JP5502407B2 - 共焦点stem像取得方法及び装置 - Google Patents
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Description
その他のこの種の装置として、暗視野走査透過電子顕微鏡(ADF−STEM)の像計算を共焦点走査透過型電子顕微鏡に応用して該共焦点走査透過型電子顕微鏡の共焦点像を得るようにして試料の深さ方向の情報を得ることができるようにした装置が知られている。
1)本発明は、スキャニングと同期させて回折像(Diffraction)をCCDカメラにより記録する。
2)CCDカメラに記録された結像系信号(Diffraction patterm)を、データ取得後で画像データとして中心位置を検知、位置補正を行なうことで、結像系スキャンを不要とする。
3)位置補正を行なったDiffractionを有するスキャン画像中から抜き出したDiffraction中心部のみから画像データとして再生することで、検出器前に置かれたピンホール型の絞りを不要とする。
4)特殊な装置を用いず、通常の装置で共焦点走査透過型電子顕微鏡像を得ることができる。
(1)請求項1記載の発明は、電子ビームで試料上を2次元走査して試料から放出される信号を検出器で検出し、該検出器で検出した信号をデジタルデータに変換して画像データとしてメモリに記憶し、メモリに記憶した画像から回折像をピクセル毎に引き出し、引き出した各回折像に対して中心位置の補正を行ない、中心位置の補正を行なった各回折像の中心位置を合わせた回折情報を有する画像セットを作成し、作成した画像セットの各回折像について像の中心部を選択して回折像からSTEM画像を再生して共焦点STEM像を得るようにしたことを特徴とする。
(1)請求項1記載の発明によれば、特殊な検出器絞りを用いず、また照射系スキャンと連動した結像系スキャンを用いることなく、通常の走査透過型電子顕微鏡において共焦点走査透過型電子顕微鏡像を得ることができる。
10 試料
20 電子プローブ
20a 透過像
20b 透過像
20c 透過像
21 CCDカメラ制御PC
22 メモリ
23 顕微鏡制御PC
Claims (2)
- 電子ビームで試料上を2次元走査して試料から放出される信号を検出器で検出し、
該検出器で検出した信号をデジタルデータに変換して画像データとしてメモリに記憶し、
メモリに記憶した画像から回折像をピクセル毎に引き出し、
引き出した各回折像に対して中心位置の補正を行ない、
中心位置の補正を行なった各回折像の中心位置を合わせた回折情報を有する画像セットを作成し、
作成した画像セットの各回折像について像の中心部を選択して回折像からSTEM画像を再生して共焦点STEM像を得る、
ようにしたことを特徴とする共焦点STEM像取得方法。 - 電子ビームで試料上を2次元走査して試料から放出される信号を検出する検出器と、
該検出器で検出した信号をデジタルデータに変換して画像データとして記憶するメモリと、
前記検出器及び前記メモリと接続され、前記検出器を制御すると共にメモリに記憶した画像を読み出して所定の演算処理を行なう演算制御手段と、
を具備し、
前記演算制御手段は、
メモリに記憶した画像から回折像をピクセル毎に引き出し、
引き出した各回折像に対して中心位置の補正を行ない、
中心位置の補正を行なった各回折像の中心位置を合わせた回折情報を有する画像セットを作成し、
作成した画像セットの各回折像について像の中心部を選択して回折像からSTEM画像を再生して共焦点STEM像を得る、
ように構成したことを特徴とする共焦点STEM像取得装置。
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