JP5461406B2 - 試料の表面を観察するための装置及び方法 - Google Patents

Description

本発明は、半透明な材質をもつ試料の表面、特に人間の肌の表面の光学的な外観を観察するための装置及び方法に関する。

背景説明

試料の表面の光学的な外観を観察するために、表面が、特定の方向から見られることがあり、光ビームは、別の方向から当該表面へと導かれる。これにより、表面に関する様々な情報が、入射光及び出射光の方向、強度、及び色に応じて、並びに表面に向かって見る方向に応じて得られることができる。観察された外観は、肌の毛などの表面の模様、及び/又は起伏、隆起、又は突起を含むことができ、表面の材質自体が多少半透明な場合は、表面下の模様、及び/又は色、及び/又は組織、即ち、準‐表面を含むことができる。当該観察は記録されることができ、及び/又は分析されることができる。

表面の形及び起伏、表面の色、表面の光の反射特性及び吸収特性等を含む、試料の表面の態様及び/又は特性と、表面の観察者の理解力との組み合わせの各々に対し、本説明では、外観、という表現が使われている点に留意する必要がある。観察する、は通常の表現であり、これは表面の外観を検査すること、及び/又は記録すること、及び/又は分析することを含む。

接触しておらず、摂動のないモニタリング技術が、表面、及び/又は準‐表面の組織を特定するための技術の多くのエリアで役に立っている。更にまた、幾何学的な形状又は光学的な摂動をもつ、物質的な欠陥又は他の特徴のタイプと密度とが、この技術を用いて特徴づけられることができる。この技術の別の用途は、人間の肌の特徴及び状態の分析である。

特に、組織の詳細が分析されねばならないとき、表面の外観の観察を種々異なる方向からすることが所望され、光源もまた、一つ又はこれより多くの所定の方向（表面がある平面に対して種々異なる角度）から、当該表面を照明してもよい。

特に、相対的に大きな対象の表面、例えば人間の肌の一部が観察されねばならないとき、試料を装置内部に置くことは不可能である。この場合、装置は、試料又は試料の一部の上に、又は反対側に置かれねばならず、観察されるべき表面の場所は、装置の外側になってしまう。

試料の表面、特に人間の肌の表面の光学的な外観を測定するための光学測定装置が、国際特許公開公報 WO 2007/072403で開示されている。開示された装置は、表面を照射ビームで照明するための照明装置と、照射ビームに対する試料の応答を検出するための検出装置とを有する。

既知の光学測定装置では、ベースプレートが試料の一部、例えば人間の肌の一部に置かれ、これによって、人間の皮膚に触れ、圧力を印加する。圧力が印加された領域に隣接する変形可能な皮膚の一部は、隆起する傾向があるだろう。これは皮膚の表面からのスプリアス反射を招き、皮膚の表面が検出装置の焦点深度外にあることを招く。これは、試料表面の光学的な外観の観察品質を減じる。これは、照射ビームに対する人間の皮膚の反応を分析するために用いられるカメラがぼけを生じ、焦点がずれた画像を生成するだろうから、皮膚の表面の外観の観察を妨げる。更にまた、皮膚へ印加された圧力は、皮膚の外観を変化させる。血管が少なくとも部分的に切り離され、従って、血液が局所的に皮膚から排出され、他の場所に蓄積し、これによって皮膚の赤又は白の色分離が生じる。

本発明の目的は、半透明の材質、特に人間の皮膚の試料表面の光学的な外観を観察するための装置及び方法を供することであり、試料表面との機械的な接触による光学的な外観の観察品質に対する装置の影響が、最小にされる。本発明は、独立請求項によって規定されている。好都合な複数の実施例が、従属請求項によって規定されている。

この目的は、半透明の材質、特に人間の皮膚の試料表面の光学的な外観を観察するための、本発明による装置によって達成され、当該装置は、
- 少なくとも試料表面の関心部分を、所定の方向から照明するための光源と、
- 照明に対する関心部分の反応を観察するためのカメラと、
- カメラが、少なくとも関心部分の表面の一部に焦点が合っているかどうかを決定するための光学的な合焦点装置と、
を有する。この態様によって、試料表面の光学的な外観を観察するためのカメラが、少なくとも試料表面の一部に焦点が合っていることが順守される。光学的な合焦点装置は、人間の皮膚などの変形可能な表面が、試料表面と、装置の一部との機械的な接触によって変形された場合でさえも、試料表面がカメラに対して最適に焦点合わせされることを供する。これ故、試料の光学的な外観の観察品質に対する試料表面の変形の影響が最小にされる。何故ならば、光学的な合焦点装置が、少なくとも試料表面の一部がカメラの焦点に合っていることを順守するからである。本発明は、これ故、低品質な観察になると共に、焦点がずれたカメラ設定になる、試料表面にカメラの焦点が合っていない状態での観察の発生を最小にする。

本発明による装置の実施例では、光学的な合焦点装置は、焦点画像を関心部分の表面に投影する焦点光ビームを有する。当該焦点光ビームは、カメラが試料表面に焦点が合っているかどうか決定するために用いられる画像を、試料表面上に好都合にも提供する。例えば、焦点光ビームは、点スポットとして試料の表面に投射される。別の例では、格子パターンを試料表面に投射する、ホログラフィック格子と組み合わせられたレーザなどの収束された光ビームが、関心部分の表面に投射される格子パターンを生成する。好ましくは、焦点光ビームは、青色光を有する。青色光は皮膚の色に対して高いコントラストをもつので、これは観察用カメラの信号対雑音比が高いという長所をもつ。青色光は、試料に、あまり深く透過せず、カメラによって捕捉された画像をぼやけさせることがないので、これは、焦点光ビームの画像に対する影響を最小にする。

本発明による装置の好ましい実施例では、光学的な合焦点装置は、表面に対して第1の入射角をもつ第1の焦点光ビームと、第2の入射角をもつ第2の焦点光ビームとを備えており、第1の入射角は、第2の入射角とは異なり、第1の焦点光ビーム及び第2の焦点光ビームは、第1のマスクパターンの第1の画像と、第2のマスクパターンの第2の画像との重ね合わせたものを関心部分の表面上に提供し、焦点が、当該第1のマスクパターンの画像及び第2のマスクパターンの画像のアライメントによって決定される。第1のマスクパターンの画像及び第2のマスクパターンの画像の重ね合わせは、焦点合わせの状況に対する簡単な評価、即ち、試料表面はカメラに対して焦点が合っているか又はいないか、を提供する。マスクパターンは、マスクパターンの画像が互いに位置合わせされると、試料表面にカメラの焦点が合っているとの態様で、イメージされる。当該マスクパターンはどのような形状、例えば矩形又は円形も、もつことができ、さもなければ、特定のアライメントの特徴をもつことができる。更にまた、試料表面が、観る方向に対して垂直ではない場合、この事が、重ね合わされた画像の歪みによって示される。カメラが、重ね合わされた画像に対して垂直ではない観察方向をもつ場合、重ね合わされた画像の移動が観察される。

本発明による装置の好ましい実施例では、重ね合わされた第1のマスクパターンの画像及び第2のマスクパターンの画像のアライメントを測定するための手段が供される。これは、オペレータによるアライメントの目視検査に代わって、焦点合わせの状態の自動決定を好都合にも提供する。例えば、重ね合わされたマスクパターンの画像の高周波数成分が分析されてもよい。

本発明による装置の実施例では、光学的な合焦点装置は、カメラが関心部分の表面に焦点が合うと、関心部分の照明を始動し、及び照明に対する関心部分の反応の観察を始動する。これは、カメラが試料の表面に焦点が合ったときにのみ、試料の光学的な外観の測定又は観察が始まることを、自動的に順守する。

本発明による装置の実施例では、当該装置は、関心部分から特定の距離において試料表面と接触させるため、及び試料表面を環境光から保護するための、変形可能な接触リングを更に有する。蛇腹、又は柔らかいフォーム部品などの変形可能な接触リングは、試料表面に印加される圧力の減少を供する。何故ならば、これらの部材は変形可能で可撓性があり、これ故、固体の接触面よりも少ない圧力を印加するからである。この態様にて、変形可能な表面の変形が減じられ、人間の皮膚の場合、印加された圧力によって生じる色分離も減じられる。変形可能な接触リングは更に、環境からのいかなる不必要な光も遮断する。これは、試料表面の観察品質に好都合に貢献する。

本発明による装置の実施例では、変形可能な接触リングは、当該変形可能な接触リングが使用されたことを示すための手段を有する。これは、例えば人間の皮膚などの試料表面と接触した変形可能な接触リングが、二回以上用いられることを好都合に防止し、これにより、種々異なる試料間の相互汚染のリスクを低下させる。別の実施例では、変形可能な接触リングが使用されたことを示すための手段は、汚染物質に対する視覚的なインジケータを有する。この視覚的なインジケータは、汚染された変形可能な接触リングの警告を、好都合にも提供する。変形可能な接触リングを、当該リングが汚染されたときに交換することによって、本発明による視覚的なインジケータによって示されるように、異なる試料間のいかなる相互汚染も防止される。

本発明の目的は、半透明の材質の試料表面、特に人間の皮膚の表面の光学的な外観を観察するための、本発明による方法によっても達成され、当該方法は、
− 光学的な合焦点装置に対して固定された相対位置にあるカメラが、当該カメラ、光学的な合焦点装置、及び関心部分の表面の間の距離を変化させることによって、関心部分の表面に焦点が合っているかどうかを、当該光学的な合焦点装置で決定するステップと、
− カメラが関心部分の表面に焦点が合ったときに、少なくとも試料表面の関心部分を、所定の方向から光源で照明するステップと、
− 照明に対する関心部分の反応をカメラで観察するステップと、を含む。
この態様にて、試料表面の光学的な外観を観察するためのカメラが、当該試料の観察を開始する前に、試料表面に焦点が合っていることが、順守される。

本発明による方法の好ましい実施例では、本方法は、合焦点を決定するステップの前に、関心部分から特定の距離において、試料表面を変形可能な接触リングと接触させるステップを更に含んでおり、これにより、試料表面を環境光から保護している。蛇腹、又は柔らかいフォーム部品などの変形可能な接触リングは、試料表面に印加される圧力の減少を供する。何故ならば、これらの部材は変形可能で可撓性があり、これ故、固体の接触面よりも少ない圧力を印加するだろうからである。この態様によって、変形可能な表面の変形が減じられ、人間の皮膚の場合、印加された圧力によって生じる色分離も、減じられる。変形可能な接触リングは更に、環境からのいかなる不必要な光も遮断し、これは、試料表面の観察品質に好都合に貢献する。

本発明のこれらの態様及び他の態様が、図を参照して更に解明され、説明されることであろう。

試料表面の外観を、本発明による光学的な合焦点装置で観察するための装置の第1の実施例の断面の概観図を示す。 試料表面の外観を、本発明による光学的な合焦点装置で観察するための装置の第2の実施例の断面の概観図を示す。 蛇腹を備えた装置が下方に移動する前の様子を示す。 装置が下方に移動し、蛇腹が試料に接触した様子を示す。 本発明による装置の一実施例による視覚的な汚染インジケータを備えた蛇腹の断面の概観図を示す。 本発明の一実施例による視覚的な汚染インジケータを備えた蛇腹の概観的な断面図である。

これらの図面は縮尺通りではない。これらの図は概観的で、線図による表現であるに過ぎず、関連する装置の一部のみを、本発明の解明のために示している。概して、図中で、同一の構成要素は、同一の参照番号によって示されている。

図1は、この例では人間の皮膚である、観察されるべき関心部分の表面2をもつ、試料1の光学的な外観を観察するための装置100の概観的な断面図を示す。カメラ14が、試料1の表面2の関心部分の外観を観察するために存在している。試料1の表面2の関心部分にカメラ14の焦点が合っていることを確実にするために、第1の光学的な合焦点装置21及び第2の光学的な合焦点装置31が利用できる。第1の合焦点装置21及び第2の合焦点装置31は、光を第1の焦点視野レンズ23及び第2の焦点視野レンズ33へとそれぞれ供する、第1の焦点光源22及び第2の焦点光源32を有する。第1の焦点視野レンズ23及び第2の焦点視野レンズ33は、それぞれ第1のマスク24及び第2のマスク34へと光を投射し、第1のマスク24及び第2のマスク34を出た光は、第1のマスク結像レンズ25及び第2のマスク結像レンズ35に投射される。第1のマスク結像レンズ25及び第2のマスク結像レンズ35は、第1のマスク24の第1の画像、及び第2のマスク34の第2の画像を、それぞれ試料1の表面2の関心部分へ投影し重ね合わせる、第1の焦点光ビーム26及び第2の焦点光ビーム36を備えており、これにより、重ね合わされたマスク画像3を、表面2の上に供する。図1に例示するように、第1の焦点光ビーム26の入射角は、第2の焦点光ビーム36の入射角とは異なる。カメラ14と表面2との間の距離が変化する場合、重ね合わされたマスク画像3は変化することであろう。何故ならば、第1の焦点光ビーム26と第2の焦点光ビーム36との間の入射角の違いに起因して、投射されたマスク24の映像が、投射されたマスク34の映像に対して、表面2に沿ってシフトするからである。この態様にて、重ね合わされた画像3は、カメラ14が表面2に焦点が合っているかどうかを定量化するために用いられる。第1のマスク24及び第2のマスク34は、長方形のパターン又は円形のパターンを有してもよく、また、カメラ14が表面2に焦点が合うと、例えば長方形又は円形などの認識可能な重ね合わせ画像3を結果として生じるなど、従来技術にて周知であるアライメントの特徴を有してもよい。更にまた、表面2の関心部分がカメラ14の視野の方向に対して垂直ではない場合、重ね合わされた画像3が歪められるであろうし、例えば、円形ではなく楕円体の形状をもつことであろう。重ね合わされた画像3は手動で、即ち装置を操作するオペレータによって、分析されることができる。代替的には、重ね合わされた画像3はカメラ14によって、例えば画像の高周波数成分を分析することによって、分析されることができ、これにより、表面2の関心部分に対するカメラ14の焦点合わせ状態の自動調節機能を備える。好ましくは、第1の焦点光源22及び第2の焦点光源32は、青色光を有する。青色光は白色光ほど深く半透明の試料1、例えば人間の皮膚を透過せず、従って、表面2の観察部位のぼかしを減じるので、青色光は白色光よりも好まれる。更にまた、青色光が皮膚の色に対して高いコントラストをもつので、人間の皮膚の映像を観察しているカメラ14の信号対雑音比が、青色光の場合は高い。

図2では、本発明による装置200の第2の実施例の原理が、概観的な断面図で示されている。本実施例では、試料1の表面2の関心部分の照明が例示されている。本実施例では、試料1の照明は、近接場光源11、12、遠距離場光源13、及び、斜め光源16、17を備えている。これらの種々異なる照明光源の使用は、好都合である。何故ならば、試料1が、照射ビームの強度、波長、照射ビームの収束度及び/又は入射角のような、種々異なる照明パラメータで照明されることができ、結果として、カメラ14によって捕捉された種々異なる応答ビームを生じるからである。例えば、試料1の表面2への浸透深さは、照射ビームの波長及び入射角に依存している。照射ビームの異なる浸透深さに起因して、異なる入射角をもつ、異なる照射ビームによる試料1の表面2の照明は 試料1の表面エリア及び種々異なる準‐表面エリアへのアクセスを許容する。遠距離場光源13を使用したとき、表面2で生成された応答ビームと、準‐表面エリアで生成された応答ビームとが、少なくとも一つのスクリーン及び感光性の画像検出要素を有するカメラ14で測定される。ここで、応答ビームはスクリーンによって遮断され、スクリーンの二次元画像が、感光性のある検出要素によって捕捉され、電気的な検出器信号に変換される。スクリーン上に形成された二次元画像は、異なる照射ビームでの照明に対する試料2の応答である応答ビームの角度分布を表している。画像は、これ故、試料2の物性のフーリエ状の変換であり、試料の特別なバリエーション及び物理特性が、照射エネルギの角度方向の変動に変換される。

入射角によって特徴づけられる照射ビームに応じて、近接場、遠距離場、及び/又は深淵場が検出されることができる。近接場は、感光性の画像検出要素によって撮影された、観察眼にて視認可能な、表面の画像を描写している。近接場照明は、合焦点位置の決定を含む測定シーケンスが開始される前に、関心部分をローカライズするために用いることができる。遠距離場は、拡散散乱、光沢がある反射、視野角効果、及びその他の角度に関して、表面がどのように照射ビームを遠方に反射するかを描写している。光沢のように、遠距離場効果の結果は見えるが、遠距離場の分布自体は見えない。遠距離場は、二次元画像をスクリーンの上に形成したスクリーンで捕捉され、スクリーン上の二次元画像は、感光性の画像検出要素によって捕捉される。深淵場は、どのように照射ビームが半透明材料から再発光されるかを描写しており、ここでは応答ビームは、照射ビームを散乱させ、応答ビームを照射ビームの入射点から間隔をおいた場所の表面から再発光させる、準‐表面エリアからの応答である。これ故、深淵場を測定するためには、照明スポットを有する表面照明が、深淵場を得るために必要である。

図2は更に、装置200に取り付けられた、試料1の表面2と接触する蛇腹40を示している。当該蛇腹40は、主に表面2と直交する方向に可撓性があり、屈曲可能であるが、表面2と平行な方向には剛体である。この態様で、装置200によって表面2へ印加される圧力は、硬い部品が表面2に触れる時と比較して減じられる。試料1が変形可能な人間の皮膚を有し、印加された、皮膚を変形させる圧力に起因して、当該皮膚が隆起及び/又は色分離して、人間の皮膚に種々異なる色を与えている血管を、少なくとも部分的に閉じる傾向があるような場合、蛇腹40は、皮膚に印加された圧力を、好都合にも最小にして、これ故、皮膚に印加された圧力のネガティブな影響も減じる。蛇腹40の別の長所は、試料1の光学的な観察にネガティブに影響するかも知れない何らかの環境光及び不必要な光を遮断することである。蛇腹40は、試料1の追加の、不必要な、及び管理されていない、環境光による照明を阻止する。

図3a及び図3bは、本発明の一実施例による、試料1の光学的な外観を観察する方法を例示している。図3aは、装置300が、試料1上に重ね合わされるマスク画像（図示せず）を生成する、第1の焦点光ビーム26及び第2の焦点光ビーム36を備えていることを示す。装置300は、蛇腹40が試料1に接触するまで、試料1の方へと移動され、図3bに例示するように、試料1の表面2は、装置300内部にあるカメラ14の焦点が合っている。試料1が殆ど変形しないのに対して、蛇腹40は変形することであろう。これにより、装置300によって試料1へ印加された圧力による、試料1の光学的な観察品質への影響を最小にする。ここで試料1の表面2にカメラ14の焦点が合い、試料1の表面が種々異なる照明ビームによって照明され、カメラ14が応答ビームを観察する観察シーケンスの開始を始動する信号が生成される。

図4は、試料1に接触している蛇腹40を示している、本発明による装置の実施例の一部を例示しており、蛇腹40は、例えば、プラスチックを含む透明なキャップ60を介して装置に取り付けられている。当該蛇腹40は、本実施例では、三つの層を有する。図5は、折り畳まれていない蛇腹40の概観的な断面図を示す。蛇腹40は、例えば黒い紙など、外部光を遮断する材料で作られた中心層42を有する。蛇腹40は、塵粒が透明なキャップ60に固着するのを防止するために、塵粒を捕える粘着性の表面をもつ上部層又は内部層41を更に有する。粘着性のある表面の別の長所は、蛇腹40が試料1の各々に対して一回のみ用いられることが順守される点である。何故ならば、使用の後、上部層又は内部層41の粘着性のある表面は、撓曲された蛇腹40が自動的に最初の形状に戻らないよう固着してしまう部分をもつだろうからである。蛇腹40は、試料1の表面2と接触する、非常に明るい色である下部層又は外側層43も更に有し、当該層43は、油性物質などの汚染物質を吸着するよう、多孔性に作られている。下部層又は外側層43での汚染物質の吸着は、汚染物質のある場所の当該層43の色分離43bを結果として生じる。これは、蛇腹40上の汚染物質の可視表示を提供する。この態様にて、蛇腹40が試料1の各々に対して一回のみ使用されることが順守され、別の試料1が測定される前に、汚染された蛇腹40を交換することが順守され、これにより、異なる試料の間の相互汚染を防止する。中心層42が、どの皮膚流体中でも溶解する吸湿性の薬剤か、又は長期にわたる期間、蒸発を続ける吸湿性の薬剤を混ぜ合わせた可溶性の着色剤を備えた追加の薄膜層で覆われ、接触層43の顕著な着色を付与する場合、層43のより顕著な色分離43bが得られることがある。皮膚に達することができず、いかなるマークも皮膚に残すことができぬよう、この着色剤の添加は慎重にされなければならない。

要約すると、本発明は、半透明の材料の試料の表面、特に人間の皮膚の表面の光学的な外観を観察する装置に関し、当該装置は、所定の方向から少なくとも試料の表面の関心部分を照明するための光源と、照明に対する関心部分の反応を観察するためのカメラと、カメラが関心部分の表面に焦点が合っているかどうかを決定するための光学的な合焦点装置と、を有する。光学的な合焦点装置を備えることによって、試料の表面に対するカメラの焦点が決定され、試料表面に対する装置の機械的な接触による、光学的な外観の観察の品質面での負の影響を減じる。

上述の実施例が本発明を限定するよりはむしろ、例示している点に留意する必要があり、当業者は、添付の請求項の範囲の要旨を逸脱することなく、多くの代替実施例を設計することができるであろう点に留意する必要がある。請求項において、括弧の間に置かれた如何なる引用符号も、請求項を限定するものとして解釈されてはならない。単語「有する」は、請求項に羅列された以外の別の要素又は別のステップの存在を除外することはない。要素に先行する単語「a」又は、「an」は、複数の斯様な要素の存在を除外することはない。

Claims (10)

1. 半透明の材料の試料の表面の光学的な外観を観察する装置であって、
   所定の方向から、少なくとも前記試料の表面の関心部分を照明するための光源と、
   前記照明に対する前記関心部分の反応を観察するためのカメラと、
   前記カメラが前記関心部分の少なくとも前記表面の一部に焦点が合っているかどうかを決定するための光学的な合焦点装置と、
   を有し、
   前記光学的な合焦点装置は、前記表面に対して第１の入射角をもつ第１の焦点光ビームと、第２の入射角をもつ第２の焦点光ビームと、を備えており、当該第１の入射角は、当該第２の入射角とは異なり、前記第１の焦点光ビーム及び前記第２の焦点光ビームは、第１のマスクパターンの第１の画像と、第２のマスクパターンの第２の画像との重ね合わせたものを前記関心部分の前記表面上に提供し、前記焦点が、前記第１のマスクパターンの画像と第２のマスクパターンの画像とのアライメントによって決定される、装置。
2. 前記第１の焦点光ビーム及び前記第２の焦点光ビームが、青色光を有する、請求項１に記載の装置。
3. 重ね合わされた前記第１のマスクパターンの画像及び前記第２のマスクパターンの画像のアライメントを測定するための手段を備えた、請求項１に記載の装置。
4. 前記カメラが前記関心部分の前記表面に焦点が合ったとき、前記光学的な合焦点装置が、前記関心部分の照明と、当該照明に対する前記関心部分の反応の観察と、を起動させる、請求項１に記載の装置。
5. 前記装置が、前記試料の前記表面に前記関心部分から特定の距離において接触させるために、及び前記試料の前記表面を環境光から保護するために、変形可能な接触リングを更に有する、請求項１に記載の装置。
6. 前記変形可能な接触リングが、当該変形可能な接触リングが使用されたことを示すための手段を有する、請求項５に記載の装置。
7. 前記変形可能な接触リングが使用されたことを示す前記手段が、汚染物質に対する視覚的なインジケータを有する、請求項６に記載の装置。
8. 半透明な材料の試料の表面の光学的な外観を観察する方法であって、
   光学的な合焦点装置に対して固定された相対位置にあるカメラが、関心部分の少なくとも表面の一部に焦点が合っているかどうかを、前記カメラと、前記光学的な合焦点装置と、前記表面との間の距離を変化させることによって、当該光学的な合焦点装置で決定するステップと、
   前記カメラが、前記関心部分の少なくとも前記表面の一部に焦点が合ったとき、前記試料の前記表面の少なくとも前記関心部分を、所定の方向から光源で照明するステップと、
   前記照明に対する前記関心部分の反応を前記カメラで観察するステップと、
   を含み、
   前記光学的な合焦点装置は、前記表面に対して第１の入射角をもつ第１の焦点光ビームと、第２の入射角をもつ第２の焦点光ビームと、を備えており、当該第１の入射角は、当該第２の入射角とは異なり、前記第１の焦点光ビーム及び前記第２の焦点光ビームは、第１のマスクパターンの第１の画像と、第２のマスクパターンの第２の画像との重ね合わせたものを前記関心部分の前記表面上に提供し、前記焦点が、前記第１のマスクパターンの画像と第２のマスクパターンの画像とのアライメントによって決定される、方法。
9. 前記第１の焦点光ビーム及び前記第２の焦点光ビームが、青色光を有する、請求項８に記載の方法。
10. 前記関心部分から特定の距離において前記試料の前記表面に、前記焦点が合っているかどうかを決定するステップの前に、変形可能な接触リングにより、前記試料の前記表面を環境光から保護するステップを更に含む、請求項８に記載の方法。

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