JP3962997B2 - Alkoxy group-containing silane-modified block copolymer type polyamic acid, block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product, and metal laminate - Google Patents

Alkoxy group-containing silane-modified block copolymer type polyamic acid, block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product, and metal laminate Download PDF

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本発明は金属密着性に優れ、耐熱性、高弾性、低熱線膨張性、適度な柔軟性を有するブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物を与えるアルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸;当該アルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸をゾル−ゲル硬化及び脱水閉環することにより得られるブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物;当該ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物を無電解メッキして得られる金属積層体に関する。 The present invention is an alkoxy group-containing silane-modified block copolymer polyamic acid that gives a block copolymer polyimide-silica hybrid cured product having excellent metal adhesion, heat resistance, high elasticity, low thermal expansion, and moderate flexibility; Block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product obtained by sol-gel curing and dehydration ring closure of the alkoxy group-containing silane-modified block copolymerized polyamic acid; electrolessly treating the block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product The present invention relates to a metal laminate obtained by plating.

近年、パソコン、プリンター、家具、自動車などに搭載される部品の電子化が進み、特に安価なフレキシブルプリント配線板等の提供が望まれている。また、モバイル型パソコン、携帯電話、ICカード等の携帯可能な電子機器の普及が急速に進むにつれ、当該電子回路の小型化、高密度化がますます要求されるようになった。 In recent years, computerization of parts mounted on personal computers, printers, furniture, automobiles, and the like has progressed, and the provision of particularly inexpensive flexible printed wiring boards has been desired. Also, as portable electronic devices such as mobile personal computers, mobile phones, and IC cards are rapidly spreading, there has been an increasing demand for smaller and higher density electronic circuits.

ポリイミドフィルムは、一般に芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンを原料とし、これらを縮合反応して合成されるポリアミック酸を、閉環反応させて得られるものであり、耐熱性や電気的性質が優れ、しかも柔軟性があるため、フレキシブルプリント板(FPC)、テープ・オートメイティッド・ボンディング(TAB)、チップオンフィルム(COF)、チップサイズパッケージ(CSP)などの基板用の材料として広く使用されている。 Polyimide film is generally obtained by ring-closing reaction of polyamic acid synthesized from aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine, which are synthesized by condensation reaction, and has heat resistance and electrical properties. Excellent and flexible, it is widely used as a substrate material for flexible printed circuit boards (FPC), tape automated bonding (TAB), chip-on-film (COF), chip size package (CSP), etc. Has been.

ポリイミドフィルムをFPC、TAB、COF、CSPなどの基板用材料として使用するためには、ポリイミドフィルムに、エポキシ樹脂などの接着剤を用いて金属箔を張り合わせる方法が採用されているが、ポリイミドフィルムは耐熱性、機械的強度、電気的特性などが優れているものの、接着剤の耐熱性等が劣るため、ポリイミド本来の特性を十分に発揮できていない。このような問題を解決するために、接着剤を使用しないで、金属箔にポリアミック酸溶液をキャストし、乾燥、イミド化させた積層体(特許文献1参照)や、熱可塑性ポリイミドを熱圧着させた積層体(特許文献2参照)、イミドフィルムにスパッターした後、電解メッキして得られる積層体(特許文献3参照)などが提案されている。   In order to use a polyimide film as a substrate material such as FPC, TAB, COF, and CSP, a method of laminating a metal foil with an adhesive such as an epoxy resin on a polyimide film is adopted. Has excellent heat resistance, mechanical strength, electrical characteristics, etc., but the heat resistance of the adhesive is inferior, and therefore the original characteristics of polyimide cannot be fully exhibited. In order to solve such problems, a polyamic acid solution is cast on a metal foil, dried and imidized, and a thermoplastic polyimide is thermocompression bonded without using an adhesive. Laminated bodies (see Patent Document 2), laminated bodies obtained by sputtering an imide film and then electroplating (see Patent Document 3) have been proposed.

しかしながら、前記のように接着剤を用いないキャスト法、熱圧着法、スパッター法を採用した場合、充分な密着性を得るために、凹凸の大きい金属箔や粗化イミドフィルムが使用されている。しかし、今後のファインピッチプリント基板の製造では、金属層とポリイミドフィルムとの界面の平滑性がより厳しく要求されるため、金属層、ポリイミドフィルムともにより平滑でなければならず、また、金属層はより薄くなければならない。また、これらの精密プリント基板においては、寸法安定性や加熱後の密着強度が重視されるため、用いるポリイミドの吸水率や熱膨張係数を一層低下させる必要がある。 However, when a casting method, a thermocompression bonding method, or a sputtering method that does not use an adhesive as described above is employed, a metal foil or roughened imide film having large irregularities is used in order to obtain sufficient adhesion. However, in the future production of fine pitch printed circuit boards, since the smoothness of the interface between the metal layer and the polyimide film is required more severely, both the metal layer and the polyimide film must be smoother. Must be thinner. Moreover, in these precision printed circuit boards, since dimensional stability and adhesion strength after heating are emphasized, it is necessary to further reduce the water absorption rate and thermal expansion coefficient of the polyimide used.

特許第2746555号公報Japanese Patent No. 2746555 特開平07−193349号公報Japanese Patent Laid-Open No. 07-193349 特開平08−330695号公報Japanese Patent Laid-Open No. 08-330695

本発明は、上記問題点を解決すること、すなわち金属板や金属箔に対するキャスト法を採用した場合であっても、密着性の高いコーティング膜を形成できるアルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸を提供することを目的とする。また、本発明は、柔軟性など機械的強度に優れ、吸水率と熱膨張係数が低く、無電解メッキ可能なポリイミドフィルムを提供することを目的とする。また本発明は、接着剤を使用しなくても密着性に優れ、且つ界面凹凸の少ない金属薄層を有する金属箔積層体、更には当該金属箔積層体を加工して得られるプリント基板を提供する事を目的とする。   The present invention solves the above problems, that is, even when a casting method for a metal plate or metal foil is employed, an alkoxy group-containing silane-modified block copolymer polyamic acid capable of forming a coating film having high adhesion The purpose is to provide. Another object of the present invention is to provide a polyimide film that is excellent in mechanical strength such as flexibility, has a low water absorption and thermal expansion coefficient, and can be electrolessly plated. In addition, the present invention provides a metal foil laminate having a thin metal layer with excellent adhesion and no interfacial unevenness without using an adhesive, and further a printed circuit board obtained by processing the metal foil laminate. The purpose is to do.

本発明者らは前記課題を解決すべく、鋭意検討を重ねた結果、特定のアルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸を用いることにより、前記目的を達成しうることを見出し、本発明を完成するに到った。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that the object can be achieved by using a specific alkoxy group-containing silane-modified block copolymer polyamic acid. It came to completion.

すなわち、本発明の第1は、テトラカルボン酸二無水物(A)及びジアミン(B)を反応させて得られるポリアミック酸(1)とエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)を反応させて得られたシラン変性ポリアミック酸(I)に、更に、テトラカルボン酸二無水物(C)及びジアミン(D)を反応させて得られ、テトラカルボン酸二無水物(A)とテトラカルボン酸二無水物(C)の合計モル数の15〜100モル%がピロメリット酸二無水物であり、且つ、ジアミン(B)とジアミン(D)の合計モル数の25〜100モル%がp−フェニレンジアミンであるアルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸(ただし、テトラカルボン酸二無水物(A)とテトラカルボン酸二無水物(C)が同一であり、且つ、ジアミン(B)とジアミン(D)が同一であるものを除く。)(以下、ポリアミック酸(II)という)に関する。本発明の第2は、ジアミン(B)とジアミン(D)の合計モル数の約40〜90モル%が、p−フェニレンジアミンであり、且つ、約10〜60モル%が、オキサジアニリンである上記第1発明に記載のポリアミック酸(II)に関する。本発明の第は、(テトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)/(ジアミン(B)のモル数)=1.03〜1.33または0.75〜0.97の比率で反応させて得られるポリアミック酸(1)を使用する上記第1または第2発明のいずれかに記載のポリアミック酸(II)に関する。本発明の第は、上記第1〜第発明のいずれかに記載のポリアミック酸(II)をゾル−ゲル硬化及び脱水閉環させることにより得られるブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物に関する。本発明の第は、吸水率が3%未満である上記第発明のブロック共重合型ポリイミド-シリカハイブリッド硬化物に関する。本発明の第6は、フィラーを含有する第4または第5発明のいずれかに記載のポリアミック酸(II)に関する。本発明の第7は、熱膨張係数が25ppm以下である上記第4〜第6発明のブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物に関する。本発明の第8は、上記第4〜7発明のブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物を無電解メッキして得られる金属積層体に関する。

That is, in the first aspect of the present invention, a polyamic acid (1) obtained by reacting a tetracarboxylic dianhydride (A) and a diamine (B) is reacted with an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2). The resulting silane-modified polyamic acid (I) is further reacted with tetracarboxylic dianhydride (C) and diamine (D) to obtain tetracarboxylic dianhydride (A) and tetracarboxylic dianhydride. 15 to 100 mol% of the total number of moles of product (C) is pyromellitic dianhydride, and 25 to 100 mol% of the total number of moles of diamine (B) and diamine (D) is p-phenylenediamine. it is an alkoxy group-containing silane-modified block copolymer type polyamic acid (However, tetracarboxylic acid dianhydride (a) and the tetracarboxylic dianhydride (C) are identical, and, Zia Excluding those emissions (B) and diamine (D) are identical.) Relates (hereinafter, polyamic acid (II) hereinafter). In the second aspect of the present invention, about 40 to 90 mol% of the total number of moles of diamine (B) and diamine (D) is p-phenylenediamine, and about 10 to 60 mol% is oxadianiline. It relates to the polyamic acid (II) described in the first invention . The third aspect of the present invention is the ratio of (number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A)) / (number of moles of diamine (B)) = 1.03 to 1.33 or 0.75 to 0.97. It relates to the polyamic acid (II) according to any one of the first and second inventions, wherein the polyamic acid (1) obtained by reacting is used. 4th of this invention is related with the block copolymerization type polyimide-silica hybrid hardened | cured material obtained by carrying out sol-gel hardening and dehydration ring closure of the polyamic acid (II) in any one of the said 1st- 3rd invention. 5th of this invention is related with the block copolymerization type polyimide-silica hybrid hardened | cured material of the said 4th invention whose water absorption is less than 3%. 6th of this invention is related with the polyamic acid (II) in any one of the 4th or 5th invention containing a filler. Seventh invention, block copolymer type polyimide of the fourth to sixth aspects thermal expansion coefficient is 25ppm or less - about Silica Hybrid cured product. The 8th of this invention is related with the metal laminated body obtained by electroless-plating the block copolymerization type polyimide-silica hybrid hardened | cured material of the said 4th-7th invention.

本発明のポリアミック酸(II)によれば、キャスト法によっても、金属板や金属箔に対し密着性の高いコーティング膜を形成できる。また、本発明のポリアミック酸(II)から得られるポリイミド−シリカハイブリッド硬化物は、柔軟性など機械的強度に優れ、吸水率と熱膨張係数が低く、無電解メッキすることもできる。   According to the polyamic acid (II) of the present invention, a coating film having high adhesion to a metal plate or metal foil can be formed even by a casting method. Moreover, the polyimide-silica hybrid cured product obtained from the polyamic acid (II) of the present invention is excellent in mechanical strength such as flexibility, has a low water absorption and thermal expansion coefficient, and can be electrolessly plated.

本発明のポリアミック酸(II)を構成するポリアミック酸(1)としては、分子中にアミド結合分子骨格中の隣接炭素原子のそれぞれにカルボキシル基とアミド基を有する樹脂であって、例えばテトラカルボン酸二無水物とジアミン類を、有機溶剤中、通常−20℃〜80℃で反応させて得られるポリアミック酸溶液が使用出来る。ポリアミック酸(1)の分子量は特に限定されないが、数平均分子量1000〜20000程度のものが好ましい。 The polyamic acid (1) constituting the polyamic acid (II) of the present invention is a resin having a carboxyl group and an amide group in each of adjacent carbon atoms in the amide bond molecular skeleton in the molecule, for example, tetracarboxylic acid A polyamic acid solution obtained by reacting dianhydride and diamine in an organic solvent usually at -20 ° C to 80 ° C can be used. The molecular weight of the polyamic acid (1) is not particularly limited, but preferably has a number average molecular weight of about 1000 to 20000.

本発明のポリアミック酸(II)を構成するポリアミック酸(1)において用いられるテトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、1,2,3,4−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,3’,4,4’−テトラカルボキシフェニル)テトラフルオロプロパン二無水物、2,2’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシフェニル)スルホン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸、2,3,5−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物などのテトラカルボン酸類を例示できる。 Examples of the tetracarboxylic dianhydride used in the polyamic acid (1) constituting the polyamic acid (II) of the present invention include, for example, pyromellitic dianhydride, 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic dianhydride. Anhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic Acid dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4 ′ -Diphenyl -Tertetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 2,3, 3 ′, 4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,3 ′, 4,4′-tetracarboxyphenyl) tetrafluoropropane dianhydride, 2,2′-bis (3 , 4-Dicarboxyphenoxyphenyl) sulfone dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride , Cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, butane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid, 2,3,5-tricarboxycyclopentylacetic acid dianhydride, etc. Acids can be exemplified.

また、本発明の効果を失わない範囲で、トリメリット酸無水物、ブタン−1,2,4−トリカルボン酸、ナフタレン−1,2,4−トリカルボン酸などのトリカルボン酸類、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ビメリン酸、スベリン酸、セバシン酸、ウンデカン二酸、ドデカン二酸、トリデカン二酸など脂肪族ジカルボン酸類やそれらの酸無水物、イソフタル酸、テレフタル酸、ジフェニルメタン−4,4’−ジカルボン酸など芳香族ジカルボン酸類やそれらの酸無水物を併用できる。但し、テトラカルボン酸二無水物に対するこれらの割合が多すぎると、得られる硬化物の絶縁性や耐熱性が落ちる傾向があるため、通常、その使用量はテトラカルボン酸類に対し、30モル%以下であることが好ましい。   Further, within the range not losing the effect of the present invention, tricarboxylic acids such as trimellitic anhydride, butane-1,2,4-tricarboxylic acid, naphthalene-1,2,4-tricarboxylic acid, oxalic acid, malonic acid, Aliphatic dicarboxylic acids such as succinic acid, glutaric acid, adipic acid, vimelic acid, suberic acid, sebacic acid, undecanedioic acid, dodecanedioic acid, tridecanedioic acid and their acid anhydrides, isophthalic acid, terephthalic acid, diphenylmethane-4 Aromatic dicarboxylic acids such as 4,4'-dicarboxylic acid and acid anhydrides thereof can be used in combination. However, if these ratios with respect to tetracarboxylic dianhydride are too large, the resulting cured product tends to have poor insulation and heat resistance, so the amount used is usually 30 mol% or less relative to tetracarboxylic acids. It is preferable that

本発明のポリアミック酸(II)を構成するポリアミック酸(1)において用いられるジアミン類(B)としては、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジ(m−アミノフェノキシ)ジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、1,4−ジアミノベンゼン、2,5−ジアミノトルエン、イソホロンジアミン、4−(2−アミノフェノキシ)−1,3−ジアミノベンゼン、4−(4−アミノフェノキシ)−1,3−ジアミノベンゼン、2−アミノ−4−(4−アミノフェニル)チアゾール、2−アミノ−4−フェニル−5−(4−アミノフェニル)チアゾール、ベンジジン、3,3’,5,5’−テトラメチルベンジジン、オクタフルオロベンジジン、o−トリジン、m−トリジン、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、1,2−ビス(アニリノ)エタン、2,2−ビス(p−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(p−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,6−ジアミノナフタレン、ジアミノベンゾトリフルオライド、1,4−ビス(p−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(p−アミノフェノキシ)ビフェニル、ジアミノアントラキノン、1,3−ビス(アニリノ)ヘキサフルオロプロパン、1,4−ビス(アニリノ)オクタフルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(p−アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパンなどのジアミン類を例示できる。   Examples of the diamine (B) used in the polyamic acid (1) constituting the polyamic acid (II) of the present invention include 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, and 4,4′-diaminophenyl. Methane, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-di (m-aminophenoxy) diphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylsulfide, 1,4-diaminobenzene, 2,5-diaminotoluene, isophoronediamine, 4- (2-aminophenoxy) -1,3-diaminobenzene, 4- (4-aminophenoxy) -1,3-diaminobenzene, 2 -Amino-4- (4-aminophenyl) thiazole, 2-amino-4-phenyl-5- 4-aminophenyl) thiazole, benzidine, 3,3 ′, 5,5′-tetramethylbenzidine, octafluorobenzidine, o-tolidine, m-tolidine, p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 1,2-bis (Anilino) ethane, 2,2-bis (p-aminophenyl) propane, 2,2-bis (p-aminophenyl) hexafluoropropane, 2,6-diaminonaphthalene, diaminobenzotrifluoride, 1,4-bis (P-aminophenoxy) benzene, 4,4′-bis (p-aminophenoxy) biphenyl, diaminoanthraquinone, 1,3-bis (anilino) hexafluoropropane, 1,4-bis (anilino) octafluoropropane, 2 , 2-Bis [4- (p-aminophenoxy) phenyl] hexafluoro Examples include diamines such as propane.

本発明のポリアミック酸(II)を構成するポリアミック酸(1)においては、テトラカルボン酸二無水物(A)とジアミン(B)の使用割合は、特に制限されないが、(テトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)/(ジアミン(B)をモル数)の値が1.03〜1.33または0.75〜0.97の範囲とするのが好ましい。(テトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)/(ジアミン(B)をモル数)の値が0.97を超え1.03未満となる範囲では、ポリアミック酸(1)とエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)の反応が極めて遅くなり、ポリアミック酸(I)製造中にポリアミック酸がイミド閉環し、ポリマーが有機溶剤中で不溶化する傾向があるため好ましくない。(テトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)/(ジアミン(B)をモル数)の値が1.33より大きい場合または0.75より小さい場合には、ポリアミック酸(I)製造中にゲル化する傾向があるため好ましくない。これらの中では、ポリアミック酸(1)やポリアミック酸(I)の貯蔵安定性が必要な場合には、(テトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)/(ジアミン(B)をモル数)の値を0.75〜0.97の範囲とするのが好ましい。 In the polyamic acid (1) constituting the polyamic acid (II) of the present invention, the ratio of tetracarboxylic dianhydride (A) and diamine (B) used is not particularly limited, but (tetracarboxylic dianhydride) The value of (the number of moles of (A)) / (the number of moles of diamine (B)) is preferably in the range of 1.03 to 1.33 or 0.75 to 0.97. In the range where the value of (number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A)) / (number of moles of diamine (B)) is more than 0.97 and less than 1.03, polyamic acid (1) and epoxy group contained Since the reaction of the alkoxysilane partial condensate (2) is extremely slow, the polyamic acid is imide-closed during the production of the polyamic acid (I), and the polymer tends to become insoluble in an organic solvent, which is not preferable. When the value of (number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A)) / (number of moles of diamine (B)) is greater than 1.33 or less than 0.75, polyamic acid (I) is being produced. This is not preferred because it tends to gel. In these, when the storage stability of polyamic acid (1) or polyamic acid (I) is required, (number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A)) / (number of moles of diamine (B)) ) Is preferably in the range of 0.75 to 0.97.

ポリアミック酸(1)の製造は、ポリアミック酸(1)及びエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)を溶解する有機溶剤中で、ポリイミド換算固形残分5〜60%で製造するのが好ましい。ここでポリイミド換算固形残分とは、ポリアミック酸(1)が完全にポリイミドに硬化した時の、ポリアミック酸(1)溶液に対するポリイミドの重量%を表す。ポリイミド換算固形残分が5%未満では、ポリアミック酸(1)溶液の製造コストが高くなる。一方、60%を超えると、ポリアミック酸(1)溶液が室温で高粘度となるためハンドリングが悪くなる傾向がある。用いる有機溶剤としては、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドン、フェノール、o−、m−、またはp−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコール、ヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトン等の有機極性溶剤を挙げることができ、これらを単独または混合物として用いるのが好ましいが、更にキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素を前記極性溶剤と併用しうる。これらの中では、ポリアミック酸(1)やポリアミック酸(I)の貯蔵安定性の点から、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンを単独または混合物として用いるのが好ましい。 The production of the polyamic acid (1) is preferably carried out in an organic solvent that dissolves the polyamic acid (1) and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) with a polyimide-converted solid residue of 5 to 60%. Here, the polyimide-converted solid residue represents the weight percent of polyimide with respect to the polyamic acid (1) solution when the polyamic acid (1) is completely cured into polyimide. If the polyimide conversion solid residue is less than 5%, the production cost of the polyamic acid (1) solution is increased. On the other hand, when it exceeds 60%, the polyamic acid (1) solution has a high viscosity at room temperature, so that the handling tends to be poor. Examples of the organic solvent to be used include dimethyl sulfoxide, diethyl sulfoxide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, And organic polar solvents such as N-vinyl-2-pyrrolidone, phenol, o-, m-, or p-cresol, xylenol, halogenated phenol, catechol, hexamethylphosphoramide, γ-butyrolactone, etc. Are preferably used alone or as a mixture, but aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene may be used in combination with the polar solvent. Among these, from the viewpoint of the storage stability of polyamic acid (1) and polyamic acid (I), dimethyl sulfoxide, diethyl sulfoxide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide N, N-diethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone are preferably used alone or as a mixture.

また、ポリアミック酸(1)の反応温度は、アミド酸基が残存する温度であれば特に限定されないが、−20〜80℃程度に調整するのが好ましい。−20℃未満の製造は反応速度が遅くなり、長時間を必要とするため不経済であるし、80℃を超えるとポリアミック酸中のアミド酸基がイミド基に閉環する割合が増え、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)との反応点が減少する傾向があるため好ましくない。 The reaction temperature of the polyamic acid (1) is not particularly limited as long as the amic acid group remains, but is preferably adjusted to about -20 to 80 ° C. Production below −20 ° C. is uneconomical because the reaction rate is slow and requires a long time, and when it exceeds 80 ° C., the ratio of the amide group in the polyamic acid ring-closing to the imide group increases, and the epoxy group Since the reaction point with the contained alkoxysilane partial condensate (2) tends to decrease, it is not preferable.

本発明で使用されるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)は、1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物とアルコキシシラン部分縮合物との脱アルコール反応によって得られるものである。   The epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) used in the present invention is obtained by a dealcoholization reaction between an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule and an alkoxysilane partial condensate.

かかるエポキシ化合物としては、1分子中に水酸基を1つ有するエポキシ化合物であれば、エポキシ基の数は特に限定されない。また、エポキシ化合物としては、分子量が小さいもの程、アルコキシシラン部分縮合物に対する相溶性がよく、耐熱性や密着性付与効果が高いことから、炭素数が15以下のものが好適である。その具体例としては、エピクロロヒドリンと、水、2価アルコールまたは2つの水酸基を有するフェノール類とを反応させて得られる分子末端に1つの水酸基を有するモノグリシジルエーテル類;エピクロロヒドリンとグリセリンやペンタエリスリトールなどの3価以上の多価アルコールとを反応させて得られる分子末端に1つの水酸基を有するポリグリシジルエーテル類;エピクロロヒドリンとアミノモノアルコールとを反応させて得られる分子末端に1つの水酸基を有するエポキシ化合物;分子中に1つの水酸基を有する脂環式炭化水素モノエポキシド(例えば、エポキシ化テトラヒドロベンジルアルコール)などが例示出来る。これらの中では、一般式(1):   As such an epoxy compound, the number of epoxy groups is not particularly limited as long as it is an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule. In addition, as the epoxy compound, the smaller the molecular weight, the better the compatibility with the alkoxysilane partial condensate, and the higher the heat resistance and adhesion imparting effect. Specific examples thereof include monoglycidyl ethers having one hydroxyl group at the molecular end obtained by reacting epichlorohydrin with water, dihydric alcohol or phenols having two hydroxyl groups; epichlorohydrin; Polyglycidyl ethers having one hydroxyl group at the molecular end obtained by reacting with a trihydric or higher polyhydric alcohol such as glycerin or pentaerythritol; Molecular end obtained by reacting epichlorohydrin with amino monoalcohol Examples thereof include epoxy compounds having one hydroxyl group; alicyclic hydrocarbon monoepoxides having one hydroxyl group in the molecule (for example, epoxidized tetrahydrobenzyl alcohol). Among these, the general formula (1):

Figure 0003962997
Figure 0003962997

(pは、1〜13で表される整数を表す。)で表されるものが好ましく、特に、pが1〜10であるものが好ましい。このものの例としては、例えば、グリシドール(日本油脂(株)製、商品名「エピオールOH」)やエポキシアルコール(クラレ(株)製、商品名「EOA」)などを例示できる。なお、pの値が10を超えると、最終的に得られる複合体硬化物の耐熱性が低下する傾向にあるため、耐熱性が要求される用途には、pの値を10以下とすることが好ましい。これらのエポキシ化合物の中でも、グリシドールやエポキシアルコールが耐熱性付与効果の点で最も優れており、またアルコキシシラン部分縮合物との反応性も高いため、最適である。 What is represented by (p represents the integer represented by 1-13) is preferable, and what is especially p is 1-10 is preferable. Examples of this include, for example, glycidol (trade name “Epiol OH” manufactured by NOF Corporation) and epoxy alcohol (trade name “EOA” manufactured by Kuraray Co., Ltd.). In addition, since the heat resistance of the finally obtained composite cured product tends to decrease when the value of p exceeds 10, for applications where heat resistance is required, the value of p should be 10 or less. Is preferred. Among these epoxy compounds, glycidol and epoxy alcohol are the most excellent in terms of imparting heat resistance, and are most suitable because of their high reactivity with the alkoxysilane partial condensate.

アルコキシシラン部分縮合物としては、
一般式(2):R1 Si(OR2(4-m)
(式中、R1は炭素数8以下のアルキル基またはアリール基、R2は炭素数4以下の低級アルキル基、mは0または1の整数を示す。)
で表される加水分解性アルコキシシランモノマーを、酸または塩基触媒、および水の存在下で加水分解し、部分的に縮合させて得られるものが用いられる。
As an alkoxysilane partial condensate,
Formula (2): R 1 m Si (OR 2 ) (4-m)
(In the formula, R 1 represents an alkyl group or aryl group having 8 or less carbon atoms, R 2 represents a lower alkyl group having 4 or less carbon atoms, and m represents an integer of 0 or 1.)
A hydrolyzable alkoxysilane monomer represented by the formula (1) is obtained by hydrolyzing in the presence of an acid or base catalyst and water and partially condensing.

アルコキシシラン部分縮合物の構成原料である加水分解性アルコキシシランモノマーの具体的としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン等のテトラアルコキシシラン類、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、n−プロピルトリメトキシシラン、n−プロピルトリエトキシシラン、イソプロピルトリメトキシシラン、イソプロピルトリエトキシシラン等のトリアルコキシシラン類などがあげられる。これらのなかでは、特に、1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物との反応性が高いことから、アルコキシシラン部分縮合物としてはテトラメトキシシランまたはメチルトリメトキシシランを70モル%以上用いて合成されたものが好ましい。   Specific examples of the hydrolyzable alkoxysilane monomer that is a constituent raw material of the alkoxysilane partial condensate include tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane, tetraisopropoxysilane, methyltrimethoxysilane, Such as methyltriethoxysilane, methyltripropoxysilane, methyltributoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, n-propyltrimethoxysilane, n-propyltriethoxysilane, isopropyltrimethoxysilane, isopropyltriethoxysilane And trialkoxysilanes. Among these, since the reactivity with an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule is high, the alkoxysilane partial condensate is synthesized using tetramethoxysilane or methyltrimethoxysilane in an amount of 70 mol% or more. The ones made are preferred.

なお、これらアルコキシシラン部分縮合物としては、前記例示のものを特に限定なく使用出来るが、これら例示物のうちの2種以上を混合使用する場合には、アルコキシシラン部分縮合物の総量中でテトラメトキシシラン部分縮合物またはメチルトリメトキシシラン部分縮合物を70重量%以上用いることが好ましい。   In addition, as these alkoxysilane partial condensates, those exemplified above can be used without any particular limitation. However, when two or more of these examples are mixed and used, tetraalkoxysilane in the total amount of the alkoxysilane partial condensate is used. It is preferable to use 70% by weight or more of a methoxysilane partial condensate or a methyltrimethoxysilane partial condensate.

当該アルコキシシラン部分縮合物の数平均分子量は、230〜2000程度、1分子中のSiの平均個数は2〜11程度であることが好ましい。Siの平均個数が2未満であると、1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物との脱アルコール反応の際、反応せずにアルコールと一緒に系外に流出するアルコキシシラン類の量が増え、また11を超えると、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)のポリアミック酸(1)との反応性が落ち、ポリアミック酸(I)が得られにくい。   The number average molecular weight of the alkoxysilane partial condensate is preferably about 230 to 2000, and the average number of Si in one molecule is preferably about 2 to 11. When the average number of Si is less than 2, in the dealcoholization reaction with an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule, the amount of alkoxysilanes flowing out of the system together with alcohol without reacting increases. If it exceeds 11, the reactivity of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) with the polyamic acid (1) is lowered, and the polyamic acid (I) is hardly obtained.

エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)は、1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物とアルコキシシラン部分縮合物を脱アルコール反応させることにより得られる。エポキシ化合物とアルコキシシラン部分縮合物との使用割合は、アルコキシ基が実質的に残存するような割合であれば特に制限されないが、得られるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)中のエポキシ基の割合が、通常は、1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物の水酸基の当量/アルコキシシラン部分縮合物のアルコキシ基の当量=0.01/1〜0.3/1となる仕込み比率で、アルコキシシラン縮合物と1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物を脱アルコール反応させることが好ましい。前記仕込み比率が少なくなるとエポキシ変性されていないアルコキシシラン部分縮合物の割合が増加するため、ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッドフィルムが不透明化する傾向があるため、前記仕込み比率は、0.03以上/1とするのがより好ましい。また、前記仕込み比率が大きくなると、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)のエポキシ基が多官能化し、ポリアミック酸(I)合成時にゲル化しやすくなるため、前記仕込み比率は、0.3以下/1とするのがより好ましい。   The epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) can be obtained by dealcoholizing an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule and an alkoxysilane partial condensate. The use ratio of the epoxy compound and the alkoxysilane partial condensate is not particularly limited as long as the alkoxy group remains substantially, but the epoxy group in the resulting epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) is not limited. Is usually a charge ratio such that the equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule / the equivalent of the alkoxy group of the alkoxysilane partial condensate = 0.01 / 1 to 0.3 / 1. It is preferable to subject the alkoxysilane condensate and an epoxy compound having one hydroxyl group per molecule to a dealcoholization reaction. Since the ratio of the alkoxysilane partial condensate which is not epoxy-modified increases when the charging ratio decreases, the block copolymerization type polyimide-silica hybrid film tends to become opaque. Therefore, the charging ratio is 0.03 or more. / 1 is more preferable. Moreover, since the epoxy group of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) is polyfunctionalized and becomes easy to gel during synthesis of the polyamic acid (I) when the charging ratio is increased, the charging ratio is 0.3 or less. / 1 is more preferable.

アルコキシシラン部分縮合物と1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物の反応は、たとえば、前記各成分を仕込み、加熱して生成するアルコールを留去しながら、脱アルコール反応を行う。反応温度は50〜150℃程度、好ましくは70〜110℃であり、全反応時間は1〜15時間程度である。なお、脱アルコール反応を110℃を超える温度で行うと、反応系中でアルコキシシランの縮合に伴って、反応生成物の分子量が上がりすぎ、高粘度化やゲル化する傾向がある。このような場合には、脱アルコール反応を反応途中で、停止させるなどの方法により高粘度化、ゲル化を防止出来る。   In the reaction of the alkoxysilane partial condensate and the epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule, for example, the above-described components are charged and the alcohol is generated by distilling off the alcohol produced by heating. The reaction temperature is about 50 to 150 ° C., preferably 70 to 110 ° C., and the total reaction time is about 1 to 15 hours. If the dealcoholization reaction is carried out at a temperature exceeding 110 ° C., the molecular weight of the reaction product increases too much with the condensation of alkoxysilane in the reaction system, and there is a tendency to increase the viscosity or gel. In such a case, viscosity increase and gelation can be prevented by a method such as stopping the dealcoholization reaction during the reaction.

また、上記のアルコキシシラン部分縮合物と1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物の脱アルコール反応に際しては、反応促進のために従来公知のエステル交換触媒の内、エポキシ環を開環しないものを使用することが出来る。たとえば、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、マグネシウム、カルシウム、バリウム、ストロンチウム、亜鉛、アルミニウム、チタン、コバルト、ゲルマニウム、錫、鉛、アンチモン、砒素、セリウム、硼素、カドミウム、マンガンのような金属や、これらの酸化物、有機酸塩、ハロゲン化物またはアルコキシド等があげられる。これらのなかでも、特に有機錫、有機酸錫が好ましく、具体的には、ジブチル錫ジラウレート、オクチル酸錫などが有効である。   In the dealcoholization reaction of the above alkoxysilane partial condensate and an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule, a conventionally known transesterification catalyst that does not open an epoxy ring is used to promote the reaction. Can be used. For example, metals such as lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, magnesium, calcium, barium, strontium, zinc, aluminum, titanium, cobalt, germanium, tin, lead, antimony, arsenic, cerium, boron, cadmium, manganese, These oxides, organic acid salts, halides, alkoxides and the like. Among these, organic tin and organic acid tin are particularly preferable, and specifically, dibutyltin dilaurate and tin octylate are effective.

また、上記反応は溶剤中で行うことも出来る。溶剤としては、アルコキシシラン縮合物と1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物を溶解し、且つ1分子中に1つの水酸基を有するエポキシ化合物のエポキシ基に対して不活性なものであれば、特に限定されない。このような有機溶剤としては、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドン、ヘキサメチルホスホルアミド、γ−ブチロラクトン、トルエン、キシレンなどの溶媒を用いるのが好ましい。   The above reaction can also be carried out in a solvent. As the solvent, if an alkoxysilane condensate and an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule are dissolved and inert to the epoxy group of the epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule, There is no particular limitation. Examples of such an organic solvent include dimethyl sulfoxide, diethyl sulfoxide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N-methyl-2- It is preferable to use a solvent such as pyrrolidone, N-vinyl-2-pyrrolidone, hexamethylphosphoramide, γ-butyrolactone, toluene, xylene.

ポリアミック酸(I)は、前記ポリアミック酸(1)と前記エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)とを反応させて得られる。ポリアミック酸(1)とエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)の使用割合は、特に制限されないが、(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)のエポキシ基の当量/ポリアミック酸(1)に使用したテトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)が0.01〜0.6の範囲とするのが好ましい。上記数値が0.01未満であると本発明の効果が得られにくく、0.6を超えるとポリイミド−シリカハイブリッドフィルムが不透明になる傾向があるため好ましくない。   The polyamic acid (I) is obtained by reacting the polyamic acid (1) with the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2). The ratio of the polyamic acid (1) and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) used is not particularly limited, but (the equivalent of the epoxy group of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) / polyamic acid (1) The number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) used in the above is preferably in the range of 0.01 to 0.6. If the above numerical value is less than 0.01, it is difficult to obtain the effect of the present invention, and if it exceeds 0.6, the polyimide-silica hybrid film tends to be opaque, which is not preferable.

ポリアミック酸(I)の製造は、たとえば、前記各成分を仕込み、実質的に無水状態で加熱して反応を行う。本反応はポリアミック酸(1)のカルボン酸基と前記エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)のエポキシ基の反応を主目的にしており、本反応中にエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)のアルコキシシリル部位のゾル-ゲル反応によるシリカの生成を抑える必要がある。そこで、反応温度は50〜120℃程度、好ましくは60〜100℃であり、反応時間は1〜10時間程度で行うのが好ましい。   In the production of polyamic acid (I), for example, the above components are charged and the reaction is carried out by heating in a substantially anhydrous state. The main purpose of this reaction is to react the carboxylic acid group of the polyamic acid (1) with the epoxy group of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2). During this reaction, the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate ( It is necessary to suppress the formation of silica due to the sol-gel reaction of the alkoxysilyl moiety of 2). Therefore, the reaction temperature is about 50 to 120 ° C., preferably 60 to 100 ° C., and the reaction time is preferably about 1 to 10 hours.

また、上記の脱アルコール反応に際しては、反応促進のために従来公知のエポキシ基とカルボン酸とを反応させる際に使用する触媒を使用することが出来る。1,8−ジアザ−ビシクロ[5.4.0]ウンデセン−7、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノールなどの三級アミン類;2−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾールなどのイミダゾール類;トリブチルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン、ジフェニルホスフィン、フェニルホスフィンなどの有機ホスフィン類;テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボーレート、2−エチル−4−メチルイミダゾール・テトラフェニルボーレート、N−メチルモルホリン・テトラフェニルボーレートなどのテトラフェニルボロン塩などをあげることが出来る。反応触媒はポリアミック酸のポリイミド換算固形残分100重量部に対し、0.01〜5重量部の割合で使用するのが好ましい。   In the above dealcoholization reaction, a catalyst used for reacting a conventionally known epoxy group with a carboxylic acid can be used to promote the reaction. Tertiary amines such as 1,8-diaza-bicyclo [5.4.0] undecene-7, triethylenediamine, benzyldimethylamine, triethanolamine, dimethylaminoethanol, tris (dimethylaminomethyl) phenol; 2-methyl Imidazoles such as imidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole; organic phosphines such as tributylphosphine, methyldiphenylphosphine, triphenylphosphine, diphenylphosphine, phenylphosphine; tetraphenyl Tetraphenylborate such as phosphonium tetraphenylborate, 2-ethyl-4-methylimidazole tetraphenylborate, N-methylmorpholine tetraphenylborate Such as emissions salt can be mentioned. The reaction catalyst is preferably used in a proportion of 0.01 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid residue of polyamic acid in terms of polyimide.

なお、上記反応は、溶剤中で行うことが好ましい。溶剤としては、ポリアミック酸(1)およびエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)を溶解する溶剤であれば特に制限されない。このような溶剤としては、例えば、ポリアミック酸(1)製造時に使用した有機溶剤等を例示出来る。   In addition, it is preferable to perform the said reaction in a solvent. The solvent is not particularly limited as long as it dissolves the polyamic acid (1) and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2). As such a solvent, the organic solvent etc. which were used at the time of manufacture of polyamic acid (1) can be illustrated, for example.

ポリアミック酸(II)は、ポリアミック酸(I)に、更にテトラカルボン酸二無水物(C)及びジアミン(D)を反応させて得られる。テトラカルボン酸二無水物(C)としては、テトラカルボン酸二無水物(A)として例示されたものを、ジアミン(D)としては、ジアミン(B)として例示されたものを自由に選択して使用出来る。なお、テトラカルボン酸二無水物(A)とテトラカルボン酸二無水物(C)は同一であっても良く、また、ジアミン(B)とジアミン(D)は同一であっても良いが、テトラカルボン酸二無水物(A)とテトラカルボン酸二無水物(C)が同一であり、且つ、ジアミン(B)とジアミン(D)が同一であってはならない。 これら各成分は、ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物の吸水率、熱膨張係数の点から、テトラカルボン酸二無水物(A)とテトラカルボン酸二無水物(C)の合計モル数の約15〜100モル%がピロメリット酸二無水物であり、且つ、ジアミン(B)とジアミン(D)の合計モル数の約25〜100モル%がp−フェニレンジアミンであることが好ましい。また、柔軟性、汎用性、無電解メッキ密着性を考慮すると、ジアミン(B)とジアミン(D)の合計モル数の約40〜90モル%が、p−フェニレンジアミンであり、且つ、約10〜60モル%が、オキサジアニリンであることが特に好ましい。   The polyamic acid (II) is obtained by further reacting the polyamic acid (I) with a tetracarboxylic dianhydride (C) and a diamine (D). As tetracarboxylic dianhydride (C), those exemplified as tetracarboxylic dianhydride (A) can be freely selected, and as diamine (D), those exemplified as diamine (B) can be freely selected. Can be used. Tetracarboxylic dianhydride (A) and tetracarboxylic dianhydride (C) may be the same, and diamine (B) and diamine (D) may be the same. Carboxylic dianhydride (A) and tetracarboxylic dianhydride (C) must not be the same, and diamine (B) and diamine (D) must not be the same. Each of these components is composed of a total number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) and tetracarboxylic dianhydride (C) from the viewpoint of water absorption and thermal expansion coefficient of the block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product. About 15 to 100 mol% is preferably pyromellitic dianhydride, and about 25 to 100 mol% of the total number of moles of diamine (B) and diamine (D) is preferably p-phenylenediamine. In consideration of flexibility, versatility, and electroless plating adhesion, about 40 to 90 mol% of the total number of moles of diamine (B) and diamine (D) is p-phenylenediamine and about 10 It is particularly preferred that ˜60 mol% is oxadianiline.

ポリアミック酸(II)は、たとえば、ポリアミック酸(I)にテトラカルボン酸二無水物(C)やジアミン(D)の粉体、有機溶剤の溶液又はスラリーを添加して、反応させることにより得られる。テトラカルボン酸二無水物(C)、ジアミン(D)の添加法は特に限定されないが、テトラカルボン酸二無水物(C)は加水分解を受けやすい上に溶解性が乏しい為、ジアミン(D)の添加後に添加するのが好ましい。またテトラカルボン酸二無水物(C)、ジアミン(D)に2種類以上のテトラカルボン類やジアミン類を用いる場合には、一括添加してもそれぞれを分割して添加してもよい。なお、ポリアミック酸(1)の製造の場合と同様に、ポリアミック酸(II)の製造も、高温で反応させると、ポリアミック酸中のアミド酸基がイミド基に閉環する割合が増え、溶剤に不溶化するため好ましくない。反応温度は攪拌効率、反応系内の粘度により決定すればよいが、経済性及び上記イミド閉環反応の抑制の為、−20℃〜100℃であることが好ましい。 The polyamic acid (II) is obtained, for example, by adding a powder of tetracarboxylic dianhydride (C) or diamine (D), a solution or slurry of an organic solvent to the polyamic acid (I), and reacting them. . The method for adding tetracarboxylic dianhydride (C) and diamine (D) is not particularly limited, but tetracarboxylic dianhydride (C) is susceptible to hydrolysis and has poor solubility, so diamine (D) It is preferable to add after the addition. Moreover, when using two or more types of tetracarboxylic acids and diamines for tetracarboxylic dianhydride (C) and diamine (D), they may be added all at once or separately. As in the case of the production of polyamic acid (1), the production of polyamic acid (II) also increases the proportion of the amide acid group in the polyamic acid that cyclizes to the imide group and becomes insoluble in the solvent. Therefore, it is not preferable. The reaction temperature may be determined by the stirring efficiency and the viscosity in the reaction system, but is preferably -20 ° C to 100 ° C for economy and suppression of the imide ring-closing reaction.

本発明のポリアミック酸(II)は、テトラカルボン酸二無水物(A)、ジアミン(B)、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)から構成されるポリアミック酸(I)のセグメントとテトラカルボン酸二無水物(C)、ジアミン(D)から構成されるシラン変性されないポリアミック酸のセグメントのブロック共重合構造を有している。ポリアミック酸(I)のセグメントはアルコキシシラン部分縮合物を側鎖に持ち、ゾル−ゲル反応によってシリカを形成し、このシリカ部分で分子間架橋を形成し、特に金属基材密着性や無電解メッキ密着性に寄与する。またテトラカルボン酸二無水物(C)、ジアミン(D)から形成されるシラン変性されていないポリアミック酸のセグメントは、シリカを有さず、ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物の柔軟性、或いは低熱膨張性の発現に寄与する。 The polyamic acid (II) of the present invention comprises a tetracarboxylic dianhydride (A), a diamine (B), a polyamic acid (I) segment composed of an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2), and a tetracarboxylic acid. It has a block copolymer structure of a polyamic acid segment not modified with silane composed of an acid dianhydride (C) and a diamine (D). The polyamic acid (I) segment has an alkoxysilane partial condensate in the side chain, forms silica by a sol-gel reaction, and forms intermolecular crosslinks in this silica portion, particularly metal substrate adhesion and electroless plating. Contributes to adhesion. Moreover, the segment of polyamic acid not modified with silane formed from tetracarboxylic dianhydride (C) and diamine (D) does not have silica, and the flexibility of the block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product, Or it contributes to the expression of low thermal expansion.

ポリアミック酸(II)の分子量は特に限定されないが、数平均分子量10000〜1000000であることが好ましい。数平均分子量が10000未満では出来上がったフィルムが脆くなり、一方、1000000を越えるとポリアミック酸(II)の粘度が高くなりすぎ取り扱いが難しくなり好ましくない。 The molecular weight of the polyamic acid (II) is not particularly limited, but is preferably a number average molecular weight of 10,000 to 1,000,000. If the number average molecular weight is less than 10,000, the resulting film becomes brittle. On the other hand, if it exceeds 1,000,000, the viscosity of the polyamic acid (II) becomes too high and handling becomes difficult.

ポリアミック酸(II)やその中間生成物であるポリアミック酸(I)は、その分子中にアルコキシシラン部分縮合物に由来するアルコキシ基を有している。当該アルコキシ基の含有量は、特に限定はされないが、このアルコキシ基は溶剤の蒸発や加熱処理により、または水分(湿気)との反応によりゾル−ゲル反応や脱アルコール縮合して、相互に結合した硬化物を形成するために必要となるため、ポリアミック酸(II)は通常、アルコキシシラン部分縮合物のアルコキシ基の50〜95モル%、好ましくは60〜90モル%を未反応のままで保持しておくのが良い。ポリアミック酸(II)から得られる硬化物は、
一般式(3):R1 Si(OR2(4-m)/2
(式中、Rは炭素数8以下のアルキル基またはアリール基、Rは炭素数4以下の低級アルキル基、mは0または1の整数を示す。)
で示されるゲル化した微細なシリカ部位(シロキサン結合の高次網目構造)を有するものである。またポリアミック酸(II)は、高分子鎖中、ポリアミック酸(1)由来のカルボン酸基の一部がシラン変性された共重合体型ポリアミック酸を主成分とするが、ポリアミック酸(II)中にはアルコキシシラン部分縮合物、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)、反応に使用した有機溶剤や触媒を含有されていてもよい。なお、未反応のアルコキシシラン部分縮合物、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)は硬化時に、加水分解、重縮合によりシリカ硬化し、ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物と一体化する。
The polyamic acid (II) and the polyamic acid (I) which is an intermediate product thereof have an alkoxy group derived from an alkoxysilane partial condensate in the molecule. Although the content of the alkoxy group is not particularly limited, the alkoxy group is bonded to each other by evaporation of a solvent, heat treatment, or sol-gel reaction or dealcoholization condensation by reaction with moisture (humidity). Since it is necessary to form a cured product, polyamic acid (II) usually holds 50 to 95 mol%, preferably 60 to 90 mol% of the alkoxy group of the alkoxysilane partial condensate unreacted. It is good to keep. The cured product obtained from polyamic acid (II) is
General formula (3): R 1 m Si (OR 2 ) (4-m) / 2
(In the formula, R 1 represents an alkyl group or aryl group having 8 or less carbon atoms, R 2 represents a lower alkyl group having 4 or less carbon atoms, and m represents an integer of 0 or 1.)
It has the gelatinized fine silica part (high-order network structure of a siloxane bond) shown by these. The polyamic acid (II) is mainly composed of a copolymer type polyamic acid in which a part of the carboxylic acid group derived from the polyamic acid (1) is silane-modified in the polymer chain, but the polyamic acid (II) contains May contain an alkoxysilane partial condensate, an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2), an organic solvent or a catalyst used in the reaction. The unreacted alkoxysilane partial condensate and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) are cured by hydrolysis and polycondensation at the time of curing, and are integrated with the block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product. .

本発明のポリアミック酸(II)を各種用途に使用する場合、ポリアミック酸(II)を含有していれば、その他の成分は特に限定されるものではない。ポリアミック酸(II)は使用目的に応じて、有機溶剤により適宜に濃度を調整出来る。有機溶剤としては、ポリアミック酸(II)を溶解出来るものであれば、特に制限なく使用出来る。また、硬化物の力学的強度や耐熱性を調整する目的で、硬化物のシリカ量を調整する必要がある場合、ポリアミック酸(II)に、アルコキシシラン部分縮合物やポリアミック酸(1)を配合しても構わない。また、ポリアミック酸(II)のアルコキシシリル部位を硬化させる際に、加水分解、重縮合を促進するため、ポリアミック酸(II)に、少量の水や、有機錫、有機酸錫系触媒を加えても良い。 When the polyamic acid (II) of the present invention is used for various purposes, the other components are not particularly limited as long as the polyamic acid (II) is contained. The concentration of polyamic acid (II) can be appropriately adjusted with an organic solvent according to the purpose of use. Any organic solvent can be used without particular limitation as long as it can dissolve polyamic acid (II). In addition, when it is necessary to adjust the amount of silica in the cured product for the purpose of adjusting the mechanical strength and heat resistance of the cured product, an alkoxysilane partial condensate or a polyamic acid (1) is added to the polyamic acid (II). It doesn't matter. Also, in order to accelerate hydrolysis and polycondensation when curing the alkoxysilyl moiety of polyamic acid (II), add a small amount of water, organic tin, or organic acid tin-based catalyst to polyamic acid (II). Also good.

本発明のポリアミック酸(II)を各種用途に使用する場合、本発明の効果を損なわない範囲で、各種用途の必要に応じて、フィラー、離型剤、表面処理剤、難燃剤、粘度調節剤、可塑剤、抗菌剤、防黴剤、レベリング剤、消泡剤、着色剤、安定剤、カップリング剤等を配合してもよい。 When the polyamic acid (II) of the present invention is used for various applications, a filler, a mold release agent, a surface treatment agent, a flame retardant, and a viscosity modifier as long as the effects of the present invention are not impaired. Plasticizers, antibacterial agents, antifungal agents, leveling agents, antifoaming agents, coloring agents, stabilizers, coupling agents, and the like may be blended.

なお、フィラーを用いることにより、摩擦係数を下げ、フィルムのハンドリングを容易にすることができる。フィラーとしては、シリカ、アルミナ、チタニア、酸化マグネシウムなどの酸化物、カオリン、タルク、モンモリロナイトなどの複合酸化物、炭酸カルシウム、炭酸バリウムなどの炭酸塩、硫酸カルシウム、硫酸バリウムなどの硫酸塩、チタン酸バリウム、チタン酸カリウムなどのチタン酸塩、リン酸第三カルシウム、リン酸第二カルシウム、リン酸第一カルシウムなどのリン酸塩など公知のものを限定なくを用いることができる。なお、フィラーを用いる場合の使用量は、通常、硬化物当り0.01〜50重量%程度であり、好ましくは0.01〜20重量である。 In addition, by using a filler, a friction coefficient can be lowered | hung and film handling can be made easy. Fillers include oxides such as silica, alumina, titania and magnesium oxide, complex oxides such as kaolin, talc and montmorillonite, carbonates such as calcium carbonate and barium carbonate, sulfates such as calcium sulfate and barium sulfate, titanic acid Known materials such as titanates such as barium and potassium titanate, phosphates such as tricalcium phosphate, dicalcium phosphate, and primary calcium phosphate can be used without limitation. In addition, the usage-amount in the case of using a filler is about 0.01 to 50 weight% normally about hardened | cured material, Preferably it is 0.01 to 20 weight.

本発明のブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物は、ポリアミック酸(II)をゾル−ゲル硬化及び脱水閉環することにより得られるものである。当該ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物は、その成形法により、例えば、コーティング膜やフィルム等の各種の形態に加工することが出来る。ポリアミック酸(II)から、ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物のコーティング膜を得るには、ポリアミック酸(II)を基材にコーティングした後、最終的に300℃〜500℃程度で硬化させる。硬化温度が300℃未満の場合には、アミド酸基からイミド基への閉環反応が不完全となり、500℃を超える場合には、ポリアミック酸の種類によってはポリイミド−シリカハイブリッド硬化物が熱分解するため好ましくない。また、フィルム形状のブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物は上記温度でキャスト成型して得るのが好ましい。この時用いる基材としては、金属基材が挙げられる。   The block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product of the present invention is obtained by sol-gel curing and dehydration ring closure of polyamic acid (II). The said polyimide-silica hybrid hardened | cured material can be processed into various forms, such as a coating film and a film, with the shaping | molding method. In order to obtain a coating film of a block copolymerization type polyimide-silica hybrid cured product from polyamic acid (II), after coating polyamic acid (II) on a substrate, it is finally cured at about 300 ° C. to 500 ° C. . When the curing temperature is less than 300 ° C., the ring closure reaction from the amic acid group to the imide group becomes incomplete, and when it exceeds 500 ° C., the polyimide-silica hybrid cured product is thermally decomposed depending on the type of polyamic acid. Therefore, it is not preferable. The film-shaped block copolymerization type polyimide-silica hybrid cured product is preferably obtained by cast molding at the above temperature. Examples of the base material used at this time include a metal base material.

また、ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物をコーティング膜或いはフィルムとして、厚み10μm以下の硬化物を得るには、上記記載の方法で問題が生じないが、これを超える厚膜硬化物を作製する時にはボイドや発泡が生じることが多い。そのため、厚み10μmを超える硬化物を得るには、アルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸(II)の硬化時に、中間温度を設定するのが好ましい。具体的には、コーティング膜の場合には、ポリアミック酸(II)を基材に塗布した後、80〜200℃程度の温度で、主に有機溶剤の乾燥と、ポリアミック酸(II)中のアルコキシシランをゾル−ゲル硬化反応して、半硬化膜を得る。更にこの基材に密着した半硬化膜を300℃〜500℃程度で硬化させることで、コーティング膜を得ることが出来る。また含浸物を得る場合にも、同様にガラスクロスや不織布などの基材に含浸後、上記の2段階で硬化させればよい。またフィルムを得る場合には、基材にキャスト後、80〜200℃の乾燥/硬化の後、自立フィルムとして基材から剥離し、300〜500℃で硬化するのが好ましい。 In addition, in order to obtain a cured product having a thickness of 10 μm or less using the block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product as a coating film or film, the above-described method does not cause a problem, but a thick film cured product exceeding this is produced. When doing so, voids and foaming often occur. Therefore, in order to obtain a cured product having a thickness exceeding 10 μm, it is preferable to set an intermediate temperature at the time of curing the alkoxy group-containing silane-modified block copolymer polyamic acid (II). Specifically, in the case of a coating film, after applying the polyamic acid (II) to the substrate, the organic solvent is dried mainly at a temperature of about 80 to 200 ° C., and the alkoxy in the polyamic acid (II). Silane is subjected to a sol-gel curing reaction to obtain a semi-cured film. Furthermore, the coating film can be obtained by curing the semi-cured film adhered to the substrate at about 300 ° C. to 500 ° C. Similarly, when an impregnated material is obtained, it may be cured in the above two steps after impregnating a substrate such as glass cloth or nonwoven fabric. Moreover, when obtaining a film, it is preferable to peel from a base material as a self-supporting film, and to harden | cure at 300-500 degreeC after 80-200 degreeC drying / curing after casting to a base material.

本発明の金属積層体を得る方法は、(i)ポリアミック酸(II)を金属板や金属箔にキャストし、膜厚によって上記条件で硬化させる (ii)ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物に無電解メッキを施す の2つを挙げることが出来る。これらの金属積層体をプリント基板用途に使用する場合には、金属層の厚みを薄く出来るという利点から、無電解メッキ法が好ましい。特にFPC、TAB、COFやCSPとして利用する場合には、ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物をフィルム膜厚10〜60μmで作製し、銅やニッケルなどの無電解メッキを施すのが好ましい。ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物への無電解メッキ法は特に限定されず、従来公知の無電解メッキ法で行うことが出来る。無電解メッキ法としては、例えば、特許公報第2622016号、公開特許公報平成3−6382号、公開特許公報平成6−316768の実施例、或いは比較例のポリイミドフィルムへの無電解メッキのいずれの方法においても、良好な無電解メッキが可能であるが、本ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物においては、従来から汎用的に用いられているABSやナイロンなどのプラスチック上への無電解メッキ法が利用出来る。このような汎用的無電解メッキ法としては、例えば、「無電解メッキ・基礎と応用」(第6版、日刊工業新聞社、2002年4月、p.131〜144)や「メッキ教本」(第14版、日刊工業新聞社、2001年8月、p.233〜242)記載の方法が挙げられる。ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物への無電解メッキの具体例としては、(i)脱脂・洗浄の後、(ii)場合によっては酸又はアルカリでエッチングし、(iii)パラジウム塩やキレートと錫塩などをブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物表面に付着させ、(iv)酸によって錫を除去、パラジウムを例示出来る。また無電解メッキ層の厚みは、特に限定されないが、通常、0.2μm〜1.0μm程度であることが好ましい。   The method for obtaining the metal laminate of the present invention is as follows: (i) polyamic acid (II) is cast on a metal plate or metal foil and cured under the above conditions depending on the film thickness (ii) block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product The following two can be mentioned: electroless plating. When these metal laminates are used for printed circuit boards, the electroless plating method is preferred because of the advantage that the thickness of the metal layer can be reduced. In particular, when used as FPC, TAB, COF or CSP, it is preferable to prepare a block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product with a film thickness of 10 to 60 μm and to perform electroless plating such as copper or nickel. The electroless plating method on the block copolymer polyimide-silica hybrid cured product is not particularly limited, and can be performed by a conventionally known electroless plating method. As an electroless plating method, for example, any method of electroless plating on polyimide films of Examples of Patent Publication No. 262216, Published Patent Publication No. Hei 3-6382, Published Patent Publication No. Hei 6-316768, or Comparative Example However, in this block copolymerization type polyimide-silica hybrid cured product, the electroless plating method on plastics such as ABS and nylon, which has been widely used in the past, can be used. Can be used. Examples of such general-purpose electroless plating methods include “electroless plating, basics and applications” (6th edition, Nikkan Kogyo Shimbun, April 2002, p. 131-144) and “plating textbook” ( 14th Edition, Nikkan Kogyo Shimbun, August 2001, p.233-242). Specific examples of electroless plating on block copolymerized polyimide-silica hybrid cured products include (i) degreasing and washing, (ii) etching with acid or alkali in some cases, and (iii) palladium salts and chelates. And tin salt or the like are adhered to the surface of the block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product, and (iv) tin is removed by an acid to exemplify palladium. Further, the thickness of the electroless plating layer is not particularly limited, but it is usually preferably about 0.2 μm to 1.0 μm.

また、本発明の金属積層体としては、寸法安定性を得るため吸水率が低いほど好ましく、特にプリント基板用途で使用する場合には、ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物の吸水率が3%未満となる様に調整する必要がある。なお、耐熱密着性の観点から、ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物の熱膨張係数は金属層の熱膨張係数に近づけることが好ましい。一般に金属の熱膨張係数はポリイミドより小さい為、プリント基板用途で使用する場合には、25ppm以下とすることが好ましい。   Moreover, as a metal laminated body of this invention, in order to acquire dimensional stability, it is so preferable that a water absorption is low, and when using for a printed circuit board use especially, the water absorption of a block copolymerization type polyimide-silica hybrid hardened | cured material is 3. It is necessary to adjust to be less than%. From the viewpoint of heat-resistant adhesion, the thermal expansion coefficient of the block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product is preferably close to the thermal expansion coefficient of the metal layer. In general, since the thermal expansion coefficient of metal is smaller than that of polyimide, it is preferably 25 ppm or less when used for printed circuit boards.

前記載の金属積層体からプリント基板を作製する方法としては、従来公知のサブトラクティブ工法、セミアディティブ工法、フルアディティブ工法を用いることが出来る。サブトラクティブ工法による場合には、金属箔上にキャストした金属箔積層体や無電解メッキ金属積層体上に更に銅などの金属を電解メッキして作製した金属積層体をレジスト印刷、露光、現像、エッチング、レジスト剥離する従来公知の方法によってプリント基板を作製する。セミアディティブ工法による場合には、無電解メッキした金属積層体上に、レジスト印刷、露光、現像した後、無電解メッキ層をエッチング、レジスト剥離して得られる。またフルアディティブ工法による場合には、ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物上にレジスト印刷、露光、現像し、その上に上記方法で無電解メッキを行い、更に電解メッキを行う。なお、50μm以下のファインピッチ基板を得るためには、上記工法の中でも、セミアディティブ工法、フルアディティブ工法を用いるのが好ましい。   As a method for producing a printed board from the metal laminate described above, a conventionally known subtractive method, semi-additive method, or full additive method can be used. In the case of the subtractive construction method, resist printing, exposure, development, and the like are performed by electroplating metal such as copper on a metal foil laminate or electroless plating metal laminate cast on a metal foil. A printed circuit board is produced by a conventionally known method of etching and resist peeling. In the case of the semi-additive construction method, the resist is printed, exposed and developed on the electroless plated metal laminate, and then the electroless plated layer is etched and the resist is peeled off. Further, in the case of the full additive method, resist printing, exposure and development are performed on the block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product, electroless plating is performed thereon, and electrolytic plating is further performed. In order to obtain a fine pitch substrate of 50 μm or less, it is preferable to use a semi-additive method or a full additive method among the above methods.

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。実施例中、ODAはオキサジアニリン、p−PDAは、p−フェニレンジアミン、PMDAはピロメリット酸二水物をBPDAは3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、NMPはN−メチル−2−ピロリドン、DMAcはN,N−ジメチルアセトアミドを示す。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited only to these Examples. In the examples, ODA is oxadianiline, p-PDA is p-phenylenediamine, PMDA is pyromellitic dihydrate, BPDA is 3,3 ′, 4,4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, NMP Represents N-methyl-2-pyrrolidone, and DMAc represents N, N-dimethylacetamide.

製造例1(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(1)の製造)
攪拌機、分水器、温度計および窒素ガス導入管を備えた反応装置に、グリシドール(日本油脂(株)製、商品名「エピオールOH」)1400gおよびテトラメトキシシラン部分縮合物(多摩化学(株)製、商品名「メチルシリケート51」、Siの平均個数が4)4478.9gを仕込み、窒素気流下、ジブチル錫ジラウレートを1.1g加え反応させた。反応中、分水器を使って生成したメタノールを留去し、その量が約580gに達した時点で冷却した。昇温後冷却までに要した時間は6時間であった。ついで、13kPaで約10分間、系内に残存するメタノール約30gを減圧除去した。このようにして、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物を得た。
なお、仕込み時のエポキシ化合物の水酸基の当量/アルコキシシラン部分縮合物のアルコキシ基(当量比)=0.20、エポキシ当量は279g/eqである。
Production Example 1 (Production of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (1))
In a reactor equipped with a stirrer, a water separator, a thermometer and a nitrogen gas introduction tube, 1400 g of glycidol (trade name “Epiol OH” manufactured by NOF Corporation) and a tetramethoxysilane partial condensate (Tama Chemical Co., Ltd.) Product, trade name “methyl silicate 51”, Si average number 4) 4478.9 g was charged, and 1.1 g of dibutyltin dilaurate was added and reacted in a nitrogen stream. During the reaction, the produced methanol was distilled off using a water separator, and the mixture was cooled when the amount reached about 580 g. The time required for cooling after raising the temperature was 6 hours. Subsequently, about 30 g of methanol remaining in the system was removed under reduced pressure at 13 kPa for about 10 minutes. In this way, an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate was obtained.
In addition, the equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound at the time of preparation / the alkoxy group of the alkoxysilane partial condensate (equivalent ratio) = 0.20, and the epoxy equivalent is 279 g / eq.

製造例2(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)の製造)
攪拌機、分水器、温度計および窒素ガス導入管を備えた反応装置に、グリシドール(日本油脂(株)製、商品名「エピオールOH」)1542gおよびメチルトリメトキシシラン部分縮合物(多摩化学(株)製、商品名「MTMS-A」、Siの平均個数が3.2)3476.2gを仕込み、窒素気流下、ジブチル錫ジラウレートを2.2g加え反応させた。反応中、分水器を使って生成したメタノールを留去し、その量が約630gに達した時点で冷却した。昇温後冷却までに要した時間は6時間であった。ついで、13kPaで約10分間、系内に残存するメタノール約30gを減圧除去した。このようにして、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物を得た。
なお、仕込み時のエポキシ化合物の水酸基の当量/アルコキシシラン部分縮合物のアルコキシ基(当量比)=0.38、エポキシ当量は209g/eqである。
Production Example 2 (Production of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2))
In a reactor equipped with a stirrer, a water separator, a thermometer and a nitrogen gas introduction tube, 1542 g of glycidol (trade name “Epiol OH”, manufactured by NOF Corporation) and methyltrimethoxysilane partial condensate (Tama Chemical Co., Ltd.) ), Trade name “MTMS-A”, Si average number 3.2) 3476.2 g was charged, and 2.2 g of dibutyltin dilaurate was added and reacted under a nitrogen stream. During the reaction, the produced methanol was distilled off using a water separator, and when the amount reached about 630 g, it was cooled. The time required for cooling after raising the temperature was 6 hours. Subsequently, about 30 g of methanol remaining in the system was removed under reduced pressure at 13 kPa for about 10 minutes. In this way, an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate was obtained.
In addition, the equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound at the time of preparation / the alkoxy group of the alkoxysilane partial condensate (equivalent ratio) = 0.38, and the epoxy equivalent is 209 g / eq.

製造例3(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(3)の製造)
攪拌機、分水器、温度計および窒素ガス導入管を備えた反応装置に、1−エポキシ−8−オクタノール((株)クラレ製、商品名「EOA」)1171.1gおよびテトラメトキシシラン部分縮合物(多摩化学(株)製、商品名「メチルシリケート51」、Siの平均個数が4)1828.4gを仕込み、窒素気流下、ジブチル錫ジラウレートを0.6g加え反応させた。反応中、分水器を使って生成したメタノールを留去し、その量が約230gに達した時点で冷却した。昇温後冷却までに要した時間は6時間であった。ついで、13kPaで約10分間、系内に残存するメタノール約30gを減圧除去した。このようにして、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物を得た。
なお、仕込み時のエポキシ化合物の水酸基の当量/アルコキシシラン部分縮合物のアルコキシ基(当量比)=0.20、エポキシ当量は337g/eqである。
Production Example 3 (Production of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3))
In a reactor equipped with a stirrer, a water separator, a thermometer and a nitrogen gas introduction tube, 1171.1 g of 1-epoxy-8-octanol (manufactured by Kuraray Co., Ltd., trade name “EOA”) and a tetramethoxysilane partial condensate (Tama Chemical Co., Ltd., trade name “methyl silicate 51”, Si average number 4) was charged with 1828.4 g, and 0.6 g of dibutyltin dilaurate was added and reacted in a nitrogen stream. During the reaction, methanol produced using a water separator was distilled off, and the reaction was cooled when the amount reached about 230 g. The time required for cooling after raising the temperature was 6 hours. Subsequently, about 30 g of methanol remaining in the system was removed under reduced pressure at 13 kPa for about 10 minutes. In this way, an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate was obtained.
In addition, the equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound at the time of preparation / the alkoxy group of the alkoxysilane partial condensate (equivalent ratio) = 0.20, and the epoxy equivalent is 337 g / eq.

実施例1(ポリアミック酸(3−1)の製造)
攪拌機、冷却管、温度計および窒素ガス導入管を備えた2Lの3ツ口フラスコに、ジアミン(B)としてODA95.3gおよびNMP1276.5gを加え、ODAが完全に溶解するまで室温でよく混合した後、60℃以下に冷却しながら、テトラカルボン酸二無水物(A)としてPMDA95.5gを加え30分攪拌し、ポリアミック酸(1−1)を合成した。(テトラカルボン酸二無水物(A)のモル数/ジアミン類(B)のモル数)=0.92、ポリイミド換算固形残分は12.5%であった。
次に、80℃まで昇温し、製造例1で得られたエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(1)63.9gを加え、80℃で9時間攪拌し、ポリアミック酸(2−1)を得た。(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物のエポキシ基の当量/ポリアミック酸(1−1)に使用したテトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)=0.52であった。
更にポリアミック酸(2−1)を40℃まで冷却し、ジアミン(D)としてp-PDA51.5gおよびNMP340.5gを加え、ODAが完全に溶解するまでよく混合した。そして、冷却しながらテトラカルボン酸二無水物(C)として、PMDA111.1gを加え、50℃で鎖伸張反応を1時間行い、ポリアミック酸(3−1)を得た。
テトラカルボン酸二無水物(A)と(C)の合計モル数に対するPMDAのモル数は、100モル%、ジアミン(B)と(D)の合計モル数におけるp−PDA、ODAはそれぞれ50モル%、50モル%であった。
Example 1 (Production of polyamic acid (3-1))
95.3 g of ODA and 1276.5 g of NMP as diamine (B) were added to a 2 L three-necked flask equipped with a stirrer, a condenser, a thermometer, and a nitrogen gas inlet tube, and mixed well at room temperature until ODA was completely dissolved. Thereafter, while cooling to 60 ° C. or less, 95.5 g of PMDA was added as tetracarboxylic dianhydride (A) and stirred for 30 minutes to synthesize polyamic acid (1-1). (The number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) / the number of moles of diamine (B)) = 0.92, and the solid residue in terms of polyimide was 12.5%.
Next, the temperature was raised to 80 ° C., 63.9 g of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (1) obtained in Production Example 1 was added, and the mixture was stirred at 80 ° C. for 9 hours to give polyamic acid (2-1). Obtained. (Equivalent epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate / number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) used in polyamic acid (1-1)) = 0.52.
Further, the polyamic acid (2-1) was cooled to 40 ° C., 51.5 g of p-PDA and 340.5 g of NMP were added as the diamine (D), and mixed well until the ODA was completely dissolved. And PMDA111.1g was added as tetracarboxylic dianhydride (C), cooling, and chain extension reaction was performed at 50 degreeC for 1 hour, and polyamic acid (3-1) was obtained.
The number of moles of PMDA relative to the total number of moles of tetracarboxylic dianhydrides (A) and (C) is 100 mole%, and p-PDA and ODA are 50 moles in the total moles of diamines (B) and (D), respectively. % And 50 mol%.

実施例2(ポリアミック酸(3−2)の製造)
実施例1と同様の装置に、ジアミン(B)としてODA85.1gおよびNMP1131.5gを加え、ODAが完全に溶解するまで室温でよく混合した後、60℃以下に冷却しながら、テトラカルボン酸二無水物(A)としてPMDA86.7gを加え30分攪拌し、ポリアミック酸(1−2)を合成した。(テトラカルボン酸二無水物(A)のモル数/ジアミン類(B)のモル数)=0.94、ポリイミド換算固形残分は12.7%であった。
次に、80℃まで昇温し、製造例1で得られたエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(1)63.9gを加え、80℃で10時間攪拌しポリアミック酸(2−2)を得た。(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物のエポキシ基の当量/ポリアミック酸(1−2)に使用したテトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)=0.58であった。
更に、ポリアミック酸(2−2)を40℃まで冷却し、ジアミン(D)としてp-PDA46.0gおよびNMP485.5gを加え、p-PDAが完全に溶解するまでよく混合した。そして、冷却しながらテトラカルボン酸二無水物(C)として、BPDA131.8gを加え、50℃で鎖伸張反応を1時間行い、ポリアミック酸(3−2)を得た。
テトラカルボン酸二無水物(A)と(C)の合計モル数に対するPMDAのモル数は、47モル%、ジアミン(B)と(D)の合計モル数におけるp−PDA、ODAはそれぞれ50モル%、50モル%であった。
Example 2 (Production of polyamic acid (3-2))
Add 85.1 g of ODA and 1131.5 g of NMP as diamine (B) to the same apparatus as in Example 1 and mix well at room temperature until ODA is completely dissolved. PMDA 86.7g was added as an anhydride (A), and it stirred for 30 minutes, and synthesize | combined polyamic acid (1-2). (The number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) / the number of moles of diamine (B)) = 0.94, and the solid residue in terms of polyimide was 12.7%.
Next, the temperature was raised to 80 ° C., 63.9 g of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (1) obtained in Production Example 1 was added, and the mixture was stirred at 80 ° C. for 10 hours to obtain polyamic acid (2-2). It was. (Equivalent of epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate / number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) used for polyamic acid (1-2)) = 0.58.
Further, the polyamic acid (2-2) was cooled to 40 ° C., 46.0 g of p-PDA and 485.5 g of NMP were added as the diamine (D), and mixed well until the p-PDA was completely dissolved. And 131.8g of BPDA was added as tetracarboxylic dianhydride (C), cooling, and chain extension reaction was performed at 50 degreeC for 1 hour, and polyamic acid (3-2) was obtained.
The number of moles of PMDA relative to the total number of moles of tetracarboxylic dianhydrides (A) and (C) is 47 mole%, and p-PDA and ODA are 50 moles in the total number of moles of diamines (B) and (D), respectively. % And 50 mol%.

実施例3(ポリアミック酸(3−3)の製造)
実施例1と同様の装置に、ジアミン(B)としてp-PDA46.5gおよびNMP957.4gを加え、p-PDAが完全に溶解するまで室温でよく混合した後、60℃以下に冷却しながら、テトラカルボン酸二無水物(A)としてBPDA118.3gを加え30分攪拌し、ポリアミック酸(1−3)を合成した。(テトラカルボン酸二無水物(A)のモル数/ジアミン類(B)のモル数)=0.94、ポリイミド換算固形残分は14.1%であった。
次に、80℃まで昇温し、製造例1で得られたエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(1)63.8gを加え、80℃で10時間攪拌し、ポリアミック酸(2−3)を得た。(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物のエポキシ基の当量/ポリアミック酸(1−3)に使用したテトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)=0.57であった。
更に、ポリアミック酸(2−3)を40℃まで冷却し、ジアミン(D)としてODA86.1gおよびNMP659.7gを加え、ODAが完全に溶解するまでよく混合した。そして、冷却しながらテトラカルボン酸二無水物(C)として、PMDA99.0gを加え、50℃で鎖伸張反応を1時間行い、ポリアミック酸(3−3)を得た。
テトラカルボン酸二無水物(A)と(C)の合計モル数に対するPMDAのモル数は、53モル%、ジアミン(B)と(D)の合計モル数におけるp−PDA、ODAはそれぞれ50モル%、50モル%であった。
Example 3 (Production of polyamic acid (3-3))
In the same apparatus as in Example 1, 46.5 g of p-PDA and NMP957.4 g were added as diamine (B), mixed well at room temperature until p-PDA was completely dissolved, and then cooled to 60 ° C. or lower. BPDA 118.3g was added as tetracarboxylic dianhydride (A), and it stirred for 30 minutes, and synthesize | combined polyamic acid (1-3). (The number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) / the number of moles of diamine (B)) = 0.94, and the solid residue in terms of polyimide was 14.1%.
Next, the temperature was raised to 80 ° C., 63.8 g of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (1) obtained in Production Example 1 was added, and the mixture was stirred at 80 ° C. for 10 hours to obtain polyamic acid (2-3). Obtained. (Equivalent of epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate / number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) used for polyamic acid (1-3)) = 0.57.
Furthermore, polyamic acid (2-3) was cooled to 40 ° C., 86.1 g of ODA and 659.7 g of NMP were added as diamine (D), and mixed well until ODA was completely dissolved. And PMDA 99.0g was added as tetracarboxylic dianhydride (C), cooling, and chain extension reaction was performed at 50 degreeC for 1 hour, and polyamic acid (3-3) was obtained.
The number of moles of PMDA relative to the total number of moles of tetracarboxylic dianhydrides (A) and (C) is 53 mole%, and p-PDA and ODA are 50 moles in the total moles of diamines (B) and (D), respectively. % And 50 mol%.

実施例4(ポリアミック酸(3−4)の製造)
実施例1と同様の装置に、ジアミン(B)としてp-PDA66.0gおよびNMP1131.5gを加え、p-PDAが完全に溶解するまで室温でよく混合した後、60℃以下に冷却しながら、テトラカルボン酸二無水物(A)としてBPDA165.8gを加え30分攪拌し、ポリアミック酸(1−4)を合成した。(テトラカルボン酸二無水物(A)のモル数/ジアミン類(B)のモル数)=0.92、ポリイミド換算固形残分は16.4%であった。
次に、80℃まで昇温し、製造例1で得られたエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(1)63.9gを加え、80℃で8時間攪拌しポリアミック酸(2−4)を得た。(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物のエポキシ基の当量/ポリアミック酸(1−4)に使用したテトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)=0.41であった。
更に、ポリアミック酸(2−4)を40℃まで冷却し、ジアミン(D)としてODA52.4gおよびNMP485.5gを加え、ODAが完全に溶解するまでよく混合した。そして、冷却しながらテトラカルボン酸二無水物(C)として、PMDA66.2gを加え、50℃で鎖伸張反応を1時間行い、ポリアミック酸(3−4)を得た。
テトラカルボン酸二無水物(A)と(C)の合計モル数に対するPMDAのモル数は、35モル%、ジアミン(B)と(D)の合計モル数におけるp−PDA、ODAはそれぞれ70モル%、30モル%であった。
Example 4 (Production of polyamic acid (3-4))
In the same apparatus as in Example 1, 66.0 g of p-PDA and 1131.5 g of NMP were added as diamine (B), mixed well at room temperature until the p-PDA was completely dissolved, and then cooled to 60 ° C. or lower. As tetracarboxylic dianhydride (A), 165.8 g of BPDA was added and stirred for 30 minutes to synthesize polyamic acid (1-4). (The number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) / the number of moles of diamine (B)) = 0.92, and the solid residue in terms of polyimide was 16.4%.
Next, the temperature was raised to 80 ° C., 63.9 g of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (1) obtained in Production Example 1 was added, and the mixture was stirred at 80 ° C. for 8 hours to obtain polyamic acid (2-4). It was. (Equivalent of epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate / number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) used for polyamic acid (1-4)) = 0.41.
Furthermore, polyamic acid (2-4) was cooled to 40 ° C., 52.4 g of ODA and 485.5 g of NMP were added as diamine (D), and mixed well until ODA was completely dissolved. And PMDA 66.2g was added as tetracarboxylic dianhydride (C), cooling, and chain extension reaction was performed at 50 degreeC for 1 hour, and polyamic acid (3-4) was obtained.
The number of moles of PMDA relative to the total number of moles of tetracarboxylic dianhydrides (A) and (C) is 35 mole%, and p-PDA and ODA are 70 moles in the total moles of diamines (B) and (D), respectively. %, 30 mol%.

実施例5(ポリアミック酸(3−5)の製造)
実施例1と同様の装置に、ジアミン(B)としてp-PDA80.7gおよびNMP1453.8gを加え、p-PDAが完全に溶解するまで室温でよく混合した後、60℃以下に冷却しながら、テトラカルボン酸二無水物(A)としてBPDA205.5gを加え30分攪拌し、ポリアミック酸(1−5)を合成した。(テトラカルボン酸二無水物(A)のモル数/ジアミン類(B)のモル数)=0.94、ポリイミド換算固形残分は15.7%であった。
次に、80℃まで昇温し、製造例1で得られたエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(1)63.9gを加え、80℃で10時間攪拌しポリアミック酸(2−5)を得た。(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物のエポキシ基の当量/ポリアミック酸(1−5)に使用したテトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)=0.32であった。
更に、ポリアミック酸(2−5)を40℃まで冷却し、ジアミン(D)としてODA26.4gおよびNMP163.2gを加え、ODAが完全に溶解するまでよく混合した。そして、冷却しながらテトラカルボン酸二無水物(C)として、PMDA38.1gを加え、50℃で鎖伸張反応を1時間行い、ポリアミック酸(3−5)を得た。
テトラカルボン酸二無水物(A)と(C)の合計モル数に対するPMDAのモル数は、20モル%、ジアミン(B)と(D)の合計モル数におけるp−PDA、ODAはそれぞれ85モル%、15モル%であった。
Example 5 (Production of polyamic acid (3-5))
In the same apparatus as in Example 1, 80.7 g of p-PDA and 1453.8 g of diamine (B) were added, mixed well at room temperature until the p-PDA was completely dissolved, and then cooled to 60 ° C. or lower. As tetracarboxylic dianhydride (A), 205.5 g of BPDA was added and stirred for 30 minutes to synthesize polyamic acid (1-5). (The number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) / the number of moles of diamine (B)) = 0.94, and the solid residue in terms of polyimide was 15.7%.
Next, the temperature was raised to 80 ° C., 63.9 g of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (1) obtained in Production Example 1 was added, and the mixture was stirred at 80 ° C. for 10 hours to obtain polyamic acid (2-5). It was. (Equivalent epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate / number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) used for polyamic acid (1-5)) = 0.32.
Further, the polyamic acid (2-5) was cooled to 40 ° C., 26.4 g of ODA and 163.2 g of NMP were added as the diamine (D), and mixed well until the ODA was completely dissolved. And PMDA38.1g was added as tetracarboxylic dianhydride (C), cooling, and chain extension reaction was performed at 50 degreeC for 1 hour, and polyamic acid (3-5) was obtained.
The number of moles of PMDA relative to the total number of moles of tetracarboxylic dianhydrides (A) and (C) is 20 mole%, and p-PDA and ODA are 85 moles in the total number of moles of diamines (B) and (D), respectively. %, 15 mol%.

実施例6(ポリアミック酸(3−6)の製造)
実施例1と同様の装置に、ジアミン(B)としてp-PDA85.4gおよびDMAc974.0gを加え、p-PDAが完全に溶解するまで室温でよく混合した後、60℃以下に冷却しながら、テトラカルボン酸二無水物(A)としてBPDA218.32gを加え30分攪拌し、ポリアミック酸(1−6)を合成した。(テトラカルボン酸二無水物(A)のモル数/ジアミン類(B)のモル数)=0.94、ポリイミド換算固形残分は21.7%であった。
次に、80℃まで昇温し、製造例2で得られたエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)50.7gを加え、80℃で9時間攪拌しポリアミック酸(2−6)を得た。(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物のエポキシ基の当量/ポリアミック酸(1−6)に使用したテトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)=0.33であった。
更に、ポリアミック酸(2−6)を40℃まで冷却し、ジアミン(D)としてODA17.6gおよびDMAc656.9gを加え、ODAが完全に溶解するまでよく混合した。そして、冷却しながらテトラカルボン酸二無水物(C)として、PMDA28.6gを加え、50℃で鎖伸張反応を1時間行い、ポリアミック酸(3−6)を得た。
テトラカルボン酸二無水物(A)と(C)の合計モル数に対するPMDAのモル数は、15モル%、ジアミン(B)と(D)の合計モル数におけるp−PDA、ODAはそれぞれ90モル%、10モル%であった。
Example 6 (Production of polyamic acid (3-6))
In the same apparatus as in Example 1, 85.4 g of p-PDA and 974.0 g of DMAc as diamine (B) were added, mixed well at room temperature until the p-PDA was completely dissolved, and then cooled to 60 ° C. or lower. 218.32 g of BPDA was added as tetracarboxylic dianhydride (A) and stirred for 30 minutes to synthesize polyamic acid (1-6). (The number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) / the number of moles of diamine (B)) = 0.94, and the solid residue in terms of polyimide was 21.7%.
Next, it heated up to 80 degreeC, the epoxy group containing alkoxysilane partial condensate (2) 50.7g obtained by manufacture example 2 was added, and it stirred at 80 degreeC for 9 hours, and obtained polyamic acid (2-6). It was. (Equivalent of epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate / number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) used for polyamic acid (1-6)) = 0.33.
Further, the polyamic acid (2-6) was cooled to 40 ° C., 17.6 g of ODA and 656.9 g of DMAc were added as the diamine (D), and mixed well until the ODA was completely dissolved. And PMDA28.6g was added as tetracarboxylic dianhydride (C), cooling, and chain extension reaction was performed at 50 degreeC for 1 hour, and polyamic acid (3-6) was obtained.
The number of moles of PMDA relative to the total number of moles of tetracarboxylic dianhydrides (A) and (C) is 15 mole%, and p-PDA and ODA are 90 moles in the total number of moles of diamines (B) and (D), respectively. % And 10 mol%.

実施例7(ポリアミック酸(3−7)の製造)
実施例1と同様の装置に、ジアミン(B)としてp-PDA81.9gおよびDMAc1087.2gを加え、p-PDAが完全に溶解するまで室温でよく混合した後、60℃以下に冷却しながら、テトラカルボン酸二無水物(A)としてBPDA209.5gを加え30分攪拌し、ポリアミック酸(1−7)を合成した。(テトラカルボン酸二無水物(A)のモル数/ジアミン類(B)のモル数)=0.94、ポリイミド換算固形残分は19.3%であった。
次に、80℃まで昇温し、製造例3で得られたエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(3)78.1gを加え、80℃で7時間攪拌しポリアミック酸(2−7)を得た。(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物のエポキシ基の当量/ポリアミック酸(1−7)に使用したテトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)=0.32であった。
更に、ポリアミック酸(2−7)を40℃まで冷却し、ジアミン(D)としてODA16.9gおよびDMAc529.3gを加え、ODAが完全に溶解するまでよく混合した。そして、冷却しながらテトラカルボン酸二無水物(C)として、PMDA27.4gを加え、50℃で鎖伸張反応を1時間行い、ポリアミック酸(3−7)を得た。
テトラカルボン酸二無水物(A)と(C)の合計モル数に対するPMDAのモル数は、15モル%、ジアミン(B)と(D)の合計モル数におけるp−PDA、ODAはそれぞれ90モル%、10モル%であった。
Example 7 (Production of polyamic acid (3-7))
In the same apparatus as in Example 1, 81.9 g of p-PDA and 1087.2 g of DMAc as diamine (B) were added, mixed well at room temperature until the p-PDA was completely dissolved, and then cooled to 60 ° C. or lower. As tetracarboxylic dianhydride (A), 209.5 g of BPDA was added and stirred for 30 minutes to synthesize polyamic acid (1-7). (The number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) / the number of moles of diamine (B)) = 0.94, and the solid residue in terms of polyimide was 19.3%.
Next, the temperature was raised to 80 ° C., 78.1 g of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3) obtained in Production Example 3 was added, and the mixture was stirred at 80 ° C. for 7 hours to obtain polyamic acid (2-7). It was. (Equivalent of epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate / number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) used for polyamic acid (1-7)) = 0.32.
Further, the polyamic acid (2-7) was cooled to 40 ° C., 16.9 g of ODA and 529.3 g of DMAc were added as the diamine (D), and mixed well until the ODA was completely dissolved. And PMDA27.4g was added as tetracarboxylic dianhydride (C), cooling, and chain extension reaction was performed at 50 degreeC for 1 hour, and polyamic acid (3-7) was obtained.
The number of moles of PMDA relative to the total number of moles of tetracarboxylic dianhydrides (A) and (C) is 15 mole%, and p-PDA and ODA are 90 moles in the total number of moles of diamines (B) and (D), respectively. % And 10 mol%.

実施例8(シリカフィラー含有ポリアミック酸の製造)
攪拌機、冷却管、温度計および窒素ガス導入管を備えた250mLの3ツ口フラスコに、実施例5のポリアミック酸(3−5)10.0gおよびNMP169.9gを加え、ポリアミック酸(3−5)が完全に溶解するまで室温でよく混合した後、30℃以下に冷却しながら、シリカフィラー(旭化成ワッカーシリコーン(株)製「HDK N 20」)31.7gを加え、1時間攪拌し。さらにこれにポリアミック酸(3−5)211.6gを30℃以下に冷却しながら加え、1時間攪拌し、シリカフィラー含有ポリアミック酸を得た。
Example 8 (Production of silica filler-containing polyamic acid)
10.0 g of polyamic acid (3-5) of Example 5 and 169.9 g of NMP were added to a 250 mL three-necked flask equipped with a stirrer, a cooling pipe, a thermometer, and a nitrogen gas introduction pipe, and polyamic acid (3-5 ) Was thoroughly mixed at room temperature until completely dissolved, then 31.7 g of silica filler (“HDK N 20” manufactured by Asahi Kasei Wacker Silicone Co., Ltd.) was added while cooling to 30 ° C. or lower, and the mixture was stirred for 1 hour. Furthermore, 211.6 g of polyamic acid (3-5) was added to this while cooling to 30 ° C. or lower and stirred for 1 hour to obtain a silica filler-containing polyamic acid.

比較例1(アルコキシ基含有シラン変性ランダム共重合型ポリアミック酸の製造)
実施例1と同様の装置に、ジアミンとしてp-PDA46.0g、ODA85.1gおよびNMP1453.8gを加え、p-PDAとODAが完全に溶解するまで室温でよく混合した後、60℃以下に冷却しながら、テトラカルボン酸二無水物としてBPDA122.3gならびにPMDA80.4gを加え30分攪拌し、ポリアミック酸を合成した。(テトラカルボン酸二無水物のモル数/ジアミン類のモル数)=0.92、ポリイミド換算固形残分は18.0%であった。
次に、80℃まで昇温し、製造例1のエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(1)63.8gを加え、80℃で7時間攪拌しシラン変性ポリアミック酸を得た。(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物のエポキシ基の当量/ポリアミック酸に使用したテトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)=0.29であった。
更に、シラン変性ポリアミック酸を40℃まで冷却し、NMP163.3gを加え、冷却しながらテトラカルボン酸二無水物として、BPDA9.6gならびにPMDA6.3gを加え、50℃で鎖伸張反応を1時間行い、アルコキシ基含有シラン変性ランダム共重合型ポリアミック酸を得た。
テトラカルボン酸二無水物の合計モル数に対するPMDAのモル数は、47モル%、ジアミンの合計モル数におけるp−PDA、ODAはそれぞれ50モル%、50モル%であった。
Comparative Example 1 (Production of alkoxy group-containing silane-modified random copolymer polyamic acid)
Add 46.0 g of p-PDA, 85.1 g of ODA and 1453.8 g of diamine as diamine to the same apparatus as in Example 1, mix well at room temperature until p-PDA and ODA are completely dissolved, then cool to 60 ° C. or lower. While adding 122.3 g of BPDA and 80.4 g of PMDA as tetracarboxylic dianhydride, the mixture was stirred for 30 minutes to synthesize a polyamic acid. (The number of moles of tetracarboxylic dianhydride / the number of moles of diamine) = 0.92, and the solid residue in terms of polyimide was 18.0%.
Next, the temperature was raised to 80 ° C., 63.8 g of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (1) of Production Example 1 was added, and the mixture was stirred at 80 ° C. for 7 hours to obtain a silane-modified polyamic acid. (Equivalent epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate / number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) used for polyamic acid) = 0.29.
Further, the silane-modified polyamic acid is cooled to 40 ° C., 163.3 g of NMP is added, 9.6 g of BPDA and 6.3 g of PMDA are added as a tetracarboxylic dianhydride while cooling, and a chain extension reaction is performed at 50 ° C. for 1 hour. Thus, an alkoxy group-containing silane-modified random copolymer polyamic acid was obtained.
The number of moles of PMDA relative to the total number of moles of tetracarboxylic dianhydride was 47 mole%, and p-PDA and ODA in the total moles of diamine were 50 mole% and 50 mole%, respectively.

比較例2(アルコキシ基含有シラン変性ポリアミック酸の製造)
実施例1と同様の装置に、ジアミンとしてODA162.9gおよびNMP1413.4gを加え、ODAが完全に溶解するまで室温でよく混合した後、60℃以下に冷却しながら、テトラカルボン酸二無水物としてPMDA163.2gを加え30分攪拌し、ポリアミック酸を合成した。(テトラカルボン酸二無水物のモル数/ジアミン類のモル数)=0.92、ポリイミド換算固形残分は18.1%であった。
次に、80℃まで昇温し、製造例1のエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(1)62.1gを加え、80℃で7時間攪拌しシラン変性ポリアミック酸を得た。(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物のエポキシ基の当量/ポリアミック酸に使用したテトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)=0.18であった。
更に、シラン変性ポリアミック酸を40℃まで冷却し、NMP822.5gを加え、冷却しながらテトラカルボン酸二無水物として、PMDA13.3gを加え、50℃で鎖伸張反応を1時間行い、アルコキシ基含有シラン変性ポリアミック酸を得た。
テトラカルボン酸二無水物の合計モル数に対するPMDAのモル数は、100モル%、ジアミンの合計モル数に対するODAのモル数はそれぞれ100モル%であった。
Comparative Example 2 (Production of alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid)
Add 162.9 g of ODA and NMP1413.4 g as diamine to the same apparatus as in Example 1, mix well at room temperature until ODA is completely dissolved, then cool to 60 ° C. or lower as tetracarboxylic dianhydride. 163.2 g of PMDA was added and stirred for 30 minutes to synthesize polyamic acid. (The number of moles of tetracarboxylic dianhydride / the number of moles of diamine) = 0.92, and the polyimide-converted solid residue was 18.1%.
Next, it heated up to 80 degreeC, the epoxy group containing alkoxysilane partial condensate (1) 62.1g of manufacture example 1 was added, and it stirred at 80 degreeC for 7 hours, and obtained the silane modified polyamic acid. (Equivalent of epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate / number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) used for polyamic acid) = 0.18.
Further, the silane-modified polyamic acid is cooled to 40 ° C., 822.5 g of NMP is added, and 13.3 g of PMDA is added as a tetracarboxylic dianhydride while cooling, and a chain extension reaction is performed at 50 ° C. for 1 hour to contain an alkoxy group. A silane-modified polyamic acid was obtained.
The number of moles of PMDA relative to the total number of moles of tetracarboxylic dianhydride was 100 mole%, and the number of moles of ODA relative to the total number of moles of diamine was 100 mole%.

比較例3(ブロック共重合型ポリアミック酸の製造)
実施例1と同様の装置に、ジアミンとしてODA96.0gおよびNMP1640.0gを加え、ODAが完全に溶解するまで室温でよく混合した後、60℃以下に冷却しながら、テトラカルボン酸二無水物としてPMDA97.8gを加え30分攪拌し、ポリアミック酸を合成した。(テトラカルボン酸二無水物のモル数/ジアミン類のモル数)=0.94、ポリイミド換算固形残分は10.2%であった。
次に、ポリアミック酸を40℃まで冷却し、ジアミンとしてp-PDA51.8gを加え、p-PDAが完全に溶解するまでよく混合した。そして、冷却しながらテトラカルボン酸二無水物として、BPDA148.7gを加え、50℃で鎖伸張反応を1時間行い、ブロック共重合型ポリアミック酸を得た。
テトラカルボン酸二無水物の合計モル数に対するPMDAのモル数は、47モル%、ジアミンの合計モル数に対するp−PDA、ODAのモル数はそれぞれ50モル%、50モル%であった。
Comparative Example 3 (Production of block copolymer type polyamic acid)
To the same apparatus as in Example 1, 96.0 g of ODA and 1640.0 g of NMP were added as diamines, mixed well at room temperature until ODA was completely dissolved, and then cooled to 60 ° C. or lower as tetracarboxylic dianhydride. 97.8 g of PMDA was added and stirred for 30 minutes to synthesize polyamic acid. (The number of moles of tetracarboxylic dianhydride / the number of moles of diamine) = 0.94, and the solid residue in terms of polyimide was 10.2%.
Next, the polyamic acid was cooled to 40 ° C., 51.8 g of p-PDA was added as a diamine, and mixed well until the p-PDA was completely dissolved. Then, 148.7 g of BPDA was added as a tetracarboxylic dianhydride while cooling, and a chain extension reaction was performed at 50 ° C. for 1 hour to obtain a block copolymer type polyamic acid.
The number of moles of PMDA relative to the total number of moles of tetracarboxylic dianhydride was 47 mole%, and the number of moles of p-PDA and ODA relative to the total number of moles of diamine were 50 mole% and 50 mole%, respectively.

(密着性)
実施例1〜7のポリアミック酸(II)、実施例8のシリカフィラー含有ポリアミック酸、比較例1のアルコキシ基含有シラン変性ランダム共重合型ポリアミック酸、比較例2のアルコキシ基含有シラン変性ポリアミック酸、比較例3のブロック共重合型ポリアミック酸を、ガラス板、銅板に膜厚10μmとなるように塗布し、150℃で30分、300℃で30分間硬化させ、ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物を形成させた。また、比較例3のブロック共重合型ポリアミック酸も上記と同様の方法でポリイミドを形成させた。JIS K−5400の一般試験法によるゴバン目セロハンテープ剥離試験を行ない、以下の基準で判定した。評価結果を表1に示す。
〇:100〜90/100
×:89〜0/100
(Adhesion)
Polyamic acid (II) of Examples 1 to 7, silica filler-containing polyamic acid of Example 8, alkoxy group-containing silane-modified random copolymer polyamic acid of Comparative Example 1, alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid of Comparative Example 2, The block copolymer polyamic acid of Comparative Example 3 was applied to a glass plate and a copper plate so as to have a film thickness of 10 μm, and cured at 150 ° C. for 30 minutes and at 300 ° C. for 30 minutes to form a polyimide-silica hybrid cured product. It was. The block copolymer polyamic acid of Comparative Example 3 was also formed with polyimide by the same method as described above. A gobang eyes cellophane tape peeling test was conducted according to a general test method of JIS K-5400, and the following criteria were used. The evaluation results are shown in Table 1.
A: 100 to 90/100
X: 89-0 / 100

Figure 0003962997
Figure 0003962997

表1より、全ての実施例及び比較例1、2ではシラン変性によって高密着性が得られる一方、比較例3では全く密着性を示さないことが分かる。 From Table 1, it can be seen that high adhesion can be obtained by silane modification in all Examples and Comparative Examples 1 and 2, whereas Comparative Example 3 does not show any adhesion.

実施例9〜16、比較例4〜6(ポリイミド硬化物の製造)
実施例1〜7のポリアミック酸(II)、実施例8のシリカフィラー含有ポリアミック酸を、ガラス板上に流延し、約120℃で10分間乾燥後、半硬化膜をガラス板より剥離し、その半硬化膜を支持枠に固定し、その後200℃で約10分間、400℃で10分間加熱し、約25μmのブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッドフィルムを得た。上記と同様の方法で、実施例8のシリカフィラー含有ポリアミック酸、比較例1のアルコキシ基含有シラン変性ランダム共重合型ポリアミック酸、比較例2のアルコキシ基含有シラン変性ポリアミック酸、及び比較例3のブロック共重合型ポリアミック酸から、それぞれ対応するポリイミドフィルムを得た。
Examples 9 to 16 and Comparative Examples 4 to 6 (Production of cured polyimide)
The polyamic acid (II) of Examples 1 to 7 and the silica filler-containing polyamic acid of Example 8 were cast on a glass plate, dried at about 120 ° C. for 10 minutes, and then the semi-cured film was peeled off from the glass plate. The semi-cured film was fixed to a support frame, and then heated at 200 ° C. for about 10 minutes and at 400 ° C. for 10 minutes to obtain a block copolymer type polyimide-silica hybrid film of about 25 μm. In the same manner as above, the silica filler-containing polyamic acid of Example 8, the alkoxy group-containing silane-modified random copolymer polyamic acid of Comparative Example 1, the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid of Comparative Example 2, and the comparative example 3 A corresponding polyimide film was obtained from the block copolymer type polyamic acid.

(フィルム物性)
実施例9〜16および比較例4〜6で得られたフィルムの線膨張係数および吸水率を表2に示す。
(Film physical properties)
Table 2 shows the linear expansion coefficient and water absorption of the films obtained in Examples 9 to 16 and Comparative Examples 4 to 6.

Figure 0003962997
1)測定装置(商品名 TMA120C、セイコー電子工業製)により測定した100〜250℃の熱膨張係数
2)JIS C−6481の吸水率測定方法により測定した吸水率
Figure 0003962997
1) Coefficient of thermal expansion at 100 to 250 ° C. measured with a measuring device (trade name: TMA120C, manufactured by Seiko Denshi Kogyo Co., Ltd.) 2) Water absorption measured by the water absorption measuring method of JIS C-6481

表2より、比較例4、5に比較し、実施例では低熱膨張性を発現することが明らかである。 From Table 2, it is clear that compared with Comparative Examples 4 and 5, the Examples exhibit low thermal expansion.

実施例9〜16および比較例4〜6で得られたフィルムをダンベル1号で切り抜き、テンシロン試験機(商品名 UCT−500、オリエンテック社製)を用いて、500mm/分の引っ張り速度で、フィルムを引き伸ばし、破断するまでのフィルム伸びおよび破断時の強度、弾性率を測定した。25℃で3回、同じ方法で引っ張り試験を行い、その平均値を表3に示す。 The films obtained in Examples 9 to 16 and Comparative Examples 4 to 6 were cut out with dumbbell No. 1, and using a Tensilon tester (trade name UCT-500, manufactured by Orientec Co., Ltd.) at a pulling speed of 500 mm / min. The film was stretched and the film elongation until breaking and the strength and elastic modulus at break were measured. A tensile test was performed three times at 25 ° C. in the same manner, and the average value is shown in Table 3.

Figure 0003962997
Figure 0003962997

表3より、実施例10は比較例4、6対比で、弾性率が向上していることが分かる。 From Table 3, it can be seen that the elastic modulus of Example 10 is higher than that of Comparative Examples 4 and 6.

実施例17〜24、比較例7〜9(金属積層体の製造)
実施例9〜16および比較例4〜6で得られたフィルムに、「無電解メッキ・基礎と応用」(第6版、日刊工業新聞社、2002年4月、p.233〜242)に記載の方法により、無電解ニッケルめっきを行い、0.5μm厚の薄いニッケルめっき層を有するニッケル付きポリイミドフィルムを得た。さらに、得られたニッケル付きポリイミドフィルムに25μmの電解銅めっきを施し、ポリイミドフィルム上に0.5μmのニッケル層と25μmの銅層を有する金属積層体を得た。
Examples 17-24, comparative examples 7-9 (manufacture of a metal laminated body)
The film obtained in Examples 9 to 16 and Comparative Examples 4 to 6 is described in “Electroless plating, basics and applications” (6th edition, Nikkan Kogyo Shimbun, April 2002, p. 233 to 242). By this method, electroless nickel plating was performed to obtain a polyimide film with nickel having a thin nickel plating layer having a thickness of 0.5 μm. Furthermore, 25-micrometer electrolytic copper plating was given to the obtained polyimide film with nickel, and the metal laminated body which has a 0.5-micrometer nickel layer and a 25-micrometer copper layer on the polyimide film was obtained.

(メッキ密着性)
実施例17〜24、比較例7〜9の金属積層体につき、90°剥離強度を測定し、平均値で示した。
(Plating adhesion)
About the metal laminated body of Examples 17-24 and Comparative Examples 7-9, 90 degree peel strength was measured and it showed by the average value.

Figure 0003962997
Figure 0003962997

表4より、全ての実施例及び比較例7、8ではシラン変性によって高密着性が得られる一方、比較例9では全く密着性を示さないことが分かる。 From Table 4, it can be seen that high adhesion can be obtained by silane modification in all Examples and Comparative Examples 7 and 8, whereas Comparative Example 9 does not show any adhesion.

本発明のポリアミック酸(II)およびフィラー含有ポリアミック酸は、耐熱性コーティング剤として使用することが出来る。また当該ポリアミック酸(II)およびフィラー含有ポリアミック酸を硬化して得られるブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物は、FPC用基材、TABテープ、COFやCSPとして極めて有用である。また当該ブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物に無電解メッキして出来る金属積層体はプリント基板用積層板として有用である。     The polyamic acid (II) and filler-containing polyamic acid of the present invention can be used as a heat resistant coating agent. Moreover, the block copolymerization type polyimide-silica hybrid cured product obtained by curing the polyamic acid (II) and filler-containing polyamic acid is extremely useful as a substrate for FPC, TAB tape, COF, and CSP. Moreover, the metal laminated body formed by electroless-plating the said block copolymerization type polyimide-silica hybrid hardened | cured material is useful as a laminated board for printed circuit boards.

Claims (8)

テトラカルボン酸二無水物(A)及びジアミン(B)を反応させて得られるポリアミック酸(1)とエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)を反応させて得られたシラン変性ポリアミック酸(I)に、更に、テトラカルボン酸二無水物(C)及びジアミン(D)を反応させて得られ、テトラカルボン酸二無水物(A)とテトラカルボン酸二無水物(C)の合計モル数の15〜100モル%がピロメリット酸二無水物であり、且つ、ジアミン(B)とジアミン(D)の合計モル数の25〜100モル%がp−フェニレンジアミンであるアルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸(ただし、テトラカルボン酸二無水物(A)とテトラカルボン酸二無水物(C)が同一であり、且つ、ジアミン(B)とジアミン(D)が同一であるものを除く。)。 Silane-modified polyamic acid (I) obtained by reacting polyamic acid (1) obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride (A) and diamine (B) with epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) ) Is further obtained by reacting tetracarboxylic dianhydride (C) and diamine (D), and the total number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) and tetracarboxylic dianhydride (C). An alkoxy group-containing silane-modified block copolymer in which 15 to 100 mol% is pyromellitic dianhydride and 25 to 100 mol% of the total number of moles of diamine (B) and diamine (D) is p-phenylenediamine. polymerizable polyamic acid (However, tetracarboxylic acid dianhydride (a) and the tetracarboxylic dianhydride (C) are identical, and a diamine (B) and diamine (D) Except for those that are the same.). ジアミン(B)とジアミン(D)の合計モル数の40〜90モル%が、p−フェニレンジアミンであり、且つ、10〜60モル%が、オキサジアニリンである請求項1記載のアルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸。 Total moles 40-90 mole% of the diamine (B) and diamine (D) is, p- a phenylenediamine and 10 to 60 mole percent, an alkoxy group of claim 1 Symbol placement oxa dianiline Containing silane-modified block copolymerized polyamic acid. (テトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)/(ジアミン(B)のモル数)=1.03〜1.33または0.75〜0.97の比率で反応させて得られるポリアミック酸(1)を使用する請求項1または2に記載のアルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸。 (Number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A)) / (Number of moles of diamine (B)) = 1.3-1.33 or 0.75-0.97 polyamic acid obtained by reaction The alkoxy group-containing silane-modified block copolymer polyamic acid according to claim 1 or 2 , wherein (1) is used. 請求項1〜のいずれかに記載のアルコキシ基含有シラン変性ブロック共重合型ポリアミック酸をゾル−ゲル硬化及び脱水閉環させることにより得られるブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物。 A block copolymerized polyimide-silica hybrid cured product obtained by subjecting the alkoxy group-containing silane-modified block copolymerized polyamic acid according to any one of claims 1 to 3 to sol-gel curing and dehydration ring closure. 吸水率が3%未満である請求項に記載のブロック共重合型ポリイミド-シリカハイブリッド硬化物。 The block copolymer-type polyimide-silica hybrid cured product according to claim 4 , wherein the water absorption is less than 3%. フィラーを含有する請求項またはに記載のブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物。 The block copolymer-type polyimide-silica hybrid cured product according to claim 4 or 5 containing a filler. 熱膨張係数が25ppm以下である請求項4〜のいずれかに記載のポリイミド−シリカハイブリッド硬化物。 The polyimide-silica hybrid cured product according to any one of claims 4 to 6 , having a thermal expansion coefficient of 25 ppm or less. 請求項のいずれかに記載のブロック共重合型ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物を無電解メッキして得られる金属積層体。
Claims 4-7 block copolymer polyimide according to any one of - Silica Hybrid cured electroless plating and metal obtained laminate.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009302144A (en) * 2008-06-10 2009-12-24 Nippon Mektron Ltd Flexible circuit substrate and manufacturing method thereof

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4948211B2 (en) * 2007-03-12 2012-06-06 古河電気工業株式会社 Foam, circuit board using foam, and manufacturing method thereof
JP5494914B2 (en) * 2009-03-31 2014-05-21 荒川化学工業株式会社 Adhesive sheet and multilayer printed circuit board obtained using the adhesive sheet
CN102450110B (en) * 2009-05-26 2016-01-13 荒川化学工业株式会社 Flexible PCB and manufacture method thereof
JP5872952B2 (en) * 2011-05-19 2016-03-01 荒川化学工業株式会社 Gas barrier laminated polyimide film, functional thin film layer laminated gas barrier laminated polyimide film, display and solar cell
JP6052182B2 (en) 2011-11-14 2016-12-27 コニカミノルタ株式会社 Organic electroluminescence device and planar light emitter
TWI491652B (en) * 2013-05-17 2015-07-11 聯茂電子股份有限公司 Organic-inorganic hybrid material film and method for manufacturing the same
KR101585981B1 (en) * 2014-07-30 2016-01-18 한국신발피혁연구원 Metal adhesion coating composition having heat resistance and method of metal surface treatment for application using the same

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001316621A (en) * 2000-05-11 2001-11-16 Jsr Corp Composition for film formation and material for insulation film formation
JP3539633B2 (en) * 2001-01-24 2004-07-07 荒川化学工業株式会社 Alkoxy-containing silane-modified polyamic acid resin composition and polyimide-silica hybrid cured product
JP4022851B2 (en) * 2001-11-01 2007-12-19 荒川化学工業株式会社 Manufacturing method of polyimide film with metal and polyimide film with metal obtained by the manufacturing method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009302144A (en) * 2008-06-10 2009-12-24 Nippon Mektron Ltd Flexible circuit substrate and manufacturing method thereof

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