JP5477233B2 - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
太陽電池の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5477233B2 JP5477233B2 JP2010196472A JP2010196472A JP5477233B2 JP 5477233 B2 JP5477233 B2 JP 5477233B2 JP 2010196472 A JP2010196472 A JP 2010196472A JP 2010196472 A JP2010196472 A JP 2010196472A JP 5477233 B2 JP5477233 B2 JP 5477233B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- screen
- solar cell
- printing
- screen plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Description
なお、本発明において、基礎電極とは、その上に重ねて電極ペーストを塗布し、この電極ペーストと共に焼成したときに一体となって集電電極になり得るものをいい、これには、後述する通り、蒸着、めっき等により得られる電極や、導電性ペーストを塗布、乾燥しただけで未焼成のもの、更にこれを焼成した電極も含まれる。また、乳剤とは、感光性樹脂組成物の水溶液であって、通常、スクリーンメッシュ上に塗布後硬化させて硬化膜を形成させる。
請求項1:
半導体基板上に導電性ペーストをスクリーン印刷して基礎電極を形成した後、この基礎電極の一部又は全部の直上にスクリーン製版を用いて該スクリーン製版の開口部が基礎電極に覆い被さるようにして導電性ペーストを印刷し、上記基礎電極上に上層電極を積層形成することにより集電電極を得る工程を含む太陽電池の製造方法であって、
上記スクリーン製版として、スクリーンに上記上層電極の形状に対応すると共に、その開口幅が基礎電極の線幅以下である開口部を有するように感光乳剤の硬化物からなるマスク層を形成すると共に、スクリーン下面とマスク層下面との間の厚さを上記基礎電極の高さよりも10〜35μm厚く形成したスクリーン製版を用いることを特徴とする太陽電池の製造方法。
請求項2:
スクリーン下面とマスク層下面との間の厚さが15〜100μmである請求項1記載の太陽電池の製造方法。
請求項3:
スクリーン製版が少なくとも1つの細長い開口部を有する請求項1又は2に記載の太陽電池の製造方法。
請求項4:
スクリーン製版の開口部の開口幅が20〜150μmである請求項1〜3のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
なお、本発明は、P型基板に限定されるものではない。N型基板においても有用な方法であり、公知の製造方法により作製することができる。
以下の工程を半導体基板10枚について行い、太陽電池10枚を作製した。
まず、図3に示すように、15cm角、厚さ250μm、比抵抗2Ω・cmの、ホウ素ドープ{100}p型アズカットシリコン基板11を用意し、濃水酸化カリウム水溶液によりダメージ層を除去し、テクスチャを形成後、オキシ塩化リン雰囲気下850℃で熱処理してエミッタ層15を形成した。次いで、基板表面のリンガラスを除去して、反射防止膜16を形成した。裏面に、銀粉末とガラスフリットを有機物バインダで混合したペーストをバスバー状14にスクリーン印刷した後、アルミニウム粉末を有機物バインダで混合したペーストをバスバー以外の領域18にスクリーン印刷した。有機溶媒を乾燥して裏面電極を形成した半導体基板を作製した。
まず、銀粉末、ガラスフリット、有機ビヒクル及び有機溶媒を主成分とし、添加物としてZnOを含有した導電性ペースト(Dupont社製、商品名:PV145)を、櫛歯状パターンを有するスクリーン製版を用いて、半導体基板上に形成された反射防止膜16上に塗布し、150℃のクリーンオーブンで有機溶媒の乾燥を行って、基礎電極を形成した(図4中の20)。
乾燥後の基礎電極の電極高さBは、レーザー顕微鏡で測定したところ、15μmであり、線幅Aは120μmであった(表1)。
印刷後の電極高さC及びC’は基礎電極高さBに比べて、それぞれ条件1では41μm増加し、条件2で10μm増加した。
Jsc(短絡電流)は同等であり、乳剤を厚くしても線幅太りなどの問題は発生しないことが分かった。一方、電極高さが増して断面積が増加したため、条件1は条件2に比べて1.5%もFFが向上した。変換効率は条件2に比べて条件1が0.5%向上した。
10 半導体基板
11 シリコン基板(P型)
12 フィンガー電極
13 バスバー電極
14 バスバー電極
15 エミッタ層(N型拡散層)
16 反射防止膜
17 BSF層
18 アルミニウム電極
20 基礎電極
30 スクリーンメッシュ
31 開口部
32、32’ マスク層(乳剤の硬化物)
33、34 上層電極(第二電極層)
A 基礎電極の線幅
B 基礎電極の高さ
C、C’ 集電電極の高さ
a 開口幅
b、b’ スクリーン下面とマスク層下面との間の厚さ
c、c’ 紗厚
d、d’ マスク層の厚さ(スクリーン厚)
Claims (4)
- 半導体基板上に導電性ペーストをスクリーン印刷して基礎電極を形成した後、この基礎電極の一部又は全部の直上にスクリーン製版を用いて該スクリーン製版の開口部が基礎電極に覆い被さるようにして導電性ペーストを印刷し、上記基礎電極上に上層電極を積層形成することにより集電電極を得る工程を含む太陽電池の製造方法であって、
上記スクリーン製版として、スクリーンに上記上層電極の形状に対応すると共に、その開口幅が基礎電極の線幅以下である開口部を有するように感光乳剤の硬化物からなるマスク層を形成すると共に、スクリーン下面とマスク層下面との間の厚さを上記基礎電極の高さよりも10〜35μm厚く形成したスクリーン製版を用いることを特徴とする太陽電池の製造方法。 - スクリーン下面とマスク層下面との間の厚さが15〜100μmである請求項1記載の太陽電池の製造方法。
- スクリーン製版が少なくとも1つの細長い開口部を有する請求項1又は2に記載の太陽電池の製造方法。
- スクリーン製版の開口部の開口幅が20〜150μmである請求項1〜3のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010196472A JP5477233B2 (ja) | 2010-09-02 | 2010-09-02 | 太陽電池の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010196472A JP5477233B2 (ja) | 2010-09-02 | 2010-09-02 | 太陽電池の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012054441A JP2012054441A (ja) | 2012-03-15 |
JP5477233B2 true JP5477233B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=45907453
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010196472A Active JP5477233B2 (ja) | 2010-09-02 | 2010-09-02 | 太陽電池の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5477233B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5760956B2 (ja) * | 2011-11-02 | 2015-08-12 | 信越化学工業株式会社 | フィンガー電極の形成方法 |
WO2013179387A1 (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-05 | 三洋電機株式会社 | 太陽電池の製造方法、太陽電池モジュールの製造方法、及び太陽電池モジュール |
CN112563348B (zh) * | 2021-01-07 | 2024-03-08 | 南通天盛新能源股份有限公司 | 一种隧穿氧化层钝化接触太阳能电池背面电极金属化方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4004114B2 (ja) * | 1997-09-26 | 2007-11-07 | 三洋電機株式会社 | 太陽電池素子の製造方法及び太陽電池素子 |
JP2003257654A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-09-12 | Hitachi Ltd | 画像表示装置およびその製造方法 |
JP5118044B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2013-01-16 | 信越半導体株式会社 | 半導体基板並びに電極の形成方法及び太陽電池の製造方法 |
JP5428669B2 (ja) * | 2008-09-08 | 2014-02-26 | 三菱マテリアル株式会社 | 太陽電池及びその製造方法 |
-
2010
- 2010-09-02 JP JP2010196472A patent/JP5477233B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012054441A (ja) | 2012-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5761208B2 (ja) | 太陽電池用スクリーン製版及び太陽電池の電極の印刷方法 | |
JP5172480B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
EP2355167A2 (en) | Method for manufacturing electrode for solar cell, substrate for solar cell manufactured by the same, and solar cell manufactured by the same | |
JP6199727B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP2012054442A (ja) | 太陽電池の製造方法及びこれに用いるスクリーン製版 | |
JP5477233B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP5693503B2 (ja) | 太陽電池およびその製造方法 | |
CN103348489A (zh) | 太阳能电池元件的制造方法及太阳能电池元件 | |
JP5171653B2 (ja) | 太陽電池とその製造方法 | |
JP6405292B2 (ja) | 太陽電池の製造方法及び太陽電池 | |
JP6153885B2 (ja) | 裏面接合型太陽電池 | |
CN111278575B (zh) | 聚酰亚胺糊料的干燥方法及高光电转化效率太阳能电池的制造方法 | |
JP5920130B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP5858025B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP7126909B2 (ja) | バックコンタクト型太陽電池セルの製造方法 | |
JP2011138922A (ja) | 太陽電池及び太陽電池製造用スクリーン製版 | |
JP5760956B2 (ja) | フィンガー電極の形成方法 | |
JP6371883B2 (ja) | 裏面接合型太陽電池の製造方法 | |
JP2017147266A (ja) | 太陽電池の集電電極の形成方法 | |
JP2014220462A (ja) | 太陽電池の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120727 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130820 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131004 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131029 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140114 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140127 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5477233 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |