JP5479214B2 - 発光素子搭載用基板の製造方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 89
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 216
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 216
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 39
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 11
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 159
- 239000000463 material Substances 0.000 description 30
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 25
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 20
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 18
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 18
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 17
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 10
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 10
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 4
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 1
- 229920006231 aramid fiber Polymers 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N lead tin Chemical compound [Sn].[Pb] LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- -1 porous sheet Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
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Description
基板の表面に凸部を形成する凸部形成工程と、
基板の表面で凸部を形成した場所以外の表面に、少なくとも絶縁層を積層する積層工程と、
絶縁層のうち凸部の突端より突出した余剰部を除去する除去工程とを有する。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図1に示すように、発光素子搭載用基板は、発光素子30を搭載してこれに給電するための発光素子搭載用基板であって、金属基板10と、その金属基板10の発光素子30の搭載位置に形成された金属凸部14と、その金属凸部14の周囲に形成された絶縁層16と、絶縁層16に積層された金属層17とを備える。本実施形態では、金属基板10と金属凸部14との間に保護金属層12が形成されるが、別実施形態では保護金属層12が形成されない構成もある。また、基板として金属基板を用いた実施形態を示すが、基板を熱伝導性の優れた他の材料で構成することもできる。また、凸部として金属凸部を用いた実施形態を示すが、凸部を熱伝導性の優れた他の材料で構成することもできる。かかる場合に、凸部を形成する方法は公知の形成方法を適用できる。
発光素子30としては、発光ダイオードチップ、ベアチップ(紫外線発光ダイオードウエハをプロセス加工したもの)、ベアチップを表面実装型にパッケージしたもの、半導体レーザチップ等が挙げられる。発光ダイオードチップを用いる場合、その裏面は、カソードタイプとアノードタイプの2種類がある。また、本実施形態では、ベアチップタイプの発光素子30の方が、放熱性、実装面積の点から優れている。
本実施形態の発光素子搭載用基板の製造方法を図2、3を用いて説明する。先ず、金属基板10に金属凸部14を形成する(図2のステップS1、金属凸部形成工程)。図3(a)〜(c)に示すように、金属基板10に積層された表面金属層4を選択的にエッチングして発光素子30の搭載位置に金属凸部14を形成する。本実施形態では、表面金属層4は、そのエッチング時に耐性を示す別の保護金属層2を介して金属基板10に積層されている例を示す。
前述の実施形態では、絶縁樹脂付き銅箔を加熱プレスした後に研削等を行う例を示したが、別実施形態として、絶縁樹脂付き銅箔を加熱プレスした後に、エッチングで金属層17の余剰部41を除去し、その後に研削等を行うように構成できる。
14 金属凸部
16 絶縁層
17 金属層
18 貫通部
41、42 余剰部
Claims (5)
- 基板の表面に凸部を形成する凸部形成工程と、
基板の表面で凸部を形成した場所以外の表面に、少なくとも絶縁層を積層する積層工程と、
絶縁層のうち凸部の突端より突出した余剰部を除去する除去工程とを有し、
少なくとも絶縁層が、基板への積層前に前記凸部の形状に合わせた貫通部を有し、当該貫通部の平面形状サイズが、前記凸部の平面形状サイズより小さく構成されており、前記積層工程時に貫通部を凸部に合わせて積層する発光素子搭載用基板の製造方法。 - 積層工程において、絶縁層および金属層を積層する構成とした請求項1に記載の発光素子搭載用基板の製造方法。
- 積層工程時に貫通部を凸部に合わせて積層した際に、絶縁層および金属層の変形部が凸部の突端より突出して余剰部を形成する請求項1に記載の発光素子搭載用基板の製造方法。
- 積層工程時に貫通部を凸部に合わせて積層した際に、絶縁層の変形部が凸部の突端より突出して余剰部を形成する請求項1に記載の発光素子搭載用基板の製造方法。
- 貫通部の平面形状が円状であり、凸部の平面形状が楕円状、瓢箪状、矩形、および多角形のうちから選択される形状である請求項1から4のいずれか1項に記載の発光素子搭載用基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010112431A JP5479214B2 (ja) | 2009-05-28 | 2010-05-14 | 発光素子搭載用基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009129287 | 2009-05-28 | ||
JP2009129287 | 2009-05-28 | ||
JP2010112431A JP5479214B2 (ja) | 2009-05-28 | 2010-05-14 | 発光素子搭載用基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011009716A JP2011009716A (ja) | 2011-01-13 |
JP5479214B2 true JP5479214B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=43565965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010112431A Active JP5479214B2 (ja) | 2009-05-28 | 2010-05-14 | 発光素子搭載用基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5479214B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6910630B2 (ja) * | 2015-09-02 | 2021-07-28 | 株式会社ダイワ工業 | 配線基板積層体の製造方法および配線基板積層体 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS614809A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-10 | Toyota Motor Corp | 焼結部品の嵌合固定方法 |
JPH0380596A (ja) * | 1989-08-23 | 1991-04-05 | Fujitsu Ltd | 多層セラミック回路基板の製造方法 |
JP3407131B2 (ja) * | 2000-03-24 | 2003-05-19 | 株式会社三井ハイテック | 半導体装置の製造方法 |
JP2004289016A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 電気配線モジュール及びフレキシブルプリント配線板と配線基板との接続方法 |
JP4255367B2 (ja) * | 2003-12-04 | 2009-04-15 | デンカAgsp株式会社 | 発光素子搭載用基板及びその製造方法 |
JP2006066519A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Kyocera Corp | 発光素子用配線基板ならびに発光装置 |
JP2006073763A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Denso Corp | 多層基板の製造方法 |
JP5209856B2 (ja) * | 2006-06-05 | 2013-06-12 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板 |
JP4771179B2 (ja) * | 2007-05-31 | 2011-09-14 | 東芝ライテック株式会社 | 照明装置 |
-
2010
- 2010-05-14 JP JP2010112431A patent/JP5479214B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011009716A (ja) | 2011-01-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20110329 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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