JP5433308B2 - 計測装置、及び計測方法 - Google Patents
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Description
102,202,304,404 基準面
103,206,302,402,601,813 プリズム
104,116,121,204,605,808,809 レーザ光
105,108,114,117,208,305,405,502,603 基板
106,209,604,614 蛍光体
107,210,306,406,505 プリズムユニット
111,207,303,407,602,612 カップリング剤
112,131,203 対物レンズの光軸
115 基板とプリズムの間隔
205 レーザ光と対物レンズの光軸との交点
702 領域
703 反応チャンバー
704 流路
705 温調ユニット
706 分注ユニット
707 バルブ
708 廃液タンク
801 カバープレート
802 検出窓
803 注入口
804 排出口
805 核酸分析デバイス
806 YAGレーザ光源(波長532nm,出力20mW)
807 YAGレーザ光源(波長355nm,出力20mW)
810 λ/4板
811 ダイクロイックミラー
812 レンズ
815 光学フィルタ
816 結像レンズ
817 2次元CCDカメラ
Claims (18)
- 試料を保持できる基板と、プリズムと、光源と、検出器と、を備え、前記プリズムを介して前記光源からの光を前記基板に照射し、試料が保持された基板表面において全反射させ、当該全反射照明により生じた光を前記検出器により検出する計測装置において、 計測装置に設けられた基準面に前記全反射照明される位置である前記基板表面を押し当てて前記基板が固定されており、
前記基準面は、前記光源からの光路と前記検出器により検出する光軸の交点を含む面であることを特徴とする計測装置。 - 請求項1記載の計測装置において、
前記プリズムを前記基板に押し付けることを特徴とする計測装置。 - 請求項1記載の計測装置において、
液体のカップリング剤を介して前記プリズムを前記基板に押し付けることを特徴とする計測装置。 - 請求項1記載の計測装置において、
弾性体の復元力を用いて前記プリズムを前記基板に押し付けることを特徴とする計測装置。 - 請求項1記載の計測装置において、
スペーサを介して前記プリズムを前記基板に押し付けることを特徴とする計測装置。 - 請求項1記載の計測装置において、
固体のカップリング剤を介して前記プリズムを前記基板に押し付けることを特徴とする計測装置。 - 試料を保持できる基板と、プリズムと、光源と、検出器と、を備え、前記プリズムを介して前記光源からの光を前記基板に照射し、試料が保持された基板表面において全反射させ、当該全反射照明により生じた光を前記検出器により検出する計測装置において、
前記検出器に対して所定の位置関係を保つ基準面と、
当該基準面に、前記全反射照明される位置である前記基板表面を押し当てる基板固定器具と、を備え、
前記基準面は、前記光源からの光路と前記検出器により検出する光軸の交点を含む面であることを特徴とする計測装置。 - 請求項7記載の計測装置において、
前記基板固定器具が、前記プリズムを前記基板に押し付けることを特徴とする計測装置。 - 請求項7記載の計測装置において、
前記プリズムと前記基板の間に液体のカップリング剤が存在することを特徴とする計測装置。 - 請求項7記載の計測装置において、
前記基板固定器具が、前記プリズムを前記基板に押し付ける弾性体を含むことを特徴とする計測装置。 - 請求項7記載の計測装置において、
前記プリズムと前記基板の間にスペーサが存在することを特徴とする計測装置。 - 請求項7記載の計測装置において、
前記プリズムと前記基板の間に固体のカップリング剤が存在することを特徴とする計測装置。 - 計測装置に設けられた基準面に、前記全反射照明される位置である基板表面を押し当てて、試料を保持できる基板を計測装置に固定し、
プリズムを介して光源からの光を前記基板に照射し、試料が保持された基板表面において全反射させ、
当該全反射照明により生じた光を検出器により検出する計測方法であって、
前記基準面は、前記光源からの光路と前記検出器により検出する光軸の交点を含む面であることを特徴とする計測方法。 - 請求項13記載の計測方法において、
前記プリズムを前記基板に押し付けることを特徴とする計測方法。 - 請求項13記載の計測方法において、
液体のカップリング剤を介して前記プリズムを前記基板に押し付けることを特徴とする計測方法。 - 請求項13記載の計測方法において、
弾性体の復元力を用いて前記プリズムを前記基板に押し付けることを特徴とする計測方法。 - 請求項13記載の計測方法において、
スペーサを介して前記プリズムを前記基板に押し付けることを特徴とする計測方法。 - 請求項13記載の計測方法において、
固体のカップリング剤を介して前記プリズムを前記基板に押し付けることを特徴とする計測方法。
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