JP5504692B2 - 防食剤及びその用途 - Google Patents
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Description
Cu:銅金属
MEA:モノエタノールアミン
DETA:ジエチレントリアミン
TETA:トリエチレンテトラミン
TEPA:テトラエチレンペンタミン
PEHA:ペンタエチレンヘキサミン
AEP:N−アミノエチルピペラジン
PIP:ピペラジン
γ−BL:γ−ブチロラクトン
BEE:ブトキシエトキシエタノール
DMF:N,N’−ジメチルホルムアミド
DMSO:ジメチルスルホキシド
DMI:1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン
PMDETA5重量%、TETA5重量%、MEA5重量%、BEE85重量%の液にMoをガラス上に0.1μmの膜厚でスパッタ成膜した基板を40℃で10分浸漬した。その後、水で洗浄、乾燥し、Moの膜の減少をシート抵抗から算出した。その結果、Moの膜の減少はなかった。
MEA5重量%、TETA5重量%、BEE90重量%の液にMoをガラス上にスパッタ成膜した基板を40℃で10分浸漬した。その後、水で洗浄、乾燥し、Moの膜の減少をシート抵抗から算出した。その結果、Moの膜は、8nm減少していた。
CuとMoが接触したときの腐食を測定するために、Cuをガラス上に0.2μmの膜厚でスパッタ成膜し、その上にMoを0.1μmの膜厚でスパッタ成膜した基板を40℃で、表1記載の組成の液に浸漬し、その腐食速度を測定した。結果を表1に記す。
Claims (9)
- フッ化物を含まず、且つ、N,N,N’,N’’,N’’−ペンタメチルジエチレントリアミン、及びジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミンから成る群より選ばれる少なくとも一種であるエチレンアミン類を含むモリブデン又はモリブデン合金用の防食剤。
- ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミンから成る群より選ばれる少なくとも一種であるエチレンアミン類の量がN,N,N’,N’’,N’’−ペンタメチルジエチレントリアミンに対し、重量比で20倍以下である請求項1に記載の防食剤。
- モリブデン合金がモリブデン−チタン合金又はモリブデン−タングステン合金である請求項1又は請求項2のいずれかに記載の防食剤。
- モリブデン又はモリブデン合金が、銅、銅−チタン合金、アルミニウム及びアルミニウム合金のいずれかと接触していることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の防食剤。
- モリブデン又はモリブデン合金が、フラットパネルディスプレイ用アレイ基板に使用されるものであり、電極のバリアであることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の防食剤。
- レジスト剥離液又は洗浄液に添加して用いる請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の防食剤の使用方法。
- レジスト剥離液又は洗浄液がさらに有機溶媒を含んでなる請求項6に記載の防食剤の使用方法。
- 有機溶媒が、アルコール系溶媒として、メチルアルコール、エチルアルコール、1−プロピルアルコール、2−プロピルアルコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、1,6−ヘキサンジオール、エーテル系溶媒として、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、アミド系溶媒として、ホルムアミド、N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−エチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、アセトアミド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−エチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、含硫黄系溶媒として、ジメチルスルホン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、イミダゾリジノン系溶媒として、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、1,3−ジエチル−2−イミダゾリジノン、及びラクトン系溶媒として、γ−ブチロラクトン、からなる群より選ばれる一種又は二種以上であることを特徴とする請求項7に記載の防食剤の使用方法。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載の防食剤がレジスト剥離液又は洗浄液に0.1〜80重量%含有することを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれかに記載の防食剤の使用方法。
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