JP5496955B2 - ウェーハについての不均一性の定量化および有意性の図解化のためのユーザインタフェース - Google Patents
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Description
本発明は、次の添付図面と併せて、以下の説明を参照することで最も良く理解されよう。
Claims (6)
- ウェーハ測定データを解析するためのグラフィカルユーザインタフェースを提供するためのプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能媒体であって、前記プログラムは、
解析の対象となるウェーハのエリアをグラフィカルに選択するための空間操作部を提供する機能と、
ウェーハコレクション内の第1のウェーハについての第1のウェーハ測定データセットを選択するための操作部を提供する機能と、前記第1のウェーハは前記ウェーハコレクションの基本測定部位パターンデータを決定し、
前記ウェーハコレクション内の第2のウェーハについての第2のウェーハ測定データセットを選択するための操作部を提供する機能と、
前記基本測定部位パターンデータと一致させるために、前記第2のウェーハ測定データセットを補間する機能と、
前記空間操作部により選択された前記ウェーハのエリア内における前記第1および第2のウェーハ測定データセットの範囲内のデータ値についてのウェーハデータの演算結果セットを生成する数学演算を、前記空間操作部により選択された前記ウェーハのエリア内における同一の空間的位置を有する前記第1のウェーハ測定データセットおよび前記第2のウェーハ測定データセットについて前記第1のウェーハ測定データセットのデータ値および前記第2のウェーハ測定データセットの前記補間されたデータ値との間で実行するための操作部を提供する機能と、
ウェーハデータの前記演算結果セットを表示する機能とを、コンピュータによって実現させる、コンピュータ読み取り可能媒体。 - 請求項1記載のウェーハ測定データを解析するためのグラフィカルユーザインタフェースを提供するためのプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能媒体はさらに、前記第1のウェーハ測定データセットおよび前記第2のウェーハ測定データセットの少なくとも一方から特定のウェーハ測定データを除去するための部分集合選択制御部を提供する機能をコンピュータによって実現させる、コンピュータ読み取り可能媒体。
- 請求項1記載のウェーハ測定データを解析するためのグラフィカルユーザインタフェースを提供するためのプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能媒体であって、ウェーハデータの前記演算結果セットの表示には、ウェーハマップの表示を含み、前記ウェーハマップは、ウェーハ表面上の位置の関数として、ウェーハデータの前記演算結果セットを図示し、ウェーハデータの前記演算結果セットにおける大小は、カラースケールおよびモノクロスケールの一方を用いて図示される、コンピュータ読み取り可能媒体。
- ウェーハ測定データを解析するためのグラフィカルユーザインタフェースを提供するための方法であって、
解析の対象となるウェーハのエリアをグラフィカルに選択するための空間操作部を提供し、
ウェーハコレクションの第1のウェーハについての第1のウェーハ測定データセットを選択するための操作部を提供し、前記第1のウェーハは前記ウェーハコレクションの基本測定部位パターンデータを決定し、
前記ウェーハコレクションの第2のウェーハについての第2のウェーハ測定データセットを選択するための操作部を提供し、
前記基本測定部位パターンデータと一致させるために、前記第2のウェーハ測定データセットを補間するための操作部を提供し、
前記空間操作部により選択された前記ウェーハのエリア内における前記第1および第2のウェーハ測定データセットの範囲内のデータ値についてのウェーハデータの演算結果セットを生成する数学演算を、前記空間操作部により選択された前記ウェーハのエリア内における同一の空間的位置を有する前記第1のウェーハ測定データセットおよび前記第2のウェーハ測定データセットについて前記第1のウェーハ測定データセットのデータ値および前記第2のウェーハ測定データセットの前記補間されたデータ値との間で実行するための操作部を提供し、
ウェーハデータの前記演算結果セットを表示する、方法。 - 請求項4記載のウェーハ測定データを解析するためのグラフィカルユーザインタフェースを提供するための方法はさらに、前記第1のウェーハ測定データセットおよび前記第2のウェーハ測定データセットの少なくとも一方から特定のウェーハ測定データを除去するための部分集合選択制御部を提供する、方法。
- 請求項4記載のウェーハ測定データを解析するためのグラフィカルユーザインタフェースを提供するための方法であって、ウェーハデータの前記演算結果セットの表示には、ウェーハマップの表示を含み、前記ウェーハマップは、ウェーハ表面上の位置の関数として、ウェーハデータの前記演算結果セットを図示し、ウェーハデータの前記演算結果セットにおける大小は、カラースケールおよびモノクロスケールの一方を用いて図示される方法。
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