JP5494914B2 - Adhesive sheet and multilayer printed circuit board obtained using the adhesive sheet - Google Patents
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Description
本発明は、接着シート、及び当該接着シートを使用して得られる多層プリント基板に関する。 The present invention relates to an adhesive sheet and a multilayer printed board obtained using the adhesive sheet.
モバイル型パソコン、携帯電話、ICカード等の携帯可能な電子機器の普及が急速に進むにつれ、ポリイミドフィルムを用いて得られるFPC(フレキシブルプリント基板)やCOF(チップ・オン・フィルム)などの用途では、電子基板の高密度化、多層化が進み、絶縁層の寸法安定性がますます求められるようになってきている。 As portable electronic devices such as mobile PCs, mobile phones, and IC cards rapidly spread, in applications such as FPC (flexible printed circuit board) and COF (chip-on-film) obtained using polyimide film As the density of electronic substrates increases and the number of layers increases, the dimensional stability of the insulating layer is increasingly required.
また、ICを搭載する多層プリント基板の分野では、一般にエポキシ接着フィルムが層間絶縁材料として使用されているが、当該分野でも高密度化が進むにつれ、層間絶縁層に耐熱性と低熱膨張性が求められるようになってきている。 In addition, in the field of multilayer printed circuit boards on which ICs are mounted, epoxy adhesive films are generally used as interlayer insulating materials. However, as density increases in this field, interlayer insulating layers are required to have heat resistance and low thermal expansion. It is getting to be.
このようなニーズに対し、低熱膨張性と剛性に優れた層間絶縁層接着フィルムとして、エポキシ系接着フィルムが提案されている(特許文献1及び2参照)。しかしながら、当該接着フィルムを用いても、低熱膨張性は十分とは言えず、特に高温環境下においては高い熱膨張を示すことから高密度化したプリント配線板ではその効果は十分とは言えなかった。 In response to such needs, an epoxy adhesive film has been proposed as an interlayer insulating layer adhesive film excellent in low thermal expansion and rigidity (see Patent Documents 1 and 2). However, even if the adhesive film is used, it cannot be said that the low thermal expansion property is sufficient, and the effect is not sufficient in a printed wiring board having a high density because it exhibits high thermal expansion particularly in a high temperature environment. .
一方、ポリイミドフィルムと接着剤層からなる2層の接着シートが提案されている(特許文献3参照)が、この場合にもICに用いられるシリコンウエハ(熱膨張係数3〜4ppm)と接着シートの熱膨張係数の差のために、低熱膨張性においては満足できるものではなかった。 On the other hand, a two-layer adhesive sheet composed of a polyimide film and an adhesive layer has been proposed (see Patent Document 3). In this case as well, a silicon wafer (thermal expansion coefficient 3 to 4 ppm) used for an IC and an adhesive sheet are used. Due to the difference in thermal expansion coefficients, the low thermal expansion was not satisfactory.
今後、これらの精密プリント基板においては、層数がますます増加すると推定され、加熱−冷却が繰り返される環境下での、耐熱性の確保、低熱膨張性が強く求められている。 In the future, in these precision printed circuit boards, it is estimated that the number of layers will increase, and there is a strong demand for ensuring heat resistance and low thermal expansion in an environment where heating and cooling are repeated.
本発明は、密着性、耐熱性、低熱膨張性を有する接着シート及び当該接着シートを用いて得られる高密度の多層プリント基板を提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the adhesive sheet which has adhesiveness, heat resistance, and low thermal expansibility, and the high-density multilayer printed circuit board obtained using the said adhesive sheet.
本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、特定の貯蔵弾性率を有するポリイミドフィルム上に特定の貯蔵弾性率を有するエポキシ樹脂接着剤硬化膜層を用いることにより、前記課題を解決し得ることを見出した。 As a result of intensive studies, the present inventors can solve the above problems by using an epoxy resin adhesive cured film layer having a specific storage elastic modulus on a polyimide film having a specific storage elastic modulus. I found.
すなわち、本発明は、150℃での貯蔵弾性率が2〜10GPaで、熱膨張係数が0〜6ppmのポリイミドフィルム(1)上に、150℃での貯蔵弾性率が2.0MPa〜0.2GPaであるエポキシ樹脂接着剤硬化膜層(2)が設けられた、熱膨張係数が10ppm以下の接着シート;当該接着シートに、無電解メッキ処理することにより得られる多層プリント基板に関する That is, the present invention has a storage elastic modulus at 150 ° C. of 2.0 MPa to 0.2 GPa on a polyimide film (1) having a storage elastic modulus of 2 to 10 GPa at 150 ° C. and a thermal expansion coefficient of 0 to 6 ppm. An adhesive sheet having a thermal expansion coefficient of 10 ppm or less, provided with an epoxy resin adhesive cured film layer (2), and a multilayer printed board obtained by subjecting the adhesive sheet to electroless plating
本発明によれば、密着性、耐熱性、低熱膨張性(特に高温環境下での低熱膨張性)を有し、多層化が可能な接着シートを得ることができる。また、本発明の接着シートはハロゲン系難燃剤を用いたり、原料としてハロゲンを有する化合物を用いたりしない場合であってもUL規格による難燃性VTM−0とすることができる。 According to the present invention, it is possible to obtain an adhesive sheet that has adhesion, heat resistance, and low thermal expansion (particularly low thermal expansion under a high temperature environment) and can be multilayered. Further, the adhesive sheet of the present invention can be made flame retardant VTM-0 according to UL standards even when a halogen-based flame retardant is used or a halogen-containing compound is not used as a raw material.
本発明の接着シートは、150℃での貯蔵弾性率が2〜10GPaで、熱膨張係数が0〜6ppmのポリイミドフィルム(1)上に、150℃での貯蔵弾性率が2.0MPa〜0.2GPaであるエポキシ樹脂接着剤硬化膜層(2)が設けられたものであり、熱膨張係数が10ppm以下のものである。 The adhesive sheet of the present invention has a storage elastic modulus at 150 ° C. of 2.0 MPa to 0.00 on a polyimide film (1) having a storage elastic modulus of 2 to 10 GPa at 150 ° C. and a thermal expansion coefficient of 0 to 6 ppm. The epoxy resin adhesive cured film layer (2) of 2 GPa is provided, and the thermal expansion coefficient is 10 ppm or less.
本発明に用いるポリイミドフィルム(1)としては、貯蔵弾性率が2〜10GPaで熱膨張係数が0〜6ppmの条件を満たす非熱可塑性ポリイミドフィルムであれば特に制限はなく、従来公知のポリイミドフィルムをそのまま使用することができる。熱膨張係数が6を超える場合には、層間絶縁材として十分な低熱膨張性が得られない点で好ましくない。また、弾性率が2GPa未満の場合には、ブロッキングする恐れがある点で好ましくなく、10GPaを超える場合には、柔軟性が失われ、クラックが生じる恐れがある点で好ましくない。ここで貯蔵弾性率とは、フィルム膜厚25μmのポリイミドフィルムを動的粘弾性測定装置(チャック間距離:10mm、試片の幅:5mm、周波数:10Hz)で測定した時の150℃での貯蔵弾性率の値であり、熱膨張係数とは熱機械分析装置(チャック間距離:20mm、試片の幅:4mm、荷重:10mg、昇温レート:10℃/minの引張モード)を用いて測定した100℃〜200℃の値を意味する。 The polyimide film (1) used in the present invention is not particularly limited as long as it is a non-thermoplastic polyimide film satisfying the conditions of a storage elastic modulus of 2 to 10 GPa and a thermal expansion coefficient of 0 to 6 ppm, and a conventionally known polyimide film is used. It can be used as it is. When the thermal expansion coefficient exceeds 6, it is not preferable in that a low thermal expansion sufficient for an interlayer insulating material cannot be obtained. Further, when the elastic modulus is less than 2 GPa, it is not preferable in that it may be blocked, and when it exceeds 10 GPa, it is not preferable because flexibility is lost and cracks may occur. Here, the storage elastic modulus is a storage at 150 ° C. when a polyimide film having a film thickness of 25 μm is measured with a dynamic viscoelasticity measuring device (distance between chucks: 10 mm, specimen width: 5 mm, frequency: 10 Hz). It is a value of elastic modulus, and the coefficient of thermal expansion is measured using a thermomechanical analyzer (distance between chucks: 20 mm, specimen width: 4 mm, load: 10 mg, temperature rising rate: 10 ° C./min tensile mode). Means a value between 100 ° C and 200 ° C.
このようなポリイミドフィルムの作製方法としては、たとえば、特開平5−70590号公報、特開2000−119419号公報、特開2007−56198号公報、特開2005−68408号公報等に記載の従来公知の方法が挙げられる。また市販のポリイミドフィルムとしては、東洋紡績(株)製のXENOMAX、荒川化学工業(株)製のポミランTなどを挙げることができる。 As a method for producing such a polyimide film, for example, conventionally known methods described in JP-A-5-70590, JP-A-2000-119419, JP-A-2007-56198, JP-A-2005-68408, and the like. The method is mentioned. Moreover, as a commercially available polyimide film, Toyobo Co., Ltd. XENOMAX, Arakawa Chemical Industries Co., Ltd. Pomilan T, etc. can be mentioned.
上記ポリイミドフィルムの中でも、多層化の際のエポキシ樹脂接着剤硬化膜層(2)との密着性やメッキ、スパッターなど金属化が容易となること、寸法安定性が良好なことから、ブロック共重合ポリイミド−シリカハイブリッドフィルム(市販品としては、たとえば、荒川化学工業(株)製 商品名 ポミランT)が最も好ましい。 Among the polyimide films mentioned above, block copolymerization is possible due to the adhesion to the cured epoxy resin adhesive film layer (2) during multilayering, metallization such as plating and sputtering, and dimensional stability. A polyimide-silica hybrid film (as a commercial product, for example, trade name Pomilan T manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.) is most preferable.
前記のブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッドフィルムは、特開2005−68408号公報の方法によって、アルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸を熱硬化してできる。アルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸(b)(以下、(b)成分という)は、たとえば、テトラカルボン酸二無水物、ジアミンを反応させて得られるポリアミック酸とエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物を反応させて得られるポリアミック酸(a)(以下、(a)成分という)に、別途、テトラカルボン酸二無水物及びジアミン類を反応させることにより得られるポリアミック酸を混合し、縮合させることにより得られる。(a)成分のセグメントはアルコキシシラン部分縮合物を側鎖に持ち、ゾル−ゲル反応によってシリカを形成する。また別途、テトラカルボン酸二無水物及びジアミン類を反応させることにより得られるポリアミック酸のセグメントは、シリカを有さず、ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッドフィルムの高弾性率、低熱膨張性の発現に寄与する。 The block copolymer polyimide-silica hybrid film can be obtained by thermally curing an alkoxy group-containing silane-modified block copolymer polyamic acid by the method of JP-A-2005-68408. The alkoxy group-containing silane-modified block copolymer type polyamic acid (b) (hereinafter referred to as component (b)) is, for example, a polyamic acid obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride and diamine with an epoxy group-containing alkoxysilane moiety. Separately, polyamic acid (a) obtained by reacting the condensate (hereinafter referred to as component (a)) is mixed with polyamic acid obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride and diamine, and condensed. Can be obtained. The segment of component (a) has an alkoxysilane partial condensate in the side chain and forms silica by a sol-gel reaction. Separately, the segment of polyamic acid obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride and diamine does not have silica, and exhibits high elastic modulus and low thermal expansion of block copolymer type polyimide-silica hybrid film. Contribute to.
この時、ポリアミック酸を構成するテトラカルボン酸二無水物とジアミンは、ポリイミドフィルムの弾性率が2〜10GPa、熱膨張係数が0〜6ppmとなるようにそれらの種類と使用量を調整すれば、従来公知のものを使用することが可能である。 At this time, if the tetracarboxylic dianhydride and diamine constituting the polyamic acid are adjusted in their kind and amount so that the elastic modulus of the polyimide film is 2 to 10 GPa and the thermal expansion coefficient is 0 to 6 ppm, Conventionally known ones can be used.
(a)成分及び(b)成分の調製に用いるテトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、1,2,3,4−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,3’,4,4’−テトラカルボキシフェニル)テトラフルオロプロパン二無水物、2,2’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシフェニル)スルホン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸、2,3,5−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物などを例示できる。 Examples of the tetracarboxylic dianhydride used for the preparation of the component (a) and the component (b) include pyromellitic dianhydride, 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic dianhydride, 1,4 , 5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3 , 3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride Anhydride, 2, , 3 ′, 4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenyl sulfone tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-diphenyl sulfone tetracarboxylic dianhydride Anhydride, 2,2-bis (3,3 ′, 4,4′-tetracarboxyphenyl) tetrafluoropropane dianhydride, 2,2′-bis (3,4-dicarboxyphenoxyphenyl) sulfone dianhydride 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, butane- Examples thereof include 1,2,3,4-tetracarboxylic acid and 2,3,5-tricarboxycyclopentylacetic acid dianhydride.
また(a)成分及び(b)成分の調製に用いるジアミン類としては、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジ(m−アミノフェノキシ)ジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、1,4−ジアミノベンゼン、2,5−ジアミノトルエン、イソホロンジアミン、4−(2−アミノフェノキシ)−1,3−ジアミノベンゼン、4−(4−アミノフェノキシ)−1,3−ジアミノベンゼン、2−アミノ−4−(4−アミノフェニル)チアゾール、2−アミノ−4−フェニル−5−(4−アミノフェニル)チアゾール、ベンジジン、3,3’,5,5’−テトラメチルベンジジン、オクタフルオロベンジジン、o−トリジン、m−トリジン、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、1,2−ビス(アニリノ)エタン、2,2−ビス(p−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(p−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,6−ジアミノナフタレン、ジアミノベンゾトリフルオライド、1,4−ビス(p−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(p−アミノフェノキシ)ビフェニル、ジアミノアントラキノン、1,3−ビス(アニリノ)ヘキサフルオロプロパン、1,4−ビス(アニリノ)オクタフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(p−アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパンなどを例示できる。これらのジアミン類の中でも、特にp−フェニレンジアミンが熱膨張係数を低下させるのに有効であることから、(b)成分中に含まれるジアミンの60〜100モル%程度をp−フェニレンジアミンとすることが好ましい。 The diamines used for the preparation of component (a) and component (b) include 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminophenylmethane, and 3,3′-dimethyl. -4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-di (m-aminophenoxy) diphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 1,4-diaminobenzene, 2 , 5-diaminotoluene, isophoronediamine, 4- (2-aminophenoxy) -1,3-diaminobenzene, 4- (4-aminophenoxy) -1,3-diaminobenzene, 2-amino-4- (4- Aminophenyl) thiazole, 2-amino-4-phenyl-5- (4-aminophenyl) thiazole, benzi 3,3 ′, 5,5′-tetramethylbenzidine, octafluorobenzidine, o-tolidine, m-tolidine, p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 1,2-bis (anilino) ethane, 2, 2-bis (p-aminophenyl) propane, 2,2-bis (p-aminophenyl) hexafluoropropane, 2,6-diaminonaphthalene, diaminobenzotrifluoride, 1,4-bis (p-aminophenoxy) benzene 4,4′-bis (p-aminophenoxy) biphenyl, diaminoanthraquinone, 1,3-bis (anilino) hexafluoropropane, 1,4-bis (anilino) octafluoropropane, 2,2-bis [4- (P-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane and the like can be exemplified. Among these diamines, p-phenylenediamine is particularly effective for lowering the thermal expansion coefficient, so about 60 to 100 mol% of the diamine contained in component (b) is p-phenylenediamine. It is preferable.
(a)成分の原料となるポリアミック酸の製造は、生成するポリアミック酸及び後述するエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物を溶解する有機溶剤中で、ポリイミド換算固形残分5〜60%で製造することが好ましい。ここでポリイミド換算固形残分とは、ポリアミック酸が完全にポリイミドに硬化した時の、ポリアミック酸溶液に対するポリイミドの重量%を表す。ポリイミド換算固形残分が5%未満では、ポリアミック酸溶液の製造コストが高くなる。一方、60%を超えると、ポリアミック酸溶液が室温で高粘度となるためハンドリングが悪くなる傾向がある。用いる有機溶剤としては、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドン、フェノール、o−、m−、又はp−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコール、ヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトン等の有機極性溶剤を挙げることができ、これらを単独又は混合物として用いるのが好ましいが、更にキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素を前記極性溶剤と併用できる。これらの中では、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンを単独又は混合物として用いるのが好ましい。 (A) Manufacture of the polyamic acid used as the raw material of the component is to be manufactured at a polyimide-converted solid residue of 5 to 60% in an organic solvent that dissolves the generated polyamic acid and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate described later. Is preferred. Here, the polyimide-converted solid residue represents the weight percent of the polyimide with respect to the polyamic acid solution when the polyamic acid is completely cured into polyimide. If the polyimide conversion solid residue is less than 5%, the production cost of the polyamic acid solution is increased. On the other hand, when it exceeds 60%, the polyamic acid solution has a high viscosity at room temperature, so that the handling tends to be poor. Examples of the organic solvent to be used include dimethyl sulfoxide, diethyl sulfoxide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, Organic polar solvents such as N-vinyl-2-pyrrolidone, phenol, o-, m-, or p-cresol, xylenol, halogenated phenol, catechol, hexamethylphosphoramide, γ-butyrolactone, and the like. Are preferably used alone or as a mixture, but aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene can be used in combination with the polar solvent. Among these, dimethyl sulfoxide, diethyl sulfoxide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N-vinyl It is preferred to use 2-pyrrolidone alone or as a mixture.
反応温度は、アミド酸基が残存する温度であれば特に限定されないが、−20〜80℃程度に調整するのが好ましい。−20℃未満の製造は反応速度が遅くなり、長時間を必要とするため不経済であるし、80℃を超えるとポリアミック酸中のアミド酸基がイミド基に閉環する割合が増え、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物との反応点が減少する傾向があるため好ましくない。 The reaction temperature is not particularly limited as long as the amic acid group remains, but is preferably adjusted to about -20 to 80 ° C. Production below −20 ° C. is uneconomical because the reaction rate is slow and requires a long time, and when it exceeds 80 ° C., the ratio of the amide group in the polyamic acid ring-closing to the imide group increases, and the epoxy group The reaction point with the contained alkoxysilane partial condensate tends to decrease, which is not preferable.
(a)成分を調製する際に用いられるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物は、たとえば、1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物とアルコキシシラン部分縮合物との脱アルコール反応によって得られる。エポキシ化合物としては、1分子中に水酸基を1つ有するエポキシ化合物であれば、エポキシ基の数は特に限定されない。また、エポキシ化合物としては、分子量が小さいもの程、アルコキシシラン部分縮合物に対する相溶性がよく、耐熱性や密着性付与効果が高いことから、炭素数が15以下のものが好適であり、特に、グリシドールや、エポキシアルコール等を用いることが好ましい。なお、これらは、日本油脂(株)製、商品名「エピオールOH」、やクラレ(株)製、商品名「EOA」などを用いてもよい。 The epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate used when preparing the component (a) is obtained, for example, by a dealcoholization reaction between an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule and an alkoxysilane partial condensate. The number of epoxy groups is not particularly limited as long as the epoxy compound is an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule. In addition, as the epoxy compound, the smaller the molecular weight, the better the compatibility with the alkoxysilane partial condensate, and the higher the heat resistance and adhesion imparting effect. It is preferable to use glycidol or epoxy alcohol. In addition, you may use the product name "Epiol OH" by Nippon Oil & Fats Co., Ltd., the product name "EOA" by Kuraray Co., Ltd., etc.
アルコキシシラン部分縮合物としては、一般式(2):R1 mSi(OR2)(4-m)(式中、R1は炭素数8以下のアルキル基又はアリール基、R2は炭素数4以下のアルキル基、mは0又は1の整数を示す。)で表される加水分解性アルコキシシランモノマーを、酸又は塩基触媒、及び水の存在下で加水分解し、部分的に縮合させて得られるものが用いられる。 As the alkoxysilane partial condensate, general formula (2): R 1 m Si (OR 2 ) (4-m) (wherein R 1 is an alkyl group or aryl group having 8 or less carbon atoms, and R 2 is carbon number) A hydrolyzable alkoxysilane monomer represented by an alkyl group of 4 or less, m is an integer of 0 or 1, and is partially condensed by hydrolysis in the presence of an acid or base catalyst and water. What is obtained is used.
アルコキシシラン部分縮合物の構成原料である加水分解性アルコキシシランモノマーの具体的としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン等のテトラアルコキシシラン類、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、n−プロピルトリメトキシシラン、n−プロピルトリエトキシシラン、イソプロピルトリメトキシシラン、イソプロピルトリエトキシシラン等のトリアルコキシシラン類などがあげられる。これらのなかでは、特に、1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物との反応性が高いことから、アルコキシシラン部分縮合物としてはテトラメトキシシラン又はメチルトリメトキシシランを70モル%以上用いて合成されたものが好ましい。 Specific examples of the hydrolyzable alkoxysilane monomer that is a constituent raw material of the alkoxysilane partial condensate include tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane, tetraisopropoxysilane, methyltrimethoxysilane, Such as methyltriethoxysilane, methyltripropoxysilane, methyltributoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, n-propyltrimethoxysilane, n-propyltriethoxysilane, isopropyltrimethoxysilane, isopropyltriethoxysilane And trialkoxysilanes. Among these, since the reactivity with an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule is particularly high, the alkoxysilane partial condensate is synthesized using tetramethoxysilane or methyltrimethoxysilane in an amount of 70 mol% or more. The ones made are preferred.
なお、これらアルコキシシラン部分縮合物としては、前記例示のものを特に限定なく使用出来るが、これら例示物のうちの2種以上を混合使用する場合には、アルコキシシラン部分縮合物の総量中でテトラメトキシシラン部分縮合物又はメチルトリメトキシシラン部分縮合物を70重量%以上用いることが好ましい。 In addition, as these alkoxysilane partial condensates, those exemplified above can be used without any particular limitation. However, when two or more of these examples are mixed and used, tetraalkoxysilane in the total amount of the alkoxysilane partial condensate is used. It is preferable to use 70% by weight or more of a methoxysilane partial condensate or a methyltrimethoxysilane partial condensate.
当該アルコキシシラン部分縮合物の数平均分子量は、230〜2000程度、1分子中のSiの平均個数は2〜11程度であることが好ましい。 The number average molecular weight of the alkoxysilane partial condensate is preferably about 230 to 2000, and the average number of Si in one molecule is preferably about 2 to 11.
エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物は、1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物とアルコキシシラン部分縮合物を脱アルコール反応させることにより得られる。エポキシ化合物とアルコキシシラン部分縮合物との使用割合は、アルコキシ基が実質的に残存するような割合であれば特に制限されないが、得られるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物中のエポキシ基の割合が、通常は、1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物の水酸基の当量/アルコキシシラン部分縮合物のアルコキシ基の当量=0.01/1〜0.3/1程度となる仕込み比率で、アルコキシシラン縮合物と1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物を脱アルコール反応させることが好ましい。前記仕込み比率が少なくなるとエポキシ変性されていないアルコキシシラン部分縮合物の割合が増加し、ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッドフィルムが不透明化する傾向があるため、前記仕込み比率は、0.03以上/1程度とするのがより好ましい。 The epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate is obtained by dealcoholizing an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule and an alkoxysilane partial condensate. The use ratio of the epoxy compound and the alkoxysilane partial condensate is not particularly limited as long as the alkoxy group substantially remains, but the ratio of the epoxy group in the obtained epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate is not limited. Usually, the equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule / the equivalent of the alkoxy group of the alkoxysilane partial condensate = the charge ratio of about 0.01 / 1 to 0.3 / 1, the alkoxy It is preferable to subject the silane condensate and an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule to a dealcoholization reaction. Since the ratio of the alkoxysilane partial condensate which is not epoxy-modified increases and the block copolymerization type polyimide-silica hybrid film tends to become opaque when the charging ratio decreases, the charging ratio is 0.03 or more / More preferably, it is about 1.
アルコキシシラン部分縮合物と1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物の反応は、たとえば、前記各成分を仕込み、加熱して生成するアルコールを留去しながら、脱アルコール反応を行う。反応温度は50〜150℃程度、好ましくは70〜110℃であり、全反応時間は1〜15時間程度である。 In the reaction of the alkoxysilane partial condensate and the epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule, for example, the above-described components are charged and the alcohol is generated by distilling off the alcohol produced by heating. The reaction temperature is about 50 to 150 ° C., preferably 70 to 110 ° C., and the total reaction time is about 1 to 15 hours.
(a)成分は、前記ポリアミック酸と前記エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物とを反応させて得られる。ポリアミック酸とエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物の使用割合は、特に制限されないが、(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物のエポキシ基の当量/ポリアミック酸に使用したテトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)が0.01〜0.6の範囲とするのが好ましい。上記数値が0.01未満であると本発明の効果が得られにくく、0.6を超えるとポリイミド−シリカハイブリッドフィルムが不透明になる傾向があるため好ましくない。 The component (a) is obtained by reacting the polyamic acid with the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate. The use ratio of the polyamic acid and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate is not particularly limited. (Equivalent of epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate / tetracarboxylic dianhydride (A) used for polyamic acid) Is preferably in the range of 0.01 to 0.6. If the above numerical value is less than 0.01, it is difficult to obtain the effect of the present invention, and if it exceeds 0.6, the polyimide-silica hybrid film tends to be opaque, which is not preferable.
(b)成分は、(a)成分に前記テトラカルボン酸二無水物及びジアミン類を反応させることにより得られる。なお、(b)成分を調製する際に用いるテトラカルボン酸二無水物及びジアミン類は(a)成分を調製する際に用いたものと異なるものとすることが好ましい。(b)成分を得るための反応条件は、(a)成分の調製の際の条件と同様にすればよい。(b)成分の分子量は特に限定されないが、数平均分子量(ゲルパーメーションクロマトグラフィー法によるポリスチレン換算値)が10000〜1000000程度であることが好ましい。 The component (b) is obtained by reacting the component (a) with the tetracarboxylic dianhydride and diamine. In addition, it is preferable that the tetracarboxylic dianhydride and diamine used when preparing (b) component differ from what was used when preparing (a) component. The reaction conditions for obtaining the component (b) may be the same as the conditions for preparing the component (a). Although the molecular weight of (b) component is not specifically limited, It is preferable that a number average molecular weight (The polystyrene conversion value by a gel permeation chromatography method) is about 10,000-1 million.
前記(b)成分からポリイミドフィルム(1)を製造する方法としては、特開平5−70590号公報、特開2000−119419号公報、特開2007−56198号公報、特開2005−68408号公報等に記載の公知の方法を採用することができるが、生産性及び低熱膨張性を得る観点から、触媒を用いた硬化方法を用いるのが好ましい。具体的には、たとえば、特開平5−70590号公報に記載のように、上記ポリアミック酸重合体又はその溶液に化学量論以上の脱水剤と触媒量の第3級アミンを加えた溶液をエンドレスベルト上に流延又は塗布して膜状とし、その膜を150℃以下の温度で約5〜90分間乾燥し、自己支持性のポリアミック酸の膜を得、ついで、これを支持体より引き剥がし端部を固定させた後、約100〜500℃まで徐々に加熱することによりイミド化させ、冷却後ドラム又はエンドレスベルトより取り外し、本発明のポリイミドフィルムを得る方法を採用できる。ここで言う脱水剤としては、例えば無水酢酸等の脂肪族酸無水物、無水安息香酸等の芳香族酸無水物などが挙げられる。また触媒としては、例えばトリエチルアミンなどの脂肪族第3級アミン類、ジメチルアニリン等の芳香族第3級アミン類、ピリジン、ピコリン、イソキノリン等の複素環式第3級アミン類などが挙げられる。 As a method for producing the polyimide film (1) from the component (b), JP-A-5-70590, JP-A-2000-119419, JP-A-2007-56198, JP-A-2005-68408, etc. However, from the viewpoint of obtaining productivity and low thermal expansion, it is preferable to use a curing method using a catalyst. Specifically, for example, as described in JP-A-5-70590, a solution obtained by adding a dehydrating agent of a stoichiometric amount or more and a catalytic amount of a tertiary amine to the polyamic acid polymer or a solution thereof is endless. The film is cast or coated on a belt to form a film, and the film is dried at a temperature of 150 ° C. or lower for about 5 to 90 minutes to obtain a self-supporting polyamic acid film, which is then peeled off from the support. After fixing an edge part, it is made to imidize by gradually heating to about 100-500 degreeC, It removes from a drum or an endless belt after cooling, and the method of obtaining the polyimide film of this invention is employable. Examples of the dehydrating agent herein include aliphatic acid anhydrides such as acetic anhydride and aromatic acid anhydrides such as benzoic anhydride. Examples of the catalyst include aliphatic tertiary amines such as triethylamine, aromatic tertiary amines such as dimethylaniline, and heterocyclic tertiary amines such as pyridine, picoline, and isoquinoline.
本発明の接着シートに用いるエポキシ接着剤硬化膜層としては、エポキシ樹脂組成物層のみから得られる硬化膜で、150℃での貯蔵弾性率が2.0MPa〜0.2GPaとなることが必要である。尚、貯蔵弾性率を測定する際に用いるエポキシ樹脂層のみからなる硬化膜は、シリコーン処理を施したセパレートPETフィルム(帝人デュポンフィルム(株)製
商品名ピューレックス膜厚25μm)上に、エポキシ接着剤硬化膜層の基となる接着剤組成物を硬化膜厚が25μmになるように塗布して、140℃で3分間乾燥後、50mm×70mmの金具に固定、190℃で60分間、オーブンで硬化させることにより得られる。また弾性率の測定方法は、上記のポリイミドフィルムの測定方法と同じである。
The epoxy adhesive cured film layer used in the adhesive sheet of the present invention is a cured film obtained only from the epoxy resin composition layer, and the storage elastic modulus at 150 ° C. needs to be 2.0 MPa to 0.2 GPa. is there. In addition, the cured film which consists only of the epoxy resin layer used when measuring storage elastic modulus is epoxy-bonded on a separate PET film (trade name: Purex film thickness 25 μm, manufactured by Teijin DuPont Films, Ltd.) subjected to silicone treatment. The adhesive composition used as the base of the cured agent film layer is applied so that the cured film thickness is 25 μm, dried at 140 ° C. for 3 minutes, fixed to a 50 mm × 70 mm metal fitting, and at 190 ° C. for 60 minutes in an oven. It is obtained by curing. Moreover, the measuring method of an elasticity modulus is the same as the measuring method of said polyimide film.
本発明の接着剤組成物は、通常、エポキシ樹脂(A)(以下、(A)成分という)、エポキシ用硬化剤(B)(以下、(B)成分という)、エラストマー(C)(以下、(C)成分という)及び難燃剤(D)(以下、(D)成分という)を含有するものである。 The adhesive composition of the present invention usually comprises an epoxy resin (A) (hereinafter referred to as component (A)), an epoxy curing agent (B) (hereinafter referred to as component (B)), an elastomer (C) (hereinafter referred to as component (A)). (Referred to as component (C)) and flame retardant (D) (hereinafter referred to as component (D)).
(A)成分としては、特に限定されず、従来公知のエポキシ樹脂を用いることができる。ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂などが例示でき、複数の種類のエポキシ樹脂を混合して用いても構わない。これらのエポキシ樹脂の分子量としては、300以上、2000未満のものが回路への浸み込み性が良く、特に好ましい。 (A) It does not specifically limit as a component, A conventionally well-known epoxy resin can be used. Bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin and the like can be exemplified, and a plurality of types of epoxy resins may be mixed and used. As the molecular weight of these epoxy resins, those having a molecular weight of 300 or more and less than 2000 are particularly preferable because they have good penetration into the circuit.
なお、(A)成分として、特開2001−59013号公報記載のアルコキシ基含有シラン変性エポキシ樹脂を一部併用すると、半硬化状態でのエポキシ接着剤硬化膜層の表面タックが軽減し、また回路を形成する銅との密着性が向上するため更に好ましい。(A)成分に対するアルコキシ基含有シラン変性エポキシ樹脂の使用割合としては、0.5〜50重量%程度とするのが良い。50重量%を超えると回路への浸み込み性が悪化する傾向がある。 When the alkoxy group-containing silane-modified epoxy resin described in JP-A-2001-59013 is partially used as the component (A), the surface tack of the epoxy adhesive cured film layer in a semi-cured state is reduced, and the circuit This is more preferable because adhesion with copper forming the film is improved. The proportion of the alkoxy group-containing silane-modified epoxy resin used relative to the component (A) is preferably about 0.5 to 50% by weight. If it exceeds 50% by weight, the penetration into the circuit tends to deteriorate.
(B)成分としては従来公知の潜在性を有する硬化剤が使用できる。例えば、アミン硬化系としては、ジシアンジアミド(DICY)、芳香族ジアミン等が挙げられ、フェノール硬化系としては、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールA型ノボラック樹脂、トリアジン変性フェノールノボラック樹脂等が挙げられる。これらは単独又は2種以上を混合して使用することができる。 As the component (B), a conventionally known curing agent having latency can be used. For example, examples of the amine curing system include dicyandiamide (DICY) and aromatic diamine. Examples of the phenol curing system include a phenol novolak resin, a cresol novolak resin, a bisphenol A type novolak resin, and a triazine-modified phenol novolak resin. . These can be used individually or in mixture of 2 or more types.
本発明に用いる(C)成分としては、エポキシ樹脂組成物層を低弾性率にし、耐熱性を損なわないものであれば、公知のものを制限なく使用することができる。アクリルゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、カルボキシル基含有アクリロニトリルブタジエンゴム等の各種合成ゴム、ゴム変性の高分子量化合物等が挙げられ、これらは単独又は2種以上混合して使用することができる。ポリイミドフィルム(1)への密着性が優れることから、アクリルゴム、カルボキシル基含有アクリロニトリルブタジエンゴムを使用することが好ましい。(C)成分のガラス転移温度が20℃以下であると、室温以上で弾性率の変化が生じにくく、より好ましい。 As (C) component used for this invention, if an epoxy resin composition layer is made into a low elasticity modulus and heat resistance is not impaired, a well-known thing can be used without a restriction | limiting. Examples thereof include various synthetic rubbers such as acrylic rubber, acrylonitrile butadiene rubber and carboxyl group-containing acrylonitrile butadiene rubber, rubber-modified high molecular weight compounds and the like, and these can be used alone or in combination of two or more. In view of excellent adhesion to the polyimide film (1), it is preferable to use acrylic rubber or carboxyl group-containing acrylonitrile butadiene rubber. When the glass transition temperature of the component (C) is 20 ° C. or lower, it is more preferable that the elastic modulus hardly changes at room temperature or higher.
(D)成分としては、従来公知の無機フィラー系難燃剤、リン系などの非ハロゲン系難燃剤が挙げられ、これらを併用してもよい。無機フィラー系難燃剤としては、たとえば、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、タルク、シリカ、アルミナ、硼酸亜鉛、炭酸カルシウム等が例示できるが、高密度プリント基板に用いられるファインピッチ回路の場合には、導体間の絶縁性を保つために、平均粒子径が0.1μm〜5μm位のものを用いることが好ましい。リン系難燃剤としては、ポリリン酸、リン酸エステル、ホスファゼン誘導体などが挙げられるが、室温で固形のものが耐熱性や密着性に悪影響を与えないため好ましい。難燃材の使用量は特に限定されないが、不燃性を求められる用途には、接着剤組成物の固形分中30〜70重量%程度用いることが好ましい。 Examples of the component (D) include conventionally known inorganic filler flame retardants and non-halogen flame retardants such as phosphorus, and these may be used in combination. Examples of the inorganic filler-based flame retardant include aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, talc, silica, alumina, zinc borate, calcium carbonate, and the like, but in the case of a fine pitch circuit used for a high-density printed circuit board, In order to maintain insulation between conductors, it is preferable to use those having an average particle diameter of about 0.1 μm to 5 μm. Examples of the phosphorus-based flame retardant include polyphosphoric acid, phosphoric acid ester, phosphazene derivatives, and the like, but those that are solid at room temperature are preferable because they do not adversely affect heat resistance and adhesion. Although the usage-amount of a flame retardant is not specifically limited, It is preferable to use about 30 to 70 weight% in solid content of an adhesive composition for the use for which nonflammability is calculated | required.
上記成分の他、接着剤組成物には、本発明の効果を損なわない範囲で、硬化触媒、溶剤、無機充填剤、シランカップリング剤、レベリング剤、離型剤、表面処理剤、粘度調節剤、可塑剤、抗菌剤、防黴剤、消泡剤、着色剤、安定剤、カップリング剤等を配合してもよい。 In addition to the above components, the adhesive composition includes a curing catalyst, a solvent, an inorganic filler, a silane coupling agent, a leveling agent, a release agent, a surface treatment agent, and a viscosity modifier as long as the effects of the present invention are not impaired. Plasticizers, antibacterial agents, antifungal agents, antifoaming agents, colorants, stabilizers, coupling agents, and the like may be blended.
硬化触媒は、(A)成分と(B)成分との硬化反応を促進させ、貼り合わせ後に行う硬化の温度を下げ、硬化時間を短縮することができる。例えば、1,8−ジアザ−ビシクロ[5.4.0]ウンデセン−7、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノールなどの三級アミン類;2−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、などのイミダゾール類;トリブチルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン、ジフェニルホスフィン、フェニルホスフィンなどの有機ホスフィン類;テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート、2−エチル−4−メチルイミダゾール・テトラフェニルボレート、N−メチルモルホリン・テトラフェニルボレートなどのテトラフェニルボロン塩などをあげることができる。当該硬化促進剤は(A)成分に対して、0.05〜5重量%程度の割合で使用するのが好ましい。 The curing catalyst can accelerate the curing reaction between the component (A) and the component (B), lower the temperature of curing performed after bonding, and shorten the curing time. For example, tertiary amines such as 1,8-diaza-bicyclo [5.4.0] undecene-7, triethylenediamine, benzyldimethylamine, triethanolamine, dimethylaminoethanol, tris (dimethylaminomethyl) phenol; 2 -Imidazoles such as methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole; tributylphosphine, methyldiphenylphosphine, triphenylphosphine, Organic phosphines such as diphenylphosphine and phenylphosphine; tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, 2-ethyl-4-methylimidazole tetraphenylborate, N-methylmol Such as tetraphenyl boron salts such as phosphorus-tetraphenylborate and the like. The curing accelerator is preferably used at a ratio of about 0.05 to 5% by weight with respect to the component (A).
溶剤は、接着剤組成物の粘度を調整するために用いる。例えばメチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン等のケトン系溶剤、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート等のエステル系溶剤、トルエン、キシレン等の芳香族系溶剤、テトラヒドロフラン、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶剤、イソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール等のアルコール類、ジメチルホルムアミドなどの非プロトン性極性溶媒があげられる。これらの中では、半硬化状態のエポキシ接着剤硬化膜層に残存しにくいことから、沸点が70〜150℃程度のものを用いることが好ましい。なお、溶剤の配合割合は特に限定されず、接着剤組成物の塗布方法に応じて適宜決定すればよい。 The solvent is used for adjusting the viscosity of the adhesive composition. For example, ketone solvents such as methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, isophorone, ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, methyl cellosolve acetate, aromatic solvents such as toluene, xylene, tetrahydrofuran, diethylene glycol dimethyl ether, etc. Examples include ether solvents, alcohols such as isopropyl alcohol and n-butyl alcohol, and aprotic polar solvents such as dimethylformamide. In these, since it is hard to remain | survive in a semi-hardened epoxy adhesive cured film layer, it is preferable to use a thing with a boiling point of about 70-150 degreeC. In addition, the mixture ratio of a solvent is not specifically limited, What is necessary is just to determine suitably according to the coating method of an adhesive composition.
本発明において接着剤組成物を構成する各成分の使用割合は特に限定されないが、(C)成分を接着剤組成物の固形分中5〜50重量%とした場合、硬化膜の150℃での弾性率が2.0MPa〜0.2GPaの範囲となりやすく、低熱膨張性の接着シートとなりやすい。 In the present invention, the use ratio of each component constituting the adhesive composition is not particularly limited, but when the component (C) is 5 to 50% by weight in the solid content of the adhesive composition, the cured film at 150 ° C. The elastic modulus tends to be in the range of 2.0 MPa to 0.2 GPa, and tends to be a low thermal expansion adhesive sheet.
当該接着剤組成物は、通常、基材に塗布後、加熱することにより硬化しエポキシ接着剤硬化膜層(2)とすることができる。なお、硬化においては、まず、70〜150℃程度で硬化を行った後、さらに150℃〜250℃程度で硬化を行う2段階硬化とすることが急激な硬化収縮による密着力低下を抑制する点から好ましい。硬化時間は特に限定されず、エポキシ接着剤硬化膜層(2)の膜厚、接着剤組成物に用いた(B)成分や硬化触媒の種類、量によって調整できるが、通常、第一段階(70〜150℃)で1〜5分間程度、第二段階(150℃〜210℃)で10分〜3時間程度硬化させることが好ましい。 The said adhesive composition can be normally hardened | cured by heating after apply | coating to a base material, and can be used as an epoxy adhesive cured film layer (2). In addition, in hardening, after hardening at about 70-150 degreeC first, it is the point which suppresses the adhesive force fall by rapid hardening shrinkage by setting it as hardening in about 150-250 degreeC. To preferred. The curing time is not particularly limited and can be adjusted by the film thickness of the epoxy adhesive cured film layer (2), the type and amount of the component (B) used in the adhesive composition and the curing catalyst. It is preferable to cure at about 70 to 150 ° C. for about 1 to 5 minutes and at the second stage (150 to 210 ° C.) for about 10 minutes to 3 hours.
本発明においては、ポリイミドフィルム(1)の150℃での貯蔵弾性率(E´)を2〜10GPaとし、エポキシ接着剤硬化膜層(2)の150℃での貯蔵弾性率(E´)を2.0MPa〜0.2GPaとして、エポキシ接着剤硬化膜層(2)の貯蔵弾性率の値をポリイミド(1)より十分に小さくすることにより、接着シートの低熱膨張性を実現することができる。エポキシ接着剤硬化膜層(2)の150℃での貯蔵弾性率(E´)が0.2GPaを超えると、接着シートの低熱膨張性を実現する事ができず、2.0MPaより小さくなると、十分な耐熱性を得ることができなくなる。また当該硬化膜は、通常、周波数が1MHzでの誘電率が3〜4、線膨張係数が80〜300ppm/℃である。 In the present invention, the storage elastic modulus (E ′) at 150 ° C. of the polyimide film (1) is 2 to 10 GPa, and the storage elastic modulus (E ′) at 150 ° C. of the cured epoxy adhesive film layer (2) is By setting the value of the storage elastic modulus of the epoxy adhesive cured film layer (2) to 2.0 MPa to 0.2 GPa sufficiently smaller than that of the polyimide (1), the low thermal expansion property of the adhesive sheet can be realized. When the storage elastic modulus (E ′) at 150 ° C. of the epoxy adhesive cured film layer (2) exceeds 0.2 GPa, the low thermal expansion of the adhesive sheet cannot be realized, and if it is smaller than 2.0 MPa, Sufficient heat resistance cannot be obtained. The cured film usually has a dielectric constant of 3 to 4 at a frequency of 1 MHz and a linear expansion coefficient of 80 to 300 ppm / ° C.
本発明の接着シートは、ポリイミドフィルム(1)とエポキシ接着剤硬化膜層(2)の2層で構成される。このような接着シートの作製方法としては、ポリイミドフィルム(1)上に前記接着剤組成物を塗布し、70〜150℃程度にて半硬化させることにより得られる。ポリイミドフィルム(1)の膜厚は特に限定されず、接着シートが回路基板として使用される際に負荷される電圧、ポリイミドフィルム(1)の絶縁性や力学強度などを考慮して適宜決定すればよいが、ポリイミドフィルム(1)の作りやすさ、多層プリント基板の作製時の作業性を考慮すると、通常、ポリイミドフィルム(1)の膜厚は5〜40μm程度とするのが好ましい。またエポキシ接着剤硬化膜層(2)の膜厚についても回路を形成している導電層の厚さより厚くなれば、特に限定はないが、ポリイミドフィルム(1)とエポキシ接着剤硬化膜層(2)の膜厚比が1:0.5〜3になるように調整すれば、十分な導電層の厚みと接着シートの低熱膨張性が発現されるため好ましい。 The adhesive sheet of the present invention is composed of two layers of a polyimide film (1) and an epoxy adhesive cured film layer (2). A method for producing such an adhesive sheet is obtained by applying the adhesive composition on a polyimide film (1) and semi-curing at about 70 to 150 ° C. The film thickness of the polyimide film (1) is not particularly limited, and may be appropriately determined in consideration of the voltage applied when the adhesive sheet is used as a circuit board, the insulation properties and the mechanical strength of the polyimide film (1). However, considering the ease of making the polyimide film (1) and the workability during the production of the multilayer printed board, the film thickness of the polyimide film (1) is usually preferably about 5 to 40 μm. The thickness of the epoxy adhesive cured film layer (2) is not particularly limited as long as it is larger than the thickness of the conductive layer forming the circuit, but the polyimide film (1) and the epoxy adhesive cured film layer (2 ) Is preferably adjusted to 1: 0.5 to 3 because a sufficient thickness of the conductive layer and low thermal expansion of the adhesive sheet are exhibited.
本発明の接着シートにおいては、ポリイミドフィルム(1)として、貯蔵弾性率が2〜10GPaで熱膨張係数が0〜6ppmのポリイミドフィルム、エポキシ接着剤硬化膜層(2)の150℃での弾性率が2.0MPa〜0.2GPaを満たす必要がある。エポキシ接着剤硬化膜層(2)の150℃での貯蔵弾性率(E´)が0.2GPaを超えると、接着シートの低熱膨張性を実現することができず、2.0MPaより小さくなると、十分な耐熱性を得ることができなくなる。本発明の接着シートを積層してできる多層プリント基板の熱膨張性を低くするためには、積層に用いる接着シートの熱膨張係数を主にポリイミドフィルムに支配させることが有効であり、そのため低い熱膨張係数を有するポリイミドフィルムを用い、ポリイミドフィルム(1)とエポキシ接着剤硬化膜層(2)の弾性率の差を大きくしている。 In the adhesive sheet of the present invention, the polyimide film (1) is a polyimide film having a storage elastic modulus of 2 to 10 GPa and a thermal expansion coefficient of 0 to 6 ppm, and an elastic modulus at 150 ° C. of the cured epoxy adhesive film layer (2). Needs to satisfy 2.0 MPa to 0.2 GPa. When the storage elastic modulus (E ′) at 150 ° C. of the epoxy adhesive cured film layer (2) exceeds 0.2 GPa, the low thermal expansion property of the adhesive sheet cannot be realized, and when it is smaller than 2.0 MPa, Sufficient heat resistance cannot be obtained. In order to reduce the thermal expansion of the multilayer printed circuit board formed by laminating the adhesive sheet of the present invention, it is effective to mainly control the thermal expansion coefficient of the adhesive sheet used for lamination to the polyimide film. A polyimide film having an expansion coefficient is used to increase the difference in elastic modulus between the polyimide film (1) and the cured epoxy adhesive film layer (2).
本発明の接着フィルムの熱膨張性は、上記の方法で作製した接着シートを、ポリイミドフィルム(1)とエポキシ接着剤硬化膜層(2)が交互になるように2層積層し、最後に接着シートの作製に使用したのと同じポリイミドフィルム(1)を積層、140℃で1分、圧力8MPaで加熱プレスを行い、その後、オーブンでエポキシ接着剤硬化膜層(2)を完全に硬化させてできる積層フィルム(構成(1)/(2)/(1)/(2)/(1))の熱膨張係数を測定することで評価する。本発明においては、上記値が10ppm以下となるように、ポリイミドフィルム(1)の組成、接着剤組成物を構成する各成分、ポリイミドフィルム(1)とエポキシ接着剤硬化膜層(2)のそれぞれの膜厚を適宜決定する。 The thermal expansion property of the adhesive film of the present invention is such that two layers of the adhesive sheet prepared by the above method are laminated so that the polyimide film (1) and the cured epoxy adhesive film layer (2) are alternate, and finally bonded. Laminate the same polyimide film (1) used for the production of the sheet, heat press at 140 ° C. for 1 minute and pressure of 8 MPa, and then completely cure the epoxy adhesive cured film layer (2) in an oven. It evaluates by measuring the thermal expansion coefficient of the laminated film (structure (1) / (2) / (1) / (2) / (1)) which can be performed. In the present invention, the composition of the polyimide film (1), each component constituting the adhesive composition, each of the polyimide film (1) and the cured epoxy adhesive film layer (2) so that the above value is 10 ppm or less. The film thickness is appropriately determined.
本発明の多層プリント基板を作製する方法としては、コア材に本発明の接着シートを積層することにより得られ、例えば特開2008−277384号公報記載の方法が例示できる。 A method for producing the multilayer printed board of the present invention is obtained by laminating the adhesive sheet of the present invention on a core material, and examples thereof include a method described in JP-A-2008-277384.
コア材(内層基板)にサブトラクティブ法やセミアディティブ法で、両面の回路パターンを形成したものを用いる。サブトラクティブ法では、ガラス繊維やアラミド繊維などにエポキシ樹脂を含浸させたものに銅箔を張り合わせたCCLや本発明で使用したポリイミドフィルム(1)に銅箔を張り合わせたもの、特開2003−136632号公報記載の方法でブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッドに湿式メッキを行ったもの、或いはポリイミドフィルム(1)にスパッターでシード層を形成した後、電解メッキを行うなどしてできる両面CCLが挙げられる。またセミアディティブ法としては、ガラス繊維やアラミド繊維などにエポキシ樹脂を含浸、硬化させたものやポリイミドフィルム(1)に湿式無電解メッキ或いはスパッターを行いシード層を形成させた後、レジストフィルムでパターニングを行った後、電解銅メッキを行い、レジストを除去、シード層をエッチングするなどの工程でできるコア材を挙げることができる。このようなコア材の中では、ファインピッチが容易であることから、セミアディティブ法で作製したものが好ましい。 A core material (inner layer substrate) having a circuit pattern on both sides formed by a subtractive method or a semi-additive method is used. In the subtractive method, a CCL in which a glass fiber or an aramid fiber is impregnated with an epoxy resin is laminated with a copper foil or a polyimide film (1) used in the present invention is laminated with a copper foil, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-136632 The double-sided CCL formed by wet-plating a block copolymerization type polyimide-silica hybrid by the method described in the publication No., or by performing electrolytic plating after forming a seed layer on the polyimide film (1) by sputtering. It is done. As a semi-additive method, glass fiber or aramid fiber is impregnated with epoxy resin and cured, or polyimide film (1) is wet electroless plated or sputtered to form a seed layer, and then patterned with a resist film. After performing the above, a core material that can be formed by processes such as electrolytic copper plating, removing the resist, and etching the seed layer can be mentioned. Among such core materials, those prepared by a semi-additive method are preferable because the fine pitch is easy.
上記方法でパターニングしたコア材に本発明の半硬化状態のエポキシ接着剤硬化膜層(2)を有する接着シートを張り合わせ、ビルドアップ型多層基板用接着シートに穴あけ後、穴内及びビルドアップ型多層基板用接着シートのポリイミドフィルム(1)表面に回路形成を行うことでビルドアップ層を形成する。より具体的には、回路パターンを形成した内層基板の表面に上記の接着シートを重ねた後、加熱プレスにより一体化し、更にエポキシ接着剤硬化膜層(2)を完全硬化させる。その後、張り合わせた接着シートに複数の回路パターンを接続するための信号伝達用のビアホールを形成する。接着シート表面のポリイミドフィルム(1)のパターニングは、スパッター或いは湿式無電解メッキ法によって形成したシード層を使い、前記と同様の方法で、セミアディティブ法で行う。この時スパッター或いは湿式無電解メッキの密着性が優れることから、ポリイミド(1)としては、ブロック共重合ポリイミド−シリカハイブリッドフィルムを用いることが好ましい。またビアホールのメッキをポリイミドフィルム(1)表面のメッキと同時にできることから、シード層の形成法として湿式無電解メッキを用いることが好ましい。なお、上記のビルドアップ層は必要に応じて回路パターンを形成した積層板の片面にのみ形成しても良い。 The core material patterned by the above method is pasted with the adhesive sheet having the cured epoxy adhesive layer (2) of the semi-cured state of the present invention, punched in the adhesive sheet for a build-up type multilayer substrate, and then in the hole and the build-up type multilayer substrate A build-up layer is formed by forming a circuit on the surface of the polyimide film (1) of the adhesive sheet for use. More specifically, after laminating the above-mentioned adhesive sheet on the surface of the inner layer substrate on which the circuit pattern is formed, it is integrated by heating press and the epoxy adhesive cured film layer (2) is completely cured. Thereafter, via holes for signal transmission for connecting a plurality of circuit patterns are formed on the bonded adhesive sheet. Patterning of the polyimide film (1) on the surface of the adhesive sheet is performed by a semi-additive method in the same manner as described above using a seed layer formed by sputtering or wet electroless plating. At this time, since the adhesion of sputtering or wet electroless plating is excellent, it is preferable to use a block copolymerized polyimide-silica hybrid film as the polyimide (1). Further, since the plating of the via hole can be performed simultaneously with the plating of the surface of the polyimide film (1), it is preferable to use wet electroless plating as a seed layer forming method. The build-up layer may be formed only on one side of the laminated board on which a circuit pattern is formed as necessary.
以下、実施例及び比較例をあげて本発明を具体的に説明する。なお、各例中、部及び%は特記無い限り重量基準である。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples. In each example, parts and% are based on weight unless otherwise specified.
(接着剤組成物の調製)
表1に示す配合比率で、各成分を混合、溶解させ、エポキシ樹脂組成物を調製した。
(Preparation of adhesive composition)
Each component was mixed and dissolved at the blending ratio shown in Table 1 to prepare an epoxy resin composition.
実施例1(半硬化のエポキシ接着層(2)を持つ接着シートの製造)
ブロック共重合ポリイミド−シリカハイブリッドフィルム(荒川化学工業(株)製 商品名 ポミランT25 ジアミン成分中のp-フェニレンジアミンのモル%=80%、熱膨張係数=4ppm、貯蔵弾性率=9.3GPa、膜厚25μm)上に、表1に記載した接着剤組成物Aを塗布、140℃で3分乾燥させ、硬化膜厚25μmの接着シートを作製した。硬化したエポキシ接着剤層の150℃での貯蔵弾性率=0.05GPa、膜厚比=1:1。
Example 1 (Production of adhesive sheet having a semi-cured epoxy adhesive layer (2))
Block copolymerized polyimide-silica hybrid film (trade name Pomilan T25, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.) mol% of p-phenylenediamine in diamine component = 80%, thermal expansion coefficient = 4 ppm, storage elastic modulus = 9.3 GPa, membrane Adhesive composition A described in Table 1 was applied on a thickness of 25 μm and dried at 140 ° C. for 3 minutes to prepare an adhesive sheet having a cured film thickness of 25 μm. Storage elastic modulus of cured epoxy adhesive layer at 150 ° C. = 0.05 GPa, film thickness ratio = 1: 1.
実施例2(半硬化のエポキシ接着層(2)を持つ接着シートの製造)
ブロック共重合ポリイミド−シリカハイブリッドフィルム(荒川化学工業(株)製 商品名 ポミランT25 ジアミン成分中のp-フェニレンジアミンのモル%=80%、熱膨張係数=4ppm、貯蔵弾性率=9.3GPa、膜厚25μm)上に、表1に記載した接着剤組成物Bを塗布、140℃で3分乾燥させ、硬化膜厚75μmの接着シートを作製した。硬化したエポキシ接着剤層の150℃での貯蔵弾性率=0.02GPa、膜厚比=1:3。
Example 2 (Production of adhesive sheet having a semi-cured epoxy adhesive layer (2))
Block copolymerized polyimide-silica hybrid film (trade name Pomilan T25, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.) mol% of p-phenylenediamine in diamine component = 80%, thermal expansion coefficient = 4 ppm, storage elastic modulus = 9.3 GPa, membrane Adhesive composition B described in Table 1 was applied on a thickness of 25 μm and dried at 140 ° C. for 3 minutes to prepare an adhesive sheet having a cured film thickness of 75 μm. Storage elastic modulus at 150 ° C. of the cured epoxy adhesive layer = 0.02 GPa, film thickness ratio = 1: 3.
実施例3(半硬化のエポキシ接着層(2)を持つ接着シートの製造)
ブロック共重合ポリイミド−シリカハイブリッドフィルム(荒川化学工業(株)製 商品名 ポミランT12 ジアミン成分中のp-フェニレンジアミンのモル%=80%、熱膨張係数=6ppm、貯蔵弾性率=9.1GPa、膜厚12μm)上に、表1に記載した接着剤組成物Cを塗布、140℃で3分間乾燥させ、硬化膜厚12.5μmの接着シートを作製した。硬化したエポキシ接着剤層の150℃での貯蔵弾性率=0.2GPa、膜厚比=1:0.5。
Example 3 (Production of adhesive sheet having a semi-cured epoxy adhesive layer (2))
Block copolymerized polyimide-silica hybrid film (trade name Pomilan T12, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.) mol% of p-phenylenediamine in diamine component = 80%, thermal expansion coefficient = 6 ppm, storage elastic modulus = 9.1 GPa, membrane Adhesive composition C described in Table 1 was applied onto a thickness of 12 μm and dried at 140 ° C. for 3 minutes to prepare an adhesive sheet having a cured film thickness of 12.5 μm. Storage elastic modulus of cured epoxy adhesive layer at 150 ° C. = 0.2 GPa, film thickness ratio = 1: 0.5.
比較例1(半硬化のエポキシ接着層(2)を持つ接着シートの製造)
市販のポリイミドフィルム(東レデュポンフィルム製 商品名 カプトンH、ジアミン成分中のp-フェニレンジアミンのモル%=0%、熱膨張係数=43ppm、弾性率=3.5GPa、膜厚25μm)に接着剤組成物Aを塗布し、乾燥させ、硬化膜厚50μmの接着シートを作製した。
Comparative Example 1 (Manufacture of an adhesive sheet having a semi-cured epoxy adhesive layer (2))
Adhesive composition on commercially available polyimide film (trade name Kapton H, manufactured by Toray DuPont Film, mol% of p-phenylenediamine in diamine component = 0%, thermal expansion coefficient = 43 ppm, elastic modulus = 3.5 GPa, film thickness 25 μm) The product A was applied and dried to prepare an adhesive sheet having a cured film thickness of 50 μm.
比較例2(半硬化のエポキシ接着層(2)を持つ接着シートの製造)
ブロック共重合ポリイミド−シリカハイブリッドフィルム(荒川化学工業(株)製 商品名 ポミランT25 ジアミン成分中のp-フェニレンジアミンのモル%=80%、熱膨張係数=4ppm、貯蔵弾性率=9.3GPa、膜厚25μm)上に、表1に記載した接着剤組成物Dを塗布、140℃で3分乾燥させ、硬化膜厚75μmの接着シートを作製した。硬化したエポキシ接着剤層の150℃での貯蔵弾性率=8.0GPa、膜厚比=1:3。
Comparative Example 2 (Production of adhesive sheet having a semi-cured epoxy adhesive layer (2))
Block copolymerized polyimide-silica hybrid film (trade name Pomilan T25, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.) mol% of p-phenylenediamine in diamine component = 80%, thermal expansion coefficient = 4 ppm, storage elastic modulus = 9.3 GPa, membrane Adhesive composition D described in Table 1 was applied on a thickness of 25 μm and dried at 140 ° C. for 3 minutes to prepare an adhesive sheet having a cured film thickness of 75 μm. Storage elastic modulus at 150 ° C. of cured epoxy adhesive layer = 8.0 GPa, film thickness ratio = 1: 3.
比較例3(半硬化のエポキシ接着層(2)を持つ接着シートの製造)
ブロック共重合ポリイミド−シリカハイブリッドフィルム(荒川化学工業(株)製 商品名 ポミランT25 ジアミン成分中のp-フェニレンジアミンのモル%=80%、熱膨張係数=4ppm、貯蔵弾性率=9.3GPa、膜厚25μm)上に、表1に記載した接着剤組成物Eを塗布、140℃で3分間乾燥させ、硬化膜厚75μmの接着シートを作製した。硬化したエポキシ接着剤層の150℃での貯蔵弾性率=1.0MPa、膜厚比=1:0.5。
Comparative Example 3 (Manufacture of an adhesive sheet having a semi-cured epoxy adhesive layer (2))
Block copolymerized polyimide-silica hybrid film (trade name Pomilan T25, manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.) mol% of p-phenylenediamine in diamine component = 80%, thermal expansion coefficient = 4 ppm, storage elastic modulus = 9.3 GPa, membrane Adhesive composition E described in Table 1 was applied onto a thickness of 25 μm and dried at 140 ° C. for 3 minutes to prepare an adhesive sheet having a cured film thickness of 75 μm. Storage elastic modulus of cured epoxy adhesive layer at 150 ° C. = 1.0 MPa, film thickness ratio = 1: 0.5.
(熱膨張性)
実施例、及び比較例の接着シート作製の際に用いたポリイミドフィルム上に、接着シートを2枚重ね、圧力8MPa、140℃、1分間、加熱プレスした後、180℃、3時間、硬化して、ポリイミドフィルム/接着剤組成物層/ポリイミドフィルム/接着剤組成物層/ポリイミドフィルムの5層からなる積層体を得た。得られた積層体の熱膨張性を、熱機械分析装置(チャック間距離20mm、試片の幅4mm、荷重10mg、昇温レート:10℃/minの引張モード)を用いて測定した、100℃〜200℃における熱膨張係数で評価した。測定結果を表2に示す。
(Thermal expansion)
Two adhesive sheets were stacked on the polyimide film used in the preparation of the adhesive sheets of Examples and Comparative Examples, and after pressure-pressing at 8 MPa, 140 ° C. for 1 minute, cured at 180 ° C. for 3 hours. A laminate comprising 5 layers of polyimide film / adhesive composition layer / polyimide film / adhesive composition layer / polyimide film was obtained. The thermal expansion property of the obtained laminate was measured using a thermomechanical analyzer (tensile mode of chuck distance 20 mm, specimen width 4 mm, load 10 mg, heating rate: 10 ° C./min), 100 ° C. The thermal expansion coefficient at ˜200 ° C. was evaluated. The measurement results are shown in Table 2.
表2から、実施例により得られた積層体は、低熱膨張性に優れている事が明らかである。 From Table 2, it is clear that the laminates obtained by the examples are excellent in low thermal expansion.
(接着性)
18μm厚の電解銅箔上(古河サーキットフォイル(株)製「F2−WS」(18
μm))に前記の樹脂付きフィルムを重ね合わせた後に、圧力1MPa、140℃、1分間、加熱プレスした後、180℃、3時間、硬化して、ポリイミドフィルムと銅箔間に接着剤硬化物層を持つ積層体を作製した。 実施例、及び比較例の積層体をJIS C−6481に準じて、銅箔とフィルムとの剥離強度を測定した。測定結果を表3に示す。
(Adhesiveness)
On electrolytic copper foil with a thickness of 18 μm ("F2-WS" manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd. (18
After the above film with resin is superposed on 1 μm)), it is heated and pressed at 1 MPa, 140 ° C. for 1 minute, then cured at 180 ° C. for 3 hours, and a cured adhesive is obtained between the polyimide film and the copper foil. A laminate having layers was produced. The peel strength between the copper foil and the film was measured for the laminates of Examples and Comparative Examples according to JIS C-6481. Table 3 shows the measurement results.
表3から、実施例により得られた積層体は、接着性に優れている事が明らかである。 From Table 3, it is clear that the laminates obtained by the examples are excellent in adhesiveness.
(耐熱性)
接着性を測定したときに用いた銅箔と積層一体化した試料を、25mm×25mmに切断し、260℃のはんだ浴に180秒間浮べた。180秒後に膨れ、剥がれ等の異常がある場合を×、異常が無い場合を○とした。測定結果を表4に示す。
(Heat-resistant)
The sample laminated and integrated with the copper foil used for measuring the adhesiveness was cut into 25 mm × 25 mm and floated in a 260 ° C. solder bath for 180 seconds. The case where there was an abnormality such as swelling and peeling after 180 seconds was rated as x, and the case where there was no abnormality was marked as ◯. Table 4 shows the measurement results.
表4から、実施例により得られた積層体は、比較例と異なり耐熱性に優れている事が明らかである。 From Table 4, it is clear that the laminates obtained by the examples are excellent in heat resistance unlike the comparative examples.
(難燃性)
実施例、及び比較例の接着シートを、180℃、3時間で硬化させた。硬化した接着シートについて、UL規格(UL94 VTM)試験に基づき、試験を行った。基準条件がVTM−0を満たす場合に○とし、満たさない場合に×とした。測定結果を表5に示す。
(Flame retardance)
The adhesive sheets of Examples and Comparative Examples were cured at 180 ° C. for 3 hours. The cured adhesive sheet was tested based on the UL standard (UL94 VTM) test. In the case where the reference condition satisfies VTM-0, it was evaluated as ◯, and in the case where it was not satisfied, it was evaluated as x. Table 5 shows the measurement results.
表5から、実施例により得られた積層体は、比較例と異なり難燃性に優れている事が明らかである。 From Table 5, it is clear that the laminates obtained by the examples are excellent in flame retardancy unlike the comparative examples.
実施例4 (多層プリント基板の製造) Example 4 (Manufacture of multilayer printed circuit board)
特開2003−136632号公報記載の方法でブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッドに湿式メッキを行い、回路パターンを形成した内層基板の表面に上記の半硬化状態のエポキシ接着剤硬化膜層(2)を有する接着シートを重ねた後、加熱プレスにより一体化し、更にエポキシ接着剤硬化膜層(2)を完全硬化させた。その後、貼り合わせた接着シートに複数の回路パターンを接続するための信号伝達用のビアホールをUV−YAGレーザーによって形成した。接着シート表面のポリイミドフィルム(1)のパターニングは、湿式無電解メッキ法によって形成したシード層を使い、セミアディティブ法で行った。以上の工程を繰り返す事で、多層プリント基板を作製する事ができた。 The above-mentioned semi-cured epoxy adhesive cured film layer (2) is formed on the surface of the inner substrate on which the circuit pattern is formed by wet plating the block copolymerization type polyimide-silica hybrid by the method described in JP-A-2003-136632. After the adhesive sheets having the above were stacked, they were integrated by a heating press, and the epoxy adhesive cured film layer (2) was completely cured. Thereafter, via holes for signal transmission for connecting a plurality of circuit patterns to the bonded adhesive sheet were formed by a UV-YAG laser. Patterning of the polyimide film (1) on the surface of the adhesive sheet was performed by a semi-additive method using a seed layer formed by a wet electroless plating method. By repeating the above steps, a multilayer printed circuit board could be produced.
表2〜表5から明らかなように、本発明による積層体は、密着性、耐熱性に優れており、通常のプリント配線板はもちろん、多層プリント配線板の製造に最適であることが明らかである。
As is apparent from Tables 2 to 5, it is clear that the laminate according to the present invention is excellent in adhesion and heat resistance, and is optimal for the production of multilayer printed wiring boards as well as ordinary printed wiring boards. is there.
Claims (6)
該ポリイミドフィルム(1)がアルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸(b)を熱硬化して得られるブロック共重合ポリイミド−シリカハイブリッドフィルムであり、
該アルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸(b)が、テトラカルボン酸二無水物、ジアミンを反応させて得られるポリアミック酸とエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物を反応させて得られるポリアミック酸(a)に、別途、テトラカルボン酸二無水物及びジアミンを反応させて得られるポリアミック酸を混合、縮合させることにより得られるものであり、
該ポリアミック酸とエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物の使用割合が、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物のエポキシ基の当量/ポリアミック酸に使用したテトラカルボン酸二無水物のモル数が0.01〜0.6であり、
該エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物は、1分子中に一つの水酸基を有するエポキシ化合物とアルコキシシラン部分縮合物を脱アルコール反応して得られるものであり、
該アルコキシシラン部分縮合物は、アルコキシシラン部分縮合物の総量中でテトラメトキシシラン部分縮合物又はメチルトリメトキシシラン部分縮合物を70重量%以上用いるものであり、かつ数平均分子量が230〜2000、1分子中のSiの平均個数が2〜11であり、
該ポリアミック酸(a)のセグメントはアルコキシシラン部分縮合物を側鎖に持ち、ゾルーゲル反応によってシリカを形成し、別途、テトラカルボン酸二無水物及びジアミン類を反応させることにより得られるポリアミック酸のセグメントはシリカを有さず、
該アルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸(b)を構成するジアミンの80〜100モル%がp−フェニレンジアミンである
熱膨張係数が10ppm以下の接着シート。 An epoxy resin adhesive having a storage elastic modulus at 150 ° C. of 2.0 MPa to 0.2 GPa on a polyimide film (1) having a storage elastic modulus of 2 to 10 GPa at 150 ° C. and a thermal expansion coefficient of 0 to 6 ppm. A cured film layer (2) is provided;
The polyimide film (1) is a block copolymerized polyimide-silica hybrid film obtained by thermosetting the alkoxy group-containing silane-modified block copolymer polyamic acid (b),
The polyamic acid obtained by reacting the alkoxy group-containing silane-modified block copolymer polyamic acid (b) with a polyamic acid obtained by reacting a tetracarboxylic dianhydride and a diamine with an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (A) is obtained separately by mixing and condensing polyamic acid obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride and diamine.
The use ratio of the polyamic acid and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate is the equivalent of the epoxy group of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate / the number of moles of tetracarboxylic dianhydride used for the polyamic acid is 0.01 to 0.6,
The epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate is obtained by dealcoholizing an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule and an alkoxysilane partial condensate,
The alkoxysilane partial condensate uses 70% by weight or more of tetramethoxysilane partial condensate or methyltrimethoxysilane partial condensate in the total amount of alkoxysilane partial condensate, and has a number average molecular weight of 230 to 2000, The average number of Si in one molecule is 2-11,
The segment of polyamic acid (a) has an alkoxysilane partial condensate in the side chain, forms silica by a sol-gel reaction, and is obtained separately by reacting tetracarboxylic dianhydride and diamines. Has no silica,
The adhesive sheet having a thermal expansion coefficient of 10 ppm or less, wherein 80 to 100 mol% of the diamine constituting the alkoxy group-containing silane-modified block copolymeric polyamic acid (b) is p-phenylenediamine .
Multilayer printed board to the adhesive sheet according to any one of claims 1-5, obtained by an electroless plating process.
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