JP5454120B2 - 駆動回路が搭載される基板及びそれを備えた表示装置 - Google Patents

駆動回路が搭載される基板及びそれを備えた表示装置 Download PDF

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Description

本発明は、駆動回路が搭載される基板及びそれを備えた表示装置に関する。
従来、表示装置においては、例えば、液晶パネルや有機ELパネル等のアクティブマトリクス駆動型の表示パネルを備えたものが知られている。アクティブマトリクス駆動型の表示パネルは、表示領域内に走査線、信号線及びTFT等が形成されている。この表示パネルには、走査線や信号線に画像信号を出力し画素を駆動する駆動回路が搭載されている。例えば、液晶パネルを例示して説明すると、液晶パネルをなす一対の透明基板のうち、一方の透明基板は、他方の透明基板から張り出した張出部を備えており、この張出部に駆動回路が直接実装されている。
ここで、表示パネルに搭載される駆動回路は複数種類用意されていて、表示パネルの用途に応じた種類の駆動回路が、表示パネルの製造時に、一方の透明基板の所定位置に排他的に搭載される。このため、一方の透明基板と、各種類の駆動回路とには、位置合わせの基準となる位置合わせマークがそれぞれ設けられている(例えば特許文献1参照)。
特開平9−26586号公報
基板上に排他的に設置されるコンパチブルな駆動回路同士でバンプ位置が共通化されている場合であっても、それらの駆動回路に設けられた位置合わせマーク同士は、メーカーや製造工場、製造プロセス等の違いによって、形成位置が異なっている場合がある。上記の文献では、互いにバンプ位置が共通化された複数の駆動回路における位置合わせマークの形成位置はどれも同じであり、各駆動回路の位置合わせマークの形成位置が異なる場合に各駆動回路と基板とを位置合わせする方法は開示されていない。
本発明の課題は、互いに排他的に基板に搭載される複数種類の駆動回路に設けられた位置合わせマークの形成位置が異なる場合に、各駆動回路と基板とを位置合わせする方法を提供することである。
以上の課題を解決するため、本発明の一の態様によれば、
一方の面に駆動回路搭載領域を有し、前記駆動回路搭載領域に第一の駆動回路と第二の駆動回路とが排他的に搭載される基板であって、
前記一方の面における前記駆動回路搭載領域の外側に配置され、且つ前記第一の駆動回路に形成された第一駆動回路側位置合わせマークと位置合わせされる第一基板側位置合わせマークと、
前記一方の面における前記駆動回路搭載領域の外側であって前記第一基板側位置合わせマークとは異なる位置に配置され、且つ前記第二の駆動回路に形成された第二駆動回路側位置合わせマークと位置合わせされる第二基板側位置合わせマークと、を有し、
前記第一基板側位置合わせマークと、前記第二基板側位置合わせマークとが、同形状であって、光透過率若しくは反射率を異ならせることで視覚的に異なる形態とされ、
前記第一基板側位置合わせマーク及び前記第二基板側位置合わせマークのうち、一方の基板側位置合わせマークは、前記基板の前記一方の面上に形成された遮光層を、所定の形状を有する所定の第一領域の内部全体に亘って前記遮光層が残存するようにエッチングすることにより形成され、
他方の基板側位置合わせマークは、前記所定の形状を有する所定の第二領域の内部全体に亘って前記遮光層が除去され、且つ前記第二領域と隣接する周囲領域全体に前記遮光層が残存するように、前記遮光層をエッチングすることにより形成されていることを特徴とする基板が提供される。
記基板において、好ましくは、前記駆動回路搭載領域に前記第一の駆動回路が搭載された状態で、前記第一基板側位置合わせマークに対して前記第一駆動回路側位置合わせマークが配置される方向と、前記駆動回路搭載領域に前記第二の駆動回路が搭載された状態において、前記第二基板側位置合わせマークに対して前記第二駆動回路側位置合わせマークが配置される方向とが、前記第一の駆動回路及び前記第二の駆動回路を位置合わせする際の当該駆動回路又は前記基板の移動軸のうち一つとそれぞれ平行である。
また、本発明の他の態様によれば、
前記基板を有する表示パネルと、
前記基板の前記駆動回路搭載領域に搭載された前記第一の駆動回路若しくは前記第二の駆動回路と、を備えることを特徴とする表示装置が提供される。
本発明によれば、位置合わせマークとバンプ位置との相対的な位置関係が異なる二種類の駆動回路をそれぞれ排他的に基板上に搭載する場合に、いずれの駆動回路でも正確に位置合わせすることができる。
本実施形態の表示装置の全体構成を模式的に示した分解斜視図である。 図1の表示装置に備わる駆動回路の下面図であり、(a)は第一の駆動回路の下面図であり、(b)は第二の駆動回路の下面図である。 図1の表示装置の液晶パネルに備わる背面側の透明基板の全体構成を模式的に示した正面図である。 図3の透明基板における画素部の概略構成を示す透過平面図である。 図3の透明基板における駆動回路搭載領域の概略構成を示す正面図である。 図4,図5のVI−VI切断線から見た断面図であり、画素部、第一基板マーク及び第二基板マークの断面構成を示す断面図である。 図3の透明基板の製造方法における各工程を示す説明図である。 図3の透明基板の製造方法における各工程を示す説明図である。 図5の透明基板における第二基板マークの変形例を示す正面図である。
以下に、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。ただし、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、発明の範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。
図1は本実施形態の表示装置の全体構成を模式的に示した分解斜視図である。表示装置100は液晶表示装置であり、図1に示すように、面光源装置1、液晶表示パネル2、ケース3等を備える。
ケース3は、上ケース31、インナーフレーム32、下ケース33を有する。上ケース31の天板31aには、矩形の表示用開口31bが形成されている。インナーフレーム32は、液晶表示パネル2の三辺を囲むように上面視略コ字状に形成されている。下ケース33には、面光源装置1及び液晶表示パネル2が収納されていて、これらを覆うように上ケース31が係合している。
面光源装置1は、液晶表示パネル2に向けて面発光するものであり、液晶表示パネル2の背後、即ち液晶表示パネル2の観察側とは反対側に配置されている。面光源装置1は、反射シート11、拡散シート12、プリズムシート13,14、LEDユニット15及び導光板4等を備えている。
反射シート11は、導光板4の背面に対向配置され、導光板4の背面から射出される光を導光板4の内側へと反射するものである。
拡散シート12は、導光板4の光射出面に対向配置され、導光板4から射出された光を拡散させて輝度を均一にするものである。
プリズムシート13,14は、拡散シート12の上に積層され、拡散シート12から様々な方向へ向けて射出される光の向きを整えるものである。これらプリズムシート13,14は、拡散シート12から射出された様々な方向を向く光を、プリズムシート14の射出面に対しほぼ垂直な方向に向けて射出する。
LEDユニット15は、導光板4の側方に配置され、導光板4に光を供給するものである。LEDユニット15は、フレキシブル配線基板16と、複数のLED17とを有している。複数のLED17は、それぞれ略直方体状をした光源であり、発光面が導光板4に向くようにフレキシブル配線基板16上に配置されている。
液晶表示パネル2は、アクティブマトリクス方式のもので、予め定めた間隙を設けて対向配置された一対の透明基板6,7を備えている。これら透明基板6,7間の間隙には液晶(図示省略)が封入されている。一対の透明基板6,7の互いに向き合う内面には、第一と第二の透明電極(図示省略)が設けられている。第一と第二の透明電極は、電圧の印加により液晶層の液晶分子の配向状態を変化させて光の透過を制御する複数の画素をマトリクス状に形成している。また、観察側の透明基板7の外面には光学シート23が貼り付けられている。他方、背面側の透明基板6の外面には偏光板(図示省略)が貼り付けられている。また、背面側の透明基板6には、観察側の透明基板7から張り出す張出部61が形成されている。張出部61には、上記の透明電極間に駆動電圧を印加するためのドライバ素子としての駆動回路25が搭載されている。また、張出部61には、駆動回路25に外部回路からの制御信号を供給するためのフレキシブル配線基板26が接続されている。
駆動回路25としては、種類の異なる第一の駆動回路25aと、第二の駆動回路25bとが用いられる。図2は駆動回路25の概略構成を示す下面図であり、(a)は第一の駆動回路25aを示し、(b)は第二の駆動回路25bを示している。図2に示すように、第一の駆動回路25aと第二の駆動回路25bとにおいては、どちらも出力バンプ251及び入力バンプ252が、駆動回路本体253に対して同じ位置に設けられている。出力バンプ251は、X方向に沿って千鳥状に複数配列されている。また、入力バンプ252は、X方向に沿って直線状に複数配列されている。
そして、第一の駆動回路25aに形成された第一駆動回路側位置合わせマークである第一駆動回路マーク254aは、出力バンプ251の側方に配置されている。一方、第二の駆動回路25bに形成された第二駆動回路側位置合わせマークである第二駆動回路マーク254bは、入力バンプ252の側方に配置されている。なお、第一駆動回路マーク254aと第二駆動回路マーク254bとは、例えば十字形状等の同形状に形成されている。
ここで、X方向とは、駆動回路25と透明基板6との位置合わせ時において、後述する駆動回路搭載装置の駆動回路搬送部による駆動回路25又は透明基板6の移動軸のうち1つと平行な方向である。
次に、背面側の透明基板6について詳細に説明する。
図3は背面側の透明基板6の全体構成を模式的に示した正面図である。図3に示すように透明基板6には、ガラス基板Pの一面上に、複数のゲート配線602が行方向に配列されていて、複数のドレイン配線603が列方向に配列されている。また、各ゲート配線602に対しては補助容量ライン604がそれぞれ平行に配列されている。各ゲート配線602及びドレイン配線603によりマトリクス状に形成された各領域が画素部605をなす。
図4は、画素部605の概略構成を示す透過平面図である。図4に示すように、画素部605は、ゲート配線602とドレイン配線603とで囲まれた領域内に形成された略方形状の画素電極651を有している。この画素電極651が上述した背面側透明基板の透明電極(第二の透明電極)である。画素電極651の一つの角部には、スイッチング素子としての電界効果型逆スタガ構造のトランジスタ606が配置されている。このトランジスタ606を介して、画素電極651がゲート配線602及びドレイン配線603に電気的に接続されている。
また、背面側の透明基板6の張出部61における一面上には、駆動回路25が搭載される駆動回路搭載領域70が設けられている。図5は駆動回路搭載領域70の概略構成を示す正面図である。なお、この図5は駆動回路25が搭載される側の面とは反対側から見た図面である。図5に示すように駆動回路搭載領域70には、駆動回路25の複数の出力バンプ251にそれぞれ接続される複数の出力バンプ用端子71が、複数の出力バンプ251に対応するように形成されている。また、駆動回路搭載領域70には、駆動回路25の複数の入力バンプ252にそれぞれ接続される複数の入力バンプ用端子72が、複数の入力バンプ252に対応するように形成されている。これら出力バンプ用端子71及び入力バンプ用端子72が、ゲート配線602及びドレイン配線603に電気的に接続されている。
また、張出部61の一面上における駆動回路搭載領域70の外側領域には、第一基板側位置合わせマークである第一基板マーク73と、第二基板側位置合わせマークである第二基板マーク74とが設けられている。
第一基板マーク73は、駆動回路搭載領域70に搭載された第一の駆動回路25aにおける第一駆動回路マーク254aに対して、X方向に沿った位置に配置されている。この第一基板マーク73は、遮光層731によって円形状に形成されている。
一方、第二基板マーク74は、駆動回路搭載領域70に搭載された第二の駆動回路25bにおける第二駆動回路マーク254bに対して、X方向に沿った位置に配置されている。この第二基板マーク74は、遮光層741が除去された領域が第一基板マーク73と同形状となるように遮光層741によって囲まれている。これにより、第二基板マーク74が第一基板マーク73と光透過率が異なることになり、両マーク73,74が視覚的に異なる形態となる。
次いで、画素部605、第一基板マーク73及び第二基板マーク74の断面構造について説明する。図6は、図4,図5のVI−VI切断線から見た断面図であり、画素部605、第一基板マーク73及び第二基板マーク74の断面構成を示す断面図である。
まず画素部605の断面構造について説明する。図6に示すように画素部605においては、ガラス基板P上に成膜された導電膜からなるゲート電極622及びゲート配線602を有している。そして、このゲート電極622は、ゲート配線602と電気的に接続されるように一体的に形成されている。ゲート電極622はトランジスタ606をなす箇所に配置されている。
また、画素部605には、ガラス基板P上に成膜された導電膜からなる補助容量ライン604が、ゲート電極622から所定の間隔を空けて形成されている。
ゲート電極622、ゲート配線602及び補助容量ライン604をなす導電膜は、例えばCr、Al、Moの少なくとも一つの金属膜、もしくはこれらの合金膜から形成されている。
そして、画素部605には、ゲート電極622及び補助容量ライン604を覆うように、例えば酸化シリコン又は窒化シリコン等からなる第一絶縁膜661が形成されている。
第一絶縁膜661の上面におけるゲート電極622上方には、例えば真性アモルファスシリコン等の真性半導体からなる真性半導体膜662が形成されている。この真性半導体膜662の上面ほぼ中央部には窒化シリコン等からなるチャネル保護膜663が設けられている。真性半導体膜662におけるチャネル保護膜663に重なる領域がチャネル膜662aとなる。
そして、チャネル保護膜663の上面両側及びその両側における真性半導体膜662の上面にはn型半導体膜であるn型アモルファスシリコン等からなるオーミックコンタクト層664,665が設けられている。
オーミックコンタクト層664,665の上面には、例えばCrからなるソース電極666及びドレイン電極667が設けられている。これにより第一絶縁膜661の上層側にソース電極666及びドレイン電極667が配置されることになる。なお、ドレイン電極667はドレイン配線603と電気的に接続されている(図4参照)。このように、トランジスタ606は、ゲート電極622、第一絶縁膜661、真性半導体膜662、チャネル保護膜663、オーミックコンタクト層664,665、ソース電極666及びドレイン電極667により構成されている。
そして、第一絶縁膜661の上面の所定箇所には、ITO等からなる透明性の画素電極651が形成されている。画素電極651の一端部は、ソース電極666の上面に配置され、他端部は補助容量ライン604の上方に配置されている。
そして、トランジスタ606の上層側には、トランジスタ606を覆うように酸化シリコン等からなる第二絶縁膜668が形成されている。また、第二絶縁膜668は、補助容量ライン604の上方にも形成されている。
次に、第一基板マーク73の断面構造について説明する。第一基板マーク73は、ガラス基板P上の所定箇所に成膜された例えばCr等の金属膜からなる遮光層731である。この第一基板マーク73及びその周囲のガラス基板Pには第一絶縁膜661が積層されている。
次に、第二基板マーク74の断面構造について説明する。第二基板マーク74は、ガラス基板P上の所定箇所に成膜された例えばCr等の金属膜からなる遮光層741により囲まれた領域であり、この領域が所定の形状となっている。ガラス基板Pの上面のうち、この遮光層741に囲まれた領域及びその周囲の遮光層741には第一絶縁膜661が積層されている。
次に、背面側の透明基板6の製造方法について図7,図8を参照して説明する。
まず、図7(a)に示す通り、スパッタ法にてCrからなる第一導電膜をガラス基板P上に成膜する。成膜後、第一導電膜をエッチングすることで、ゲート電極622、ゲート配線602、補助容量ライン604、遮光層731及び遮光層741を形成する。
このエッチングにより、円形である所定の第一領域の内部全体に亘って残存した遮光層731が第一基板マーク73となる。
また、このエッチングにより、円形である所定の第二領域の内部全体に亘って第一導電膜(遮光層)が除去され、この第二領域と隣接する周囲領域全体に残存した遮光層741が第二基板マーク74となる。
次いで、図7(b)に示す通り、ガラス基板Pの上面の所定箇所にそれぞれ形成されたゲート電極622、ゲート配線602、補助容量ライン604、遮光層731及び遮光層741を覆うように、第一絶縁膜661をCVD法により成膜する。
そして、透明基板6の張出部61に対してはマスクを施し、ゲート電極622、ゲート配線602及び補助容量ライン604を覆うように真性半導体膜662と、第三絶縁膜672とをCVD法によって積層する。その後、図示しないポジ型フォトレジストをマスクとしてドライエッチングを行い、第三絶縁膜672をゲート電極622上に残存させる。このゲート電極622上の第三絶縁膜672がチャネル保護膜663となる。
次いで、図7(c)に示すように、フッ化アンモニウム溶液処理で真性半導体膜662の自然酸化膜を除去した後、CVD法でn型半導体膜674を成膜する。
そして、n型半導体膜674上にCr膜をスパッタ法で成膜し、フォトレジストをマスクとしてCrからなる第二導電膜675をエッチングして所定のパターンを形成し、さらに同一のフォトレジストをマスクとしてn型半導体膜674と、真性半導体膜662とをドライエッチングで所定のパターンに加工する(図8(a)参照)。
ここでゲート電極622上に残った第二導電膜675がソース電極666、ドレイン電極667となる。また、ゲート電極622上に残った真性半導体膜662がチャネル膜662aを形成し、n型半導体膜674がオーミックコンタクト層664,665となる。これにより、トランジスタ606が形成される。
次に、スパッタ法でITO膜を成膜して、フォトリゾグラフ法にてパターニングすることにより、図8(b)に示すように画素電極651を形成する。そして、トランジスタ606及び補助容量ライン604を覆うように酸化シリコン等からなる第二絶縁膜668をCVD法により成膜する。これにより、背面側の透明基板6が製造される。
次に、本実施形態の背面側の透明基板6に対して駆動回路25を搭載する搭載方法について説明する。
まず、第一の駆動回路25aを透明基板6の駆動回路搭載領域70に搭載する場合は、駆動回路搭載装置のカメラ等の画像認識部が透明基板6の第一基板マーク73を検出する。この際、画像認識部の認識範囲(図5に示す領域S1参照)には、同じ外形の第一基板マーク73と第二基板マーク74とが共存しているが、それぞれの光透過率が異なるために、画像認識部は第一基板マーク73を正確に検出する。
第一基板マーク73の検出後には、駆動回路搭載装置の駆動回路搬送部が第一の駆動回路25aを所定の位置まで移動させる。この際、駆動回路搭載装置の画像認識部は、第一の駆動回路25aの第一駆動回路マーク254aを認識しており、この認識結果に基づいて第一駆動回路マーク254aが第一基板マーク73を基準にした所定位置に配置されるように、駆動回路搬送部が第一の駆動回路25aを搬送する。第一の駆動回路25aが所定位置に搬送されると、駆動回路搬送部は第一の駆動回路25aを透明基板6の駆動回路搭載領域70に載置する。これにより、第一の駆動回路25aの出力バンプ251が駆動回路搭載領域70の出力バンプ用端子71上に配置されるとともに、且つ入力バンプ252が駆動回路搭載領域70の入力バンプ用端子72上に配置された状態となるように、駆動回路搬送部により第一の駆動回路25aと透明基板6とが位置合わせされて、透明基板6の駆動回路搭載領域に搭載される。
一方、第二の駆動回路25bを透明基板6の駆動回路搭載領域70に搭載する場合は、駆動回路搭載装置の画像認識部が透明基板6の第二基板マーク74を検出する。この際、画像認識部の認識範囲(図5に示す領域S1参照)には、同じ外形の第一基板マーク73と第二基板マーク74とが共存しているが、それぞれの光透過率が異なるために、画像認識部は第二基板マーク74を正確に検出する。
第二基板マーク74の検出後には、駆動回路搭載装置の駆動回路搬送部が第二の駆動回路25bを所定の位置まで移動させる。この際、駆動回路搭載装置の画像認識部は、第二の駆動回路25bの第二駆動回路マーク254bを認識しており、この認識結果に基づいて第二駆動回路マーク254bが第二基板マーク74を基準にした所定位置に配置されるように、駆動回路搬送部が第二の駆動回路25bを搬送する。所定位置に搬送されると、駆動回路搬送部は第二の駆動回路25bを透明基板6の駆動回路搭載領域70に載置する。これにより、第二の駆動回路25bの出力バンプ251が駆動回路搭載領域70の出力バンプ用端子71上に配置されるとともに、且つ入力バンプ252が駆動回路搭載領域70の入力バンプ用端子72上に配置された状態となるように、駆動回路搬送部により第二の駆動回路25bと透明基板6とが位置合わせされて、透明基板6の駆動回路搭載領域に搭載される。
以上のように、本実施形態によれば、第一の駆動回路25aの設置位置の基準となる第一基板マーク73と、第二の駆動回路25aの設置位置の基準となる第二基板マーク74とが視覚的に異なる形態であるので、画像認識によって両マーク73,74を同時に検出した場合であっても互いを誤認識してしまうこと防止することができる。これにより、互いに排他的に透明基板6に搭載される第一の駆動回路25a及び第2の駆動回路25bに設けられた第一駆動回路マーク254a及び第二駆動回路マーク254bの形成位置が異なる場合でも、各駆動回路25a,25bと透明基板6とを位置合わせすることができる。
また、第一基板マーク73と、第二基板マーク74とが、同形状であって、光透過率を異ならせることで視覚的に異なる形態とされているので、例えば第一基板マーク73と、第二基板マーク74との両者とも、位置合わせ精度の高い円形状とすることも可能となる。
また、第一基板マーク73は、透明基板6の一方の面上に形成された第一導電膜(遮光層)を、所定の形状を有する円形の第一領域の内部全体に亘って遮光層731が残存するようにエッチングすることにより形成されている。一方、第二基板マーク74は、円形を有する所定の第二領域の内部全体に亘って第一導電膜(遮光層)が除去され、この第二領域と隣接する周囲領域全体に遮光層741が残存するように、第一導電膜(遮光層)をエッチングすることにより形成されている。このように、どちらのマーク73,74もエッチングにより形成されているので、同一工程によって両マーク73,74を形成することができる。
そして、駆動回路搭載領域70に第一の駆動回路25aが搭載された状態で、第一駆動回路マーク254aは第一基板マーク73に対して所定の方向に沿って配置されている。同様に、駆動回路搭載領域70に第二の駆動回路25bが搭載された状態で、第二駆動回路マーク254bは第二基板マーク74に対して所定の方向に沿って配置されている。本実施形態では、所定の方向を、駆動回路25と透明基板6との位置合わせにおける、駆動回路搭載装置の駆動回路搬送部による駆動回路25又は透明基板6の移動軸のうち、一つと平行な方向(X方向)としている。このように、駆動回路25又は透明基板6の移動軸の一つと、基板マーク73,74に対して駆動回路マーク254a,254bが配置される方向とが平行であると、駆動回路25又は透明基板6の位置合わせを容易に行うことができる。
なお、本発明は上記実施形態に限らず適宜変更可能である。
例えば、本実施形態では、表示パネルとして液晶表示パネル2を例示して説明したが、駆動回路が搭載される基板を備えた表示パネルであれば、如何なる表示パネルでもよい。液晶表示パネル2以外には例えば有機EL表示パネルが挙げられる。
また、本実施形態では、第一基板マーク73と第二基板マーク74とを光透過率を異ならせることで視覚的に異なる形態としたが、反射率を異ならせることで視覚的に異なる形態としても良い。
また、光透過率や反射率が同じであっても、例えば図9に示す通り、第一基板マーク73とは形状が異なるように第二基板マーク74aを形成することで視覚的に異なる形態としてもよい。なお、図9では、第一基板マーク73を円形状、第二基板マーク74aを四角形状としているが、外形で両者を視覚的に判別できるのであればこれら以外の形状を適用することはもちろん可能である。また、同形状であってもサイズの違いにより視覚的に判別可能とすることも可能である。
1 面光源装置
2 液晶表示パネル(表示パネル)
3 ケース
4 導光板
6 透明基板(基板)
7 透明基板
25 駆動回路
25a 第一の駆動回路
25b 第二の駆動回路
61 張出部
70 駆動回路搭載領域
71 出力バンプ用端子
72 入力バンプ用端子
73 第一基板マーク(第一基板側位置合わせマーク)
74 第二基板マーク(第二基板側位置合わせマーク)
100 表示装置
251 出力バンプ
252 入力バンプ
253 駆動回路本体
254a 第一駆動回路マーク(第一駆動回路側位置合わせマーク)
254b 第二駆動回路マーク(第二駆動回路側位置合わせマーク)
606 トランジスタ
731 遮光層
741 遮光層

Claims (3)

  1. 一方の面に駆動回路搭載領域を有し、前記駆動回路搭載領域に第一の駆動回路と第二の駆動回路とが排他的に搭載される基板であって、
    前記一方の面における前記駆動回路搭載領域の外側に配置され、且つ前記第一の駆動回路に形成された第一駆動回路側位置合わせマークと位置合わせされる第一基板側位置合わせマークと、
    前記一方の面における前記駆動回路搭載領域の外側であって前記第一基板側位置合わせマークとは異なる位置に配置され、且つ前記第二の駆動回路に形成された第二駆動回路側位置合わせマークと位置合わせされる第二基板側位置合わせマークと、を有し、
    前記第一基板側位置合わせマークと、前記第二基板側位置合わせマークとが、同形状であって、光透過率若しくは反射率を異ならせることで視覚的に異なる形態とされ、
    前記第一基板側位置合わせマーク及び前記第二基板側位置合わせマークのうち、一方の基板側位置合わせマークは、前記基板の前記一方の面上に形成された遮光層を、所定の形状を有する所定の第一領域の内部全体に亘って前記遮光層が残存するようにエッチングすることにより形成され、
    他方の基板側位置合わせマークは、前記所定の形状を有する所定の第二領域の内部全体に亘って前記遮光層が除去され、且つ前記第二領域と隣接する周囲領域全体に前記遮光層が残存するように、前記遮光層をエッチングすることにより形成されていることを特徴とする基板。
  2. 請求項に記載の基板において、
    前記駆動回路搭載領域に前記第一の駆動回路が搭載された状態で、前記第一基板側位置合わせマークに対して前記第一駆動回路側位置合わせマークが配置される方向と、前記駆動回路搭載領域に前記第二の駆動回路が搭載された状態において、前記第二基板側位置合わせマークに対して前記第二駆動回路側位置合わせマークが配置される方向とが、前記第一の駆動回路及び前記第二の駆動回路を位置合わせする際の当該駆動回路又は前記基板の移動軸のうち一つとそれぞれ平行であることを特徴とする基板。
  3. 請求項1または2に記載の基板を有する表示パネルと、
    前記基板の前記駆動回路搭載領域に搭載された前記第一の駆動回路若しくは前記第二の駆動回路と、を備えることを特徴とする表示装置。
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