JP5493208B2 - 気孔率の計測システム - Google Patents
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Description
<式1>
(実施例1)での結果から、気孔だけでなく、微視的なきれつの存在によっても、屈折率は変化すると考えられることから、その相対変化から内部での微視破壊の発生量を把握できる。
(実施例1)での結果から、反射測定においても、同様のアプローチを行うことが可能であることから、基材上の皮膜に対しても適用可能である。
(実施例1)での結果から、溶射皮膜に限らず、PVD,CVD,ディップコーティングなど、セラミックスやポリマーといったテラヘルツ波を透過しやすい材料のコーティングに適用可能である。
イットリア安定化ジルコニア(ZrO2−8wt%Y2O3)粉末を大気プラズマ溶射により、炭素鋼上に成膜し、実施例1〜6の試料とした。この際、表1に示す条件を適用し、特に溶射距離を変化させることにより、異なる気孔率を有する試料とした。基材上に成膜後、切断と研磨により基材を除去し、皮膜だけの試料とした。皮膜だけの試料はラッピング加工により両表面が平行になるようにした。一つの試料から三〜四個のサンプルを作成し、テラヘルツ波による複素屈折率の測定を行った。また、電子顕微鏡観察用に皮膜を樹脂埋め後、断面研磨し、断面組織の観察を行った。図1に各断面組織写真を示す。溶射距離が長くなるほど気孔率が高くなっている。得られた電子顕微鏡写真(1000倍にて測定)をイメージ変換により白黒の二色の画像に変換後、気孔に対応する黒い領域の面積率を測定することにより、気孔率を評価した、一つのサンプルにおいて5か所の画像から得られた値を平均することにより、その試料に対する平均気孔率を得た。その値を表1に示す。誤差は標準偏差により求めた。
以上のような測定結果から、前記式1において、測定対象材料によって決定される定数A, B, Cを以下のようにして求めた。実測された気孔率と複素屈折率の実数部の相関データに対し(図6参照)、次の関数、
を、各ポイントデータと上記式との差の二乗和が最小となるようにフィッティングを行い(最小二乗法)、A,B,Cを決定した。
<式2>
<式3>
Claims (1)
-
金属、セラミック或いは樹脂等で形成された材料の気孔率の計測システムであって、
テラヘルツ帯の電磁波を被測定材料に照射する電磁波照射手段と、
この電磁波照射により、前記被測定材料を透過したテラヘルツ帯電磁波より複素屈折率を演算する複素屈折率複屈折率演算手段と、
その演算結果より得られた複素屈折率を下記式1により演算して気孔率を演算する気孔率演算手段と
からなることを特徴とする気孔率の計測システム
<式1>
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