JP5475785B2 - マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム - Google Patents
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Description
図1は、投影光ビームを生成するための照明システム12を備える投影露光装置10の高度に単純化した斜視図である。投影光ビームは、微細構造18を含むマスク16上の視野14を照明する。この実施形態では、照明視野14は、ほぼリングセグメントの形状を有する。しかしながら、照明視野14の他の形状、例えば矩形も考えられる。
図2は、図1に示す照明システム12のより詳細な子午線断面図である。明確にするために、図2の図は、大幅に簡略化されており一定の縮尺ではない。これは特に、種々の光学ユニットが非常に少数の光学素子によってしか表されていないことを意味する。現実には、これらのユニットは、それよりも大幅に多いレンズ及び他の光学素子を備え得る。
照明システム12は、第1の実施形態によるレーザビーム94を生成する赤外レーザ源92を含む温度制御デバイス90を備え、これはハウジング28内に収容される。温度制御デバイス90は、ミラー素子Mijの標的領域上でレーザビーム94を移動させるように構成される空間光変調器96をさらに含む。この実施形態では、空間光変調器96は、適当なアクチュエータを用いて2つの直交軸に関して傾斜させることができる傾斜可能ミラー98を備える。このような傾斜可能ミラー98は、Microvisionにより出願された国際公開第2005/078506号に記載のようにMEMS技術を用いて実現することもできる。傾斜可能ミラー98を用いて、ミラー98を適宜傾斜させることによりミラーアレイ46の任意の点にレーザビーム94を向けることが可能である。代替的な実施形態では、空間光変調器96は、回転可能なプリズム又は電気光学素子の組み合わせを含み、これは、素子に印加される電圧を変えることにより素子を通過する光ビームの方向を変えることを可能にする。
図8は、別の実施形態によるミラー素子Mijの斜視図である。ミラー素子Mijは、固体関節(solid state articulations)112a、112b、112c、及び112dを用いてキャリア構造110に接続される。これらの関節112a、112b、112c、及び112dは、長手方向スリット113が作られた後でキャリア構造110に残るブリッジにより形成される。簡単のために、対向する関節対112a、112c及び112b、112dによりそれぞれ定められる傾斜軸56x、56yを中心にミラー素子Mijを傾斜させるように構成されるアクチュエータは、図8に示されていない。
本発明の上記の実施形態は、全てDUV照明システムに関する。しかしながら、後述する実施形態から明らかとなるように、本発明は、EUV照明システムでも有利に用いられ得る。このようなシステムでは、投影光の波長(動作波長とも呼ぶ)は、50nm未満、好ましくは25nm未満、最も好ましくは13nm〜14nm未満である。このような短い波長では透明屈折材料が利用不可能であるため、EUV投影露光装置の全光学素子(当然ながら絞り以外)がカトプトリック(すなわち、反射性)タイプである。
Claims (17)
- マイクロリソグラフィ投影露光装置(10)の照明システムであって、
a)一次光源(30)と、
b)システム瞳面(70)と、
c)ミラーアレイ(46)であって、
i)前記一次光源(30)と前記システム瞳面(70)との間に配置され、
ii)複数のアダプティブミラー素子(Mij)を含み、該ミラー素子(Mij)はそれぞれ、
ミラー支持体(100)及び反射性コーティング(102)を含むと共に、
前記一次光源(30)により生成される光(34)を前記システム瞳面(70)に向けるように構成される、
ミラーアレイ(46)と、
を備え、前記ミラー素子(Mij)は、異なる熱膨張係数を有し互いに取り付け固定される構造(100、102)を含み、
該照明システム(12)は、前記ミラー素子(Mij)の形状を個別に変えるために前記構造内の温度分布を可変に変更するように構成される温度制御デバイス(90)を備える、照明システム。
- 前記構造は、前記ミラー支持体(100)及び前記反射性コーティング(102)を含む、請求項1に記載の照明システム。
- 前記構造は、前記反射性コーティング(102)を形成する層を含む、請求項1又は2に記載の照明システム。
- 前記温度制御デバイス(90)は、前記ミラー支持体(100)に取着される加熱部材又は冷却部材(114、114’)を備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載の照明システム。
- 前記加熱部材は、導電抵抗線(114’)のパターンを含む、請求項4に記載の照明システム。
- 前記加熱部材又は冷却部材は、ペルチェ素子(130)を含む、請求項4又は5に記載の照明システム。
- 前記温度制御デバイス(90)は、前記ミラー素子(Mij)の前記反射性コーティング(102)の標的領域(106)に放射線を選択的に向けるように構成される放射システムを含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の照明システム。
- 前記反射性コーティング(102)は、前記放射線に対して吸収性がある、請求項7に記載の照明システム。
- 前記放射システムは、放射線ビーム(94)を生成する二次光源(92)と、前記標的領域(106)上で前記放射線ビームを移動させるように構成される空間光変調器(96)とを備える、請求項7又は8に記載の照明システム。
- 前記標的領域(106)は、ミラー素子(Mij)ごとに異なる、請求項7〜9のいずれか1項に記載の照明システム。
- 前記温度制御デバイス(90)は、前記異なる熱膨張係数により生じる屈曲力を考慮に入れることにより前記ミラー素子(Mij)の形状を予測するように構成される、請求項1〜10のいずれか1項に記載の照明システム。
- 前記温度制御デバイス(90)は、前記ミラー素子(Mij)の不均一な温度プロファイルにより生じる屈曲力を考慮に入れることにより前記ミラー素子の形状を予測するように構成される、請求項1〜11のいずれか1項に記載の照明システム。
- 前記ミラー素子(Mij)は、凹面鏡面を有し、前記温度制御デバイス(290)は、前記ミラー素子(Mij)が2つの直交面で異なる焦点距離(fa及びfb)を有するように前記構造内の温度分布を変更するように構成される、請求項1〜12のいずれか1項に記載の照明システム。
- 前記一次光源(230)は、50nm未満の波長を有する投影光を生成するように構成され、前記ミラー素子(Mij)の光軸が、光伝播方向で前記ミラーアレイ(246)の直前にあるミラー(272)の光軸と共に20度よりも大きい角度を形成する、請求項13に記載の照明システム。
- 前記光源(230)に対称軸(AX)が関連付けられ、該対称軸は、水平面に対して45度未満の角度を形成する、請求項14に記載の照明システム。
- 前記ミラー素子(Mij)は、熱障壁(118a、118b)を備え、該熱障壁(118a、118b)は、該熱障壁(118a、118b)の両側に配置される材料(124、100)よりも小さな熱伝導係数を有する、請求項1〜15のいずれか1項に記載の照明システム。
- 各ミラー素子(Mij)が、支持構造に対して傾斜可能に装着される、請求項1〜16のいずれか1項に記載の照明システム。
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