JP2011502249A - 正反射性挙動を伴う対象物のミリメートルまたはサブミリメートル構造細部を観察するための光学装置 - Google Patents
正反射性挙動を伴う対象物のミリメートルまたはサブミリメートル構造細部を観察するための光学装置 Download PDFInfo
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Abstract
【選択図】 図9
Description
放射線の流れを放射する少なくとも2つの別個の領域を有する実際の、又は仮想的な放射面を伴い、少なくとも1つの特性が1つの領域と隣の領域とで異なる少なくとも1つの放射線源と、
露光領域に対して放射線源と一直線を成して放射線の経路に位置し、入口絞りを含む光学投影系と、
放射線源と露光領域との間に位置し、光学投影系の入口絞りと放射線源の放射面とを光学的にリンクさせるようになっている光学露光系と、
光学投影系に対して露光領域と一直線を成して位置し、露光領域内の対象物と光学的にリンクされ、その受けられる放射線が対象物からの偏向に依存する投影面と、
を含むことを特徴とする。
これは図1、8、9、12、13において使用される。なお、投影面(10)は、光学投影系(12)に対して露光領域(3)と一直線を成して位置する。そのような投影面(10)は、露光領域(3)内の対象物(2)と光学的にリンクされる。
・低いコスト:簡単で、標準的な、したがって安価な光学要素の使用により、そのような装置のコストは低い。
・容易性。
・・組み立て及び調整の容易さ及びそのコンパクトさ。すなわち、そのような装置の調整は、大部分の他の装置と比べてあまり細かくない。構成要素の数が減少されるとともに、光学経路が比較的短く、したがって、コンパクトであり、組み立て及び調整の複雑さが軽減される。
・・数値計算の軽減により、システムの自律性が得られる−情報の再構成のための前処理を行なう必要がもはやない(パターンの変形を使用するシステムと同様、特に、位相検出または相互相関計算の段階を使用する)、対象物の観察または測定は、オペレータが直接に見ることにより、又は取得された値を使用することにより直接的となり得る。また、システムの正確な動作は、(例えば位相再編成などに関して)不定元を解くためにシステムに必要となり得る監視を必要としない。
・有効性:任意の計算段階が減少され、1つの取得だけを必要とするため、同じ構成要素を用いて、高速であっても連続的に観察することができる。この場合、限定因子はセンサの取得速度である。測定は“全分解能”である。すなわち、情報が測定によって取得される。この場合、他のシステムは、情報が再構成された後に補間しなければならない。また、観察される領域を装置全体のサイズに対して幅広くできる。このシステムは測定スキャン(例えば、レーザスキャン)に基づいておらず、そのため、取得の全てを同期させることができ、また、これは、その観察が(例えば、非常に急速な現象を観察するために)高速で行なわれなければならない用途において重要となり得る。
・ロバスト性:調整はあまり細かくない。本発明の原理によれば、受けられた流れの集積によってもたらされる平滑化は、構成要素の欠陥及び/又は調整に対して測定を安定させるために使用できる。この場合、特定のシステムは最小の不規則性(それらの変形に基づくシステムにおけるフリンジパターンの不規則性など)に対して敏感である。また、このロバスト性は、質の良い結像を行なわないシステムの使用を可能にし、そのため、光学露光系(18)におけるフレネルレンズの使用が可能である。本発明の原理は、干渉現象に基づかないため、様々な寄生ファクタを伴う感度と同じ感度に悩まされない。フリンジングを使用するシステムでは、取得された像の領域全体と放射面の領域との間に一致が求められる。逆に、本発明によれば、取得された像のそれぞれのピクセルにおいて、感知された値は、像におけるピクセルの位置とは無関係に、領域間の移行域内の1つの位置に対応し、したがって、角度偏向値に対応する。
・汎用性:異なるタイプの放射線を用いて、非常に幅広い種類の対象物を観察できる。
・拡張可能性:コーディングタイプのためのダイバーシティの選択により、測定類型を大きく変えることができ、また、使用される光学要素の選択においてかなりの自由度も存在する。
Claims (15)
- 少なくとも部分的に正反射性の挙動を示す対象物(2)であり、露光領域(3)内に位置する対象物(2)のミリメートル構造細部またはサブミリメートル構造細部の反射により観察を行うための装置において、
放射線の流れを放射する少なくとも2つの別個の領域(8、9)を有する実際の又は仮想的な放射面(6)を伴い、少なくとも1つの特性が1つの領域と隣の領域とで異なる少なくとも1つの放射線源(5)と、
前記露光領域に対して前記放射線源と一直線を成して放射線の経路に配置され、入口絞り(14)を含む光学投影系(12)と、
前記放射線源(5)と前記露光領域(3)との間に配置され、前記光学投影系(12)の前記入口絞り(14)と前記放射線源の前記放射面(6)とを光学的にリンクさせるようになっている光学露光系(18)と、
前記光学投影系(12)に対して前記露光領域(3)と一直線を成して配置され、前記露光領域(3)内の前記対象物と光学的にリンクされ、その受けられる放射線が前記対象物(2)における偏向に依存する投影面(10)と、
を含むことを特徴とする、装置。 - 前記対象物(2)による光線偏向の値に対応する値を測定するために前記投影面(10)により使用される局部的な検出手段を含むことを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記放射面(6)のサイズが点光源に近く、前記光学投影系(12)のダイアフラム(14)が、前記対象物(2)と前記投影面(10)との間に配置された、光線を遮る唯一の要素であることを特徴とする、請求項1または2に記載の装置。
- 前記投影面(10)が、前記放射線源(5)の前記放射線のタイプに対して感度が良くなるように形成され、電子処理システムまたは光学処理システムと関連付けられることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記放射線源(5)が、可視光線及び/又は紫外線及び/又は赤外線である明るい放射線を放射することを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記放射線源(5)が音波、粒子、又は電磁波を放射することを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記放射面(6)が、分離線または段階的な移行域によって規定される移行領域(Z)により分離される異なる強度及び/又は色及び/又は偏光を示す少なくとも2つの領域(8、9)を伴う形状を有することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記放射面(6)が暗い領域(9)と明るい領域(8)とを含むことを特徴とする、請求項7に記載の装置。
- 前記放射線源(5)の前記放射面(6)が、前記放射線源(5)のためのハニカム及びホログラムなどの特定の材料の使用により仮想面内に位置することを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記放射線源(5)の前記放射面(6)が無限遠に位置し、前記光学露光系(18)が無限遠を前記光学投影系(12)の前記入口絞り(14)とリンクさせることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の装置。
- 前記光学露光系(18)が、余分な光学素子の付加を伴うことなく、前記光学投影系(12)の前記入口絞り(14)によって前記対象物(2)及び/又は前記放射面(6)を位置決めする及び/又は調整することで構成されることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載の装置。
- 特に前記放射面(6)及び半反射プレート(21)が内側に組み込まれるボックス(32)を含み、前記光学露光系(18)が特にフレネルタイプの円柱レンズを含むことを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載の装置。
- 前記放射面(6)及び/又は前記レンズ及び/又は前記半反射プレート(21)によって与えられる角度の光軸線(x)上における位置を調整するための手段を含むことを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載の装置。
- 例えば前記対象物の識別特性に対応する対象物の構造的特徴を抽出するために一組の偏向値を取得するための手段を含むことを特徴とする、請求項1〜13のいずれか一項に記載の装置。
- 前記対象物の識別特性を抽出するために偏向値を受けるための手段が安全な対象物追跡システムに接続されることを特徴とする、請求項14に記載の装置。
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