JP5444246B2 - マルチチャック走査ステージ - Google Patents
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Description
・適用例1
ステージと、
前記ステージ上に装着された第1及び第2のチャックであって、第1及び第2の基板を保持する前記第1及び第2のチャックと、
前記ステージに隣接して配置され、前記第1及び第2の基板を処理する少なくとも1つの基板処理ヘッドと、を有する基板処理システムであって、
前記ステージ及び基板処理ヘッドは、前記基板処理ヘッドが第1及び第2の基板の双方を処理するのに充分な距離に亘って相対移動するように構成されている基板処理システム。
・適用例2
適用例1に記載の基板処理システムであって、
前記第1及び第2のチャックは垂直軸に対し互いに独立して移動する、基板処理システム。
・適用例3
適用例2に記載の基板処理システムであって、
前記第1及び第2のチャックは前記垂直軸に対して傾斜する、基板処理システム。
・適用例4
適用例1に記載の基板処理システムであって、
前記ステージ又は基板処理ヘッドは垂直軸に対し移動する、基板処理システム。
・適用例5
適用例1に記載の基板処理システムであって、
前記第1及び第2のチャックの1つ以上は独立して回転軸を中心に回転する、基板処理システム。
・適用例6
適用例1に記載の基板処理システムであって、更に、
前記ステージを1つ以上の走査軸に沿って前記基板処理ヘッドに対して移動させる移動機構を有する、基板処理システム。
・適用例7
適用例1に記載の基板処理システムであって、更に、
前記ステージと前記基板処理ヘッドとの少なくとも一方を互いに移動させる移動機構を有する、基板処理システム。
・適用例8
適用例6に記載の基板処理システムであって、
前記基板処理ヘッドは光ヘッドである、基板処理システム。
・適用例9
適用例8に記載の基板処理システムであって、更に、
前記光ヘッドに動作的に結合された焦点調節機構を有し、
前記焦点調節機構は、走査中に第1又は第2のウエハに対する前記光ヘッドのピントを調節する、基板処理システム。
・適用例10
適用例9に記載の基板処理システムであって、更に、
前記焦点調整機構及び前記移動機構に動作的に結合されたコントローラを有し、
前記コントローラは、前記焦点調整機構からの信号に応答して、前記光ヘッドの光軸に対し平行な方向で前記ステージ及び前記光ヘッドの双方又は何れか一方の移動を制御する、基板処理システム。
・適用例11
適用例1に記載の基板処理システムであって、
前記第1のチャック及び前記第2のチャックの少なくとも一方は、これら第1のチャック及び第2のチャックの他方とは独立して、これら第1のチャック及び第2のチャック上の基板の配置におけるオフセットを補償するのに充分な距離に亘ってステージに対し移動するように構成されている、基板処理システム。
・適用例12
適用例1に記載の基板処理システムであって、更に、
前記第1及び第2の基板をロード及びアンロードするように構成された少なくとも1つのロボットを有する、基板処理システム。
・適用例13
適用例12に記載の基板処理システムであって、
前記少なくとも1つのロボットは第1のロボットと第2のロボットとを有し、
前記第1のロボット及び第2のロボットは、前記第1のチャック及び第2のチャック上の基板を同時にロード及びアンロードするように構成されている、基板処理システム。
・適用例14
適用例1に記載の基板処理システムであって、
前記ステージは前記基板処理ヘッドに対して移動するように構成されている、基板処理システム。
・適用例15
適用例1に記載の基板処理システムであって、
前記基板処理ヘッドは前記ステージに対して移動するように構成されている、基板処理システム。
・適用例16
適用例1に記載の基板処理システムであって、
前記基板処理ヘッド及びステージは、相対移動するように構成されている、基板処理システム。
・適用例17
適用例16に記載の基板処理システムであって、
前記ステージは、前記基板処理ヘッドが前記第1及び第2の基板にまたがるように走査するのに充分な第1の距離に亘って、第1の軸に沿う第1の方向で前記基板処理ヘッドに対し移動し、前記第1の方向に対し平行でない方向に沿って第2の距離に亘って前記基板処理ヘッドに対し移動し、前記第1の方向とは反対の第3の方向で、前記基板処理ヘッドが前記第1及び第2の基板にまたがって走査するのに充分な第3の距離に亘って前記基板処理ヘッドに対し移動するように構成されている、基板処理システム。
・適用例18
適用例1に記載の基板処理システムであって、
前記少なくとも1つの基板処理ヘッドは2つ以上の基板処理ヘッドを有している、基板処理システム。
Claims (25)
- ステージと、
前記ステージ上に同時に存在するように装着された第1及び第2のチャックであって、第1及び第2の基板を保持する前記第1及び第2のチャックと、
前記ステージに隣接して配置され、前記第1及び第2の基板を処理する少なくとも1つの基板処理ヘッドと、を有する基板処理システムであって、
前記ステージ及び基板処理ヘッドは、前記基板処理ヘッドが第1及び第2の基板の双方を処理するのに充分な距離に亘って相対移動するように構成されている基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムであって、
前記第1及び第2のチャックは垂直軸に対し互いに独立して移動する、基板処理システム。 - 請求項2に記載の基板処理システムであって、
前記第1及び第2のチャックは前記垂直軸に対して傾斜する、基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムであって、
前記ステージ又は基板処理ヘッドは垂直軸に対し移動する、基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムであって、
前記第1及び第2のチャックの1つ以上は独立して回転軸を中心に回転する、基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムであって、更に、
前記ステージを1つ以上の走査軸に沿って前記基板処理ヘッドに対して移動させる移動機構を有する、基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムであって、更に、
前記ステージと前記基板処理ヘッドとの少なくとも一方を互いに移動させる移動機構を有する、基板処理システム。 - 請求項6に記載の基板処理システムであって、
前記基板処理ヘッドは光ヘッドである、基板処理システム。 - 請求項8に記載の基板処理システムであって、更に、
前記光ヘッドに動作的に結合された焦点調節機構を有し、
前記焦点調節機構は、走査中に第1又は第2のウエハに対する前記光ヘッドのピントを調節する、基板処理システム。 - 請求項9に記載の基板処理システムであって、更に、
前記焦点調整機構及び前記移動機構に動作的に結合されたコントローラを有し、
前記コントローラは、前記焦点調整機構からの信号に応答して、前記光ヘッドの光軸に対し平行な方向で前記ステージ及び前記光ヘッドの双方又は何れか一方の移動を制御する、基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムであって、
前記第1のチャック及び前記第2のチャックの少なくとも一方は、これら第1のチャック及び第2のチャックの他方とは独立して、これら第1のチャック及び第2のチャック上の基板の配置におけるオフセットを補償するのに充分な距離に亘ってステージに対し移動するように構成されている、基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムであって、更に、
前記第1及び第2の基板をロード及びアンロードするように構成された少なくとも1つのロボットを有する、基板処理システム。 - 請求項12に記載の基板処理システムであって、
前記少なくとも1つのロボットは第1のロボットと第2のロボットとを有し、
前記第1のロボット及び第2のロボットは、前記第1のチャック及び第2のチャック上の基板を同時にロード及びアンロードするように構成されている、基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムであって、
前記ステージは前記基板処理ヘッドに対して移動するように構成されている、基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムであって、
前記基板処理ヘッドは前記ステージに対して移動するように構成されている、基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムであって、
前記基板処理ヘッド及びステージは、相対移動するように構成されている、基板処理システム。 - 請求項16に記載の基板処理システムであって、
前記ステージは、前記基板処理ヘッドが前記第1及び第2の基板にまたがるように走査するのに充分な第1の距離に亘って、第1の軸に沿う第1の方向で前記基板処理ヘッドに対し移動し、前記第1の方向に対し平行でない方向に沿って第2の距離に亘って前記基板処理ヘッドに対し移動し、前記第1の方向とは反対の第3の方向で、前記基板処理ヘッドが前記第1及び第2の基板にまたがって走査するのに充分な第3の距離に亘って前記基板処理ヘッドに対し移動するように構成されている、基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムであって、
前記少なくとも1つの基板処理ヘッドは2つ以上の基板処理ヘッドを有している、基板処理システム。 - ステージに装着された第1及び第2のチャック上に第1の基板及び第2の基板を配置するステップと、
前記ステージ及び単一の処理ヘッドを、前記処理ヘッドが前記第1の基板及び第2の基板の双方にまたがって走査するのに充分な第1の距離に亘って、第1の軸に沿う第1の方向で相対的に移動させるステップと、
前記ステージ及び前記単一の処理ヘッドを、前記第1の方向に対し平行でない方向に沿って、第2の距離に亘って相対的に移動させるステップと、
前記ステージ及び前記単一の処理ヘッドを、前記第1の方向とは反対の第3の方向で、前記処理ヘッドが前記第1の基板及び第2の基板の双方にまたがって走査するのに充分な第3の距離に亘って相対的に移動させるステップと、
前記第1の距離及び前記第3の距離の双方又は何れか一方に沿う1つ以上の位置で前記処理ヘッドにより前記第1の基板及び第2の基板を処理するステップと、
を有する、基板処理方法。 - 請求項19に記載の基板処理方法であって、更に、
前記第1のチャック又は第2のチャックを垂直方向で前記処理ヘッドに対して移動させるステップを有する、基板処理方法。 - 請求項20に記載の基板処理方法であって、
前記第1のチャック又は第2のチャックを垂直方向で前記処理ヘッドに対して移動させる前記ステップは、前記第1のチャック及び第2のチャックの一方を、前記第1のチャック及び第2のチャックの他方とは独立して垂直に移動させるステップを有する、基板処理方法。 - 請求項19に記載の基板処理方法であって、
前記第2の距離は前記処理ヘッドの視野の幅よりも短いか又はこの視野に等しい、基板処理方法。 - 請求項19に記載の基板処理方法であって、
前記ステージ及び前記単一の処理ヘッドを相対的に移動させる前記ステップは、前記処理ヘッドを固定に保持して前記ステージを移動させるステップを有する、基板処理方法。 - 請求項19に記載の基板処理方法であって、
前記ステージ及び前記単一の処理ヘッドを相対的に移動させる前記ステップは、前記ステージを固定に保持して前記処理ヘッドを移動させるステップを有する、基板処理方法。 - 請求項19に記載の基板処理方法であって、
前記ステージ及び前記単一の処理ヘッドを相対的に移動させる前記ステップは、前記処理ヘッド及び前記ステージの双方を相対的に移動させるステップを有する、基板処理方法。
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