JP5448392B2 - センサー用窓部材およびそれを用いたセンサー用パッケージならびにセンサー装置 - Google Patents
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Description
本発明は上記問題点に鑑み案出されたもので、その目的は、ノイズを受信し難い高性能で安価なセンサー装置を提供することにある。
1a:凹部
2:センサー用窓部材
2a:窓板
3:センサー素子
6:フランジ
6b:突出部
6c:金属枠体
7:窓接合材
8:ゲッター膜
10:金属枠体接合材
Claims (7)
- シリコン単結晶またはゲルマニウム単結晶から成る窓板と、該窓板の外周部に一主面が接合されたフランジとを具備し、該フランジは、他方の主面にゲッター膜が形成されているとともに、該ゲッター膜は複数に分割されたパターン状に配置され、前記ゲッター膜の周囲にセンサー用窓部材接合材による接合部を有していることを特徴とするセンサー用窓部材。
- 前記フランジの前記窓板との接合部には前記一主面から突出した突出部が設けられており、該突出部の先端に前記窓板が接合されていることを特徴とする請求項1に記載のセンサー用窓部材。
- 前記フランジは、鉄−ニッケル−コバルト合金から成ることを特徴とする請求項1または2記載のセンサー用窓部材。
- 上面にセンサー素子を収容するための凹部が形成された基体と、該基体の前記凹部を塞ぐための請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のセンサー用窓部材と、該センサー用窓部材を前記基体に接合しているセンサー用窓部材接合材とを具備することを特徴とするセンサー用パッケージ。
- 前記基体は、セラミックスから成ることを特徴とする請求項4に記載のセンサー用パッケージ。
- 請求項4または請求項5記載のセンサー用パッケージと、前記凹部に載置固定され、前記センサー用窓部材によって封止されたセンサー素子とを具備するセンサー装置。
- 前記センサー素子は、赤外線受光素子であることを特徴とする請求項6記載のセンサー装置。
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