JP5498678B2 - シリコンウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
5nmから60nm程度である。この酸化膜は特別付与したままの状態である要求がない限りは、熱処理完了後に除去することが一般的であり、例えば濃度0.1%以上フッ酸溶液に浸漬する方法でその作業が行われる。従って、この酸化膜はできれば薄いほうが、酸化膜除去工程の短縮とその後の面荒れの抑制という点では好ましいといえる。
Claims (2)
- チョクラルスキー法で製造されたシリコンウェーハに対して不活性雰囲気下で1150℃以上1250℃以下の温度領域にて1分以上120分以下の時間保持する第1の工程と、
引き続き不活性雰囲気下で500℃以上700℃未満の温度領域まで降温する第2の工程と、
前記降温完了後に酸素体積比率1%以上10%以下の酸化性雰囲気に変更して1100℃以上1200℃以下の温度まで昇温する第3の工程と、
前記昇温完了後、酸素体積比率0.1%以上1.0%以下の酸化性雰囲気に変更して降温する第4の工程からなることを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。 - 前記第4の工程において、前記昇温完了後、一定温度に保持することなく降温することを特徴とする請求項1記載のシリコンウェーハの製造方法。
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