JP5467576B2 - 流量計測ピース及び電磁流量計 - Google Patents

Description

本発明は、電磁流量計及びその電磁流量計のうち流体が触れる部分を電磁流量計本体から分割してなる流量計測ピースとに関する。

従来、この種の電磁流量計の一例として、例えば人口透析の透析液の流量を検出するためのものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この電磁流量計の流量計測ピースは、透析液が流れる計測流路を有した樹脂ベースに検知端子を埋設してなり、衛生上の観点から、人口透析が行われる度に新品に交換されて電磁流量計本体に取り付けられる。また、従来、この種の流量計測ピースは、検知端子のインサート成形品として製造され、例えば、成形金型の型開きに方向に延びた成形ピンによって計測流路が成形されていた。

特開平５−３２９２０５号公報（段落［００１４］，［００１５］、図２）

ところで、流量計測ピースのうち磁束貫通部分が厚くなるとその分、磁気抵抗が増し、その結果、磁束強度と共に検知電圧が低下してノイズの影響を受け易くなり、流量検出の精度が低下する。従って、流量計測ピースのうち磁束貫通部分は薄い方が好ましい。しかしながら、従来の流量計測ピースでは、上記した成形ピンの強度確保のために計測流路を細くすることができず、その結果、流量計測ピースのうち磁束貫通部分を薄くすることができず、流量検出の高精度化を図ることができなかった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、流量検出の高精度化を図ることが可能な流量計測ピース及び電磁流量計の提供を目的とする。

上記目的を達成するためになされた請求項１の発明に係る流量計測ピースは、計測流路を有した樹脂ベースを備えると共に、その樹脂ベースに１対の検知端子が固定された流量計測ピースであって、電磁流量計本体に着脱可能に取り付けられて磁束を受け、計測流路に流れる流体の流量に応じた検知電圧を１対の検知端子の間に発生させて電磁流量計本体に付与する流量計測ピースにおいて、樹脂ベースは、メイン樹脂プレートにサブ樹脂プレートを重ね合わせてなりかつメイン樹脂プレートの板厚方向で磁束を受け、計測流路の少なくとも一部が、メイン樹脂プレートとサブ樹脂プレートとの接合面間に形成されたプレート間流路で構成され、１対の検知端子の一部がメイン樹脂プレートに埋設されると共に、１対の検知端子の先端部がプレート間流路内に露出してそのプレート間流路の幅方向に対向配置したところに特徴を有する。

請求項２の発明は、請求項１に記載の流量計測ピースにおいて、プレート間流路の断面形状は、１対の検知端子の先端部の対向方向で比較的大きく、磁束貫通方向で比較的小さい偏平形状になっているところに特徴を有する。

請求項３の発明は、請求項１又は２に記載の流量計測ピースにおいて、メイン樹脂プレートの表裏の両面に第１と第２のサブ樹脂プレートを重ねて、第１のサブ樹脂プレートとメイン樹脂プレートとの間に第１のプレート間流路を有した第１の計測流路を設けると共に、第２のサブ樹脂プレートとメイン樹脂プレートとの間に第２のプレート間流路を有した第２の計測流路とを設け、それら第１と第２のプレート間流路に、同一断面形状を有して平行に延びかつ同じ磁束を受けるようにメイン樹脂プレートの板厚方向で重なり合った第１と第２の重複流路部を備え、１対の検知端子としての１対の第１検知端子と１対の第２検知端子とをメイン樹脂プレートに設けて、１対の第１検知端子の先端部を、第１の重複流路部における幅方向に対向配置すると共に、１対の第２検知端子の先端部を、第２の重複流路部における幅方向に対向配置したところに特徴を有する。

請求項４の発明は、請求項３に記載の流量計測ピースにおいて、第１と第２のサブ樹脂プレートを、同一形状の樹脂成形品とし、第１と第２のサブ樹脂プレートに第１と第２の計測溝を陥没形成し、それら第１及び第２の計測溝が、メイン樹脂プレートと第１及び第２のサブ樹脂プレートとの接合面間に配置されて第１及び第２のプレート間流路が構成されているところに特徴を有する。

請求項５の発明は、請求項３に記載の流量計測ピースにおいて、メイン樹脂プレートの表裏の両面に第１と第２の計測溝を陥没形成し、それら第１及び第２の計測溝が、メイン樹脂プレートと第１及び第２のサブ樹脂プレートとの接合面間に配置されて第１及び第２のプレート間流路が構成されているところに特徴を有する。

請求項６の発明は、請求項４又は５に記載の流量計測ピースにおいて、第１と第２の計測溝は、直線状に延びた直線溝部の両端部から１対の連絡溝部を同一方向に折り曲げて全体がＵ字形状に形成され、第１と第２の計測溝の直線溝部は、メイン樹脂プレートの板厚方向で重なり合うように配置されて第１と第２の重複流路部を構成し、第１と第２の計測溝が有する１対ずつの連絡溝部は、一方の対の連絡溝部と他方の対の連絡溝部とが、直線溝部から互いに異なる方向に延びた状態に配置され、メイン樹脂プレートには、その表裏の両面のうち１対ずつ計４つの連絡溝部に連通する連絡開口をそれぞれ有して、それら連絡開口から直線溝部に対して遠ざかる側にメイン樹脂プレート内を延びた１対ずつ計４つの中継流路が、第１及び第２の計測流路の一部として備えられ、メイン樹脂プレートのうち直線溝部の長手方向で対向した１対の板厚側面から突出しかつ各中継流路と連通した４つの配管接続パイプを備えたところに特徴を有する。

請求項７の発明は、請求項６に記載の流量計測ピースにおいて、直線溝部の中央部を両端部より浅くすることでプレート間流路の中央部に両端部より断面積が小さい計測流生成部を形成し、計測流生成部に各検知端子の先端部を配置したところに特徴を有する。

請求項８の発明は、請求項６又は７に記載の流量計測ピースにおいて、メイン樹脂プレート内に、４つの中継流路に共通したアース端子を設けて、そのアース端子に備えた４つの分岐先端部をそれぞれ各中継流路のうち連絡開口内に露出させたところに特徴を有する。

請求項９の発明は、請求項３乃至８の何れか１の請求項に記載の流量計測ピースにおいて、１対の第１検知端子の基端部が露出した状態で横並びに配置されると共に、その横に１対の第２検知端子の基端部が露出した状態で横並びに配置されてコネクタ部が形成され、外側２つの第１検知端子と第２検知端子とが、基端部から先端部に向かう途中で互いに接近する側に屈曲して延び、互いの先端寄り位置が間隔を空けた状態に突き合わされて先端部を除く全体が対称形状をなすと共に、先端部がメイン樹脂プレートの表裏の一方と他方とに分かれて露出し、内側２つの第１検知端子と第２検知端子とが、基端部から先端部に向かう途中で互いに接近する側に屈曲して延び、互いの先端寄り位置が間隔を空けた状態に突き合わされて先端部を除く全体が対称形状をなすと共に、先端部がメイン樹脂プレートの表裏の一方と他方とに分かれて露出しているところに特徴を有する。

請求項１０の発明は、請求項１乃至９の何れか１の請求項に記載の流量計測ピースにおいて、サブ樹脂プレートは、メイン樹脂プレートに拡散接合層を介して接合されているところに特徴を有する。

請求項１１の発明に係る電磁流量計は、請求項１乃至１０の何れか１の請求項に記載の流量計測ピースと、その流量計測ピースが着脱可能に取り付けられ、流量計測ピースに磁束を付与すると共に、流量計測ピースから検知電圧を受け取って流量を演算する電磁流量計本体とからなるところに特徴を有する。

請求項１２の発明に係る電磁流量計は、請求項３乃至１０の何れか１の請求項に記載の流量計測ピースと、その流量計測ピースが着脱可能に取り付けられて、流量計測ピースに磁束を付与すると共に、第１検知端子及び第２検知端子から検知電圧を受け取って、第１の計測流路を流れる流体の流量と、第２の計測流路を流れる流体の流量との差分の流量を演算するところに特徴を有する。

［請求項１及び１１の発明］
請求項１及び１１の構成では、計測流量のうち１対の検知端子の先端部を内部に有した磁束貫通部分が、メイン樹脂プレートとサブ樹脂プレートとの接合面間にプレート間流路として形成されている。そのプレート間流路は、メイン樹脂プレートとサブ樹脂プレートとの接合面に溝を成形することで設けることができる。また、その接合面の溝は、メイン樹脂プレート又はサブ樹脂プレートの樹脂成形金型に溝成形突部を設けて成形することができるので、その溝成形突部の突出量を小さくすることで容易に浅くすることができる。即ち、本発明によれば、計測流路における磁束貫通部分（即ち、プレート間流路）を、従来の成形ピンで成形した計測流路の磁束貫通部分に比べて磁束貫通方向に小さくすることできる。これにより、本発明の流量計測ピースでは、磁束貫通部分を従来より薄くすることができ、その分、流量検出の高精度化を図ることが可能になる。

［請求項２の発明］
請求項２の構成では、プレート間流路の断面形状が、１対の検知端子の先端部の対向方向で比較的大きく、磁束貫通方向で比較的小さい偏平形状であるので、１対の検知端子の先端部間の間隔を広くすることができ、その分、検知電圧が大きくなって流量検出の高精度化を図ることが可能になる。なお、ここで、上記したプレート間流路を構成するための溝は、樹脂成形金型の溝成形突部の幅を大きくすることで容易に１対の検知端子の対向方向で幅広にすることができる。

［請求項３及び１２の発明］
請求項３及び１２の構成では、メイン樹脂プレートの表裏の両面に第１と第２のサブ樹脂プレートが重ねられて第１と第２のプレート間流路が形成され、それら第１と第２のプレート間流路に、同じ磁束を受けるように重なり合った第１と第２の重複流路部が設けられている。これにより、第１と第２の重複流路部を通過する流体の別々の流量を同じ磁束の条件下で計測することができ、それら流量同士の差分を正確に計測することが可能になる。また、第１と第２の各プレート間流路は、上述したように従来の成形ピンで成形された計測流路に比べて磁束貫通方向に小さくすることが可能なので、それら第１と第２のプレート間流路を磁束貫通方向で重ねても流量計測ピースのうち磁束貫通部分を薄くすることができる。これにより、流量検出の高精度化を図ることが可能になる。

［請求項４，５の発明］
第１と第２のプレート間流路は、請求項４に示すように第１と第２のサブ樹脂プレートに陥没成形された第１と第２の計測溝が、メイン樹脂プレートの表裏の平坦面でそれぞれ閉塞されて構成されてもよいし、請求項５に示すように、メイン樹脂プレートの表裏の両面に陥没成形された第１と第２の計測溝が、サブ樹脂プレートの平坦面でそれぞれ閉塞されて構成されてもよい。

また、請求項４の構成では、第１と第２のサブ樹脂プレートは、同一形状の樹脂成形品であるので、同一の成形金型で成形することができる。これにより、第１と第２のプレート間流路の同一性が高まり、それら第１と第２のプレート間流路に流れる流体の流量を同じ状態で計測することができ、それら流量の差分を正確に計測することが可能になる。

［請求項６の発明］
請求項６の構成では、第１と第２の計測溝は、直線溝部の両端部から１対の連絡溝部を折り曲げた状態に設けて全体がＵ字形状をなし、１対ずつの計４つの連絡溝部に連通する連絡開口を有した４つの中継流路がメイン樹脂プレート内に形成されている。そして、それら４つの中継流路がメイン樹脂プレートの板厚側面から突出した４つの配管接続パイプに繋がって第１と第２の計測流路が構成されている。これにより、配管接続パイプに接続した配管からの流体を、第１と第２の計測溝によって構成された第１と第２のプレート間流路に流すことができる。

［請求項７の発明］
請求項７の構成によれば、第１と第２の計測流路の直線溝部の中央部を両端部より浅くすることでプレート間流路の中央部に両端部より断面積が小さい計測流生成部を形成し、その計測流生成部に各検知端子の先端部を配置したので、１対の検知端子の先端部の間で流体の流速が比較的大きくなり、流量検出の高精度化を図ることができる。

［請求項８の発明］
請求項８の構成によれば、メイン樹脂プレート内の１つのアース端子に備えた４つの分岐先端部をそれぞれ各中継流路のうち連絡開口内に露出させたので、それら連絡開口を成形するための成形金型の突部にてアース端子の４つの分岐先端部を押さえることができる。これにより、メイン樹脂プレートのインサート成形が容易になる。

［請求項９の発明］
請求項９の構成では、第１と第２の検知端子の基端部を露出させたコネクタ部が形成されているので、電磁流量計本体側にコネクタ部を設けておけば、容易に流量計測ピースと電磁流量計本体とを電気接続することができる。また、第１検知端子と第２検知端子とが先端部を除いて対称形状をなしているので、第１検知端子と第２検知端子との間でノイズを相殺し易くなる。

［請求項１０の発明］
請求項１０の構成によれば、サブ樹脂プレートは、メイン樹脂プレートに拡散接合層を介して接合されているので、接着剤や振動溶着等によってサブ樹脂プレートとメイン樹脂プレートとを接合した場合に比べてサブ樹脂プレートとメイン樹脂プレートと間の距離のばらつきが抑えられ、プレート間流路の断面積のばらつきが抑えられる。これにより、流量検出の高精度化が図られる。

本発明の第１実施形態に係る電磁流量計の斜視図 流量計測ピースをセットした状態の電磁流量計の斜視図 人口透析装置の概念図 流量計測ピースの分解斜視図 流量計測ピースの平面図 メイン樹脂プレートの平面図 図５におけるＡ−Ａ切断面の断面図 図７におけるＣ−Ｃ切断面の断面図 図５におけるＢ−Ｂ切断面の断面図 インサート成形品の斜視図 リードフレーム付きのメイン樹脂プレートの斜視図 第２実施形態の流量計測ピースの分解斜視図 流量計測ピースの側断面図 第３実施形態の流量計測ピースの分解斜視図 第４実施形態の流量計測ピースの側断面図 第５実施形態の流量計測ピースの分解斜視図 変形例に係る流量計測ピースの側断面図

［第１実施形態］
以下、本発明の一実施形態を図１〜図１１に基づいて説明する。図１には、本発明に係る電磁流量計１０が示されている。この電磁流量計１０は、図３に示した人工透析装置１１の一部を構成し、未使用の透析液（本発明に係る「流体」に相当する）の流量を計測するための第１の計測流路３１と、ダイアライザー１９内を通過した使用済みの透析液の流量を計測するための第２の計測流路３２とを備えている。そして、これら第１と第２の計測流路３１，３２の間の差分の流量を、人体からの老廃物の排出量として計測する。

この電磁流量計１０では、透析液に触れる部分が使い捨て部品としての流量計測ピース３０になっていて、図１に示すように電磁流量計本体１２に着脱可能に取り付けられる。電磁流量計本体１２は、電磁コイル１３、信号処理回路１４等を筐体１５にて覆った構造をなし、その筐体１５の上面と両側面とに開放したピース受容溝１６を備えている。また、筐体１５内には、電磁コイル１３を一部に有した磁気回路１３Ｃが備えられ、その磁気回路１３Ｃにおける１対の磁極１３Ａ，１３Ｂが、ピース受容溝１６を挟んで対向配置されている。また、ピース受容溝１６内の前側の溝対向面における上端部にはコネクタ部１７が設けられ、そのコネクタ部１７には信号処理回路１４に接続された図示しない複数の端子が横並びに配置されている。

なお、筐体１５の上面の後端部には、回動蓋１８が回動可能に備えられ、その回動蓋１８を図２に示すように筐体１５の上面上に倒してピース受容溝１６の上端開口が閉塞される。

図１に示すように、流量計測ピース３０は、ピース受容溝１６に上方から挿入可能な板状の樹脂ベース３４を備えている。樹脂ベース３４は、図４に示すように、メイン樹脂プレート４０の表裏の両面に第１と第２のサブ樹脂プレート４１，４２を重ねてなる。メイン樹脂プレート４０は、全体が横長矩形の板状をなし、後述する第１の検知端子６１（図６参照）等を内側に有したインサート成形品になっている。また、メイン樹脂プレート４０のうち左右の板厚側面３４Ｓ，３４Ｓには、それぞれ１対ずつの配管接続パイプ３５，３５が上下に並べて突出形成されている。そして、上側に配置された１対の配管接続パイプ３５内と樹脂ベース３４内とに、前記した第１の計測流路３１が形成され、下側に配置された１対の配管接続パイプ３５内と樹脂ベース３４内とに、前記した第２の計測流路３２が形成されている。

具体的には、図６に示すように、メイン樹脂プレート４０のうち、各配管接続パイプ３５の延長線上でそれら各配管接続パイプ３５を備えた板厚側面３４Ｓ寄り位置には、４つの配管接続パイプ３５に対応させて４つの連絡凹部４４が陥没形成されている。そして、連絡凹部４４のうち第１の計測流路３１の配管接続パイプ３５，３５に対応した連絡凹部４４，４４は、メイン樹脂プレート４０の表側の面に開放される一方、第２の計測流路３２の配管接続パイプ３５，３５に対応した連絡凹部４４，４４は、メイン樹脂プレート４０の裏側の面に開放されている。また、メイン樹脂プレート４０の内部には、各配管接続パイプ３５に連通しかつ配管接続パイプ３５の延長線上に真っ直ぐ延びた４つの延長流路４５が形成され、それら延長流路４５の端部が各連絡凹部４４内で開口している。

なお、本実施形態では、上記した延長流路４５と連絡凹部４４とによって、本発明に係る「中継流路」が構成され、連絡凹部４４の開口が本発明に係る「連絡開口」に相当する。

第１と第２のサブ樹脂プレート４１，４２は、同一の樹脂成形金型で成形された同一形状の樹脂成形品であって、メイン樹脂プレート４０より小さい横長矩形の板状をなしている。また、第１と第２のサブ樹脂プレート４１，４２のうちメイン樹脂プレート４０との接合面には、第１と第２の計測溝４１Ｍ，４２Ｍが形成されている。ここで、第１と第２の計測溝４１Ｍ，４２Ｍは同じ形状であるが、図４には第２の計測溝４２Ｍの詳細形状が示されているので、同図に基づいて第２の計測溝４２Ｍの詳細形状について説明する。
即ち、第２の計測溝４２Ｍは、直線溝部４２Ａの両端部から１対の連絡溝部４２Ｂ，４２Ｂを同一方向に直角曲げしたＵ字形状になっている。また、第２の計測溝４２Ｍの断面形状は、偏平な長方形になっていて、第２の計測溝４２Ｍは、全体的に幅に対して深さが小さくなっている。その第２の計測溝４２Ｍの中でも、直線溝部４２Ａの長手方向の中央部は、底面が台形状に隆起して最も浅くなっている。具体的には、直線溝部４２Ａには、両端部から中心に向かう途中で徐々に第２の計測溝４２Ｍが浅くなるように傾斜した傾斜底部４２Ｓ，４２Ｓが形成され、それら傾斜底部４２Ｓ，４２Ｓの間が第２のサブ樹脂プレート４２におけるメイン樹脂プレート４０との接合面と平行でかつその接合面に対して僅かに陥没した上げ底部４２Ｔになっている。また、図４の上側位置に示すように、第１の計測溝４１Ｍも、第２の計測溝４２Ｍと同様に、直線溝部４１Ａと１対の連絡溝部４１Ｂと傾斜底部４１Ｓと上げ底部４１Ｔとを備えている。

第１と第２のサブ樹脂プレート４１，４２を位置決めするために、メイン樹脂プレート４０の表裏の両面には、複数ずつの円柱形突部４６が突出形成されている。そして、第１のサブ樹脂プレート４１は、メイン樹脂プレート４０の表側の面に接合された状態で、円柱形突部４６群によって、図５に示すように、メイン樹脂プレート４０の左右方向の中央位置かつ上下方向における僅かに上寄り位置に位置決めされている。これに対し、第２のサブ樹脂プレート４２は、メイン樹脂プレート４０に裏側の面に接合された状態で、円柱形突部４６群により、メイン樹脂プレート４０の左右方向の略中央位置でかつ図７に示すように上下方向における下寄り位置に位置決めされている。

また、図７に示すように、第１の計測溝４１Ｍの連絡溝部４１Ｂは直線溝部４１Ａから上方に延びた状態となる一方、第２の計測溝４２Ｍの連絡溝部４２Ｂは直線溝部４２Ａから下方に延びた状態になっている。そして、図９に示すように、第１の計測溝４１Ｍがメイン樹脂プレート４０と第１のサブ樹脂プレート４１との接合面間に配置されて、本発明に係る第１のプレート間流路５１が構成される一方、第２の計測溝４２Ｍがメイン樹脂プレート４０と第２のサブ樹脂プレート４２との接合面間に配置されて、本発明に係る第２のプレート間流路５２が構成されている。また、第１の計測溝４１Ｍの１対の連絡溝部４１Ｂ，４１Ｂがメイン樹脂プレート４０の表側の連絡凹部４４，４４に対向して第１のプレート間流路５１と１対の配管接続パイプ３５，３５との間が連通し（図８参照）、第２の計測溝４２Ｍの１対の連絡溝部４２Ｂ，４２Ｂがメイン樹脂プレート４０の裏側の連絡凹部４４，４４に対向して第２のプレート間流路５２と１対の配管接続パイプ３５，３５との間が連通している。即ち、第１の計測流路３１の一部としての第１のプレート間流路５１が、メイン樹脂プレート４０と第１のサブ樹脂プレート４１との接合面間に配置され、第２の計測流路３２の一部としての第２のプレート間流路５２が、メイン樹脂プレート４０と第２のサブ樹脂プレート４２との接合面間に配置されている。

さらに、図９に示すように、第１の計測溝４１Ｍの直線溝部４１Ａの溝開口がメイン樹脂プレート４０の表側の平坦面にて閉塞されて本発明に係る第１の重複流路部５１Ａが構成され、その第１の重複流路部５１Ａの中でも第１の計測溝４１Ｍの上げ底部４１Ｔが形成された部分が本発明に係る計測流生成部５１Ｂになっている。これと同様に、第２の計測溝４２Ｍの直線溝部４２Ａの溝開口がメイン樹脂プレート４０の裏側の平坦面にて閉塞されて本発明に係る第２の重複流路部５２Ａが構成され、その第２の重複流路部５２Ａの中でも第２の計測溝４２Ｍの上げ底部４２Ｔが形成された部分が本発明に係る計測流生成部５２Ｂになっている。そして、第１の重複流路部５１Ａと第２の重複流路部５２Ａとが、図７に示すように、流量計測ピース３０の上下方向で同じ高さに位置し、樹脂ベース３４を板厚方向で透視した場合には、それら第１と第２の重複流路部５１Ａ，５２Ａとが１つに重なった状態になっている。

図６に示すように、メイン樹脂プレート４０には、１対の第１検知端子６１，６１と、１対の第２検知端子６２，６２と、アース端子６３とが埋設されている。また、メイン樹脂プレート４０の上端部における左右方向の中央部には、図１に示すように、前面側（第１のサブ樹脂プレート４１との接合面側）に突出しかつ裏面側が陥没した台座部４８が設けられている。その台座部４８には、図４に示すように、上下方向に延びた５つの端子収容溝４８Ｍが横並びに形成され、それら端子収容溝４８Ｍ内に第１と第２の検知端子６１及びアース端子６３の接続端末部６１Ｂ，６２Ｂ，６３Ｂが敷設されてコネクタ部４９が構成されている。具体的には、第１検知端子６１等は、板金を打ち抜いてなる所謂バスバーであって、図６に示すように、メイン樹脂プレート４０のうち第１のサブ樹脂プレート４１が接合された面に向かって左側から１対の第１検知端子６１，６１の接続端末部６１Ｂ，６１Ｂ、１対の第２検知端子６２，６２の接続端末部６２Ｂ，６２Ｂ、アース端子６３の接続端末部６２Ｂの順番で横並びに配置されている。そして、外側２つの第１検知端子６１と第２検知端子６２は、接続端末部６１Ｂ，６２Ｂから先端に向かう途中で互いに接近する側に屈曲して延び、互いの先端寄り位置が間隔を空けた状態に突き合わされて先端部を除く全体が対称形状をなしている。また、外側２つの第１検知端子６１及び第２検知端子６２の先端部６１Ａ，６２Ａは、メイン樹脂プレート４０の表裏の一方と他方とに分かれて露出している。

一方、内側２つの第１検知端子６１と第２検知端子６２は、接続端末部６１Ｂ，６２Ｂから先端に向かう途中で互いに接近する側に屈曲して延び、互いの先端寄り位置が間隔を空けた状態に突き合わされて先端部を除く全体が対称形状をなしている。また、内側２つの第１検知端子６１及び第２検知端子６２の先端部６１Ａ，６２Ａは、メイン樹脂プレート４０の表裏の一方と他方とに分かれて露出している。

また、１対の第１検知端子６１，６１の先端部６１Ａ，６１Ａは、共にメイン樹脂プレート４０の表側の面に突出し、第１のプレート間流路５１の計測流生成部５１Ｂにおける上下の内側面に隣接配置されている。一方、１対の第２検知端子６２，６２の先端部６２Ａ，６２Ａは、共にメイン樹脂プレート４０の裏側の面に突出し、第２のプレート間流路５２の計測流生成部５２Ｂにおける上下の内側面に隣接配置されている。

図６に示すように、アース端子６３は、第１と第２の検知端子６１，６１，６２，６２を囲んだ門形構造をなし、そのアース端子６３の対向辺の一端部が接続端末部６３Ｂとなってコネクタ部４９で露出し、他端部はメイン樹脂プレート４０内に埋設された状態になっている。また、アース端子６３における対向辺の途中部分からは、４つの分岐先端部６３Ａが突出していて、それら各分岐先端部６３Ａが各連絡凹部４４内で露出している。

本実施形態の流量計測ピース３０の構成に関する説明は以上である。次に、この流量計測ピース３０の製造方法について説明する。

メイン樹脂プレート４０を製造するには、プレス加工機にて板金（金属製波形薄板：所謂、フープ）を打ち抜きかつ成形して、図１０に示したインサート部品６５を製作しておく。そのインサート部品６５は、略四角形のリードフレーム６６の一辺に、上記した第１と第２の検知端子６１，６２の接続端末部６１Ｂ，６２Ｂとアース端子６３の両端部とを一体に繋げた形状になっている。また、リードフレーム６６の四隅には位置決め孔６６Ａが形成されている。

次いで、メイン樹脂プレート４０をインサート成形（フープ成形）するための図示しない樹脂成形金型にインサート部品６５をセットする。このとき、リードフレーム６６の位置決め孔６６Ａに樹脂成形金型の図示しない位置決めピンが挿入される。また、樹脂成形金型のうちメイン樹脂プレート４０の４つの連絡凹部４４を成形するための４つの成形突部のうちの２つの成形突部と、残り２つの成形突部とが、型閉じ方向の一方と他方とからアース端子６３における４つの分岐先端部６３Ａ，６３Ａに突き当てられる。さらに、樹脂成形金型のうちメイン樹脂プレート４０の表裏を成形する１対の成形面に１対ずつ備えた図示しない検知電極保持孔に、第１と第２の検知端子６１，６１，６２，６２の先端部６１Ａ，６１Ａ，６２Ａ，６２Ａが挿入される。そして、溶融樹脂を樹脂成形金型内に射出して溶融樹脂が固化した後、樹脂成形金型を型開きすると、図１１に示したリードフレーム６６付きのメイン樹脂プレート４０が完成する。そこで、メイン樹脂プレート４０からリードフレーム６６を始めとするインサート部品６５の不要な部分を切除してメイン樹脂プレート４０が完成する。

一方、第１と第２のサブ樹脂プレート４１，４２は、同じ樹脂成形金型で成形される。その樹脂成形金型には、第１と第２のサブ樹脂プレート４１，４２におけるメイン樹脂プレート４０との接合面を成形するための面に、第１と第２の計測溝４１Ｍ，４２Ｍを成形するための溝成形突部が突出形成されている。そして、この樹脂成形金型で第１と第２のサブ樹脂プレート４１，４２を成形し、それら第１と第２のサブ樹脂プレート４１，４２を拡散接合法にてメイン樹脂プレート４０に接合して流量計測ピース３０が完成する。

次に、本実施形態の流量計測ピース３０の作用効果について説明する。流量計測ピース３０は人工透析による老廃物の排出量を計測するために用いられる。そのためには、図１に示した流量計測ピース３０のうち一方の板厚側面３４Ｓの配管接続パイプ３５，３５のうち第１の計測流路３１用の配管接続パイプ３５（コネクタ部４９寄りの配管接続パイプ３５）に、未使用の透析液の保管タンク２９（図３参照）から延びた配管を接続すると共に、第２の計測流路３２用の配管接続パイプ３５に、使用済みの透析液をドレインタンク２８（図３参照）に排出するための配管を接続する。また、図１に示した流量計測ピース３０のうち他方の板厚側面３４Ｓの配管接続パイプ３５，３５のうち第１の計測流路３１用の配管接続パイプ３５（コネクタ部４９寄りの配管接続パイプ３５）に、ダイアライザー１９（図３参照）の注入口にから延びた配管を接続すると共に、第２の計測流路３２用の配管接続パイプ３５に、ダイアライザー１９の排出口から延びた配管を接続する。

そして、図１に示すように、コネクタ部４９を上にして流量計測ピース３０を電磁流量計本体１２のピース受容溝１６に挿入して回動蓋１８を閉める（図２参照）。すると、電磁流量計本体１２のコネクタ部１７に流量計測ピース３０のコネクタ部４９が接続されると共に、図７に示すように、流量計測ピース３０における第１と第２のプレート間流路５１，５２の計測流生成部５１Ｂ，５２Ｂが、電磁流量計本体１２内の電磁コイル１３を主部とした磁気回路１３Ｃの１対の磁極１３Ａ，１３Ｂ間に挟まれた状態になる。そして、これら流量計測ピース３０と電磁流量計本体１２とからなる電磁流量計１０を起動すると、第１と第２のプレート間流路５１，５２の計測流生成部５１Ｂ，５２Ｂを磁束が貫通し、このとき、計測流生成部５１Ｂ，５２Ｂを通過する流体の流速に応じた検知電圧が１対の第１検知端子６１，６１の間及び１対の第２検知端子６２，６２の間に発生する。そして、それら検知電圧がコネクタ部１７，４９を通して電磁流量計本体１２の信号処理回路１４に取り込まれる。すると、信号処理回路１４は、これら検知電圧に基づいて、第２の計測流路３２を流れる透析液の流量から第１の計測流路３１を流れる透析液の流量を差し引いた差分の流量を老廃物の排出量として演算し、外部（例えば、モニタやパソコン等）に出力する。

ところで、本実施形態の流量計測ピース３０では、第１の計測流路３１，３２において、第１と第２の検知端子６１，６２の先端部６１Ａ，６２Ａを内部に有した磁束貫通部分（第１と第２のプレート間流路５１，５２の計測流生成部５１Ｂ，５２Ｂ）が、メイン樹脂プレート４０と第１及び第２のサブ樹脂プレート４１，４２との接合面間に第１と第２のプレート間流路５１，５２として形成されている。また、これら第１と第２のプレート間流路５１，５２は、第１と第２のサブ樹脂プレート４１，４２の接合面に成形した第１と第２の計測溝４１Ｍ，４２Ｍで構成されている。そして、それら第１と第２の計測溝４１Ｍ，４２Ｍは、第１と第２のサブ樹脂プレート４１，４２用の樹脂成形金型に溝成形突部を設けて成形することができ、その溝成形突部の突出量を小さくすることで容易に浅くすることができる。即ち、第１及び第２の計測流路３１，３２における磁束貫通部分（第１と第２のプレート間流路５１，５２の計測流生成部５１Ｂ，５２Ｂ）を、従来の成形ピンで成形した計測流路の磁束貫通部分に比べて磁束貫通方向に小さくすることできる。これにより、本実施形態の流量計測ピース３０では、磁束貫通部分を従来より薄くすることができ、その分、流量検出の高精度化を図ることが可能になる。

また、第１と第２のプレート間流路５１，５２の計測流生成部５１Ｂ，５２Ｂは、同じ磁束を受けるように重なり合っているので、第１と第２の重複流路部５１Ａ，５２Ａを通過する流体（透析液）の別々の流量を同じ磁束の条件下で計測することができ、それら流量の差分を正確に計測することが可能になる。

また、第１と第２のサブ樹脂プレート４１，４２は、同一形状の樹脂成形品であるので、同一の成形金型で成形することができる。これにより、第１と第２の重複流路部５１Ａ，５２Ａの同一性が高まり、この点においても、第１と第２の計測流路３１，３２を流れる流体の流量の差分を正確に計測することが可能になる。さらには、第１と第２のサブ樹脂プレート４１，４２は、メイン樹脂プレート４０に拡散接合層を介して接合されているので、接着剤や振動溶着等によって接合した場合に比べて第１と第２のサブ樹脂プレート４１，４２とメイン樹脂プレート４０と間の距離のばらつきが抑えられ、第１と第２のプレート間流路５１，５２の断面積のばらつきを抑えることができる。この点においても、第１と第２の計測流路３１，３２を流れる流体の流量の差分を正確に計測することが可能になる。

また、計測流生成部５１Ｂ，５２Ｂは、第１と第２のプレート間流路５１，５２の中でも断面積が小さくなっているので、それら計測流生成部５１Ｂ，５２Ｂで第１検知端子６１，６１同士及び第２検知端子６２，６２同士の間を通過する流体の流速が比較的大きくなってその分、検知電圧も大きくなる。さらに、それら計測流生成部５１Ｂ，５２Ｂは、第１検知端子６１，６１同士及び第２検知端子同士６２，６２の対向方で比較的大きく、磁束貫通方向で比較的小さい偏平形状になっているので、第１検知端子６１，６１同士及び第２検知端子６２，６２同士の間隔が広くなって検知電圧も大きくなる。その上、第１検知端子６１，６１と第２検知端子６２，６２とが先端部を除いて対称形状をなしているので、第１検知端子６１，６１と第２検知端子６２，６２との間のノイズを容易に相殺することができる。これらによっても、流量検出の高精度化が図られる。

［第２実施形態］
本発明の第２実施形態は、図１２及び図１３に示されている。図１２に示すように、この実施形態の流量計測ピース７０のメイン樹脂プレート７１は帯板状をなし、そのメイン樹脂プレート７１の幅方向における両側面には、補助プレート７２，７２が一体成形されている。また、メイン樹脂プレート７１の上面は、補助プレート７２，７２の上面より陥没した位置に配置され、メイン樹脂プレート７１と補助プレート７２，７２との段差面には、それぞれ１対ずつの位置決め突部７３，７３が突出形成されている。さらに、メイン樹脂プレート７１の長手方向の両端部は、補助プレート７２，７２より側方に突出し、その突出部分の上面には円柱状の位置決め突部７４が突出形成されている。

メイン樹脂プレート７１の長手方向の両端面からは配管接続パイプ３５，３５が突出していて、メイン樹脂プレート７１の長手方向の両端寄り位置には、上面に開放した１対の中継陥没部７５，７５が陥没形成されている。そして、配管接続パイプ３５，３５内の流路がメイン樹脂プレート７１内に延長されて中継陥没部７５，７５内に連通している。

メイン樹脂プレート７１内には、１対の検知端子７７，７７とアース端子７８が埋設されている。それら検知端子７７，７７とアース端子７８の接続端末部７７Ｂ，７７Ｂ，７８Ｂは、一方の補助プレート７２のうちメイン樹脂プレート７１と反対側の外面から突出している。また、検知端子７７，７７の先端部７７Ａ，７７Ａは、メイン樹脂プレート７１の上面における長手方向の中央において、メイン樹脂プレート７１の上面の幅方向で対向した状態になって突出している。また、アース端子７８には、１対の分岐先端部７８Ａが備えられ、それら分岐先端部７８Ａは、メイン樹脂プレート７１の上面のうち中継陥没部７５，７５の近傍に陥没形成されたアース露出凹部７６，７６内で露出している。

サブ樹脂プレート８０は、帯板状をなし、メイン樹脂プレート７１のうち位置決め突部７３，７４に囲まれた部分に嵌合されて、メイン樹脂プレート７１の上面に接合される。また、サブ樹脂プレート８０のうちメイン樹脂プレート７１との接合面には、計測溝８１が形成されている。その計測溝８１は、サブ樹脂プレート８０の長手方向の延び、その長手方向の中央に第１実施形態の傾斜底部４１Ｓ，４１Ｓ及び上げ底部４１Ｔと同様の傾斜底部８１Ｓ，８１Ｓ及び上げ底部８１Ｔとを備えている。

この流量計測ピース７０では、メイン樹脂プレート７１にサブ樹脂プレート８０が拡散接合法にて接合される。これにより、図１３に示すように、メイン樹脂プレート７１とサブ樹脂プレート８０の接合面間に計測溝８１からプレート間流路８２が形成され、そのプレート間流路８２における長手方向の中央には、第１実施形態の計測流生成部５１Ｂと同様の計測流生成部８２Ｂが形成される。これにより、流量計測ピース７０にも、配管接続パイプ３５，３５の間を連絡する計測流路８３が備えられる。そして、メイン樹脂プレート７１とサブ樹脂プレート８０の重ね合わせた方向に磁束を付与した状態で、計測流路８３に流体を流せば、その流体の流量に応じた検知電圧が検知端子７７，７７の間に発生する。

この流量計測ピース７０も第１実施形態の流量計測ピース３０と同様に、計測流量８３のうち１対の検知端子７７，７７の先端部７７Ａ，７７Ａを内部に有した磁束貫通部分が、メイン樹脂プレート７１とサブ樹脂プレート８０との接合面間にプレート間流路８２として形成されている。そのプレート間流路８２は、サブ樹脂プレート８０に計測溝８１を成形することで設けることができ、その計測溝８１は、サブ樹脂プレート８０の樹脂成形金型における溝形成突部の突出量を小さくすることで容易に浅くすることができる。即ち、本実施形態によっても、計測流路８３における磁束貫通部分（即ち、プレート間流路８２）を、従来の成形ピンで成形した場合に比べて磁束貫通方向に小さくすることでき、流量検出の高精度化を図ることが可能になる。

［第３実施形態］
本発明の第３実施形態は、図１４に示されている。本実施形態の流量計測ピース７０Ｖは、配管接続パイプ３５Ｖ，３５Ｖの配置が第２実施形態の計測流路ピース７０と異なる。具体的には、配管接続パイプ３５Ｖ，３５Ｖは、補助プレート７２Ｖのうち検知端子７７，７７とアース端子７８の接続端末部７７Ｂ，７７Ｂ，７８Ｂが突出する面の両端部から突出している。そして、各配管接続パイプ３５Ｖが延長されて中継陥没部７５Ｖ内に連通している。その他の構成に関しては、第２実施形態と同じである。本実施形態の流量計測ピース７０Ｖによれば、第２実施形態と同様の効果を奏することができる。

［第４実施形態］
本発明の第４実施形態は、図１５に示されている。本実施形態の流量計測ピース７０Ｘは、２つのメイン樹脂プレート７１Ｘと３つのサブ樹脂プレート８１Ｘ，８１Ｘ，８５とからなる。具体的には、第１実施形態のメイン樹脂プレート４０と同様に、本実施形態のメイン樹脂プレート７１Ｘは、表裏の両方の面から１対ずつの検知端子７７Ｘ，７７Ｘの先端部を突出させて備えている。そして、これら２つのメイン樹脂プレート７１Ｘ，７１Ｘの間にサブ樹脂プレート８５が配置され、そのサブ樹脂プレート８５の表裏両方の面に形成された計測溝８１Ｘ，８１Ｘにメイン樹脂プレート７１Ｘの検知端子７７Ｘ，７７Ｘが受容されている。また、メイン樹脂プレート７１Ｘ，７１Ｘのうち相反する方向を向いた面には、片面にだけ計測溝８１Ｘを備えたサブ樹脂プレート８０Ｘ，８０Ｘが重ねられている。本実施形態の流量計測ピース７０Ｘによれば、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。また、第１実施形態の流量計測ピース３０を２つ重ねた場合に比べて、部材点数を少なくすることができる。

［第５実施形態］
本発明の第５実施形態は、図１６に示されている。本実施形態の流量計測ピース１３０のメイン樹脂プレート１４０は、表裏の両面に第１と第２の計測溝１４０Ｍ，１４０Ｍを備えている。第１と第２の計測溝１４０Ｍ，１４０Ｍは、同じ形状をなし、第１実施形態の第１と第２の計測溝４１Ｍ，４２Ｍと同様に、直線溝部１４０Ａの両端部から１対の連絡溝部１４０Ｂ，１４０Ｂを同一方向に直角曲げしたＵ字形状になっている。第１と第２の計測溝１４０Ｍの連絡溝部１４０Ｂは相反する方向に延びている。また、第１と第２の計測溝１４０Ｍ，１４０Ｍの直線溝部１４０Ａ，１４０Ａは、メイン樹脂プレート１４０の板厚方向から見ると、重なっている。

直線溝部１４０Ａの長手方向の中央部には、底面から１対の検知端子６１Ａ，６１Ａが露出し、計測溝１４０Ｍ内に受容されている。また、１対の連絡溝部１４０Ｂの底面には、連絡凹部１４４が形成され、配管接続パイプ３５の延長線上に真っ直ぐ延びた４つの延長流路４５が各連絡凹部１４４内で開口している。なお、直線溝部１４０Ａの両端部には、アース端子６３の分岐端末部６３Ａが露出している。

サブ樹脂プレート１４１，１４１は平坦な板状をなしている。そして、第１と第２の計測溝１４０Ｍ，１４０Ｍがメイン樹脂プレート１４０とサブ樹脂プレート１４１，１４１との接合面間に配置されて、第１と第２のプレート間流路が構成されている。本実施形態の流量計測ピース１３０の構成によれば、前記第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

［他の実施形態］
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に説明するような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。

（１）前記実施形態では、メイン樹脂プレートとサブ樹脂プレートとの接合面に計測流路が１つだけ設けられていたが、２つ以上設けられていてもよい。

（２）前記第２実施形態では、配管接続パイプ３５，３５がメイン樹脂プレート７１の板厚方向と直交する面から突出していたが、図１７に示す流量計測ピース７０Ｗのように、配管接続パイプ３５，３５がメイン樹脂プレート７１の表裏の何れかの面から板厚方向に突出する構成であってもよい。

（３）前記第１実施形態では、電磁流量計１０が２つの計測流路３１，３２を流れる流体の流量の差分を計測していたが、差分を求めずに計測流路３１，３２を流れる流体の流量を別々に計測してもよい。

（４）前記第１実施形態では、同一形状のサブ樹脂プレート４１，４２を用いた例を示したが、計測溝の構造が異なる２種類のサブ樹脂プレートを用いて流量計測ピース３０に異なる構造の計測流路を設けてもよい。

（５）前記第１実施形態の流量計測ピース３０では、配管接続パイプ３５を備えていたが、配管接続パイプ３５を備えずにメイン樹脂プレート４０内の延長流路４５に配管を挿入して接続するようにしてもよい。

（６）前記実施形態では、メイン樹脂プレートとサブ樹脂プレートとの固定は、拡散接合により行われていたが、接着剤や振動溶着で固定されてもよい。

（７）前記第５実施形態では、サブ樹脂プレート１４１のうちメイン樹脂プレート１４０の計測溝１４０Ｍと対向する面は平坦であったが、計測溝１４０Ｍと対向する溝を備えてもよいし、計測溝１４０Ｍに向かって突出する突部を備えてもよい。

１０ 電磁流量計
１２ 電磁流量計本体
１６ ピース受容溝
３０，７０，７０Ｖ，７０Ｗ，７０Ｘ，１３０ 流量計測ピース
３１，３２，８３ 計測流路
３４ 樹脂ベース
３５，３５Ｖ 配管接続パイプ
４０，７１，７１Ｖ，７１Ｘ，１４０ メイン樹脂プレート
４１，４２，８０，８０Ｘ，８５，１４１ サブ樹脂プレート
４１Ｍ，４２Ｍ，８１，８１Ｘ，１４０Ｍ 計測溝
４２Ｂ，１４０Ｂ 連絡溝部
４４，１４４ 連絡凹部
４５ 延長流路
５１，５２，８２ プレート間流路
５１Ａ，５２Ａ 重複流路部
５１Ｂ，５２Ｂ 計測流生成部
４９ コネクタ部
６１，６２，７７ 検知端子
６３，７８ アース端子
７５，７５Ｖ 中継陥没部

Claims (12)

1. 計測流路を有した樹脂ベースを備えると共に、その樹脂ベースに１対の検知端子が固定された流量計測ピースであって、電磁流量計本体に着脱可能に取り付けられて磁束を受け、前記計測流路に流れる流体の流量に応じた検知電圧を前記１対の検知端子の間に発生させて前記電磁流量計本体に付与する流量計測ピースにおいて、
   前記樹脂ベースは、メイン樹脂プレートにサブ樹脂プレートを重ね合わせてなりかつ前記メイン樹脂プレートの板厚方向で前記磁束を受け、
   前記計測流路の少なくとも一部が、前記メイン樹脂プレートと前記サブ樹脂プレートとの接合面間に形成されたプレート間流路で構成され、
   前記１対の検知端子の一部が前記メイン樹脂プレートに埋設されると共に、前記１対の検知端子の先端部が前記プレート間流路内に露出してその前記プレート間流路の幅方向に対向配置したことを特徴とする流量計測ピース。
2. 前記プレート間流路の断面形状は、前記１対の検知端子の先端部の対向方向で比較的大きく、前記磁束貫通方向で比較的小さい偏平形状になっていることを特徴とする請求項１に記載の流量計測ピース。
3. 前記メイン樹脂プレートの表裏の両面に第１と第２の前記サブ樹脂プレートを重ねて、前記第１のサブ樹脂プレートと前記メイン樹脂プレートとの間に第１の前記プレート間流路を有した第１の前記計測流路を設けると共に、前記第２のサブ樹脂プレートと前記メイン樹脂プレートとの間に第２の前記プレート間流路を有した第２の前記計測流路とを設け、それら第１と第２のプレート間流路に、同一断面形状を有して平行に延びかつ同じ前記磁束を受けるように前記メイン樹脂プレートの板厚方向で重なり合った第１と第２の重複流路部を備え、
   前記１対の検知端子としての１対の第１検知端子と１対の第２検知端子とを前記メイン樹脂プレートに設けて、前記１対の第１検知端子の先端部を、前記第１の重複流路部における幅方向に対向配置すると共に、前記１対の第２検知端子の先端部を、前記第２の重複流路部における幅方向に対向配置したことを特徴とする請求項１又は２に記載の流量計測ピース。
4. 前記第１と第２のサブ樹脂プレートを、同一形状の樹脂成形品とし、
   前記第１と第２のサブ樹脂プレートに第１と第２の計測溝を陥没形成し、それら第１及び第２の計測溝が、前記メイン樹脂プレートと前記第１及び第２のサブ樹脂プレートとの接合面間に配置されて前記第１及び第２のプレート間流路が構成されていることを特徴とする請求項３に記載の流量計測ピース。
5. 前記メイン樹脂プレートの表裏の両面に第１と第２の計測溝を陥没形成し、それら第１及び第２の計測溝が、前記メイン樹脂プレートと前記第１及び第２のサブ樹脂プレートとの接合面間に配置されて前記第１及び第２のプレート間流路が構成されていることを特徴とする請求項３に記載の流量計測ピース。
6. 前記第１と第２の計測溝は、直線状に延びた直線溝部の両端部から１対の連絡溝部を同一方向に折り曲げて全体がＵ字形状に形成され、
   前記第１と第２の計測溝の前記直線溝部は、前記メイン樹脂プレートの板厚方向で重なり合うように配置されて前記第１と第２の重複流路部を構成し、
   前記第１と第２の計測溝が有する前記１対ずつの連絡溝部は、一方の対の前記連絡溝部と他方の対の前記連絡溝部とが、前記直線溝部から互いに異なる方向に延びた状態に配置され、
   前記メイン樹脂プレートには、その表裏の両面のうち前記１対ずつ計４つの前記連絡溝部に連通する連絡開口をそれぞれ有して、それら連絡開口から前記直線溝部に対して遠ざかる側に前記メイン樹脂プレート内を延びた１対ずつ計４つの中継流路が、前記第１及び第２の計測流路の一部として備えられ、
   前記メイン樹脂プレートのうち前記直線溝部の長手方向で対向した１対の板厚側面から突出しかつ各前記中継流路と連通した４つの配管接続パイプを備えたことを特徴とする請求項４又は５に記載の流量計測ピース。
7. 前記直線溝部の中央部を両端部より浅くすることで前記プレート間流路の中央部に両端部より断面積が小さい計測流生成部を形成し、前記計測流生成部に前記各検知端子の先端部を配置したことを特徴とする請求項６に記載の流量計測ピース。
8. 前記メイン樹脂プレート内に、前記４つの中継流路に共通したアース端子を設けて、そのアース端子に備えた４つの分岐先端部をそれぞれ各前記中継流路のうち前記連絡開口内に露出させたことを特徴とする請求項６又は７に記載の流量計測ピース。
9. 前記１対の第１検知端子の基端部が露出した状態で横並びに配置されると共に、その横に前記１対の第２検知端子の基端部が露出した状態で横並びに配置されてコネクタ部が形成され、
   外側２つの前記第１検知端子と前記第２検知端子とが、基端部から先端部に向かう途中で互いに接近する側に屈曲して延び、互いの先端寄り位置が間隔を空けた状態に突き合わされて先端部を除く全体が対称形状をなすと共に、先端部が前記メイン樹脂プレートの表裏の一方と他方とに分かれて露出し、
   内側２つの前記第１検知端子と前記第２検知端子とが、基端部から先端部に向かう途中で互いに接近する側に屈曲して延び、互いの先端寄り位置が間隔を空けた状態に突き合わされて先端部を除く全体が対称形状をなすと共に、先端部が前記メイン樹脂プレートの表裏の一方と他方とに分かれて露出していることを特徴とする請求項３乃至８の何れか１の請求項に記載の流量計測ピース。
10. 前記サブ樹脂プレートは、前記メイン樹脂プレートに拡散接合層を介して接合されていることを特徴とする請求項１乃至９の何れか１の請求項に記載の流量計測ピース。
11. 前記請求項１乃至１０の何れか１の請求項に記載の流量計測ピースと、その流量計測ピースが着脱可能に取り付けられ、前記流量計測ピースに磁束を付与すると共に、前記流量計測ピースから前記検知電圧を受け取って流量を演算する電磁流量計本体とからなることを特徴とする電磁流量計。
12. 前記請求項３乃至１０の何れか１の請求項に記載の流量計測ピースと、その流量計測ピースが着脱可能に取り付けられて、前記流量計測ピースに磁束を付与すると共に、前記第１検知端子及び前記第２検知端子から前記検知電圧を受け取って、前記第１の計測流路を流れる流体の流量と、前記第２の計測流路を流れる流体の流量との差分の流量を演算することを特徴とする電磁流量計。

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