color resist composition is generally applied on a glass substrate by a coating method such as spin coating or slit coating, and after drying, exposed using a mask and then developed to form a colored pattern. If the coating smoothness is not good and the film thickness is uneven, or if there is application unevenness, repellency, etc., pixel color unevenness occurs. When a color liquid crystal display device is manufactured using a color filter having such color unevenness, there arises a problem that color unevenness occurs in an image obtained on the display. That is, the surface of these R, G, B pixels and BM in the color filter is required to have high smoothness. For this purpose, when the color resist composition is applied, it has a uniform film thickness and uneven coating. It is necessary to apply the coating so as not to cause repelling and color unevenness.

また、最近では、カラーフィルターの高輝度・高精細化によってカラーレジストに使用される顔料の含有量増加に伴い、重合性化合物量が減少しているためアルカリ現像液によって現像時に表面侵食が起こりやすくなっている。その上、生産性向上に伴う製造工程時間の短縮化としてアルカリ現像液の濃度が高まっており、残存させる露光部の塗膜表面の侵食がより起こりやすくなっている。そこで、アルカリ現像液に耐性を有し、露光・現像後も高い精度でパターンを形成できる材料が要求されている。   In recent years, the amount of polymerizable compounds has decreased with the increase in the content of pigments used in color resists due to the increase in brightness and definition of color filters. It has become. In addition, the concentration of the alkaline developer is increased as a shortening of the manufacturing process time associated with the improvement in productivity, and the coating surface of the exposed portion that remains is more likely to be eroded. Therefore, there is a demand for a material that is resistant to an alkaline developer and that can form a pattern with high accuracy after exposure and development.

さらに、現像液で現像後、未露光部分は洗浄(リンス)により洗い流すが、洗浄液中に存在する未露光部の樹脂や混入物が、露光部の着色パターンの硬化塗膜表面に付着する「水シミ」といわれる不具合もあり、この水シミ防止も現像性の要求特性の1つとなっている。   Furthermore, after development with the developer, unexposed areas are washed away by rinsing, but the resin and contaminants in the unexposed areas present in the cleaning liquid adhere to the cured coating surface of the colored pattern in the exposed areas. There is also a defect called “stain”, and this water stain prevention is one of the required characteristics of developability.

塗布ムラ、ハジキ等による色ムラを防止するためにフッ素系界面活性剤を使用する方法が提案されており、その効果を向上するために該界面活性剤に用いる共重合体の構成成分の改良が行われている(例えば、特許文献1〜4参照。)。これらのフッ素系界面活性剤による撥水効果によって、アルカリ現像液への耐性(耐アルカリ性)や水シミ防止が期待できるものの、実際にこれらのフッ素系界面活性剤をカラーレジスト組成物の一成分として用いた場合、耐アルカリ性や水シミを防ぐ効果は不十分であった。   In order to prevent color unevenness due to coating unevenness, repelling, etc., a method of using a fluorosurfactant has been proposed, and in order to improve its effect, the constituent components of the copolymer used for the surfactant have been improved. (For example, refer to Patent Documents 1 to 4.) Although the water repellent effect of these fluorosurfactants can be expected to be resistant to alkali developer (alkali resistance) and prevent water stains, these fluorosurfactants are actually used as a component of color resist compositions. When used, the effect of preventing alkali resistance and water spots was insufficient.

そこで、高い色ムラ防止効果と、アルカリ現像液による塗膜表面の浸食を防止できる耐アルカリ性を有することで高い精度で着色パターンを形成でき、かつ水シミを生じないカラーレジスト組成物が求められている。   Therefore, there is a demand for a color resist composition that can form a colored pattern with high accuracy and does not cause water spots by having a high color unevenness prevention effect and alkali resistance that can prevent erosion of the coating film surface by an alkali developer. Yes.

特開平10−230154号公報JP-A-10-230154 特開平10−309455号公報JP-A-10-309455 特開2002−139830号公報JP 2002-139830 A 特開2004−109179号公報JP 2004-109179 A

本発明が解決しようとする課題は、塗布ムラ、ハジキ等による色ムラが防止でき、アルカリ現像液による塗膜表面の浸食を防止できる耐アルカリ性を有することで高い精度で着色パターンを形成できるカラーレジスト組成物、それを用いたカラーフィルター及び液晶表示装置を提供することにある。   The problem to be solved by the present invention is a color resist that can prevent color unevenness due to coating unevenness, repelling, etc., and can form a colored pattern with high accuracy by having alkali resistance capable of preventing erosion of the coating film surface by an alkali developer. The object is to provide a composition, a color filter using the composition, and a liquid crystal display device.

本発明者等は上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、重合性基を有するフッ素系界面活性剤を含有するカラーレジスト組成物を用いることで、塗布ムラ、ハジキ等による色ムラが防止でき、かつ露光部の耐アルカリ性発現によってアルカリ現像液による塗膜表面の浸食を防止でき、高い精度で着色パターンを形成できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive research to solve the above problems, the present inventors have used a color resist composition containing a fluorine-based surfactant having a polymerizable group, thereby preventing uneven coating and color unevenness due to repelling, etc. The present inventors have found that the surface of the coating film can be prevented from being eroded by an alkali developer due to the development of alkali resistance in the exposed area, and that a colored pattern can be formed with high accuracy, thereby completing the present invention.

すなわち、本発明は、アルカリ可溶性樹脂(A)、重合性化合物(B)、着色剤(C)及び重合性基を有するフッ素系界面活性剤(D)を含有するカラーレジスト組成物であり、前記フッ素系界面活性剤(D)が、ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖とその両末端にラジカル重合性不飽和基を有する構造部位を有する化合物(d1)と、反応性官能基(R1)を有するラジカル重合性不飽和単量体(d2)とを必須の単量体成分として共重合させて得られる重合体(P1)に、前記官能基(R1)と反応性を有する官能基(R2)とラジカル重合性不飽和基とを有する化合物(d3)を反応させて得られるフッ素系界面活性剤(D1)、または、反応性官能基(R1)を有するラジカル重合性不飽和単量体(d2)の重合体(P2)に、ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖とその両末端に前記反応性官能基(R1)に対して反応性を有する官能基(R2)を有する化合物(d1’)と、前記官能基(R1)に対して反応性を有する官能基(R2)とラジカル重合性不飽和基とを有する化合物(d3)とを反応させて得られるフッ素系界面活性剤(D2)であることを特徴とするカラーレジスト組成物を提供するものである。 That is, the present invention is an alkali-soluble resin (A), the polymerizable compound (B), be Luke error resist composition to contain a fluorine-based surfactant (D) having a colorant (C) and a polymerizable group The fluorine-based surfactant (D) comprises a compound (d1) having a poly (perfluoroalkylene ether) chain and a structural moiety having a radically polymerizable unsaturated group at both ends thereof, and a reactive functional group (R1). A polymer (P1) obtained by copolymerizing a radically polymerizable unsaturated monomer (d2) having an essential monomer component with a functional group (R2) reactive with the functional group (R1). ) And a compound (d3) having a radically polymerizable unsaturated group (F3), or a radically polymerizable unsaturated monomer having a reactive functional group (R1) (D1). d2) polymer (P2) A compound (d1 ′) having a poly (perfluoroalkylene ether) chain and a functional group (R2) having reactivity to the reactive functional group (R1) at both ends thereof, and the functional group (R1). A color resist composition comprising a fluorine-based surfactant (D2) obtained by reacting a functional group (R2) having reactivity with a compound (d3) having a radically polymerizable unsaturated group It provides things.

さらに、本発明は、前記カラーレジスト組成物の硬化塗膜を有するカラーフィルター、及び基板の少なくとも一部に前記カラーフィルターが備えられた液晶表示装置を提供するものである。   Furthermore, the present invention provides a color filter having a cured coating film of the color resist composition, and a liquid crystal display device provided with the color filter on at least a part of a substrate.

本発明のカラーレジスト組成物は、塗布ムラ、ハジキ等を生じず、さらに該組成物中に含有されるフッ素系界面活性剤は重合性基を有するため、露光により塗膜表面で硬化可能なため、露光部のみ耐アルカリ性を発現できるので、水シミを防止することができる。したがって、該カラーレジスト組成物を用いることで、色ムラがなく色再現性に優れ、高い精度で着色パターンを形成したカラーフィルターを提供することができる。また、該カラーフィルターを用いることで、表示特性に優れた液晶表示装置を提供することができる。   Since the color resist composition of the present invention does not cause coating unevenness, repellency, etc., and the fluorine-containing surfactant contained in the composition has a polymerizable group, it can be cured on the coating film surface by exposure. Since only the exposed portion can exhibit alkali resistance, water spots can be prevented. Therefore, by using the color resist composition, it is possible to provide a color filter that is excellent in color reproducibility without color unevenness and has a colored pattern formed with high accuracy. In addition, by using the color filter, a liquid crystal display device having excellent display characteristics can be provided.

図1は、合成例1で得られた重合性基を有するフッ素系界面活性剤(1)のIRスペクトルのチャート図である。FIG. 1 is an IR spectrum chart of the fluorosurfactant (1) having a polymerizable group obtained in Synthesis Example 1. 図2は、合成例1で得られた重合性基を有するフッ素系界面活性剤(1)の13C−NMRのチャート図である。FIG. 2 is a 13 C-NMR chart of the fluorosurfactant (1) having a polymerizable group obtained in Synthesis Example 1. 図3は、合成例1で得られた重合性基を有するフッ素系界面活性剤(1)の19F−NMRのチャート図である。FIG. 3 is a 19 F-NMR chart of the fluorochemical surfactant (1) having a polymerizable group obtained in Synthesis Example 1.

本発明で用いるアルカリ可溶性樹脂(A)としては、アルカリ現像液に可溶のものであれば特に限定はないが、カルボキシル基、フェノール性水酸基及びスルホン酸基の群から選ばれる少なくとも1つの酸性基又はその塩を有する樹脂が好ましい。   The alkali-soluble resin (A) used in the present invention is not particularly limited as long as it is soluble in an alkali developer, but at least one acidic group selected from the group of carboxyl group, phenolic hydroxyl group and sulfonic acid group. Or the resin which has the salt is preferable.

前記アルカリ可溶性樹脂(A)について、より具体的に説明すると、酸性基を有する単量体を重合させたものが挙げられる。アルカリ可溶性樹脂(A)の原料となる酸性基としてカルボキシル基を有する単量体としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸又はこれらの塩等が挙げられる。   More specifically, the alkali-soluble resin (A) is obtained by polymerizing a monomer having an acidic group. Examples of the monomer having a carboxyl group as an acid group as a raw material for the alkali-soluble resin (A) include, for example, acrylic acid, methacrylic acid, vinyl acetic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, cinnamic acid, These salts are mentioned.

アルカリ可溶性樹脂(A)の原料となる酸性基としてフェノール性水酸基を有する単量体としては、例えば、o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレン等が挙げられる。また、これらの単量体の芳香環に結合したフェノール性水酸基及びビニル基以外の1個以上の水素原子が、アルキル基、アルコキシル基、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、アミド基に置換された化合物等も挙げられる。   As a monomer which has a phenolic hydroxyl group as an acidic group used as the raw material of alkali-soluble resin (A), o-hydroxy styrene, m-hydroxy styrene, p-hydroxy styrene etc. are mentioned, for example. In addition, one or more hydrogen atoms other than the phenolic hydroxyl group and vinyl group bonded to the aromatic ring of these monomers were substituted with an alkyl group, an alkoxyl group, a halogen atom, a nitro group, a cyano group, or an amide group. A compound etc. are also mentioned.

アルカリ可溶性樹脂(A)の原料となる酸性基としてスルホン酸基を有する単量体としては、例えば、ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、(メタ)アリルスルホン酸、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アリルオキシプロパンスルホン酸、(メタ)アクリル酸−2−スルホエチル、(メタ)アクリル酸−2−スルホプロピル、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロキシプロパンスルホン酸、2−(メタ)アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸又はこれらの塩等が挙げられる。   Examples of the monomer having a sulfonic acid group as an acidic group as a raw material for the alkali-soluble resin (A) include vinyl sulfonic acid, styrene sulfonic acid, (meth) allyl sulfonic acid, and 2-hydroxy-3- (meth). Allyloxypropanesulfonic acid, (meth) acrylic acid-2-sulfoethyl, (meth) acrylic acid-2-sulfopropyl, 2-hydroxy-3- (meth) acryloxypropanesulfonic acid, 2- (meth) acrylamide-2 -Methylpropanesulfonic acid or a salt thereof.

また、上記の酸性基を有する単量体は、単独で重合してアルカリ可溶性樹脂(A)とすることもできるが、他の単量体と共重合させても構わない。このような他の単量体しては、炭化水素系オレフィン類、ビニルエーテル類、イソプロペニルエーテル類、アリルエーテル類、ビニルエステル類、アリルエステル類、(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリルアミド類、芳香族ビニル化合物、クロロオレフィン類、共役ジエン類等が挙げられる。これらの中でも、(メタ)アクリル酸エステル類が好ましい。   Moreover, although the monomer which has said acidic group can superpose | polymerize independently and can be set as alkali-soluble resin (A), you may make it copolymerize with another monomer. Such other monomers include hydrocarbon olefins, vinyl ethers, isopropenyl ethers, allyl ethers, vinyl esters, allyl esters, (meth) acrylic esters, (meth) acrylamides. , Aromatic vinyl compounds, chloroolefins, conjugated dienes and the like. Among these, (meth) acrylic acid esters are preferable.

前記(メタ)アクリル酸エステル類としては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸sec−ブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸n−ペンチル、(メタ)アクリル酸3−メチルブチル、(メタ)アクリル酸n−ヘキシル、(メタ)アクリル酸2−エチル−n−ヘキシル、(メタ)アクリル酸n−オクチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸3−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸5−ヒドロキシペンチル、(メタ)アクリル酸6−ヒドロキシヘキシル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシシクロヘキシル、ネオペンチルグリコールモノ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸3−クロロ−2−ヒドロキシプロピル、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸1,1−ジメチル−3−オキソブチル、(メタ)アクリル酸2−アセトアセトキシエチル、(メタ)アクリル酸2−メトキシエチル、(メタ)アクリル酸2−エトキシエチル、(メタ)アクリル酸ベンジル等が挙げられる。   Examples of the (meth) acrylate esters include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, and n- (meth) acrylate. Butyl, isobutyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, n-pentyl (meth) acrylate, 3-methylbutyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid n-hexyl, 2-ethyl- (meth) acrylate-n-hexyl, n-octyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, (Meth) acrylic acid 2-hydroxypropyl, (meth) acrylic acid 3-hydroxypropyl, (meth) a 4-hydroxybutyl toluate, 5-hydroxypentyl (meth) acrylate, 6-hydroxyhexyl (meth) acrylate, 4-hydroxycyclohexyl (meth) acrylate, neopentyl glycol mono (meth) acrylate, (meth) acryl Acid 3-chloro-2-hydroxypropyl, glycerin mono (meth) acrylate, 1,1-dimethyl-3-oxobutyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid 2-acetoacetoxyethyl, (meth) acrylic acid 2- Examples include methoxyethyl, 2-ethoxyethyl (meth) acrylate, and benzyl (meth) acrylate.

アルカリ可溶性樹脂(A)の原料となる酸性基を有する単量体及び前記の他の単量体は、それぞれ単独で用いることも2種以上併用することもできる。   The monomer having an acidic group that is a raw material of the alkali-soluble resin (A) and the other monomer may be used alone or in combination of two or more.

なお、本発明において、「(メタ)アクリル酸」とは、メタクリル酸とアクリル酸の一方又は両方をいい、「(メタ)アクリロイル」とは、メタクリロイルとアクリロイルの一方又は両方をいい、「(メタ)アクリレート」とは、メタクリレートとアクリレートの一方又は両方をいう。   In the present invention, “(meth) acrylic acid” refers to one or both of methacrylic acid and acrylic acid, and “(meth) acryloyl” refers to one or both of methacryloyl and acryloyl. ) "Acrylate" refers to one or both of methacrylate and acrylate.

本発明に用いる重合性化合物(B)としては、紫外線等の活性エネルギー線照射により重合又は架橋反応可能な光重合性官能基を有する化合物であれば特に限定されることなく用いることができる。具体的な例としては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリレート化合物が挙げられる。   The polymerizable compound (B) used in the present invention is not particularly limited as long as it is a compound having a photopolymerizable functional group that can be polymerized or cross-linked by irradiation with active energy rays such as ultraviolet rays. Specific examples include, for example, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (Meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, Glycerin tri (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate (Meth) acrylate compounds such relations are exemplified.

また、N,N’−エチレンジマレイミド、N,N’−ヘキサメチレンジマレイミド、N,N’−ドデカメチレンジマレイミド、N,N’−m−フェニレンジマレイミド、N,N’−p−フェニレンジマレイミド、N,N’−(オキシジ−p−フェニレン)ジマレイミド、N,N’−(メチレンジ−p−フェニレン)ジマレイミド、N,N’−2,4−トリレンジマレイミド、N,N’−2,6−トリレンジマレイミド、N,N’−ジマレイミド、N,N’−m−キシリレンジマレイミド、N,N’−p−キシリレンジマレイミド、N,N’−オキシジプロピレンジマレイミド、エチレンジオキシ−ビス−N−エチルマレイミド、N,N’−p,p’−ジフェニルスルホンビスマレイミド、N,N’−p,p’−ジフェニルエーテルビスマレイミド、N,N’−ジシクロヘキシルメタンビスマレイミド、N,N’−(3,3’−ジクロロ−p,p’−ビスフェニレン)ビスマレイミド、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ−2,2−ビス(4−マレイミドフェニル)プロパン、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ−2,2−ビス〔4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル〕プロパン、エトキシ(3−マレイミドプロピオキシ)エタン、エトキシ(3−マレイミドプロピオキシ)ブタン、ジエチレングリコール(3−マレイミドプロピル)メチルエーテル、Mn=400のポリエチレングリコールのメチル(3−マレイミドプロピル)エーテル、トリメチロールプロパントリ(3−マレイミドプロピルエーテル)、Mn=400のポリエチレングリコールのビス(3−マレイミドプロピル)エーテル、Mn=400のポリエチレングリコールのモノ(3−マレイミドプロピル)ビニルエーテル等のエーテル系化合物;メチルマレイミドアセテート、エチルマレイミドカプロネート、エチレングリコールモノメチルエーテルマレイミドアセテート、Mn=400のポリエチレングリコールのモノメチルエーテルマレイミドアセテート、テトラヒドロフルフリルマレイミドアセテート、ジエチレングリコールビスマレイミドアセテート、ジエチレングリコールモノマレイミドアセテートアクリレート、Mn=400のポリエチレングリコールのビスマレイミドアセテート、Mn=250のポリテトラメチレングリコールのビスマレイミドアセテート、Mn=400のポリエチレングリコールのモノマレイミドカプロネートアクリレート、トリメチロールプロパントリマレイミドアセテート、エチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリマレイミドアセテート、エチレンオキシド変性トリメチロールプロパンジマレイミドアセテートモノアクリレート、ペンタエリスリトールテトラマレイミドアセテート、エチレンオキシド変性ペンタエリスリトールジマレイミドアセテート、エチレンオキシド変性ペンタエリスリトールトリマレイミドアセテート、エチレンオキシド変性ペンタエリスリトールテトラマレイミドアセテート、エチレンオキシド変性ペンタエリスリトールジマレイミドアセテートジアクリレート等のマレイミドエステル化合物;N−エチル−(2−マレイミドエチル)カーバメート;ソホロンジイソシアナートと(ポリ)アルキレンポリオールとの当量混合物を2−マレイミドエタノールと反応させたウレタン化合物;2−マレイミドエチル−エチルカーボネート、2−マレイミドエチル−イソプロピルカーボネート、テトラエチレングリコールビス(3−マレイミドプロピルカーボネート)等のマレイミドカーボネート化合物等のマレイミド誘導体も挙げられる。これらの重合性化合物(B)は、単独で用いることも、2種以上を併用することもできる。   Also, N, N′-ethylene dimaleimide, N, N′-hexamethylene dimaleimide, N, N′-dodecamethylene dimaleimide, N, N′-m-phenylene dimaleimide, N, N′-p-pheny Rangemaleimide, N, N ′-(oxydi-p-phenylene) dimaleimide, N, N ′-(methylenedi-p-phenylene) dimaleimide, N, N′-2,4-tolylenemaleimide, N, N′-2 , 6-Tolylenedimaleimide, N, N′-dimaleimide, N, N′-m-xylylenedimaleimide, N, N′-p-xylylenedimaleimide, N, N′-oxydipropylenemaleimide, ethylenedioxy -Bis-N-ethylmaleimide, N, N'-p, p'-diphenylsulfone bismaleimide, N, N'-p, p'-diphenyl ether bismaleimide N, N'-dicyclohexylmethane bismaleimide, N, N '-(3,3'-dichloro-p, p'-bisphenylene) bismaleimide, 1,1,1,3,3,3-hexafluoro -2,2-bis (4-maleimidophenyl) propane, 1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, ethoxy (3 -Maleimidopropioxy) ethane, ethoxy (3-maleimidopropoxy) butane, diethylene glycol (3-maleimidopropyl) methyl ether, methyl (3-maleimidopropyl) ether of polyethylene glycol with Mn = 400, trimethylolpropane tri (3- Maleimidopropyl ether), polyethylene glycol bis (3- Ether compounds such as (reimidopropyl) ether, polyethylene glycol mono (3-maleimidopropyl) vinylether with Mn = 400; methylmaleimide acetate, ethylmaleimide capronate, ethylene glycol monomethylethermaleimide acetate, polyethylene glycol with Mn = 400 Monomethyl ether maleimide acetate, tetrahydrofurfuryl maleimide acetate, diethylene glycol bismaleimide acetate, diethylene glycol monomaleimide acetate acrylate, bismaleimide acetate of polyethylene glycol with Mn = 400, bismaleimide acetate of polytetramethylene glycol with Mn = 250, Mn = 400 Polyethylene glycol monomaleimide capro Nate acrylate, trimethylolpropane trimaleimide acetate, ethylene oxide modified trimethylolpropane trimaleimide acetate, ethylene oxide modified trimethylolpropane dimaleimide acetate monoacrylate, pentaerythritol tetramaleimide acetate, ethylene oxide modified pentaerythritol dimaleimide acetate, ethylene oxide modified pentaerythritol trimaleimide Maleimide ester compounds such as acetate, ethylene oxide modified pentaerythritol tetramaleimide acetate, ethylene oxide modified pentaerythritol dimaleimide acetate diacrylate; N-ethyl- (2-maleimidoethyl) carbamate; sophorone diisocyanate and (poly) alkylene Urethane compounds obtained by reacting an equivalent mixture with ol with 2-maleimidoethanol; maleimide carbonate compounds such as 2-maleimidoethyl-ethyl carbonate, 2-maleimidoethyl-isopropyl carbonate, tetraethylene glycol bis (3-maleimidopropyl carbonate), etc. And maleimide derivatives of These polymerizable compounds (B) can be used alone or in combination of two or more.

前記アルカリ可溶性樹脂(A)と重合性化合物(B)との質量比率は、(A):(B)=40:60〜90:10の範囲が好ましく、50:50〜80:20の範囲がより好ましく、55:45〜70:30の範囲がさらに好ましい。   The mass ratio of the alkali-soluble resin (A) and the polymerizable compound (B) is preferably in the range of (A) :( B) = 40: 60 to 90:10, and in the range of 50:50 to 80:20. More preferably, the range of 55:45 to 70:30 is even more preferable.

本発明で用いる着色剤(C)としては、着色が可能なものであれば、特に制限無く用いることができるが、耐熱性及び耐光性が高い点から顔料が好ましく、有機顔料、無機顔料のいずれであっても用いることができる。   The colorant (C) used in the present invention can be used without particular limitation as long as it can be colored. However, a pigment is preferable from the viewpoint of high heat resistance and light resistance, and any of organic pigments and inorganic pigments can be used. Can be used.

前記有機顔料としては、赤(R)、緑(G)、青(B)の各画素の色に応じて用いる。赤(R)の画素では、例えば、C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド97、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグメントレッド192、C.I.ピグメントレッド215、C.I.ピグメントレド216、C.I.ピグメントレッド217、C.I.ピグメントレッド220、C.I.ピグメントレッド223、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド226、C.I.ピグメントレッド227、C.I.ピグメントレッド228、C.I.グメントレッド240、C.I.グメントレッド254、C.I.ピグメントレッド48:1等の赤色顔料を用いることができる。   As said organic pigment, it uses according to the color of each pixel of red (R), green (G), and blue (B). For red (R) pixels, for example, C.I. I. Pigment red 9, C.I. I. Pigment red 97, C.I. I. Pigment red 122, C.I. I. Pigment red 123, C.I. I. Pigment red 149, C.I. I. Pigment red 168, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 180, C.I. I. Pigment red 192, C.I. I. Pigment red 215, C.I. I. Pigment red 216, C.I. I. Pigment red 217, C.I. I. Pigment red 220, C.I. I. Pigment red 223, C.I. I. Pigment red 224, C.I. I. Pigment red 226, C.I. I. Pigment red 227, C.I. I. Pigment red 228, C.I. I. Gment Red 240, C.I. I. Cement red 254, C.I. I. Red pigments such as CI Pigment Red 48: 1 can be used.

緑(G)の画素では、例えば、C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36等の緑色顔料を用いることができる。青(B)画素では、例えば、C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー22、C.I.ピグメントブルー60、C.I.ピグメントブルー64等の青色顔料を用いることができる。   For green (G) pixels, for example, C.I. I. Pigment green 7, C.I. I. Green pigments such as CI Pigment Green 36 can be used. For blue (B) pixels, for example, C.I. I. Pigment blue 15, C.I. I. Pigment blue 15: 6, C.I. I. Pigment blue 22, C.I. I. Pigment blue 60, C.I. I. Blue pigments such as CI Pigment Blue 64 can be used.

また、上記の赤(R)、緑(G)、青(B)の各画素の色再現性を向上する目的で、その他の色の有機顔料を色相調整として用いてもよい。このような色相調整の有機顔料としては、C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピグメントバイオレット30、C.I.ピグメントバイオレット37、C.I.ピグメントバイオレット40、C.I.ピグメントバイオレット50等のバイオレット顔料;C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー86、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー117、C.I.ピグメントイエロー125、C.I.ピグメントイエロー137、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー147、C.I.ピグメントイエロー148、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー185等の黄色顔料などが挙げられる。   In addition, for the purpose of improving the color reproducibility of each of the red (R), green (G), and blue (B) pixels, organic pigments of other colors may be used for hue adjustment. Examples of such organic pigments for hue adjustment include C.I. I. Pigment violet 19, C.I. I. Pigment violet 23, C.I. I. Pigment violet 29, C.I. I. Pigment violet 30, C.I. I. Pigment violet 37, C.I. I. Pigment violet 40, C.I. I. Violet pigments such as CI Pigment Violet 50; I. Pigment yellow 20, C.I. I. Pigment yellow 24, C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 86, C.I. I. Pigment yellow 93, C.I. I. Pigment yellow 109, C.I. I. Pigment yellow 110, C.I. I. Pigment yellow 117, C.I. I. Pigment yellow 125, C.I. I. Pigment yellow 137, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 147, C.I. I. Pigment yellow 148, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 153, C.I. I. Pigment yellow 154, C.I. I. Pigment yellow 166, C.I. I. Pigment yellow 168, C.I. I. And yellow pigments such as CI Pigment Yellow 185.

一方、ブラックマトリックス(BM)を形成するのに用いる着色剤(C)としては、黒色であれば特に限定されるものではないが、カーボンブラック、金属酸化物、2種以上の金属酸化物からなる複合金属化合物等の顔料が好ましい。また、赤、青、緑、紫、黄、シアン、マゼンタの色相を有する顔料から選ばれる2種以上の有機顔料を混合し、混色により黒色とした組み合わせでも構わない。   On the other hand, the colorant (C) used for forming the black matrix (BM) is not particularly limited as long as it is black, but is composed of carbon black, metal oxide, or two or more metal oxides. Pigments such as composite metal compounds are preferred. Further, a combination in which two or more organic pigments selected from pigments having hues of red, blue, green, purple, yellow, cyan, and magenta are mixed and made black by mixing colors may be used.

前記カーボンブラックとしては、例えば、ランプブラック、アセチレンブラック、サーマルブラック、チャンネルブラック、ファーネスブラック等が挙げられる。前記金属酸化物としては、チタンの酸化又は二酸化チタンの還元により得られるチタンブラックが挙げられる。通常、チタンブラックは、Ti2m−1(mは1以上の数)で表される。また、金属酸化物として、銅、鉄、クロム、マンガン、コバルト等の金属酸化物も挙げられる。さらに、2種以上の金属酸化物からなる複合金属化合物としては、例えば、銅−クロムの酸化物、銅−クロム−マンガンの酸化物、銅−鉄−マンガンの酸化物又はコバルト−鉄−マンガンの酸化物等が挙げられる。 Examples of the carbon black include lamp black, acetylene black, thermal black, channel black, and furnace black. Examples of the metal oxide include titanium black obtained by oxidation of titanium or reduction of titanium dioxide. Usually, titanium black is represented by Ti m O 2m-1 (m is a number of 1 or more). Moreover, metal oxides, such as copper, iron, chromium, manganese, cobalt, are mentioned as a metal oxide. Furthermore, as the composite metal compound composed of two or more kinds of metal oxides, for example, copper-chromium oxide, copper-chromium-manganese oxide, copper-iron-manganese oxide, or cobalt-iron-manganese An oxide etc. are mentioned.

一方、有機顔料の例としては、赤の色相を有する顔料としては、キナクリドン系顔料、ペリレン系顔料、ピロロ・ピロール系顔料、アントラキノン系顔料等が挙げられ、青の色相を有する顔料としては、フタロシアニン系顔料、インダンスレン系顔料等が挙げられ、緑の色相を有する顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料等が挙げられ、紫の色相を有する顔料としては、ジオキサジンバイオレット、ファストバイオレットB、メチルバイオレットレーキ、インダンスレンブリリアントバイオレット等が挙げられ、黄の色相を有する色相を有する顔料としては、テトラクロロイソインドリノン系顔料、ハンザイエロー系顔料、ベンジジンイエロー系顔料、アゾ系顔料等が挙げられ、シアンの色相を有する顔料としては無金属フタロシアニン、メロシアニン等が挙げられ、マゼンタの色相を有する顔料としては、ジメチルキナクリドン、チオインジゴ等が挙げられる。   On the other hand, examples of organic pigments include quinacridone pigments, perylene pigments, pyrrolo-pyrrole pigments, anthraquinone pigments and the like as pigments having a red hue, and phthalocyanines as pigments having a blue hue. Pigments, indanthrene pigments, etc., pigments having a green hue include halogenated phthalocyanine pigments, and pigments having a purple hue include dioxazine violet, fast violet B, methyl Examples of pigments having a hue having a yellow hue include tetrachloroisoindolinone pigments, hansa yellow pigments, benzidine yellow pigments, and azo pigments. As a pigment having a cyan hue, metal-free phthalose Nin, merocyanine, and examples of the pigment having a magenta hue, dimethyl quinacridone, thioindigo, and the like.

赤(R)、緑(G)、青(B)の各画素及びブラックマトリックス(BM)を形成するために用いる着色剤(C)は、求められる色相に応じて、単独で用いることも2種以上併用することもできる。   The colorant (C) used to form each pixel of red (R), green (G), and blue (B) and the black matrix (BM) can be used alone or in combination according to the required hue. It can also be used in combination.

前記着色剤(C)の配合量は、前記アルカリ可溶性樹脂(A)及び重合性化合物(B)の合計100質量部に対して、質量基準で10〜80質量部の範囲であることが好ましく、15〜65質量部の範囲であることがより好ましい。   The blending amount of the colorant (C) is preferably in the range of 10 to 80 parts by mass on the basis of 100 parts by mass in total of the alkali-soluble resin (A) and the polymerizable compound (B). A range of 15 to 65 parts by mass is more preferable.

本発明のカラーレジスト組成物においては、前記着色剤(C)が顔料の場合は、分散剤を用いて有機溶剤中で分散させて調製した顔料分散液を予め調製して用いることが好ましい。前記分散剤としては、例えば、界面活性剤;顔料の中間体もしくは誘導体;染料の中間体もしくは誘導体;ポリアミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂等の樹脂型分散剤等が挙げられる。これら顔料分散剤の中でも、特に主鎖又は側鎖にN,N−ジ置換アミノ基及び酸性基を有するアクリル系重合体を含有する樹脂型分散剤が好ましい。このような樹脂型分散剤の市販品としては、例えば、ビックケミー社製の「BYK−160」、「BYK−161」、「BYK−2001」、エフカーケミカルズ社製の「エフカ46」、味の素ファインテクノ株式会社製の「アジスパーPB−814」等が挙げられる。これらの分散剤は、単独で用いることも、2種以上を併用することもできる。   In the color resist composition of the present invention, when the colorant (C) is a pigment, it is preferable to prepare and use a pigment dispersion prepared by dispersing it in an organic solvent using a dispersant. Examples of the dispersant include surfactants; intermediates or derivatives of pigments; intermediates or derivatives of dyes; resin-type dispersants such as polyamide resins, polyurethane resins, polyester resins, and acrylic resins. It is done. Among these pigment dispersants, a resin dispersant containing an acrylic polymer having an N, N-disubstituted amino group and an acidic group in the main chain or side chain is particularly preferable. Examples of such commercially available resin-type dispersants include “BYK-160”, “BYK-161”, “BYK-2001” manufactured by BYK Chemie, “Efka 46” manufactured by Fuka Chemicals, and Ajinomoto Fine. Examples include “Ajisper PB-814” manufactured by Techno Corporation. These dispersants can be used alone or in combination of two or more.

また、前記顔料分散液の調製の際に用いられる有機溶剤としては、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステル系溶剤;エトキシプロピオネート等のプロピオネート系溶剤;トルエン、キシレン、メトキシベンゼン等の芳香族系溶剤;ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶剤;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤;ヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤;N,N−ジメチルホルムアミド、γ−ブチロラクタム、N−メチル−2−ピロリドン等の窒素化合物系溶剤;γ−ブチロラクトン等のラクトン系溶剤;カルバミン酸エステル等が挙げられる。これらの溶剤は、単独で用いることも、2種以上を併用することもできる。   Examples of the organic solvent used in the preparation of the pigment dispersion include acetate solvents such as propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl ether acetate; propionate solvents such as ethoxypropionate; toluene Aromatic solvents such as xylene, methoxybenzene; ether solvents such as butyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol ethyl ether and diethylene glycol dimethyl ether; ketone solvents such as methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; aliphatic carbonization such as hexane Hydrogen-based solvents; nitrogen compound solvents such as N, N-dimethylformamide, γ-butyrolactam, N-methyl-2-pyrrolidone; γ-butyrolacto Lactone solvents such as carbene; carbamates and the like. These solvents can be used alone or in combination of two or more.

前記顔料分散液の調製方法としては、着色剤(C)の混練分散工程及び微分散工程を経る方法、微分散工程のみで行う方法等が挙げられる。前記混練分散工程では、着色剤(C)、アルカリ可溶性樹脂(A)の一部、及び必要に応じて前記分散剤を混合し混練する。混練に用いる機械は、二本ロール、三本ロール、ボールミル、トロンミル、ディスパー、ニーダー、コニーダー、ホモジナイザー、ブレンダー、単軸もしくは二軸の押出機等が挙げられ、これらの混練機を用いて強い剪断力を加えながら分散することにより着色剤を分散することができる。また、着色剤(C)は、上記の混練を行う前に、ソルトミリング法等によって粒子サイズを微細化しておくことが好ましい。   Examples of the method for preparing the pigment dispersion include a method in which the colorant (C) is kneaded and dispersed, a method in which the dispersion is performed, and a method in which only the fine dispersion is performed. In the kneading and dispersing step, the colorant (C), a part of the alkali-soluble resin (A), and, if necessary, the dispersing agent are mixed and kneaded. Examples of the machine used for kneading include two rolls, three rolls, ball mills, tron mills, dispersers, kneaders, kneaders, homogenizers, blenders, and single-screw or twin-screw extruders. The colorant can be dispersed by dispersing while applying force. The colorant (C) is preferably refined in particle size by a salt milling method or the like before the kneading.

一方、前記微分散工程では、前記混練分散工程で得られた着色剤(C)を含む組成物に溶剤を加えたもの、又は、着色剤(C)、アルカリ可溶性樹脂(A)、溶剤及び必要に応じて前記分散剤を混合したものを、ガラス、ジルコニアやセラミックの微粒の分散用メディアと共に分散機を用いて混合分散することにより、着色剤(C)の粒子を一次粒子に近い微小な状態にまで分散することができる。   On the other hand, in the fine dispersion step, a composition obtained by adding the solvent to the composition containing the colorant (C) obtained in the kneading and dispersion step, or the colorant (C), the alkali-soluble resin (A), the solvent and necessary According to the above, the dispersion agent is mixed and dispersed together with a dispersion medium for fine particles of glass, zirconia or ceramic using a disperser, so that the colorant (C) particles are in a minute state close to primary particles. Can be dispersed.

また、カラーフィルターの透過率、コントラスト等を向上する観点から、着色剤(C)の一次粒子の平均粒径は、10〜100nmであることが好ましく、10〜60nmであることがより好ましい。なお、この着色剤(C)の平均粒径は、動的光散乱式の粒度分布計で測定したものであり、例えば、日機装株式会社製のナノトラック(Nanotrac)粒度分布測定装置「UPA−EX150」、「UPA−EX250」等で測定することができる。   Further, from the viewpoint of improving the transmittance and contrast of the color filter, the average particle diameter of the primary particles of the colorant (C) is preferably 10 to 100 nm, and more preferably 10 to 60 nm. The average particle size of the colorant (C) was measured with a dynamic light scattering particle size distribution meter. For example, Nanotrac particle size distribution measuring device “UPA-EX150 manufactured by Nikkiso Co., Ltd.” ”,“ UPA-EX250 ”or the like.

本発明で用いる重合性基を有するフッ素系界面活性剤(D)は、フッ素原子を有し、かつ重合性基を有するものであれば、特に制限なく用いることができるが、中でもポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖を有するものが好ましい。   The fluorosurfactant (D) having a polymerizable group used in the present invention can be used without particular limitation as long as it has a fluorine atom and has a polymerizable group. Those having an (alkylene ether) chain are preferred.

ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖を有する前記フッ素系界面活性剤(D)としては、ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖とその両末端にラジカル重合性不飽和基を有する構造部位を有する化合物(d1)と、反応性官能基(R1)を有するラジカル重合性不飽和単量体(d2)とを必須の単量体成分として共重合させて得られる重合体(P1)に、前記官能基(R1)と反応性を有する官能基(R2)とラジカル重合性不飽和基とを有する化合物(d3)を反応させて得られるフッ素系界面活性剤(D1)が挙げられる。また、反応性官能基(R1)を有するラジカル重合性不飽和単量体(d2)の重合体(P2)に、ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖とその両末端に前記反応性官能基(R1)に対して反応性を有する官能基(R2)を有する化合物(d1’)と、前記官能基(R1)に対して反応性を有する官能基(R2)とラジカル重合性不飽和基とを有する化合物(d3)とを反応させて得られるフッ素系界面活性剤(D2)も挙げられる。   The fluorine-containing surfactant (D) having a poly (perfluoroalkylene ether) chain is a compound (d1) having a poly (perfluoroalkylene ether) chain and a structural moiety having a radically polymerizable unsaturated group at both ends thereof. ) And a radically polymerizable unsaturated monomer (d2) having a reactive functional group (R1) as an essential monomer component, the polymer (P1) is copolymerized with the functional group (R1). ) And a functional group (R2) having reactivity and a compound (d3) having a radically polymerizable unsaturated group, and a fluorosurfactant (D1) obtained. Further, the polymer (P2) of the radically polymerizable unsaturated monomer (d2) having a reactive functional group (R1) is added to the poly (perfluoroalkylene ether) chain and the reactive functional group (R1 at both ends). ) Having a functional group (R1) having a reactive functional group (R2), a functional group (R2) having a reactivity with respect to the functional group (R1), and a radically polymerizable unsaturated group. Also included is a fluorine-based surfactant (D2) obtained by reacting the compound (d3).

ここで、前記ラジカル重合性不飽和単量体(d2)としては、アクリル系単量体、芳香族ビニル系単量体、ビニルエステル系単量体、マレイミド系単量体等が挙げられる。また、前記ラジカル重合性不飽和単量体(d2)が有する反応性官能基(R1)としては、水酸基、イソシアネート基、エポキシ基、カルボキシル基等が挙げられる。   Here, examples of the radical polymerizable unsaturated monomer (d2) include acrylic monomers, aromatic vinyl monomers, vinyl ester monomers, maleimide monomers, and the like. Examples of the reactive functional group (R1) possessed by the radical polymerizable unsaturated monomer (d2) include a hydroxyl group, an isocyanate group, an epoxy group, and a carboxyl group.

前記ラジカル重合性不飽和単量体(d2)の具体例としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、N−(2−ヒドロキシエチル)(メタ)アクリルアミド、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−2−ヒドロキシエチルフタレート、末端水酸基含有ラクトン変性(メタ)アクリレート等の水酸基含有不飽和単量体;2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、2−(2−(メタ)アクリロイルオキシエトキシ)エチルイソシアネート、1,1−ビス((メタ)アクリロイルオキシメチル)エチルイソシアネート等のイソシアネート基含有不飽和単量体;グリシジルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル等のエポキシ基含有不飽和単量体;(メタ)アクリル酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルコハク酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルフタル酸、イタコン酸等のカルボキシル基含有不飽和単量体が挙げられる。   Specific examples of the radical polymerizable unsaturated monomer (d2) include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl ( (Meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate, N- (2-hydroxyethyl) (meth) acrylamide, glycerin mono (meth) acrylate, polyethylene glycol mono ( (Meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, 2- (meth) acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalate, terminal hydroxyl group-containing lactone Hydroxyl group-containing unsaturated monomers such as reactive (meth) acrylates; 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate, 2- (2- (meth) acryloyloxyethoxy) ethyl isocyanate, 1,1-bis ((meth) acryloyl) Isocyanate group-containing unsaturated monomers such as oxymethyl) ethyl isocyanate; Epoxy group-containing unsaturated monomers such as glycidyl methacrylate and 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether; (meth) acrylic acid, 2- (meth) acryloyl Examples thereof include carboxyl group-containing unsaturated monomers such as loxyethyl succinic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalic acid, and itaconic acid.

また、前記ラジカル重合性不飽和単量体(d2)は、他のラジカル重合性不飽和単量体と共重合してもよい。この他のラジカル重合性不飽和単量体としては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸n−ペンチル、(メタ)アクリル酸n−ヘキシル、(メタ)アクリル酸n−ヘプチル、(メタ)アクリル酸n−オクチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ノニル、(メタ)アクリル酸デシル、(メタ)アクリル酸ドデシル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸イソボルニル等の(メタ)アクリル酸エステル類;スチレン、α−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−メトキシスチレン等の芳香族ビニル類;マレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、プロピルマレイミド、ブチルマレイミド、ヘキシルマレイミド、オクチルマレイミド、ドデシルマレイミド、ステアリルマレイミド、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミド等のマレイミド類などが挙げられる。   The radical polymerizable unsaturated monomer (d2) may be copolymerized with other radical polymerizable unsaturated monomers. Examples of other radical polymerizable unsaturated monomers include, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, (meth ) Isobutyl acrylate, n-pentyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate, n-heptyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, (Meth) acrylic acid esters such as nonyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate; styrene, α-methylstyrene , P-methylstyrene, p-methoxystyrene and other aromatic vinyls; maleimide, methylmaleimide, ethyl Reimido, propyl maleimide, butyl maleimide, hexyl maleimide, octyl maleimide, dodecyl maleimide, stearyl maleimide, phenyl maleimide, and the like maleimides such as cyclohexyl maleimide.

次に、前記化合物(d1)又は化合物(d1’)が有するポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖は、具体的には、炭素原子数1〜3の2価フッ化炭素基と酸素原子が交互に連結した構造を有するものが挙げられる。炭素原子数1〜3の2価フッ化炭素基は、一種類であっても良いし複数種の混合であってもよく、具体的には、下記構造式1で表されるものが挙げられる。   Next, the poly (perfluoroalkylene ether) chain of the compound (d1) or the compound (d1 ′) is specifically composed of alternately divalent fluorocarbon groups having 1 to 3 carbon atoms and oxygen atoms. The thing which has the structure which connected is mentioned. The divalent fluorocarbon group having 1 to 3 carbon atoms may be one kind or a mixture of plural kinds, and specifically, those represented by the following structural formula 1 can be mentioned. .

Figure 0005531495
(上記構造式1中、Xは下記構造式a〜dであり、構造式1中の全てのXが同一構造のものであってもよいし、また、複数の構造がランダムに又はブロック状に存在していてもよい。また、nは繰り返し単位を表す1以上の数である。)
Figure 0005531495
(In the above structural formula 1, X is the following structural formulas a to d, and all X in the structural formula 1 may have the same structure, or a plurality of structures are randomly or block-shaped. And n is a number of 1 or more representing a repeating unit.

Figure 0005531495
Figure 0005531495

これらの中でも、特に平滑性に優れた塗膜が得られ、色ムラを防止できる点から前記構造式aで表されるパーフルオロメチレン構造と、前記構造bで表されるパーフルオロエチレン構造とが共存するものがとりわけ好ましい。ここで、前記構造式aで表されるパーフルオロメチレン構造と、前記構造bで表されるパーフルオロエチレン構造との存在比率は、モル比率(構造a/構造b)が1/4〜4/1となる割合であることが平滑性に優れた塗膜が得られ、色ムラを防止できる点から好ましく、また、前記構造式1中のnの値は3〜40の範囲であること、特に6〜30が好ましい。   Among these, a perfluoromethylene structure represented by the structural formula a and a perfluoroethylene structure represented by the structure b are provided in that a coating film having particularly excellent smoothness can be obtained and color unevenness can be prevented. Those that coexist are particularly preferred. Here, the abundance ratio between the perfluoromethylene structure represented by the structural formula a and the perfluoroethylene structure represented by the structure b is such that the molar ratio (structure a / structure b) is 1/4 to 4 /. A ratio of 1 is preferable from the viewpoint that a coating film excellent in smoothness can be obtained and color unevenness can be prevented, and the value of n in the structural formula 1 is in the range of 3 to 40. 6-30 are preferable.

また、前記ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖は、カラーレジスト組成物中の他の成分との相溶性を向上させやすい点からポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖1本に含まれるフッ素原子の合計が18〜200個の範囲であることが好ましく、25〜80個の範囲であることが特に好ましい。   In addition, the poly (perfluoroalkylene ether) chain has a total of fluorine atoms contained in one poly (perfluoroalkylene ether) chain from the viewpoint of easily improving the compatibility with other components in the color resist composition. The range is preferably 18 to 200, and particularly preferably 25 to 80.

本発明で用いるフッ素系界面活性剤(D)が有するラジカル重合性不飽和基は、活性エネルギー線の照射により硬化性を示すエチレン性二重結合であり、具体的には、下記構造式U−1〜U−3で示されるものが挙げられる。   The radically polymerizable unsaturated group possessed by the fluorosurfactant (D) used in the present invention is an ethylenic double bond that exhibits curability when irradiated with active energy rays, and specifically includes the following structural formula U- The thing shown by 1-U-3 is mentioned.

Figure 0005531495
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上記したラジカル重合性不飽和基を本発明で用いるフッ素系界面活性剤(D)に導入するには、前記重合体(P1)又は重合体(P2)を得た後、該重合体の側鎖に存在する反応性官能基(R1)に、該反応性官能基(R1)と反応性を有する官能基(R2)とラジカル重合性不飽和基とを有する化合物(d3)を反応させる方法が挙げられる。   In order to introduce the radical polymerizable unsaturated group described above into the fluorosurfactant (D) used in the present invention, after obtaining the polymer (P1) or the polymer (P2), the side chain of the polymer And the reactive functional group (R1) present in the compound is reacted with a compound (d3) having a functional group (R2) reactive with the reactive functional group (R1) and a radically polymerizable unsaturated group. It is done.

したがって、フッ素系界面活性剤(D)は、具体的には、ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖とその両末端にラジカル重合性不飽和基を有する構造部位を有する化合物(d1)と、反応性官能基(R1)を有するラジカル重合性不飽和単量体(d2)とを必須の単量体成分として共重合させて得られる重合体(P1)に、前記官能基(R1)と反応性を有する官能基(R2)とラジカル重合性不飽和基とを有する化合物(d3)を反応させて得られるもの(以下、これを「フッ素系界面活性剤(D1)」という。)、又は、反応性官能基(R1)を有するラジカル重合性不飽和単量体(B)の重合体(P2)に、ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖とその両末端に前記反応性官能基(R1)に対して反応性を有する官能基(R2)を有する化合物(d1’)と、前記官能基(R1)に対して反応性を有する官能基(R2)とラジカル重合性不飽和基とを有する化合物(d3)とを反応させて得られるもの(以下、これを「フッ素系界面活性剤(D2)」という。)であることがその工業的製造が容易であることから好ましい。   Therefore, the fluorosurfactant (D) is specifically reactive with the compound (d1) having a poly (perfluoroalkylene ether) chain and a structural moiety having a radically polymerizable unsaturated group at both ends thereof. The polymer (P1) obtained by copolymerizing the radically polymerizable unsaturated monomer (d2) having the functional group (R1) as an essential monomer component has a reactivity with the functional group (R1). What is obtained by reacting the compound (d3) having a functional group (R2) and a radically polymerizable unsaturated group (hereinafter referred to as “fluorinated surfactant (D1)”) or reactive. A polymer (P2) of a radically polymerizable unsaturated monomer (B) having a functional group (R1), a poly (perfluoroalkylene ether) chain and its reactive functional group (R1) at both ends thereof Reactive functional groups ( Obtained by reacting the compound (d1 ′) having 2) with the compound (d3) having a functional group (R2) having reactivity with the functional group (R1) and a radically polymerizable unsaturated group. It is preferable that it is a product (hereinafter referred to as “fluorine-based surfactant (D2)”) because its industrial production is easy.

ここで、フッ素系界面活性剤(D1)を製造する際に用いる、ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖とその両末端にラジカル重合性不飽和基を有する構造部位を有する化合物(d1)は、前記したポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖の両末端に、例えば、下記構造式U’−1〜U’−4で示されるラジカル重合性不飽和基を有するものが挙げられる。   Here, the compound (d1) having a structural part having a poly (perfluoroalkylene ether) chain and radically polymerizable unsaturated groups at both ends thereof, used when producing the fluorosurfactant (D1), Examples thereof include those having radically polymerizable unsaturated groups represented by the following structural formulas U′-1 to U′-4 at both ends of the poly (perfluoroalkylene ether) chain.

Figure 0005531495
Figure 0005531495

これらのラジカル重合性不飽和基の中でも特に化合物(d1)自体の入手や製造の容易さ、あるいは、前記したラジカル重合性不飽和単量体との反応性に優れる点から、構造式U’−1で表されるアクリロイルオキシ基、又は、構造式U’−2で表されるメタクリロイルオキシ基が好ましい。   Among these radically polymerizable unsaturated groups, the structural formula U′- is particularly preferable because the compound (d1) itself is easily obtained and manufactured, or has excellent reactivity with the radically polymerizable unsaturated monomer. The acryloyloxy group represented by 1 or the methacryloyloxy group represented by the structural formula U′-2 is preferable.

前記化合物(d1)の中で、前記したアクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を有するものとしては、下記構造式d1−1〜d1−10で表されるものが挙げられる。なお、下記の各構造式中における「−PFPE−」は、ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖を示す。   Examples of the compound (d1) having the acryloyloxy group or methacryloyloxy group described above include those represented by the following structural formulas d1-1 to d1-10. In the following structural formulas, “—PFPE—” represents a poly (perfluoroalkylene ether) chain.

Figure 0005531495
Figure 0005531495

これらの中でも特に化合物(d1)自体の工業的製造が容易であり、また、重合体(P1)を製造する際の重合反応も容易である点から前記構造式d1−1、d1−2、d1−5、d1−6で表されるものが好ましい。   Among these, the structural formulas d1-1, d1-2, d1 are particularly easy because the industrial production of the compound (d1) itself is easy and the polymerization reaction when producing the polymer (P1) is also easy. Those represented by −5 and d1-6 are preferred.

上記化合物(d1)を製造するには、例えば、両末端に水酸基を1つずつ有するパーフルオロポリエーテルに対して、(メタ)アクリル酸クロリドを脱塩酸反応させて得る方法、(メタ)アクリル酸を脱水反応させて得る方法、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネートをウレタン化反応させて得る方法、無水イタコン酸をエステル化反応させて得る方法、両末端にカルボキシル基を1つずつ有するパーフルオロポリエーテルに対して、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテルをエステル化反応させて得る方法、グリシジルメタクリレートをエステル化反応させて得る方法、両末端にイソシアネート基を1つずつ有するパーフルオロポリエーテルに対して、2−ヒドロキシエチルアクリルアミドを反応させる方法が挙げられる。これらのなかでも、両末端に水酸基を1つずつ有するパーフルオロポリエーテルに対して、(メタ)アクリル酸クロリドを脱塩酸反応させて得る方法と、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネートをウレタン化反応させて得る方法が合成上得られやすい点で特に好ましい。   In order to produce the compound (d1), for example, a method obtained by dehydrochlorinating (meth) acrylic acid chloride to a perfluoropolyether having one hydroxyl group at both ends, (meth) acrylic acid A method obtained by dehydration reaction, a method obtained by urethanation of 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate, a method obtained by esterification of itaconic anhydride, perfluoro having one carboxyl group at both ends For a polyether, a method obtained by esterifying 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether, a method obtained by esterifying glycidyl methacrylate, and a perfluoropolyether having one isocyanate group at both ends. , 2-hydroxyethylacrylamide reaction method And the like. Among these, a method obtained by dehydrochlorinating (meth) acrylic acid chloride to perfluoropolyether having one hydroxyl group at both ends, and urethanization of 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate The method obtained by reacting is particularly preferable in that it can be easily obtained synthetically.

ここで、重合体(P1)を製造する方法は、前記化合物(d1)、及び、反応性官能基(R1)を有するラジカル重合性不飽和単量体(d2)、更に必要によりその他のラジカル重合性不飽和単量体を、有機溶剤中、ラジカル重合開始剤を使用して重合させる方法が挙げられる。ここで用いる有機溶媒としては、ケトン類、エステル類、アミド類、スルホキシド類、エーテル類、炭化水素類が好ましく、具体的には、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、トルエン、キシレン等が挙げられる。これらは、沸点、相溶性、重合性を考慮して適宜選択される。ラジカル重合開始剤としては、例えば過酸化ベンゾイル等の過酸化物、アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ化合物等が例示できる。さらに必要に応じてラウリルメルカプタン、2−メルカプトエタノ−ル、チオグリセロール、エチルチオグリコ−ル酸、オクチルチオグリコ−ル酸等の連鎖移動剤を使用することができる。   Here, the method for producing the polymer (P1) includes the compound (d1), the radical polymerizable unsaturated monomer (d2) having a reactive functional group (R1), and, if necessary, other radical polymerization. And a method of polymerizing the unsaturated unsaturated monomer in an organic solvent using a radical polymerization initiator. As the organic solvent used here, ketones, esters, amides, sulfoxides, ethers, hydrocarbons are preferable. Specifically, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, ethyl acetate, butyl acetate, Examples include propylene glycol monomethyl ether acetate, dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, dimethyl sulfoxide, diethyl ether, diisopropyl ether, tetrahydrofuran, dioxane, toluene, xylene and the like. These are appropriately selected in consideration of boiling point, compatibility, and polymerizability. Examples of the radical polymerization initiator include peroxides such as benzoyl peroxide and azo compounds such as azobisisobutyronitrile. Furthermore, chain transfer agents such as lauryl mercaptan, 2-mercaptoethanol, thioglycerol, ethylthioglycolic acid, octylthioglycolic acid and the like can be used as necessary.

得られる重合体(P1)は、数平均分子量が800〜3,000の範囲にあるものが好ましく、1,000〜2,000の範囲にあるものがより好ましい。また、重合体(P1)は、重量平均分子量が1,500〜20,000の範囲にあるものが好ましく、2,000〜8,000の範囲にあるものがより好ましい。重合体(P1)の平均分子量がこれらの範囲にあれば、重合中に架橋不溶化を生じることを防止できる。また、最終的に得られるフッ素系界面活性剤(D1)の1分子中の重合性不飽和基の個数を多くすることができる。   The obtained polymer (P1) preferably has a number average molecular weight in the range of 800 to 3,000, and more preferably in the range of 1,000 to 2,000. The polymer (P1) preferably has a weight average molecular weight in the range of 1,500 to 20,000, and more preferably in the range of 2,000 to 8,000. If the average molecular weight of the polymer (P1) is within these ranges, it is possible to prevent the occurrence of crosslinking insolubilization during the polymerization. In addition, the number of polymerizable unsaturated groups in one molecule of the finally obtained fluorosurfactant (D1) can be increased.

この様にして得られる重合体(P1)に、前記官能基(R1)と反応性を有する官能基(R2)とラジカル重合性不飽和基とを含有する化合物(d3)を反応させることにより、目的とするフッ素系界面活性剤(D1)が得られる。   By reacting the polymer (P1) thus obtained with a compound (d3) containing a functional group (R2) reactive with the functional group (R1) and a radically polymerizable unsaturated group, The intended fluorosurfactant (D1) is obtained.

ここで、前記化合物(d3)が有する官能基(R2)は、例えば、水酸基、イソシアネート基、エポキシ基、カルボキシル基等が挙げられる。例えば反応性官能基(R1)が水酸基である場合には、官能基(R2)としてイソシアネート基が挙げられ、反応性官能基(R1)がイソシアネート基である場合には、官能基(R2)として水酸基が挙げられ、反応性官能基(R1)がエポキシ基である場合には、官能基(R2)としてカルボキシル基が挙げられ、反応性官能基(R1)がカルボキシル基である場合には、官能基(R2)としてエポキシ基が挙げられる。   Here, as for the functional group (R2) which the said compound (d3) has, a hydroxyl group, an isocyanate group, an epoxy group, a carboxyl group etc. are mentioned, for example. For example, when the reactive functional group (R1) is a hydroxyl group, the functional group (R2) includes an isocyanate group. When the reactive functional group (R1) is an isocyanate group, the functional group (R2) When the reactive functional group (R1) is an epoxy group, a carboxyl group is exemplified as the functional group (R2), and when the reactive functional group (R1) is a carboxyl group, the functional group is functional. An epoxy group is mentioned as group (R2).

このような化合物(d3)としては、前記ラジカル重合性不飽和単量体(d2)として例示したものと同様のものを用いることができる。また、その他、2−ヒドロキシ−3−アクリロイルオキシプロピルメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートも用いることができる。   As such a compound (d3), the thing similar to what was illustrated as said radically polymerizable unsaturated monomer (d2) can be used. In addition, 2-hydroxy-3-acryloyloxypropyl methacrylate, pentaerythritol triacrylate, and dipentaerythritol pentaacrylate can also be used.

これらの中でも特に紫外線等の活性エネルギー線照射での重合硬化性が好ましい点から、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシブチルアクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールモノアクリレート、N−(2−ヒドロキシエチル)アクリルアミド、2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル、アクリル酸が好ましい。   Of these, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 4-hydroxybutyl acrylate are particularly preferred because of their polymerization curability upon irradiation with active energy rays such as ultraviolet rays. 1,4-cyclohexanedimethanol monoacrylate, N- (2-hydroxyethyl) acrylamide, 2-acryloyloxyethyl isocyanate, 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether and acrylic acid are preferred.

前記重合体(P1)に、前記官能基(R1)と反応性を有する官能基(R2)とラジカル重合性不飽和基とを含有する化合物(d3)を反応させる方法は、化合物(d3)中のラジカル重合性不飽和基が重合しない条件で行えばよく、例えば、温度条件を30〜120℃の範囲に調節して反応させることが好ましい。この反応は触媒や重合禁止剤の存在下、必要により有機溶剤の存在下に行うことが好ましい。   A method of reacting the polymer (P1) with a compound (d3) containing a functional group (R2) having reactivity with the functional group (R1) and a radically polymerizable unsaturated group is obtained by reacting the compound (d3) For example, it is preferable to carry out the reaction while adjusting the temperature condition in the range of 30 to 120 ° C. This reaction is preferably carried out in the presence of a catalyst or a polymerization inhibitor, and if necessary in the presence of an organic solvent.

例えば、前記官能基(R1)が水酸基であって前記官能基(R2)がイソシアネート基の場合、あるいは、前記官能基(R1)がイソシアネート基であって前記官能基(R2)が水酸基の場合、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール、ヒドロキノン、2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェノール等を使用し、ウレタン化反応触媒としてジブチル錫ジラウレート、ジブチル錫ジアセテート、オクチル酸錫、オクチル酸亜鉛等を使用し、反応温度40〜120℃、特に60〜90℃で反応させる方法が好ましい。また、前記官能基(R1)がエポキシ基であって前記官能基(R2)がカルボキシル基の場合、あるいは、前記官能基(R1)がカルボキシル基であって前記官能基(R2)がエポキシ基の場合は、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール、ヒドロキノン、2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェノール等を使用し、エステル化反応触媒としてトリエチルアミン等の第3級アミン類、塩化テトラメチルアンモニウム等の第4級アンモニウム類、トリフェニルホスフィン等の第3級ホスフィン類、塩化テトラブチルホスホニウム等の第4級ホスホニウム類等を使用し、反応温度80〜130℃、特に100〜120℃で反応させることが好ましい。   For example, when the functional group (R1) is a hydroxyl group and the functional group (R2) is an isocyanate group, or when the functional group (R1) is an isocyanate group and the functional group (R2) is a hydroxyl group, P-methoxyphenol, hydroquinone, 2,6-di-t-butyl-4-methylphenol, etc. are used as polymerization inhibitors, and dibutyltin dilaurate, dibutyltin diacetate, tin octylate, octylic acid as urethanization reaction catalysts A method of reacting at a reaction temperature of 40 to 120 ° C., particularly 60 to 90 ° C. using zinc or the like is preferable. When the functional group (R1) is an epoxy group and the functional group (R2) is a carboxyl group, or the functional group (R1) is a carboxyl group and the functional group (R2) is an epoxy group. In this case, p-methoxyphenol, hydroquinone, 2,6-di-t-butyl-4-methylphenol or the like is used as a polymerization inhibitor, and tertiary amines such as triethylamine are used as an esterification reaction catalyst, tetramethyl chloride. Using quaternary ammoniums such as ammonium, tertiary phosphines such as triphenylphosphine, and quaternary phosphoniums such as tetrabutylphosphonium chloride, the reaction is carried out at a reaction temperature of 80 to 130 ° C., particularly 100 to 120 ° C. It is preferable to make it.

上記反応で用いられる有機溶媒はケトン類、エステル類、アミド類、スルホキシド類、エーテル類、炭化水素類が好ましく、具体的には、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、トルエン、キシレン等が挙げられる。これらは、沸点、相溶性を考慮して適宜選択すればよい。   The organic solvent used in the above reaction is preferably ketones, esters, amides, sulfoxides, ethers, hydrocarbons, specifically, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, ethyl acetate, butyl acetate, Examples include propylene glycol monomethyl ether acetate, dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, dimethyl sulfoxide, diethyl ether, diisopropyl ether, tetrahydrofuran, dioxane, toluene, xylene and the like. These may be appropriately selected in consideration of the boiling point and compatibility.

次に、フッ素系界面活性剤(D2)を製造するには、まず、反応性官能基(R1)を有するラジカル重合性不飽和単量体(d2)を重合して重合体(P2)を製造する。この際、前記したとおり、ラジカル重合性不飽和単量体(d2)と共にその他のラジカル重合性不飽和単量体を併用して共重合させてもよい。重合方法は、重合体(P1)を製造する場合と同様に、反応性官能基(R1)を有するラジカル重合性不飽和単量体(d2)、必要によりその他のラジカル重合性不飽和単量体を、ラジカル重合開始剤を使用して重合させる方法が挙げられる。この際、有機溶剤の存在下で行うことが好ましく、必要により、連鎖移動剤を用いてもよい。使用し得る有機溶媒、ラジカル重合開始剤、連鎖移動剤は、重合体(P1)を製造する場合と同じものを用いることができる。   Next, in order to produce the fluorosurfactant (D2), first, a radical polymerizable unsaturated monomer (d2) having a reactive functional group (R1) is polymerized to produce a polymer (P2). To do. At this time, as described above, other radical polymerizable unsaturated monomers may be used in combination with the radical polymerizable unsaturated monomer (d2) for copolymerization. As in the case of producing the polymer (P1), the polymerization method is a radical polymerizable unsaturated monomer (d2) having a reactive functional group (R1), and if necessary, other radical polymerizable unsaturated monomers. Can be polymerized using a radical polymerization initiator. At this time, it is preferably carried out in the presence of an organic solvent, and a chain transfer agent may be used if necessary. The organic solvent, radical polymerization initiator, and chain transfer agent that can be used can be the same as those used for producing the polymer (P1).

このようにして得られる重合体(P2)は、GPC測定による数平均分子量が800〜3,000の範囲にあるものが好ましく、1,000〜2,000の範囲にあるものが好ましい。また、重合体(P2)は、重量平均分子量が1,200〜6,000の範囲にあるものが好ましく、1,500〜5,000の範囲にあるものが好ましい。重合体(P2)の平均分子量がこれらの範囲にあれば、重合中に架橋不溶化を生じることを防止できる。   The polymer (P2) thus obtained preferably has a number average molecular weight in the range of 800 to 3,000 as measured by GPC, and preferably in the range of 1,000 to 2,000. The polymer (P2) preferably has a weight average molecular weight in the range of 1,200 to 6,000, and preferably in the range of 1,500 to 5,000. When the average molecular weight of the polymer (P2) is within these ranges, it is possible to prevent the occurrence of crosslinking insolubilization during the polymerization.

次いで、得られた重合体(P2)に、ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖とその両末端に前記反応性官能基(R1)に対して反応性を有する官能基(R2)を有する化合物(d1’)と、前記官能基(R1)に対して反応性を有する官能基(R2)とラジカル重合性不飽和基とを含有する化合物(d3)とを反応させることにより、目的とするフッ素系界面活性剤(D2)が得られる。   Next, a compound (d1) having a poly (perfluoroalkylene ether) chain and a functional group (R2) having reactivity to the reactive functional group (R1) at both ends of the polymer (P2) is obtained. ′) And a compound (d3) containing a functional group (R2) having reactivity with the functional group (R1) and a radically polymerizable unsaturated group to react with the target fluorine-based interface. An activator (D2) is obtained.

この際、化合物(d1’)を先に重合体(P2)に反応させた後、化合物(d3)を反応させてもよいし、その逆の順であってもよい。さらに、化合物(d1’)と化合物(d3)とを同時に重合体(P2)と反応させてもよい。   At this time, the compound (d1 ′) may be reacted with the polymer (P2) first, and then the compound (d3) may be reacted, or vice versa. Furthermore, the compound (d1 ′) and the compound (d3) may be reacted with the polymer (P2) at the same time.

また、重合体(P2)中の反応性官能基(R1)の量、及び、該反応性官能基(R1)に対する化合物(d1’)及び化合物(d3)の反応割合を適性に調整することが本発明の効果を顕著なものとする点から望ましく、具体的には、重合体(P2)中の反応性官能基(R1)の量は、100〜200g/eq.の範囲であると官能基濃度が高くなり、より耐アルカリ性が良好となる点から好ましく、また、反応性官能基(R1)1モルに対して、化合物(d1’)中の官能基(R2)が0.05〜0.20モルとなる割合であり、かつ、反応性官能基(R1)1モルに対して、化合物得(d3)中の反応性を有する官能基(R2)が0.80〜0.95モルとなる割合で反応させることが好ましい。   In addition, the amount of the reactive functional group (R1) in the polymer (P2) and the reaction ratio of the compound (d1 ′) and the compound (d3) to the reactive functional group (R1) can be adjusted appropriately. It is desirable from the point that the effect of the present invention is remarkable. Specifically, the amount of the reactive functional group (R1) in the polymer (P2) is 100 to 200 g / eq. Is preferably from the point that the functional group concentration is high and the alkali resistance is better, and the functional group (R2) in the compound (d1 ′) with respect to 1 mol of the reactive functional group (R1). The functional group (R2) having reactivity in the compound obtained (d3) is 0.80 with respect to 1 mole of the reactive functional group (R1). The reaction is preferably carried out at a ratio of ˜0.95 mol.

ここで、ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖とその両末端に前記反応性官能基(R1)に対して反応性を有する官能基(R2)を有する化合物(d1’)における官能基(R2)は、水酸基、イソシアネート基、エポキシ基、カルボキシル基等が挙げられる。例えば反応性官能基(R1)が水酸基である場合には、官能基(R2)としてイソシアネート基が挙げられ、反応性官能基(R1)がイソシアネート基である場合には、官能基(R2)として水酸基が挙げられ、反応性官能基(R1)がエポキシ基である場合には、官能基(R2)としてカルボキシル基が挙げられ、反応性官能基(R1)がカルボキシル基である場合には、官能基(R2)としてエポキシ基が挙げられる。   Here, the functional group (R2) in the compound (d1 ′) having a poly (perfluoroalkylene ether) chain and a functional group (R2) having reactivity to the reactive functional group (R1) at both ends thereof is , Hydroxyl group, isocyanate group, epoxy group, carboxyl group and the like. For example, when the reactive functional group (R1) is a hydroxyl group, the functional group (R2) includes an isocyanate group. When the reactive functional group (R1) is an isocyanate group, the functional group (R2) When the reactive functional group (R1) is an epoxy group, a carboxyl group is exemplified as the functional group (R2), and when the reactive functional group (R1) is a carboxyl group, the functional group is functional. An epoxy group is mentioned as group (R2).

このような化合物(d1’)としては、例えば、下記構造式d1’−1〜d1’−6で表される化合物、及び、これらの化合物にヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネートなどの多官能型イソシアネート化合物や、ビスフェノール型エポキシ樹脂などの2官能型エポキシ樹脂等で変性した化合物が挙げられる。なお、下記の各構造式中における「−PFPE−」は、ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖を示す。これらのなかでも変性していない下記構造式d1’−1〜d1’−6で表される化合物が好ましく、特に官能基(R1)がイソシアネート基である場合には、下記構造式d1’−1で表される化合物(d1’)が官能基(R1)に対する反応性に優れる点から好ましい。   Examples of such a compound (d1 ′) include compounds represented by the following structural formulas d1′-1 to d1′-6, and polyfunctional isocyanates such as hexamethylene diisocyanate and tolylene diisocyanate. Examples thereof include compounds and compounds modified with bifunctional epoxy resins such as bisphenol type epoxy resins. In the following structural formulas, “—PFPE—” represents a poly (perfluoroalkylene ether) chain. Among these, unmodified compounds represented by the following structural formulas d1′-1 to d1′-6 are preferable. In particular, when the functional group (R1) is an isocyanate group, the following structural formula d1′-1 The compound (d1 ′) represented by the formula is preferable from the viewpoint of excellent reactivity with respect to the functional group (R1).

Figure 0005531495
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また、ここで用いる化合物(d3)は、前記したフッ素系界面活性剤(D1)の製造の際に用いた化合物(d3)と同一のものを用いることができる。   Moreover, the compound (d3) used here can use the same thing as the compound (d3) used in the case of manufacture of above-mentioned fluorine-type surfactant (D1).

重合体(P2)と化合物(d1’)及び化合物(d3)との反応は、前記した通り、重合体(P2)と化合物(d1’)とを反応させた後、化合物(d3)を反応させてもよいし、重合体(P2)と化合物(d3)とを反応させた後、化合物(d1’)を反応させてもよく、あるいは、化合物(d1’)と化合物(d3)とを同時に重合体(P2)と反応させてもよい。反応条件は、これらの何れの方法であっても、反応に関与する官能基の種類によって適宜選択できる。   As described above, the reaction between the polymer (P2), the compound (d1 ′) and the compound (d3) is performed by reacting the polymer (P2) with the compound (d1 ′) and then reacting the compound (d3). Alternatively, after the polymer (P2) and the compound (d3) are reacted, the compound (d1 ′) may be reacted, or the compound (d1 ′) and the compound (d3) are simultaneously combined. You may make it react with unification | combination (P2). The reaction conditions can be appropriately selected depending on the type of functional group involved in the reaction, regardless of which method is used.

例えば、重合体(P2)中の官能基(R1)及び化合物(d1’)中の官能基(R2)の一方が水酸基であって、他方がイソシアネート基である場合、あるいは、重合体(P2)中の官能基(R1)及び化合物(d3)中の官能基(R2)の一方が水酸基であって、他方がイソシアネート基である場合、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール、ヒドロキノン、2,6−ジt−ブチル−4−メチルフェノール等を使用し、ウレタン化反応触媒としてジブチル錫ジラウレート、ジブチル錫ジアセテート、オクチル酸錫、オクチル酸亜鉛等を使用し、反応温度40〜120℃、特に60〜90℃で反応させる方法が好ましい。   For example, when one of the functional group (R1) in the polymer (P2) and the functional group (R2) in the compound (d1 ′) is a hydroxyl group and the other is an isocyanate group, or the polymer (P2) When one of the functional group (R1) in the compound and the functional group (R2) in the compound (d3) is a hydroxyl group and the other is an isocyanate group, p-methoxyphenol, hydroquinone, 2,6- Di-t-butyl-4-methylphenol or the like is used, dibutyltin dilaurate, dibutyltin diacetate, tin octylate, zinc octylate or the like is used as the urethanization reaction catalyst, and the reaction temperature is 40 to 120 ° C., particularly 60 to A method of reacting at 90 ° C. is preferred.

また、重合体(P2)中の官能基(R1)及び化合物(d1’)中の官能基(R2)の一方がカルボキシル基であって、他方がエポキシ基である場合、あるいは、重合体(P2)中の官能基(R1)及び化合物(d3)中の官能基(R2)の一方がカルボキシル基であって、他方がエポキシ基である場合、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール、ヒドロキノン、2,6−ジt−ブチル−4−メチルフェノール等を使用し、エステル化反応触媒としてトリエチルアミン等の第3級アミン類、塩化テトラメチルアンモニウム等の第4級アンモニウム類、トリフェニルホスフィン等の第3級ホスフィン類、塩化テトラブチルホスホニウム等の第4級ホスホニウム類等を使用し、反応温度80〜130℃、特に100〜120℃で反応させることが好ましい。   In addition, when one of the functional group (R1) in the polymer (P2) and the functional group (R2) in the compound (d1 ′) is a carboxyl group and the other is an epoxy group, or the polymer (P2 ) And the functional group (R2) in the compound (d3) are carboxyl groups and the other is an epoxy group, p-methoxyphenol, hydroquinone, 2, 6-di-t-butyl-4-methylphenol or the like, tertiary amines such as triethylamine as the esterification reaction catalyst, quaternary ammoniums such as tetramethylammonium chloride, tertiary such as triphenylphosphine Use phosphines, quaternary phosphoniums such as tetrabutylphosphonium chloride, etc., and react at a reaction temperature of 80 to 130 ° C., particularly 100 to 120 ° C. Preferred.

また、これらの反応において適宜有機溶媒を使用することができ、使用し得る有機溶媒としては、ケトン類、エステル類、アミド類、スルホキシド類、エーテル類、炭化水素類が挙げられ、具体的には、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、トルエン、キシレン等が挙げられる。これらは、沸点、相溶性を考慮して適宜選択すればよい。   In these reactions, an organic solvent can be appropriately used. Examples of the organic solvent that can be used include ketones, esters, amides, sulfoxides, ethers, and hydrocarbons. Specifically, , Acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, dimethyl sulfoxide, diethyl ether, diisopropyl ether, tetrahydrofuran, dioxane, toluene, xylene Etc. These may be appropriately selected in consideration of the boiling point and compatibility.

また、前記したフッ素系界面活性剤(D1)又はフッ素系界面活性剤(D2)に代表されるフッ素系界面活性剤(D)は、数平均分子量(Mn)が1,000〜10,000の範囲であり、かつ、重量平均分子量(Mw)が2,000〜100,000の範囲であるものが好ましく、数平均分子量(Mn)が1,500〜5,000の範囲であり、かつ、重量平均分子量(Mw)が4,000〜50,000の範囲であるものがより好ましい。これらの平均分子量の範囲のものであれば、フッ素系界面活性剤(D)の製造時におけるゲル化を起こすことなく、さらに高架橋で現像性に優れた塗膜が得られる点から好ましい。   The fluorine-based surfactant (D) represented by the above-described fluorine-based surfactant (D1) or fluorine-based surfactant (D2) has a number average molecular weight (Mn) of 1,000 to 10,000. Preferably, the weight average molecular weight (Mw) is in the range of 2,000 to 100,000, the number average molecular weight (Mn) is in the range of 1,500 to 5,000, and the weight. The average molecular weight (Mw) is more preferably in the range of 4,000 to 50,000. These average molecular weights are preferable because a coating film having higher crosslinkability and excellent developability can be obtained without causing gelation during the production of the fluorosurfactant (D).

ここで、数平均分子量(Mn)及び重量平均分子量(Mw)はGPC測定に基づきポリスチレン換算した値である。なお、GPCの測定条件は以下の通りである。
[GPCの測定条件]
測定装置:東ソー株式会社製「HLC−8220 GPC」、
カラム:東ソー株式会社製ガードカラム「HHR−H」(6.0mmI.D.×4cm)
+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR」(7.8mmI.D.×30cm)
+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR」(7.8mmI.D.×30cm)
+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR」(7.8mmI.D.×30cm)
+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR」(7.8mmI.D.×30cm)
検出器:ELSD(オルテック製「ELSD2000」)
データ処理:東ソー株式会社製「GPC−8020モデルIIバージョン4.10」
測定条件:カラム温度40℃、展開溶媒テトラヒドロフラン、流速1.0ml/分
標準:前記「GPC−8020モデルIIバージョン4.10」の測定マニュアルに準拠して、分子量が既知の下記の単分散ポリスチレンを用いた。
Here, the number average molecular weight (Mn) and the weight average molecular weight (Mw) are values converted to polystyrene based on GPC measurement. The measurement conditions for GPC are as follows.
[GPC measurement conditions]
Measuring device: “HLC-8220 GPC” manufactured by Tosoh Corporation
Column: Guard column “HHR-H” manufactured by Tosoh Corporation (6.0 mm ID × 4 cm)
+ "TSK-GEL GMHHR" (7.8 mm ID x 30 cm) manufactured by Tosoh Corporation
+ "TSK-GEL GMHHR" (7.8 mm ID x 30 cm) manufactured by Tosoh Corporation
+ "TSK-GEL GMHHR" (7.8 mm ID x 30 cm) manufactured by Tosoh Corporation
+ "TSK-GEL GMHHR" (7.8 mm ID x 30 cm) manufactured by Tosoh Corporation
Detector: ELSD ("ELSD2000" manufactured by Oltec)
Data processing: “GPC-8020 Model II version 4.10” manufactured by Tosoh Corporation
Measurement conditions: Column temperature 40 ° C., developing solvent tetrahydrofuran, flow rate 1.0 ml / min Standard: The following monodisperse polystyrene having a known molecular weight is measured according to the measurement manual “GPC-8020 Model II version 4.10”. Using.

(使用ポリスチレン)
東ソー株式会社製「A−500」
東ソー株式会社製「A−1000」
東ソー株式会社製「A−2500」
東ソー株式会社製「A−5000」
東ソー株式会社製「F−1」
東ソー株式会社製「F−2」
東ソー株式会社製「F−4」
東ソー株式会社製「F−10」
東ソー株式会社製「F−20」
東ソー株式会社製「F−40」
東ソー株式会社製「F−80」
東ソー株式会社製「F−128」
試料:樹脂固形分換算で1.0質量%のテトラヒドロフラン溶液をマイクロフィルターでろ過したもの(100μl)。
(Polystyrene used)
“A-500” manufactured by Tosoh Corporation
"A-1000" manufactured by Tosoh Corporation
"A-2500" manufactured by Tosoh Corporation
"A-5000" manufactured by Tosoh Corporation
“F-1” manufactured by Tosoh Corporation
"F-2" manufactured by Tosoh Corporation
“F-4” manufactured by Tosoh Corporation
“F-10” manufactured by Tosoh Corporation
“F-20” manufactured by Tosoh Corporation
“F-40” manufactured by Tosoh Corporation
“F-80” manufactured by Tosoh Corporation
“F-128” manufactured by Tosoh Corporation
Sample: A 1.0 mass% tetrahydrofuran solution in terms of resin solid content filtered through a microfilter (100 μl).

また、前記フッ素系界面活性剤(D)は、該界面活性剤中にフッ素原子を2〜35質量%となる割合で含有するものが好ましく、フッ素原子を5〜25質量%となる割合で含有するものがより好ましい。前記フッ素系界面活性剤(D)中のフッ素原子がこの範囲であれば、色ムラ防止、高い耐アルカリ性、水シミ防止が得られる。   The fluorine-based surfactant (D) preferably contains 2 to 35% by mass of fluorine atoms in the surfactant and contains 5 to 25% by mass of fluorine atoms. More preferred is When the fluorine atom in the fluorosurfactant (D) is within this range, color unevenness prevention, high alkali resistance, and water stain prevention can be obtained.

さらに、フッ素系界面活性剤(D)中のラジカル重合性不飽和基の含有量は、ラジカル重合性不飽和基当量が200〜900g/eq.となる割合であることが、硬化塗膜の耐アルカリ性と平滑性に優れる点から好ましく、とりわけ200〜450g/eq.の範囲であることが特に好ましい。   Furthermore, the content of the radical polymerizable unsaturated group in the fluorosurfactant (D) is such that the radical polymerizable unsaturated group equivalent is 200 to 900 g / eq. The ratio is preferably from the viewpoint of excellent alkali resistance and smoothness of the cured coating film, particularly 200 to 450 g / eq. It is particularly preferable that the range is

前記フッ素系界面活性剤(D)の配合量は、前記アルカリ可溶性樹脂(A)、重合性化合物(B)及び着色剤(C)の合計100質量部に対して、質量基準で0.01〜10質量部の範囲であることが好ましく、0.05〜5質量部の範囲であることがより好ましい。前記フッ素系界面活性剤(D)の配合量がこの範囲であれば、塗布ムラ、ハジキが防止でき、耐アルカリ性も良好なものとなる。   The compounding quantity of the said fluorosurfactant (D) is 0.01- on a mass basis with respect to a total of 100 mass parts of the said alkali-soluble resin (A), a polymeric compound (B), and a coloring agent (C). The range is preferably 10 parts by mass, and more preferably 0.05 to 5 parts by mass. If the blending amount of the fluorosurfactant (D) is within this range, coating unevenness and repellency can be prevented, and the alkali resistance is also good.

紫外線等の活性エネルギー線を照射して、本発明のカラーレジスト組成物を硬化させる場合には、本発明のカラーレジスト組成物に重合開始剤(E)を配合する。この重合開始剤(E)としては、例えば、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルメチルケタール、アゾビスイソブチロニトリル、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−1−オン、1−(4’−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4’−ドデシルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、4,4’’−ジエチルイソフタロフェン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、ベンゾインイソプロピルエーテル、チオキサンソン、2−クロロチオキサンソン、2−メチルチオキサンソン、2−イソプロピルチオキサンソン、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6,−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられ、単独でも2種以上を併用してもよい。これらの中でも、本発明のカラーレジスト組成物中に含まれる着色剤(C)の影響を比較的受けずに、高い硬化性を示すが2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1が好ましい。   When irradiating active energy rays, such as an ultraviolet-ray, and hardening the color resist composition of this invention, a polymerization initiator (E) is mix | blended with the color resist composition of this invention. Examples of the polymerization initiator (E) include benzophenone, acetophenone, benzoin, benzoin ethyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyl methyl ketal, azobisisobutyronitrile, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2- Methyl-1-phenyl-1-one, 1- (4′-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4′-dodecylphenyl) -2-hydroxy-2-methyl Propan-1-one, 3,3 ′, 4,4′-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 4,4 ″ -diethylisophthalophene, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane -1-one, benzoin isopropyl ether, thioxanthone, 2 Chlorothioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino -1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide, bis (2,4,6, -trimethylbenzoyl)- Examples thereof include phenylphosphine oxide and 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, and these may be used alone or in combination of two or more. Among these, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholine is not affected by the colorant (C) contained in the color resist composition of the present invention, but exhibits high curability. Linophenyl) -butanone-1 is preferred.

また、必要に応じてアミン化合物又はリン化合物等の光増感剤を添加し、光重合を促進することもできる。   Moreover, if necessary, a photosensitizer such as an amine compound or a phosphorus compound can be added to promote photopolymerization.

重合開始剤(E)の配合量は、前記アルカリ可溶性樹脂(A)、重合性化合物(B)、着色剤(C)及びフッ素系界面活性剤(D)の合計100質量部に対して、0.01〜15質量部の範囲であることが好ましく、0.3〜7質量部の範囲であることがより好ましい。   The compounding amount of the polymerization initiator (E) is 0 with respect to a total of 100 parts by mass of the alkali-soluble resin (A), the polymerizable compound (B), the colorant (C) and the fluorosurfactant (D). The range is preferably from 0.01 to 15 parts by mass, and more preferably from 0.3 to 7 parts by mass.

さらに、本発明のカラーレジスト組成物は、用途、特性等の目的に応じ、本発明の効果を損なわない範囲で、有機溶剤、重合禁止剤、帯電防止剤、消泡剤、粘度調整剤、耐光安定剤安定剤、耐熱安定剤、酸化防止剤等の添加剤を配合することができる。   Furthermore, the color resist composition of the present invention is an organic solvent, a polymerization inhibitor, an antistatic agent, an antifoaming agent, a viscosity modifier, light resistance, within a range that does not impair the effects of the present invention, depending on purposes such as use and characteristics. Additives such as a stabilizer stabilizer, a heat-resistant stabilizer, and an antioxidant can be blended.

また、本発明のカラーレジスト組成物に塗布適性を付与するため、有機溶剤を添加して粘度調整を行っても構わない。ここで使用し得る有機溶媒としては、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステル系溶剤;エトキシプロピオネート等のプロピオネート系溶剤;トルエン、キシレン、メトキシベンゼン等の芳香族系溶剤;ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶剤;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤;ヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤;N,N−ジメチルホルムアミド、γ−ブチロラクタム、N−メチル−2−ピロリドン等の窒素化合物系溶剤;γ−ブチロラクトン等のラクトン系溶剤;カルバミン酸エステル等が挙げられる。これらの溶剤は、単独で用いることも、2種以上を併用することもできる。   In addition, in order to impart coating suitability to the color resist composition of the present invention, an organic solvent may be added to adjust the viscosity. Examples of the organic solvent that can be used here include acetate solvents such as propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl ether acetate; propionate solvents such as ethoxypropionate; aromatics such as toluene, xylene, and methoxybenzene. Group solvents; ether solvents such as butyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether; ketone solvents such as methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane; N, N- Nitrogen compound solvents such as dimethylformamide, γ-butyrolactam, N-methyl-2-pyrrolidone; Lactone solvents such as γ-butyrolactone; Examples thereof include bamic acid esters. These solvents can be used alone or in combination of two or more.

ここで有機溶媒の使用量は、用途や目的とする膜厚や粘度によって異なるが、前記アルカリ可溶性樹脂(A)、重合性化合物(B)及びフッ素系界面活性剤(D)の合計に対して、質量基準で、0.5〜4倍量の範囲であることが好ましい。   Here, the amount of the organic solvent used varies depending on the application and the intended film thickness and viscosity, but with respect to the total of the alkali-soluble resin (A), the polymerizable compound (B), and the fluorosurfactant (D). The amount is preferably in the range of 0.5 to 4 times the mass.

本発明のカラーレジスト組成物を硬化させる活性エネルギー線としては、光、電子線、放射線等の活性エネルギー線が挙げられる。具体的なエネルギー源又は硬化装置としては、例えば殺菌灯、紫外線用蛍光灯、カーボンアーク、キセノンランプ、複写用高圧水銀灯、中圧又は高圧水銀灯、超高圧水銀灯、無電極ランプ、メタルハライドランプ、自然光等を光源とする紫外線、又は走査型、カーテン型電子線加速器による電子線等が挙げられる。なお、電子線で硬化させる場合には、本発明のカラーレジスト組成物への前記重合開始剤(E)の配合は不要である。   Examples of active energy rays for curing the color resist composition of the present invention include active energy rays such as light, electron beam, and radiation. Specific energy sources or curing devices include, for example, germicidal lamps, ultraviolet fluorescent lamps, carbon arc, xenon lamps, high pressure mercury lamps for copying, medium or high pressure mercury lamps, ultrahigh pressure mercury lamps, electrodeless lamps, metal halide lamps, natural light, etc. Or an electron beam using a scanning type or curtain type electron beam accelerator. In addition, when making it harden | cure with an electron beam, the mixing | blending of the said polymerization initiator (E) to the color resist composition of this invention is unnecessary.

これらの活性エネルギー線の中でも特に紫外線であることが好ましい。また、窒素ガス等の不活性ガス雰囲気下で照射すると塗膜の表面硬化性が向上するため好ましい。また、必要に応じて熱をエネルギー源として併用し、活性エネルギー線にて硬化した後、熱処理を行ってもよい。   Among these active energy rays, ultraviolet rays are particularly preferable. Further, it is preferable to irradiate in an inert gas atmosphere such as nitrogen gas since the surface curability of the coating film is improved. Further, if necessary, heat may be used as an energy source and heat treatment may be performed after curing with active energy rays.

本発明のカラーレジスト組成物の塗布方法は用途により異なるが、例えば、グラビアコーター、ロールコーター、コンマコーター、ナイフコーター、カーテンコーター、シャワーコーター、スピンコーター、スリットコーター、ディッピング、スクリーン印刷、スプレー、アプリケーター、バーコーター等を用いた塗布方法が挙げられる。   The coating method of the color resist composition of the present invention varies depending on the application. For example, gravure coater, roll coater, comma coater, knife coater, curtain coater, shower coater, spin coater, slit coater, dipping, screen printing, spray, applicator And a coating method using a bar coater or the like.

本発明のカラーレジスト組成物は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルター(RGBの各画素部及びブラックマトリックス部)に有用である。なお、本発明のカラーフィルターは、以下の工程を経ることにより着色パターンを形成することで作製することができる。
(1)本発明のカラーレジスト組成物を基板上に塗布する。
(2)塗布したカラーレジスト組成物を乾燥(プリベーク)する。
(3)フォトマスクを用いて所望のパターンに露光する。
(4)アルカリ現像液を用いて現像処理を行う。
(5)蒸留水で洗浄(リンス)後、乾燥する。
The color resist composition of the present invention is useful for color filters (RGB pixel portions and black matrix portions) used in liquid crystal display devices. In addition, the color filter of this invention can be produced by forming a colored pattern through the following processes.
(1) The color resist composition of the present invention is applied on a substrate.
(2) The applied color resist composition is dried (prebaked).
(3) Exposure to a desired pattern using a photomask.
(4) Development processing is performed using an alkali developer.
(5) Wash (rinse) with distilled water and dry.

上記の乾燥(プリベーク)は、ホットプレート、オーブン等で50〜140℃の温度範囲で10〜300秒間加熱することにより行うことができる。中でも、70〜130℃の温度範囲で30〜180秒間加熱するのが好ましく、80〜120℃の温度範囲で30〜90秒間加熱するのがより好ましい。また、より完全に乾燥を行うため、乾燥(プリベーク)前に真空乾燥を行っても構わない。   Said drying (prebaking) can be performed by heating at a temperature range of 50-140 degreeC with a hotplate, oven, etc. for 10 to 300 seconds. Especially, it is preferable to heat for 30 to 180 second in the temperature range of 70-130 degreeC, and it is more preferable to heat for 30-90 second in the temperature range of 80-120 degreeC. Moreover, in order to dry more completely, you may vacuum-dry before drying (prebaking).

上記の現像処理では、未露光の未硬化部分をアルカリ現像液に溶出させ、光硬化した硬化部分のみを残す。アルカリ現像液としては、未硬化部分を溶解し、RGBの各画素部及びブラックマトリックス部となる硬化部分を溶解しないものであれば特に制限なく用いることができる。具体的なアルカリ現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5,4,0]−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物の水溶液が挙げられる。このアルカリ現像液のアルカリ濃度は0.001〜10質量%が好ましく、0.01〜1質量%がより好ましい。また、現像温度としては、通常20℃〜30℃であり、現像時間としては20〜90秒の範囲が好ましい。   In the above development processing, unexposed uncured portions are eluted in an alkaline developer, leaving only the photocured cured portions. Any alkali developer can be used without particular limitation as long as it dissolves uncured portions and does not dissolve cured portions that become the RGB pixel portions and black matrix portions. Specific alkali developers include, for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium bicarbonate, sodium oxalate, sodium metasuccinate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxy And aqueous solutions of alkaline compounds such as chodo, tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5,4,0] -7-undecene. The alkali concentration of the alkali developer is preferably 0.001 to 10% by mass, and more preferably 0.01 to 1% by mass. The development temperature is usually 20 ° C. to 30 ° C., and the development time is preferably in the range of 20 to 90 seconds.

現像処理後には、必要に応じてポストベーク処理を行なうことができる。ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常200〜250℃の温度範囲で加熱する。ポストベーク処理は、現像後の層を、前記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行える。   After the development processing, post-baking processing can be performed as necessary. Post-baking is a heat treatment after development to complete the curing, and is usually heated in a temperature range of 200 to 250 ° C. The post-baking treatment can be performed continuously or batchwise by using a heating means such as a hot plate, a convection oven (hot air circulation dryer), a high-frequency heater or the like so that the layer after development is in the above-described condition.

上記のように作製したカラーフィルターの画素上にITO等の透明電極を形成した基板を他の基板とともに液晶層を挟持する基板として用い、バックライト、偏光板、液晶層を組み合わせて液晶表示装置とすることができる。   A substrate in which a transparent electrode such as ITO is formed on the pixel of the color filter produced as described above is used as a substrate for sandwiching a liquid crystal layer together with another substrate, and a liquid crystal display device combining a backlight, a polarizing plate, and a liquid crystal layer can do.

また、本発明のカラーフィルターを用いた液晶表示装置は、例えば、液晶テレビ、パーソナルコンピューター、液晶プロジェクター、携帯ゲーム機、携帯電話、携帯情報端末(PDA)、デジタルオーディオプレイヤー、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、カーナビゲーション等の画像表示部として広範囲に用いることができる。   The liquid crystal display device using the color filter of the present invention includes, for example, a liquid crystal television, a personal computer, a liquid crystal projector, a portable game machine, a mobile phone, a personal digital assistant (PDA), a digital audio player, a digital camera, and a digital video camera. It can be used in a wide range as an image display unit for car navigation and the like.

本発明のカラーレジスト組成物は、その中に配合した界面活性剤が、フッ素原子を含むフッ素系界面活性剤であるため、基板に塗布後、塗膜の乾燥過程でフッ素原子の働きによりフッ素系界面活性剤が塗膜表面に偏析する。その後、露光により塗膜は硬化するが、本発明で用いるフッ素系界面活性剤は重合性基を有するため、塗膜表面で強固に固定化される。塗膜表面にフッ素系界面活性剤が存在することで、塗膜表面に撥水撥油性が付与されるため、アルカリ現像液による露光部の硬化塗膜表面の侵食を防ぎ、現像液で現像後、洗浄(リンス)により洗い流された未露光部の樹脂や混入物が、露光部分の着色パターンの硬化塗膜の表面に付着する、いわゆる「水シミ」を防止できるものと考えられる。また、このとき未露光部では、重合性基が硬化しないため、現像性を悪化させることなくパターンを形成することができる。   In the color resist composition of the present invention, the surfactant compounded therein is a fluorine-based surfactant containing fluorine atoms. The surfactant segregates on the coating surface. Then, although a coating film hardens | cures by exposure, since the fluorochemical surfactant used by this invention has a polymeric group, it is fix | immobilized firmly on the coating-film surface. The presence of a fluorosurfactant on the surface of the coating film imparts water and oil repellency to the surface of the coating film, preventing corrosion of the exposed coating film surface of the exposed area with an alkaline developer and after development with the developer. It is considered that the unexposed resin and contaminants washed away by washing (rinsing) can prevent so-called “water spots” from adhering to the surface of the cured coating of the colored pattern of the exposed part. At this time, since the polymerizable group is not cured in the unexposed area, a pattern can be formed without deteriorating developability.

以下に本発明を具体的な実施例を挙げてより詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples.

[IRスペクトル]
装置:サーモエレクトロン社製「NICOLET380」
各実施例で得られた樹脂溶液をATR法により測定。
[IR spectrum]
Apparatus: “Nicolet 380” manufactured by Thermo Electron
The resin solution obtained in each example was measured by the ATR method.

13C−NMR測定条件]
装置:日本電子株式会社製「AL−400」
溶媒:アセトン−d
19F−NMR測定条件]
装置:日本電子株式会社製「AL−400」
溶媒:アセトン−d
[GPC測定条件]
測定装置:東ソー株式会社製「HLC−8220 GPC」、
カラム:東ソー株式会社製ガードカラム「HHR−H」(6.0mmI.D.×4cm)
+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR」(7.8mmI.D.×30cm)
+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR」(7.8mmI.D.×30cm)
+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR」(7.8mmI.D.×30cm)
+東ソー株式会社製「TSK−GEL GMHHR」(7.8mmI.D.×30cm)
検出器:ELSD(オルテック製「ELSD2000」)
データ処理:東ソー株式会社製「GPC−8020モデルIIバージョン4.10」
測定条件:カラム温度40℃、展開溶媒テトラヒドロフラン、流速1.0ml/分
標準試料:前記「GPC−8020モデルIIバージョン4.10」の測定マニュアルに準拠して、分子量が既知の下記の単分散ポリスチレンを用いた。
[ 13C -NMR measurement conditions]
Apparatus: “AL-400” manufactured by JEOL Ltd.
Solvent: acetone-d 6
[ 19 F-NMR measurement conditions]
Apparatus: “AL-400” manufactured by JEOL Ltd.
Solvent: acetone-d 6
[GPC measurement conditions]
Measuring device: “HLC-8220 GPC” manufactured by Tosoh Corporation
Column: Guard column “HHR-H” manufactured by Tosoh Corporation (6.0 mm ID × 4 cm)
+ "TSK-GEL GMHHR" (7.8 mm ID x 30 cm) manufactured by Tosoh Corporation
+ "TSK-GEL GMHHR" (7.8 mm ID x 30 cm) manufactured by Tosoh Corporation
+ "TSK-GEL GMHHR" (7.8 mm ID x 30 cm) manufactured by Tosoh Corporation
+ "TSK-GEL GMHHR" (7.8 mm ID x 30 cm) manufactured by Tosoh Corporation
Detector: ELSD ("ELSD2000" manufactured by Oltec)
Data processing: “GPC-8020 Model II version 4.10” manufactured by Tosoh Corporation
Measurement conditions: Column temperature 40 ° C., developing solvent tetrahydrofuran, flow rate 1.0 ml / min Standard sample: The following monodisperse polystyrene having a known molecular weight according to the measurement manual of “GPC-8020 model II version 4.10”. Was used.

(使用ポリスチレン)
東ソー株式会社製「A−500」
東ソー株式会社製「A−1000」
東ソー株式会社製「A−2500」
東ソー株式会社製「A−5000」
東ソー株式会社製「F−1」
東ソー株式会社製「F−2」
東ソー株式会社製「F−4」
東ソー株式会社製「F−10」
東ソー株式会社製「F−20」
東ソー株式会社製「F−40」
東ソー株式会社製「F−80」
東ソー株式会社製「F−128」
試料:樹脂固形分換算で1.0質量%のテトラヒドロフラン溶液をマイクロフィルターでろ過したもの(100μl)。
(Polystyrene used)
“A-500” manufactured by Tosoh Corporation
"A-1000" manufactured by Tosoh Corporation
"A-2500" manufactured by Tosoh Corporation
"A-5000" manufactured by Tosoh Corporation
“F-1” manufactured by Tosoh Corporation
"F-2" manufactured by Tosoh Corporation
“F-4” manufactured by Tosoh Corporation
“F-10” manufactured by Tosoh Corporation
“F-20” manufactured by Tosoh Corporation
“F-40” manufactured by Tosoh Corporation
“F-80” manufactured by Tosoh Corporation
“F-128” manufactured by Tosoh Corporation
Sample: A 1.0 mass% tetrahydrofuran solution in terms of resin solid content filtered through a microfilter (100 μl).

(合成例1)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、下記式(X−1)で表される両末端に水酸基を有するパーフルオロポリエーテル化合物を20質量部、溶媒としてジイソプロピルエーテル20質量部、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.02質量部、中和剤としてトリエチルアミン3.1質量部を仕込み、空気気流下にて攪拌を開始し、フラスコ内を10℃に保ちながらアクリル酸クロライド2.7質量部を1時間かけて滴下した。滴下終了後、10℃で1時間攪拌し、昇温して30℃で1時間攪拌した後、50℃に昇温して10時間攪拌することにより反応を行い、ガスクロマトグラフィー測定にてアクリル酸クロライドの消失が確認された。次いで、溶媒としてジイソプロピルエーテル40質量部を追加した後、イオン交換水80質量部を混合して攪拌してから静置し水層を分離させて取り除く方法による洗浄を3回繰り返した。次いで、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.02質量部を添加し、脱水剤として硫酸マグネシウム8質量部を添加して1日間静置することで完全に脱水した後、脱水剤を濾別した。
(Synthesis Example 1)
In a glass flask equipped with a stirrer, thermometer, condenser, and dropping device, 20 parts by mass of a perfluoropolyether compound having hydroxyl groups at both ends represented by the following formula (X-1), and diisopropyl ether 20 as a solvent A mass part, 0.02 part by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor, and 3.1 parts by mass of triethylamine as a neutralizing agent, stirring was started under an air stream, and acrylic acid was maintained while maintaining the inside of the flask at 10 ° C. 2.7 parts by mass of chloride was added dropwise over 1 hour. After completion of dropping, the mixture is stirred at 10 ° C. for 1 hour, heated to 30 ° C. for 1 hour, then heated to 50 ° C. and stirred for 10 hours, and acrylic acid is measured by gas chromatography. The disappearance of chloride was confirmed. Next, after adding 40 parts by mass of diisopropyl ether as a solvent, 80 parts by mass of ion-exchanged water was mixed and stirred, and then left to stand to separate and remove the aqueous layer, and washing was repeated 3 times. Subsequently, 0.02 parts by mass of p-methoxyphenol was added as a polymerization inhibitor, 8 parts by mass of magnesium sulfate was added as a dehydrating agent, and the mixture was allowed to stand for 1 day for complete dehydration, and then the dehydrating agent was filtered off. .

Figure 0005531495
(式中、Xはパーフルオロメチレン基及びパーフルオロエチレン基であり、1分子あたり、パーフルオロメチレン基が平均7個、パーフルオロエチレン基が平均8個存在するものであり、フッ素原子の数が平均46である。また、GPCによる数平均分子量は1,500である。)
Figure 0005531495
(In the formula, X is a perfluoromethylene group and a perfluoroethylene group, and an average of 7 perfluoromethylene groups and an average of 8 perfluoroethylene groups are present per molecule, and the number of fluorine atoms is (The average is 46. The number average molecular weight by GPC is 1,500.)

次いで、減圧下で溶媒を留去することによって、下記構造式(d1−1−1)で表される単量体を得た。   Subsequently, the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a monomer represented by the following structural formula (d1-1-1).

Figure 0005531495
(式中、Xはパーフルオロメチレン基及びパーフルオロエチレン基であり、1分子あたり、パーフルオロメチレン基が平均7個、パーフルオロエチレン基が平均8個存在するものであり、フッ素原子の数が平均46である。)
Figure 0005531495
(In the formula, X is a perfluoromethylene group and a perfluoroethylene group, and an average of 7 perfluoromethylene groups and an average of 8 perfluoroethylene groups are present per molecule, and the number of fluorine atoms is (The average is 46.)

撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えた別のガラスフラスコに、溶媒としてメチルイソブチルケトン63質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、上記で得られた単量体(d1−1−1)21.5質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート41.3質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ブチルペルオキシ−2−エチルヘキサノエート9.4質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン126質量部を混合した開始剤溶液135.4質量部の3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で10時間攪拌した後、減圧下で溶媒を留去することによって、重合体(P1−1)を得た。   In another glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device, 63 parts by mass of methyl isobutyl ketone was charged as a solvent, and the temperature was raised to 105 ° C. while stirring in a nitrogen stream. Subsequently, 21.5 parts by mass of the monomer (d1-1-1) obtained above, 41.3 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate as a radical polymerization initiator 9.4 parts by weight and 135.4 parts by weight of an initiator solution obtained by mixing 126 parts by weight of methyl isobutyl ketone as a solvent were set in separate dropping devices, and the flask was kept at 105 ° C at the same time. It was dripped over 2 hours. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105 ° C. for 10 hours, and then the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a polymer (P1-1).

次いで、溶媒としてメチルエチルケトン74.7質量部、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてジブチル錫ジラウレート0.06質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート44.8質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で1時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌することにより反応を行った結果、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失が確認された。次いで、溶媒としてメチルエチルケトン37.4質量部を添加し、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(1)50質量%含有のメチルエチルケトン溶液を得た。フッ素系界面活性剤(1)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量2,400、重量平均分子量7,100、最大分子量20万であった。得られたフッ素系界面活性剤(1)のIRスペクトルのチャート図を図1に、13C−NMRのチャート図を図2に、19F−NMRのチャート図を図3にそれぞれ示す。 Next, 74.7 parts by mass of methyl ethyl ketone as a solvent, 0.1 part by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor, 0.06 part by mass of dibutyltin dilaurate as a urethanization catalyst, and stirring under an air stream were started. While maintaining the temperature, 44.8 parts by mass of 2-acryloyloxyethyl isocyanate was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 60 ° C. for 1 hour, then heated to 80 ° C. and stirred for 10 hours. As a result, the disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. Subsequently, 37.4 parts by mass of methyl ethyl ketone was added as a solvent, and a substance insoluble in the solution was separated by filtration to obtain a methyl ethyl ketone solution containing 50% by mass of a fluorosurfactant (1) having a polymerizable group. The molecular weight of the fluorosurfactant (1) was measured by GPC (polystyrene equivalent molecular weight). As a result, the number average molecular weight was 2,400, the weight average molecular weight was 7,100, and the maximum molecular weight was 200,000. FIG. 1 shows a chart of the IR spectrum of the obtained fluorosurfactant (1), FIG. 2 shows a chart of 13 C-NMR, and FIG. 3 shows a chart of 19 F-NMR.

(合成例2)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてメチルイソブチルケトン57.1質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、実施例1で得られた単量体(d1−1−1)10.8質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート46.3質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ブチルペルオキシ−2−エチルヘキサノエート8.6質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン114.2質量部を混合した開始剤溶液122.8質量部の3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で10時間攪拌した後、減圧下で溶媒を留去することによって、重合体(P1−2)を得た。
(Synthesis Example 2)
A glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device was charged with 57.1 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent and heated to 105 ° C. while stirring under a nitrogen stream. Next, 10.8 parts by mass of the monomer (d1-1-1) obtained in Example 1, 46.3 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate, and t-butylperoxy-2-ethylhexa as a radical polymerization initiator Three types of dripping liquids of 122.8 parts by mass of an initiator solution in which 8.6 parts by mass of noate and 114.2 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent were mixed were set in separate dropping apparatuses, and the inside of the flask was 105 ° C. The solution was added dropwise over 2 hours at the same time. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105 ° C. for 10 hours, and then the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a polymer (P1-2).

次いで、溶媒としてメチルエチルケトン74.5質量部、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてオクチル酸錫0.06質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート50.4質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で1時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌することにより反応を行った結果、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失が確認された。次いで、溶媒としてメチルエチルケトン37.3質量部を添加し、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(2)50質量%含有のメチルエチルケトン溶液を得た。フッ素系界面活性剤(2)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量2,100、重量平均分子量5,700、最大分子量9万であった。   Next, 74.5 parts by mass of methyl ethyl ketone as a solvent, 0.1 part by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor, and 0.06 part by mass of tin octylate as a urethanization catalyst were added, and stirring was started under an air stream. While maintaining the temperature, 50.4 parts by mass of 2-acryloyloxyethyl isocyanate was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 60 ° C. for 1 hour, then heated to 80 ° C. and stirred for 10 hours. As a result, the disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. Next, 37.3 parts by mass of methyl ethyl ketone was added as a solvent, and a substance insoluble in the solution was separated by filtration to obtain a methyl ethyl ketone solution containing 50% by mass of a fluorosurfactant (2) having a polymerizable group. As a result of measuring the molecular weight of the fluorine-based surfactant (2) by GPC (polystyrene equivalent molecular weight), the number average molecular weight was 2,100, the weight average molecular weight was 5,700, and the maximum molecular weight was 90,000.

(合成例3)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてメチルイソブチルケトン68.3質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、実施例1で得られた単量体(d1−1−1)32.3質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート36.0質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ブチルペルオキシ−2−エチルヘキサノエート10.2質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン136.5質量部を混合した開始剤溶液146.7質量部の3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で10時間攪拌した後、減圧下で溶媒を留去することによって、重合体(P1−3)を得た。
(Synthesis Example 3)
A glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device was charged with 68.3 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent, and the temperature was raised to 105 ° C. while stirring in a nitrogen stream. Subsequently, 32.3 parts by mass of the monomer (d1-1-1) obtained in Example 1, 36.0 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate, and t-butylperoxy-2-ethylhexa as a radical polymerization initiator Three types of dropping solutions of initiator solution 146.7 parts by mass, in which 10.2 parts by mass of noate and 136.5 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent were mixed, were set in separate dropping devices, and the inside of the flask was 105 ° C. The solution was added dropwise over 2 hours at the same time. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105 ° C. for 10 hours, and then the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a polymer (P1-3).

次いで、溶媒としてメチルエチルケトン75.1質量部、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてオクチル酸錫0.06質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート39.2質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で1時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌することにより反応を行った結果、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失が確認された。次いで、溶媒としてメチルエチルケトン37.5質量部を添加し、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(3)50質量%含有のメチルエチルケトン溶液を得た。フッ素系界面活性剤(3)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量1,700、重量平均分子量5,700、最大分子量10万であった。   Next, 75.1 parts by mass of methyl ethyl ketone as a solvent, 0.1 part by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor, and 0.06 part by mass of tin octylate as a urethanization catalyst were added, and stirring was started under an air stream. While maintaining the temperature, 39.2 parts by mass of 2-acryloyloxyethyl isocyanate was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 60 ° C. for 1 hour, then heated to 80 ° C. and stirred for 10 hours. As a result, the disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. Next, 37.5 parts by mass of methyl ethyl ketone was added as a solvent, and a substance insoluble in the solution was separated by filtration to obtain a methyl ethyl ketone solution containing 50% by mass of a fluorosurfactant (3) having a polymerizable group. As a result of measuring the molecular weight of the fluorosurfactant (3) by GPC (polystyrene equivalent molecular weight), the number average molecular weight was 1,700, the weight average molecular weight was 5,700, and the maximum molecular weight was 100,000.

(合成例4)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてメチルイソブチルケトン31.4質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、実施例1で得られた単量体(d1−1−1)21.5質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート41.2質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ブチルペルオキシ−2−エチルヘキサノエート9.4質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン62.7質量部を混合した開始剤溶液72.1質量部の3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で10時間攪拌した後、減圧下で溶媒を留去することによって、重合体(P1−4)を得た。
(Synthesis Example 4)
A glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device was charged with 31.4 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent and heated to 105 ° C. while stirring under a nitrogen stream. Subsequently, 21.5 parts by mass of the monomer (d1-1-1) obtained in Example 1, 41.2 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate, and t-butylperoxy-2-ethylhexa as a radical polymerization initiator Three types of dripping liquids of 72.1 parts by mass of an initiator solution obtained by mixing 9.4 parts by mass of noate and 62.7 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent were set in separate dropping devices, respectively, and the inside of the flask was 105 ° C. The solution was added dropwise over 2 hours at the same time. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105 ° C. for 10 hours, and then the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a polymer (P1-4).

次いで、溶媒としてメチルエチルケトン74.8質量部、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてオクチル酸錫0.06質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート44.8質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で1時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌することにより反応を行った結果、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失が確認された。次いで、溶媒としてメチルエチルケトン37.4質量部を添加し、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(4)50質量%含有のメチルエチルケトン溶液を得た。フッ素系界面活性剤(4)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量2,500、重量平均分子量16,900、最大分子量100万であった。   Next, 74.8 parts by mass of methyl ethyl ketone as a solvent, 0.1 part by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor, 0.06 part by mass of tin octylate as a urethanization catalyst, and stirring under an air stream were started. While maintaining the temperature, 44.8 parts by mass of 2-acryloyloxyethyl isocyanate was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 60 ° C. for 1 hour, then heated to 80 ° C. and stirred for 10 hours. As a result, the disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. Next, 37.4 parts by mass of methyl ethyl ketone was added as a solvent, and a substance insoluble in the solution was separated by filtration to obtain a methyl ethyl ketone solution containing 50% by mass of a fluorosurfactant (4) having a polymerizable group. As a result of measuring the molecular weight of the fluorosurfactant (4) by GPC (polystyrene equivalent molecular weight), the number average molecular weight was 2,500, the weight average molecular weight was 16,900, and the maximum molecular weight was 1,000,000.

(合成例5)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてメチルイソブチルケトン63質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、実施例1で得られた単量体(d1−1−1)21.5質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート41.3質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ブチルペルオキシ−2−エチルヘキサノエート6.3質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン126質量部を混合した開始剤溶液135.4質量部の3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で10時間攪拌した後、減圧下で溶媒を留去することによって、重合体(P1−5)を得た。
(Synthesis Example 5)
A glass flask equipped with a stirrer, thermometer, condenser, and dropping device was charged with 63 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent and heated to 105 ° C. while stirring under a nitrogen stream. Subsequently, 21.5 parts by mass of the monomer (d1-1-1) obtained in Example 1, 41.3 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate, and t-butylperoxy-2-ethylhexa as a radical polymerization initiator Three types of dripping liquid of 135.4 parts by mass of an initiator solution obtained by mixing 6.3 parts by mass of noate and 126 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent were set in separate dropping devices, and the inside of the flask was kept at 105 ° C. At the same time, it was added dropwise over 2 hours. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105 ° C. for 10 hours, and then the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a polymer (P1-5).

次いで、溶媒としてメチルエチルケトン74質量部、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてジブチル錫ジラウレート0.06質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート44.8質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で1時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌することにより反応を行った結果、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失が確認された。次いで、溶媒としてメチルエチルケトン37質量部を添加し、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(5)50質量%含有のメチルエチルケトン溶液を得た。フッ素系界面活性剤(5)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量3,100、重量平均分子量25,500、最大分子量200万であった。   Next, 74 parts by mass of methyl ethyl ketone as a solvent, 0.1 part by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor, and 0.06 part by mass of dibutyltin dilaurate as a urethanization catalyst were added, and stirring was started in an air stream. While maintaining, 44.8 parts by mass of 2-acryloyloxyethyl isocyanate was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 60 ° C. for 1 hour, then heated to 80 ° C. and stirred for 10 hours. As a result, the disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. Subsequently, 37 parts by mass of methyl ethyl ketone was added as a solvent, and the insoluble matter in the solution was separated by filtration to obtain a methyl ethyl ketone solution containing 50% by mass of a fluorosurfactant (5) having a polymerizable group. As a result of measuring the molecular weight of the fluorosurfactant (5) by GPC (polystyrene equivalent molecular weight), the number average molecular weight was 3,100, the weight average molecular weight was 25,500, and the maximum molecular weight was 2 million.

(合成例6)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてポリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下、「PGMEA」という。)62.9質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、実施例1で得られた単量体(d1−1−1)21.5質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート40.1質量部、2−ヒドロキシブチルメタクリレート1.3質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ブチルペルオキシ−2−エチルヘキサノエート9.4質量部と溶媒としてPGMEA125.7質量部を混合した開始剤溶液135.1質量部の3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で10時間攪拌した後、重合体(P1−6)を得た。
(Synthesis Example 6)
A glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device was charged with 62.9 parts by mass of polyethylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter referred to as “PGMEA”) as a solvent and stirred under a nitrogen stream. The temperature was raised to 105 ° C. Subsequently, 21.5 parts by mass of the monomer (d1-1-1) obtained in Example 1, 40.1 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate, 1.3 parts by mass of 2-hydroxybutyl methacrylate, radical polymerization initiation Three types of dripping liquids, 9.1 parts by mass of t-butylperoxy-2-ethylhexanoate as an agent and 135.1 parts by mass of an initiator solution obtained by mixing 125.7 parts by mass of PGMEA as a solvent, are respectively added to separate dropping devices. The flask was added dropwise at the same time over 2 hours while keeping the inside of the flask at 105 ° C. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105 ° C. for 10 hours to obtain a polymer (P1-6).

次いで、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてオクチル酸錫0.06質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート44.6質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で1時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌することにより反応を行った結果、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失が確認された。次いで、溶媒としてPGMEAを68.5質量部添加し、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(6)30質量%含有のPGMEA溶液を得た。フッ素系界面活性剤(6)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量2,400、重量平均分子量7,900、最大分子量20万であった。   Next, 0.1 parts by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor and 0.06 parts by mass of tin octylate as a urethanization catalyst were charged, stirring was started under an air stream, and 2-acryloyloxyethyl was maintained at 60 ° C. 44.6 parts by mass of isocyanate was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 60 ° C. for 1 hour, then heated to 80 ° C. and stirred for 10 hours. As a result, the disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. Next, 68.5 parts by mass of PGMEA was added as a solvent, and a substance insoluble in the solution was separated by filtration to obtain a PGMEA solution containing 30% by mass of a fluorosurfactant (6) having a polymerizable group. The molecular weight of the fluorosurfactant (6) was measured by GPC (polystyrene equivalent molecular weight). As a result, the number average molecular weight was 2,400, the weight average molecular weight was 7,900, and the maximum molecular weight was 200,000.

(合成例7)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてメチルイソブチルケトン60.3質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、実施例1で得られた単量体(d1−1−1)21.5質量部、2−ヒドロキシエチルアクリレート38.8質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ブチルペルオキシ−2−エチルヘキサノエート9.1質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン120.6質量部を混合した開始剤溶液125.2質量部の3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で10時間攪拌した後、減圧下で溶媒を留去することによって、重合体(P1−7)を得た。
(Synthesis Example 7)
A glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device was charged with 60.3 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent and heated to 105 ° C. while stirring under a nitrogen stream. Subsequently, 21.5 parts by mass of the monomer (d1-1-1) obtained in Example 1, 38.8 parts by mass of 2-hydroxyethyl acrylate, and t-butylperoxy-2-ethylhexa as a radical polymerization initiator Three types of dripping liquid of 9.2 parts by mass of noate and 125.2 parts by mass of an initiator solution obtained by mixing 120.6 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent were set in separate dropping devices, and the inside of the flask was kept at 105 ° C. The solution was added dropwise over 2 hours at the same time. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105 ° C. for 10 hours, and then the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a polymer (P1-7).

次いで、溶媒としてメチルエチルケトン74.7質量部、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてオクチル酸錫0.06質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート47.2質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で1時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌することにより反応を行った結果、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失が確認された。次いで、溶媒としてメチルエチルケトン37.4質量部を添加し、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(7)50%含有のメチルエチルケトン溶液を得た。フッ素系界面活性剤(7)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量2,100、重量平均分子量5,700、最大分子量20万であった。   Next, 74.7 parts by mass of methyl ethyl ketone as a solvent, 0.1 part by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor, and 0.06 part by mass of tin octylate as a urethanization catalyst were added, and stirring was started under an air stream. While maintaining the temperature, 47.2 parts by mass of 2-acryloyloxyethyl isocyanate was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 60 ° C. for 1 hour, then heated to 80 ° C. and stirred for 10 hours. As a result, the disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. Next, 37.4 parts by mass of methyl ethyl ketone was added as a solvent, and a substance insoluble in the solution was separated by filtration to obtain a methyl ethyl ketone solution containing 50% of a fluorosurfactant (7) having a polymerizable group. As a result of measuring the molecular weight of the fluorosurfactant (7) by GPC (polystyrene equivalent molecular weight), the number average molecular weight was 2,100, the weight average molecular weight was 5,700, and the maximum molecular weight was 200,000.

(合成例8)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてメチルイソブチルケトン60.8質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、実施例1で得られた単量体(d1−1−1)21.5質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート39.3質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ブチルペルオキシ−2−エチルヘキサノエート9.1質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン121.6質量部を混合した開始剤溶液130.7質量部の3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で10時間攪拌した後、減圧下で溶媒を留去することによって、重合体(P1−8)を得た。
(Synthesis Example 8)
A glass flask equipped with a stirrer, thermometer, condenser, and dropping device was charged with 60.8 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent and heated to 105 ° C. while stirring under a nitrogen stream. Next, 21.5 parts by mass of the monomer (d1-1-1) obtained in Example 1, 39.3 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate, and t-butylperoxy-2-ethylhexa as a radical polymerization initiator Three types of dripping liquids of 130.7 parts by mass of an initiator solution obtained by mixing 9.1 parts by mass of noate and 121.6 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent were set in separate dropping devices, and the inside of the flask was 105 ° C. The solution was added dropwise over 2 hours at the same time. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105 ° C. for 10 hours, and then the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a polymer (P1-8).

次いで、溶媒としてメチルエチルケトン74.8質量部、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてオクチル酸錫0.06質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート46.8質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で1時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌することにより反応を行った結果、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失が確認された。次いで、溶媒としてメチルエチルケトン37.4質量部を添加し、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(8)50質量%含有のメチルエチルケトン溶液を得た。フッ素系界面活性剤(8)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量2,100、重量平均分子量6,300、最大分子量10万であった。   Next, 74.8 parts by mass of methyl ethyl ketone as a solvent, 0.1 part by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor, 0.06 part by mass of tin octylate as a urethanization catalyst, and stirring under an air stream were started. While maintaining the temperature, 46.8 parts by mass of 2-methacryloyloxyethyl isocyanate was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 60 ° C. for 1 hour, then heated to 80 ° C. and stirred for 10 hours. As a result, the disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. Subsequently, 37.4 parts by mass of methyl ethyl ketone was added as a solvent, and a substance insoluble in the solution was separated by filtration to obtain a methyl ethyl ketone solution containing 50% by mass of a fluorosurfactant (8) having a polymerizable group. As a result of measuring the molecular weight of the fluorosurfactant (8) by GPC (polystyrene equivalent molecular weight), the number average molecular weight was 2,100, the weight average molecular weight was 6,300, and the maximum molecular weight was 100,000.

(合成例9)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてメチルイソブチルケトン70.8質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、実施例1で得られた単量体(d1−1−1)21.5質量部、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート49.3質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ブチルペルオキシ−2−エチルヘキサノエート10.6質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン70.8質量部を混合した開始剤溶液76.1質量部の3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で10時間攪拌した後、減圧下で溶媒を留去することによって、重合体(P1−9)を得た。
(Synthesis Example 9)
A glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device was charged with 70.8 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent and heated to 105 ° C. while stirring under a nitrogen stream. Subsequently, 21.5 parts by mass of the monomer (d1-1-1) obtained in Example 1, 49.3 parts by mass of 2-methacryloyloxyethyl isocyanate, and t-butylperoxy-2-ethyl as a radical polymerization initiator Three types of dropping solutions of initiator solution 76.1 parts by mass of hexanoate 10.6 parts by mass of hexaisoate and 70.8 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent were set in separate dropping devices. It was dripped simultaneously over 2 hours, keeping at ° C. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105 ° C. for 10 hours, and then the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a polymer (P1-9).

次いで、溶媒としてメチルエチルケトン74.5質量部、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてオクチル酸錫0.06質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら2−ヒドロキシエチルアクリレート35.7質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で1時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌することにより反応を行った結果、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失が確認された。次いで、溶媒としてメチルエチルケトン37.3質量部を添加し、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(9)50質量%含有のメチルエチルケトン溶液を得た。フッ素系界面活性剤(9)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量2,200、重量平均分子量9,500、最大分子量30万であった。   Next, 74.5 parts by mass of methyl ethyl ketone as a solvent, 0.1 part by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor, and 0.06 part by mass of tin octylate as a urethanization catalyst were added, and stirring was started under an air stream. While maintaining the temperature, 35.7 parts by mass of 2-hydroxyethyl acrylate was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 60 ° C. for 1 hour, then heated to 80 ° C. and stirred for 10 hours. As a result, the disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. Subsequently, 37.3 parts by mass of methyl ethyl ketone was added as a solvent, and a substance insoluble in the solution was separated by filtration to obtain a methyl ethyl ketone solution containing 50% by mass of a fluorosurfactant (9) having a polymerizable group. As a result of measuring the molecular weight of the fluorosurfactant (9) by GPC (polystyrene equivalent molecular weight), the number average molecular weight was 2,200, the weight average molecular weight was 9,500, and the maximum molecular weight was 300,000.

(合成例10)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてメチルイソブチルケトン81.9質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、実施例1で得られた単量体(d1−1−1)30.3質量部、下記式(d2−1)で表されるポリオキシアルキレン基含有メタクリレート(式中のnは平均5)51.6質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ブチルペルオキシ−2−エチルヘキサノエート12.2質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン69.9質量部を混合した開始剤溶液82.1質量部の3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で10時間攪拌した後、減圧下で溶媒を留去することによって、重合体(P1−10)を得た。
(Synthesis Example 10)
A glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device was charged with 81.9 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent, and the temperature was raised to 105 ° C. while stirring in a nitrogen stream. Next, 30.3 parts by mass of the monomer (d1-1-1) obtained in Example 1, and a polyoxyalkylene group-containing methacrylate represented by the following formula (d2-1) (wherein n is an average of 5) ) 51.6 parts by mass, 82.1 parts by mass of an initiator solution obtained by mixing 12.2 parts by mass of t-butylperoxy-2-ethylhexanoate as a radical polymerization initiator and 69.9 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent These three types of dripping liquids were set in separate dripping apparatuses, respectively, and were dripped simultaneously over 2 hours while keeping the inside of the flask at 105 ° C. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105 ° C. for 10 hours, and then the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a polymer (P1-10).

Figure 0005531495
Figure 0005531495

次いで、溶媒としてメチルエチルケトン70.7質量部、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてオクチル酸錫0.06質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート18.1質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で1時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌することにより反応を行った結果、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失が確認された。次いで、溶媒としてメチルエチルケトン35.4質量部を添加し、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(10)50%含有のメチルエチルケトン溶液を得た。フッ素系界面活性剤(10)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量1,800、重量平均分子量5,400、最大分子量9万であった。   Next, 70.7 parts by mass of methyl ethyl ketone as a solvent, 0.1 part by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor, and 0.06 part by mass of tin octylate as a urethanization catalyst were added, and stirring was started under an air stream. While maintaining the temperature, 18.1 parts by mass of 2-acryloyloxyethyl isocyanate was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 60 ° C. for 1 hour, then heated to 80 ° C. and stirred for 10 hours. As a result, the disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. Subsequently, 35.4 parts by mass of methyl ethyl ketone was added as a solvent, and a substance insoluble in the solution was separated by filtration to obtain a methyl ethyl ketone solution containing 50% of a fluorosurfactant (10) having a polymerizable group. The molecular weight of the fluorosurfactant (10) was measured by GPC (polystyrene equivalent molecular weight). As a result, the number average molecular weight was 1,800, the weight average molecular weight was 5,400, and the maximum molecular weight was 90,000.

(合成例11)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてメチルイソブチルケトン56.2質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、実施例1で得られた単量体(d1−1−1)38.7質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート16.6質量部、下記式(d2−2)で表される不飽和脂肪酸ヒドロキシアルキルエステル修飾ε−カプロラクトン(式中のnは平均1)21.9質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ブチルペルオキシ−2−エチルヘキサノエート11.6質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン112.3質量部を混合した開始剤溶液123.9質量部の3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で10時間攪拌した後、重合体(P1−11)を得た。
(Synthesis Example 11)
A glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device was charged with 56.2 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent and heated to 105 ° C. while stirring under a nitrogen stream. Next, 38.7 parts by mass of the monomer (d1-1-1) obtained in Example 1, 16.6 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate, and an unsaturated fatty acid represented by the following formula (d2-2) Hydroxyalkyl ester-modified ε-caprolactone (wherein n is an average of 1) 21.9 parts by mass, 11.6 parts by mass of t-butylperoxy-2-ethylhexanoate as a radical polymerization initiator and methyl isobutyl ketone 112 as a solvent Three types of dropping solutions of 123.9 parts by mass of initiator solution mixed with 3 parts by mass were set in separate dropping devices, and dropped simultaneously over 2 hours while maintaining the inside of the flask at 105 ° C. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105 ° C. for 10 hours to obtain a polymer (P1-11).

Figure 0005531495
Figure 0005531495

次いで、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてオクチル酸錫0.06質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート30.3質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で1時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌することにより反応を行った結果、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失が確認された。次いで、溶媒としてメチルイソブチルケトン90.1質量部を添加し、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(11)30%含有のメチルエチルケトン溶液を得た。フッ素系界面活性剤(11)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量2,100、重量平均分子量15,100、最大分子量60万であった。   Next, 0.1 parts by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor and 0.06 parts by mass of tin octylate as a urethanization catalyst were charged, stirring was started under an air stream, and 2-acryloyloxyethyl was maintained at 60 ° C. 30.3 parts by mass of isocyanate was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 60 ° C. for 1 hour, then heated to 80 ° C. and stirred for 10 hours. As a result, the disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. Next, 90.1 parts by mass of methyl isobutyl ketone was added as a solvent, and a substance insoluble in the solution was separated by filtration to obtain a methyl ethyl ketone solution containing 30% of a fluorosurfactant (11) having a polymerizable group. As a result of measuring the molecular weight of the fluorosurfactant (11) by GPC (polystyrene equivalent molecular weight), the number average molecular weight was 2,100, the weight average molecular weight was 15,100, and the maximum molecular weight was 600,000.

(合成例12)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてメチルイソブチルケトン60質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート60質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン60質量部を混合したモノマー溶液120質量部、ラジカル重合開始剤として2,2’−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)9質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン60質量部を混合した開始剤溶液69質量部の2種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で3時間攪拌する。次いで、フラスコ内を105℃に保ちながら、ラジカル重合開始剤として2,2’−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)0.9質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン9質量部を混合した開始剤溶液9.9質量部を10分間かけて滴下し、滴下終了後、105℃で3時間攪拌する。次いで、再度同様に滴下した後、105℃で8時間攪拌し、重合体(P2−1)を含有するメチルイソブチルケトン溶液を得た。
(Synthesis Example 12)
A glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device was charged with 60 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent, and the temperature was raised to 105 ° C. while stirring in a nitrogen stream. Subsequently, 60 parts by mass of 2-methacryloyloxyethyl isocyanate and 120 parts by mass of a monomer solution obtained by mixing 60 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent, and 9 parts by mass of 2,2′-azobis (2-methylbutyronitrile) as a radical polymerization initiator. Two kinds of dropping solutions of 69 parts by mass of an initiator solution mixed with 60 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent and a solvent were set in separate dropping devices, and dropped simultaneously over 2 hours while keeping the inside of the flask at 105 ° C. . After completion of dropping, the mixture is stirred at 105 ° C. for 3 hours. Next, an initiator solution in which 0.9 parts by mass of 2,2′-azobis (2-methylbutyronitrile) as a radical polymerization initiator and 9 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent were mixed while maintaining the inside of the flask at 105 ° C. 9.9 mass parts is dripped over 10 minutes, and after completion | finish of dripping, it stirs at 105 degreeC for 3 hours. Then, after dropping again in the same manner, the mixture was stirred at 105 ° C. for 8 hours to obtain a methyl isobutyl ketone solution containing the polymer (P2-1).

次いで、フラスコ内を80℃に降温し、ウレタン化触媒としてジブチル錫ジラウレート0.06質量部を仕込み、実施例1で用いたものと同じパーフルオロポリエーテル化合物(X−1)23.2質量部を添加し、80℃で6時間攪拌することにより反応を行い、反応生成物(P3−1)を含有するメチルイソブチルケトン溶液が得られた。   Next, the temperature in the flask was lowered to 80 ° C., 0.06 part by mass of dibutyltin dilaurate was charged as a urethanization catalyst, and 23.2 parts by mass of the same perfluoropolyether compound (X-1) used in Example 1 was used. Was added and stirred at 80 ° C. for 6 hours to obtain a methyl isobutyl ketone solution containing the reaction product (P3-1).

次いで、窒素気流から空気気流に切り替え、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.12質量部を添加した。次いで、2−ヒドロキシエチルアクリレート41.4質量部を添加し、80℃で10時間攪拌することにより反応を行った。次いで、120℃に昇温して2時間攪拌することにより反応を行うとともに溶剤の一部を留去した結果、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失が確認された。その後、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(12)50%含有のメチルイソブチルケトン溶液を得た。フッ素系界面活性剤(12)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量2,100、重量平均分子量4,400、最大分子量6万であった。   Subsequently, it switched from nitrogen stream to air stream, and added 0.12 mass part of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor. Subsequently, 41.4 mass parts of 2-hydroxyethyl acrylate was added, and it reacted by stirring at 80 degreeC for 10 hours. Next, the reaction was carried out by raising the temperature to 120 ° C. and stirring for 2 hours, and a part of the solvent was distilled off. Thereafter, a substance insoluble in the solution was separated by filtration to obtain a methyl isobutyl ketone solution containing 50% of a fluorosurfactant (12) having a polymerizable group. As a result of measuring the molecular weight of the fluorosurfactant (12) by GPC (polystyrene equivalent molecular weight), the number average molecular weight was 2,100, the weight average molecular weight was 4,400, and the maximum molecular weight was 60,000.

(合成例13)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、上記式(X−1)で表される両末端に水酸基を有するパーフルオロポリエーテル化合物を100質量部、溶媒としてメチルイソブチルケトン180質量部、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.04質量部、ウレタン化触媒としてオクチル酸錫0.06質量部を仕込み、空気気流下にて攪拌を開始し、フラスコ内を100℃に保ちながら2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート20.0質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、100℃で5時間攪拌し、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失を確認した。次いで、減圧留去によって脱溶剤を行い、下記構造式(d1−5−1)を得た。
(Synthesis Example 13)
In a glass flask equipped with a stirrer, thermometer, condenser, and dropping device, 100 parts by mass of a perfluoropolyether compound having hydroxyl groups at both ends represented by the above formula (X-1), and methyl isobutyl ketone as a solvent 180 parts by mass, 0.04 parts by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor and 0.06 parts by mass of tin octylate as a urethanization catalyst were added, stirring was started under an air stream, and the flask was kept at 100 ° C. However, 20.0 parts by mass of 2-acryloyloxyethyl isocyanate was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 100 ° C. for 5 hours, and disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. Subsequently, the solvent was removed by distillation under reduced pressure to obtain the following structural formula (d1-5-1).

Figure 0005531495
(式中、Xはパーフルオロメチレン基及びパーフルオロエチレン基であり、1分子あたり、パーフルオロメチレン基が平均7個、パーフルオロエチレン基が平均8個存在するものであり、フッ素原子の数が平均46である。また、GPCによる数平均分子量は1,600である。)
Figure 0005531495
(In the formula, X is a perfluoromethylene group and a perfluoroethylene group, and an average of 7 perfluoromethylene groups and an average of 8 perfluoroethylene groups are present per molecule, and the number of fluorine atoms is (The average is 46. The number average molecular weight by GPC is 1,600.)

撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えた別のガラスフラスコに、溶媒としてメチルイソブチルケトン64.1質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、上記で得られた単量体(d1−5−1)23.9質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート40.2質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ブチルペルオキシ−2−エチルヘキサノエート9.6質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン128.1質量部を混合した開始剤溶液137.7質量部の3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で10時間攪拌した後、減圧下で溶媒を留去することによって、重合体(P1−13)を得た。   In another glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device, 64.1 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent was charged, and the temperature was raised to 105 ° C. while stirring in a nitrogen stream. Subsequently, 23.9 parts by mass of the monomer (d1-5-1) obtained above, 40.2 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate as a radical polymerization initiator 9.6 parts by mass and 137.7 parts by mass of an initiator solution obtained by mixing 128.1 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent were set in separate dropping apparatuses, and the flask was kept at 105 ° C. At the same time, it was added dropwise over 2 hours. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105 ° C. for 10 hours, and then the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a polymer (P1-13).

次いで、溶媒としてメチルエチルケトン74.9質量部、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてオクチル錫0.06質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート43.4質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で1時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌することにより反応を行った結果、IRスペクトル測定によりイソシアネート基の消失が確認された。次いで、溶媒としてメチルエチルケトン37.4質量部を添加し、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(13)50質量%含有のメチルエチルケトン溶液を得た。フッ素系界面活性剤(13)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量2,100、重量平均分子量6,800、最大分子量10万であった。   Next, 74.9 parts by mass of methyl ethyl ketone as a solvent, 0.1 part by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor, and 0.06 part by mass of octyl tin as a urethanization catalyst were added, and stirring was started in an air stream at 60 ° C. While maintaining the above, 43.4 parts by mass of 2-acryloyloxyethyl isocyanate was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the mixture was stirred at 60 ° C. for 1 hour, then heated to 80 ° C. and stirred for 10 hours. As a result, the disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. Subsequently, 37.4 parts by mass of methyl ethyl ketone was added as a solvent, and a substance insoluble in the solution was separated by filtration to obtain a methyl ethyl ketone solution containing 50% by mass of a fluorosurfactant (13) having a polymerizable group. As a result of measuring the molecular weight of the fluorosurfactant (13) by GPC (polystyrene equivalent molecular weight), the number average molecular weight was 2,100, the weight average molecular weight was 6,800, and the maximum molecular weight was 100,000.

(合成例14)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてメチルイソブチルケトン79.1質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、実施例1で得られた単量体(d1−1−1)21.5質量部、グリシジルメタクリレート57.7質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ブチルペルオキシ−2−エチルヘキサノエート11.9質量部と溶媒としてメチルイソブチルケトン158.4質量部を混合した開始剤溶液170.3質量部の3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、フラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で10時間攪拌した後、減圧下で溶媒を留去することによって、重合体(P1−14)を得た。
(Synthesis Example 14)
A glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device was charged with 79.1 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent and heated to 105 ° C. while stirring under a nitrogen stream. Subsequently, 21.5 parts by mass of the monomer (d1-1-1) obtained in Example 1, 57.7 parts by mass of glycidyl methacrylate, and t-butylperoxy-2-ethylhexanoate 11 as a radical polymerization initiator .9 parts by mass and 170.3 parts by mass of an initiator solution obtained by mixing 158.4 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent were set in separate dropping apparatuses, and the flask was kept at 105 ° C. It was dripped simultaneously over 2 hours. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105 ° C. for 10 hours, and then the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a polymer (P1-14).

次いで、溶媒としてメチルイソブチルケトン37.7質量部、重合禁止剤としてp−メトキシフェノール0.1質量部、触媒としてトリフェニルホスフィン0.57質量部を仕込み、窒素気流下で攪拌を開始し、80℃でアクリル酸28.1質量部を添加後、120℃まで1時間かけて昇温した。120℃到達後、固形分あたりの酸価が1以下となるまで反応を行い、溶媒としてメチルイソブチルケトン75.5質量部を添加し、濾過によって溶液に不溶な物は濾別して、重合性基を有するフッ素系界面活性剤(14)50質量%含有のメチルイソブチルケトン溶液を得た。フッ素系界面活性剤(14)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量1,900、重量平均分子量8,300、最大分子量20万であった。   Next, 37.7 parts by mass of methyl isobutyl ketone as a solvent, 0.1 part by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor, and 0.57 parts by mass of triphenylphosphine as a catalyst were added, and stirring was started under a nitrogen stream. After adding 28.1 parts by mass of acrylic acid at ° C, the temperature was raised to 120 ° C over 1 hour. After reaching 120 ° C., the reaction is carried out until the acid value per solid content becomes 1 or less, 75.5 parts by mass of methyl isobutyl ketone is added as a solvent, and the insoluble matter in the solution is filtered off to remove the polymerizable group. A methyl isobutyl ketone solution containing 50% by mass of the fluorosurfactant (14) was obtained. As a result of measuring the molecular weight of the fluorosurfactant (14) by GPC (polystyrene equivalent molecular weight), the number average molecular weight was 1,900, the weight average molecular weight was 8,300, and the maximum molecular weight was 200,000.

(合成例15)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、下記式(Y)で表されるフッ素化アルキル基含有アクリレート単量体18質量部、下記式(Z)で表されるシリコーン鎖含有エチレン性不飽和単量体12質量部、分子量400のエチレンオキシドとプロピレンオキシドとの共重合体を側鎖にもつモノアクリレート化合物58質量部、テトラエチレングリコールの両末端がメタクリレート化された化合物4質量部、メチルメタクリレート8質量部、溶媒としてイソプロピルアルコール350質量部を仕込み、窒素気流下にて開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル1質量部と、連鎖移動剤としてラウリルメルカプタン1質量部を添加した後、70℃で8時間、その後75℃で12時間攪拌することにより反応を行った。次いで、減圧留去で脱溶剤を行い、重合性基を有さないフッ素系界面活性剤(15)を得た。フッ素系界面活性剤(15)の分子量をGPC(ポリスチレン換算分子量)で測定した結果、数平均分子量6,600、重量平均分子量35,700、最大分子量40万であった。
(Synthesis Example 15)
In a glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device, 18 parts by mass of a fluorinated alkyl group-containing acrylate monomer represented by the following formula (Y), and a silicone represented by the following formula (Z) 12 parts by mass of a chain-containing ethylenically unsaturated monomer, 58 parts by mass of a monoacrylate compound having a side chain of a copolymer of ethylene oxide and propylene oxide having a molecular weight of 400, and compound 4 in which both ends of tetraethylene glycol are methacrylated 1 part by weight of azobisisobutyronitrile as an initiator and 1 part by weight of lauryl mercaptan as a chain transfer agent were added under nitrogen flow. Thereafter, the reaction was carried out by stirring at 70 ° C. for 8 hours and then at 75 ° C. for 12 hours. Subsequently, the solvent was removed by distillation under reduced pressure to obtain a fluorine-based surfactant (15) having no polymerizable group. The molecular weight of the fluorosurfactant (15) was measured by GPC (polystyrene equivalent molecular weight). As a result, the number average molecular weight was 6,600, the weight average molecular weight was 35,700, and the maximum molecular weight was 400,000.

Figure 0005531495
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Figure 0005531495
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(調整例1)顔料分散液の調製
直径0.5mmのジルコニアビーズ200質量部を仕込んだ高速分散機に、着色剤としてC.I.ピグメントレッド254を8質量部、ポリエステル系分散剤(味の素ファインテクノ株式会社製「アジスパーPB−814」)を2.5質量部、アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/ベンジルメタクリレート=13/87(質量比)共重合体(酸価84、数平均分子量9,500)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下、「PGMEA」という。)溶液(不揮発分39.7質量%)を25質量部、溶剤としてPGMEA64.5質量部を仕込み、回転数2000rpmで8時間分散を行い、赤色顔料分散液を得た。
Preparation Example 1 Preparation of Pigment Dispersion Solution A high-speed disperser charged with 200 parts by mass of zirconia beads having a diameter of 0.5 mm was used as a coloring agent. I. 8 parts by mass of Pigment Red 254, 2.5 parts by mass of a polyester-based dispersant (“Ajisper PB-814” manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.), and methacrylic acid / benzyl methacrylate = 13/87 (mass ratio) as an alkali-soluble resin 25 parts by mass of a copolymer (acid value 84, number average molecular weight 9,500) propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter referred to as “PGMEA”) solution (non-volatile content 39.7% by mass), and PGMEA 64.5 as a solvent A mass part was charged and dispersed at a rotational speed of 2000 rpm for 8 hours to obtain a red pigment dispersion.

(実施例1〜14)
上記の調製例1で得られた赤色顔料分散液100質量部に対し、重合性化合物としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート7質量部、光重合開始剤(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社「イルガキュア369」;2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1)0.3質量部を加え混合した。その混合液に、合成例1〜14で得られた重合性基を有するフッ素系界面活性剤(1)〜(14)0.083質量部(不揮発分換算)を加えて混合した後、孔径1.0μmのフィルターでろ過して、カラーレジスト組成物を調製した。
(Examples 1-14)
2 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate as a polymerizable compound and a photopolymerization initiator (Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. “Irgacure 369”; 2 with respect to 100 parts by mass of the red pigment dispersion obtained in Preparation Example 1 -Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1) 0.3 part by mass was added and mixed. After adding and mixing 0.083 parts by mass (in terms of non-volatile content) of the fluorosurfactants (1) to (14) having a polymerizable group obtained in Synthesis Examples 1 to 14 to the mixed solution, the pore size was 1 A color resist composition was prepared by filtration through a 0.0 μm filter.

(比較例1)
フッ素系界面活性剤を配合しない以外は実施例1と同様に行い、カラーレジスト組成物を調製した。
(Comparative Example 1)
A color resist composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that no fluorine-based surfactant was added.

(比較例2)
重合性基を有するフッ素系界面活性剤(1)に代えて、合成例15で得られた重合性基を有さないフッ素系界面活性剤(15)を用いた以外は実施例1と同様に行い、カラーレジスト組成物を調製した。
(Comparative Example 2)
It replaced with the fluorine-type surfactant (1) which has a polymeric group, and was similar to Example 1 except having used the fluorine-type surfactant (15) which does not have a polymeric group obtained by the synthesis example 15. And a color resist composition was prepared.

上記で得られたカラーレジスト組成物の塗布性と現像性について、以下の項目の試験を実施し、評価した。評価結果を表1に示す。   The following items were tested and evaluated for the coatability and developability of the color resist composition obtained above. The evaluation results are shown in Table 1.

[塗布性の試験方法及び評価基準]
上記で調製したカラーレジスト組成物1mlを、12cm四方のガラス板上の中央部分に滴下し、回転数600rpm、回転時間30秒間でスピンコ−ティングした後、90℃で3分間加熱乾燥させて、塗布状態を観察した。
○:塗布ムラの発生が認められないもの。
△:塗布ムラの発生が部分的に認められるもの。
×:塗布ムラの発生が全体的に認められるもの。
[Applicability test method and evaluation criteria]
1 ml of the color resist composition prepared above is dropped onto the center of a 12 cm square glass plate, spin-coated at a rotation speed of 600 rpm and a rotation time of 30 seconds, and then heated and dried at 90 ° C. for 3 minutes to be applied. The condition was observed.
○: No coating unevenness is observed.
(Triangle | delta): Occurrence of coating unevenness is partially recognized.
X: The generation | occurrence | production of the coating nonuniformity is recognized as a whole.

[現像性の試験方法及び評価基準]
上記で調製したカラーレジスト組成物を、スピンコーターを用いてガラス板上に回転数1000rpm、回転時間9秒間で塗布した後、60℃で5分間予備乾燥させて膜厚1.5μmの塗膜を形成した。この塗膜を線幅50μmのパターンマスクを用い、高圧水銀灯で1000J/m露光した後、現像液として30℃に保持した炭酸ナトリウム水溶液を用いて30秒スプレー現像した後、蒸留水で洗浄した。その後、70℃で30分間乾燥した。これらの操作によって得られた線幅50μmのパターン形状及び現像残渣について観察した。観察結果から、下記の基準に従って、現像性の評価として、パターン形状及び現像残査(水シミ)を評価した。なお、「水シミ」とは、カラーレジスト組成物を露光(硬化)・現像後、洗浄(リンス)により洗い流された未露光部分の樹脂や現像液の成分が、露光部分の着色パターンの硬化塗膜の表面に付着する現象をいう。
[Developability test method and evaluation criteria]
The color resist composition prepared above was applied onto a glass plate using a spin coater at a rotation speed of 1000 rpm and a rotation time of 9 seconds, and then pre-dried at 60 ° C. for 5 minutes to form a coating film having a thickness of 1.5 μm. Formed. This coating film was exposed to 1000 J / m 2 with a high-pressure mercury lamp using a pattern mask having a line width of 50 μm, spray-developed with a sodium carbonate aqueous solution maintained at 30 ° C. as a developing solution for 30 seconds, and then washed with distilled water. . Then, it dried at 70 degreeC for 30 minutes. The pattern shape having a line width of 50 μm and the development residue obtained by these operations were observed. From the observation results, the pattern shape and the development residue (water stain) were evaluated as evaluation of developability according to the following criteria. The “water stain” means that after exposure (curing) and development of the color resist composition, the unexposed resin and developer components washed away by washing (rinsing) are cured coatings of the colored pattern of the exposed part. A phenomenon that adheres to the surface of a film.

(1)パターン形状の評価基準
◎:パターンが良好に形成されたもの。
○:パターンの形成が良好よりもわずかに劣るもの。
△:パターンの欠落部分が一部発生したもの。
×:パターンの欠落部分が多く発生したもの。
(1) Criteria for evaluating pattern shape A: A pattern is satisfactorily formed.
○: Slightly inferior to good pattern formation.
Δ: A part of the pattern missing.
X: A pattern having many missing portions.

(2)現像残渣(水シミ)の評価基準
○:パターン上に水シミが認められないもの。
△:パターン上に一部に水シミの発生が認められるもの。
×:パターン上に水シミの発生が明確に認められるもの。
(2) Evaluation criteria for development residue (water stain) ○: Water stain is not observed on the pattern.
Δ: Water spots are partially observed on the pattern.
X: The occurrence of water spots on the pattern is clearly recognized.

上記で評価した結果を表1に示す。   The results evaluated above are shown in Table 1.

Figure 0005531495
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表1に示した実施例1〜14の本発明のカラーレジスト組成物は、塗布性が良好で塗布ムラ(色ムラ)が少ないことが分かった。また、現像性については、高い耐アルカリ性を発揮して、アルカリ現像液による露光部の硬化塗膜表面の浸食防止でき、良好なパターン形状を形成することができることが分かった。また、水シミも発生しないことが分かった。   The color resist compositions of the present invention of Examples 1 to 14 shown in Table 1 were found to have good coating properties and little coating unevenness (color unevenness). Moreover, about developability, it turned out that high alkali resistance is exhibited, the erosion of the cured coating film surface of the exposure part by an alkali developing solution can be prevented, and a favorable pattern shape can be formed. It was also found that no water spots were generated.

一方、フッ素系界面活性剤を用いなかった比較例1のカラーレジスト組成物では、塗布ムラを発生し、また、現像性も十分ではなかった。   On the other hand, in the color resist composition of Comparative Example 1 that did not use a fluorosurfactant, coating unevenness occurred and developability was not sufficient.

比較例2は、重合性基を有しないフッ素系界面活性剤を用いた例であるが、塗布ムラの発生はないものの、水シミを発生することが分かった。   Comparative Example 2 is an example using a fluorosurfactant having no polymerizable group, but it was found that water spots were generated although there was no coating unevenness.

Claims (9)

アルカリ可溶性樹脂(A)、重合性化合物(B)、着色剤(C)及び重合性基を有するフッ素系界面活性剤(D)を含有するカラーレジスト組成物であり、前記フッ素系界面活性剤(D)が、ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖とその両末端にラジカル重合性不飽和基を有する構造部位を有する化合物(d1)と、反応性官能基(R1)を有するラジカル重合性不飽和単量体(d2)とを必須の単量体成分として共重合させて得られる重合体(P1)に、前記官能基(R1)と反応性を有する官能基(R2)とラジカル重合性不飽和基とを有する化合物(d3)を反応させて得られるフッ素系界面活性剤(D1)、または、反応性官能基(R1)を有するラジカル重合性不飽和単量体(d2)の重合体(P2)に、ポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖とその両末端に前記反応性官能基(R1)に対して反応性を有する官能基(R2)を有する化合物(d1’)と、前記官能基(R1)に対して反応性を有する官能基(R2)とラジカル重合性不飽和基とを有する化合物(d3)とを反応させて得られるフッ素系界面活性剤(D2)であることを特徴とするカラーレジスト組成物。 Alkali-soluble resin (A), the polymerizable compound (B), a Luke color resist composition to contain a fluorine-based surfactant (D) having a colorant (C) and a polymerizable group, the fluorine-based surfactant The agent (D) comprises a compound (d1) having a poly (perfluoroalkylene ether) chain and a structural site having a radically polymerizable unsaturated group at both ends thereof, and a radically polymerizable group having a reactive functional group (R1). A polymer (P1) obtained by copolymerizing a saturated monomer (d2) as an essential monomer component is combined with a functional group (R2) having reactivity with the functional group (R1) and a radical polymerizable non-polymerizable component. Fluorine surfactant (D1) obtained by reacting a compound (d3) having a saturated group or a polymer of a radical polymerizable unsaturated monomer (d2) having a reactive functional group (R1) ( P2) and poly (perfluo) A compound (d1 ′) having a functional group (R2) having reactivity to the reactive functional group (R1) at both ends of the (alkylene ether) chain, and reactivity to the functional group (R1). A color resist composition, which is a fluorine-based surfactant (D2) obtained by reacting a functional group (R2) having a compound (d3) having a radically polymerizable unsaturated group . 前記フッ素系界面活性剤(D1)を得る際に用いるラジカル重合性不飽和単量体(d2)が有する反応性官能基(R1)が水酸基であり、かつ、前記化合物(d3)が有する官能基(R2)がイソシアネート基である請求項記載のカラーレジスト組成物。 The reactive functional group (R1) of the radical polymerizable unsaturated monomer (d2) used for obtaining the fluorosurfactant (D1) is a hydroxyl group and the functional group of the compound (d3) (R2) color resist composition according to claim 1, wherein an isocyanate group. 前記フッ素系界面活性剤(D2)を得る際に用いる重合体(P2)が有する反応性官能基(R1)がイソシアネート基であり、かつ、前記化合物(d1’)及び前記化合物(d3)が有する官能基(R2)が水酸基である請求項3記載のカラーレジスト組成物。 The reactive functional group (R1) of the polymer (P2) used when obtaining the fluorosurfactant (D2) is an isocyanate group, and the compound (d1 ′) and the compound (d3) have The color resist composition according to claim 3, wherein the functional group (R2) is a hydroxyl group. 前記フッ素系界面活性剤(Dまたはフッ素系界面活性剤(D2)の数平均分子量(Mn)が1,000〜10,000の範囲であり、かつ重量平均分子量(Mw)が2,000〜100,000の範囲である請求項1、2または3に記載のカラーレジスト組成物。 The number average molecular weight (Mn) of the fluorosurfactant (D 1 ) or fluorosurfactant (D2 ) is in the range of 1,000 to 10,000, and the weight average molecular weight (Mw) is 2,000. in the range of 100,000 claims 1, 2 or serial mounting color resist composition 3. 前記フッ素系界面活性剤(Dまたはフッ素系界面活性剤(D2)が、該界面活性剤中にフッ素原子を2〜25質量%となる割合で含有するものである請求項記載のカラーレジスト組成物。 The fluorine-based surfactant (D 1) or a fluorine-based surfactant (D2) is, the color according to claim 4, wherein in which a proportion of the 2-25 wt% of fluorine atoms in the surfactant Resist composition. 前記フッ素系界面活性剤(Dまたはフッ素系界面活性剤(D2)の構造中に含まれるポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖が、フッ素原子を1鎖あたり25〜80個含有するものである請求項1〜のいずれか1項記載のカラーレジスト組成物。 The poly (perfluoroalkylene ether) chain contained in the structure of the fluorosurfactant (D 1 ) or fluorosurfactant (D2) contains 25 to 80 fluorine atoms per chain. The color resist composition according to any one of claims 1 to 5 . 前記フッ素系界面活性剤(Dまたはフッ素系界面活性剤(D2)中のラジカル重合性不飽和基の含有量が、ラジカル重合性不飽和基当量200〜900g/eq.となる割合である請求項1〜のいずれか1項記載のカラーレジスト組成物。 The radical polymerizable unsaturated group content in the fluorosurfactant (D 1 ) or the fluorosurfactant (D2) is a radical polymerizable unsaturated group equivalent of 200 to 900 g / eq. As a ratio to form a color resist composition of any one of claims 1-6. 請求項1〜のいずれか1項記載のカラーレジスト組成物の硬化塗膜を有することを特徴とするカラーフィルター。 Color filter characterized by having a cured coating film of the color resist composition of any one of claims 1-7. バックライト、偏光板、少なくとも2枚の基板、前記基板に挟持された液晶層及び前記基板の少なくとも一部に備えられた請求項記載のカラーフィルターを有することを特徴とする液晶表示装置。 9. A liquid crystal display device comprising: a backlight, a polarizing plate, at least two substrates, a liquid crystal layer sandwiched between the substrates, and a color filter according to claim 8 provided on at least a part of the substrate.
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