JP5422986B2 - Driving device and imaging device - Google Patents
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Description
本発明は、レンズを駆動させる駆動技術に関する。 The present invention relates to a driving technique for driving a lens.
近年、マイクロカメラユニット(Micro Camera Unit:MCU)を搭載することによって、撮影機能が付加された小型の電子機器(例えば携帯電話)が急速に普及している。これに伴い、MCUとして用いられるカメラモジュールは、更なる小型化が望まれている。 2. Description of the Related Art In recent years, small electronic devices (for example, mobile phones) to which a photographing function is added by mounting a micro camera unit (MCU) are rapidly spreading. Accordingly, further miniaturization of the camera module used as the MCU is desired.
従来のカメラモジュールにおいては、レンズを支持するレンズバレルおよびレンズホルダ、赤外線(IR)カットフィルタを支持するホルダ、基板、並びに撮像素子および光学素子からなる積層体を保持する筐体、このような積層体を封止する樹脂などが必要とされている。このため、上記多数の部品の小型化を図り、各部品を精度良く組み合わせてカメラモジュールを作製することは困難となっていた。 In a conventional camera module, a lens barrel and a lens holder that support a lens, a holder that supports an infrared (IR) cut filter, a substrate, and a casing that holds a laminate including an imaging element and an optical element, such a stack Resins that seal the body are required. For this reason, it has been difficult to produce a camera module by miniaturizing a large number of components and combining the components with high accuracy.
このような問題に対して特許文献1では、基板と、多数の撮像素子が形成された半導体シートと、多数の撮像レンズが形成されたレンズアレイシートとを樹脂層を介して貼り付けて積層部材を形成し、当該積層部材をダイシングして、個々のカメラモジュールを完成させる技術が提案されている。 With respect to such a problem, in Patent Document 1, a laminated member in which a substrate, a semiconductor sheet on which a large number of imaging elements are formed, and a lens array sheet on which a large number of imaging lenses are formed are attached via a resin layer. A technique for forming individual camera modules by dicing the laminated member is proposed.
しかし、上記特許文献1に記載の技術では、撮像素子を含む層、およびレンズを含む層等の各機能層がウエハ状態で(ウエハレベルで)積層されて形成されることになるので、カメラモジュールにおいてオートフォーカスまたはズーム等のための、レンズを駆動させる駆動空間が確保されておらず、レンズを駆動させることができない。 However, in the technique described in Patent Document 1, since each functional layer such as a layer including an image sensor and a layer including a lens is formed in a wafer state (at the wafer level), the camera module is formed. In this case, a driving space for driving the lens for autofocus or zooming is not secured, and the lens cannot be driven.
そこで、例えば、レンズとレンズを挟む上下の層との間にレンズの光軸方向に弾性変形可能な弾性部材を含む層をそれぞれ介在させ、当該各弾性部材でレンズとレンズを挟む上下の層とをそれぞれ接続し、レンズを挟む一方の層を、レンズを挟む他方の層に対して引き離すことによって、レンズの駆動空間を確保してレンズを駆動可能とすることが考えられる。 Therefore, for example, a layer including an elastic member that can be elastically deformed in the optical axis direction of the lens is interposed between the lens and the upper and lower layers that sandwich the lens, and the upper and lower layers that sandwich the lens and the lens with each elastic member. It is conceivable that each lens is connected and one lens layer is separated from the other layer sandwiching the lens to secure the lens driving space and drive the lens.
しかしながら、レンズの駆動空間を確保してレンズを被駆動体として移動可能にすると、落下等による衝突でカメラモジュールに衝撃が加わった場合、駆動空間内においてレンズが移動することになるので、レンズを支持する各弾性部材が破損等する可能性が高くなる。 However, if the lens drive space is secured and the lens can be moved as a driven body, when an impact is applied to the camera module due to a collision caused by dropping or the like, the lens moves in the drive space. There is a high possibility that each elastic member to be supported is damaged.
そこで、本発明は、外力による被駆動体の移動によって、レンズを支持する各弾性部材が破損等する可能性を低減させることが可能な技術を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a technique capable of reducing the possibility that each elastic member supporting a lens is damaged by the movement of a driven body by an external force.
上記の課題を解決するため、請求項1の発明は、撮像装置であって、ウエハレベルで作製されるレンズ部と、前記レンズ部の一主面側に配置される第1固定部と、前記レンズ部の他主面側に配置される第2固定部と、前記レンズ部と前記第1固定部とを前記レンズ部の光軸に沿った駆動方向に関して弾性的に接続する第1弾性部材と、前記レンズ部と前記第2固定部とを前記駆動方向に関して弾性的に接続する第2弾性部材と、前記レンズ部、前記第1弾性部材、および前記第2弾性部材を含む被駆動体を前記駆動方向に駆動する駆動層と、を備え、前記第2固定部は、前記被駆動体を外力が作用しない時に前記駆動方向に直交する平面方向に関して非接触で収納するハウジングであり、前記レンズ部の光軸に垂直な平面における前記レンズ部の断面において、前記光軸から当該断面の外縁までの最長距離が、前記平面における前記光軸から前記ハウジングの内壁までの最短距離より長く、前記被駆動体は、当該被駆動体に外力が作用したときに、前記ハウジングの内壁に当たる。 In order to solve the above-described problem, the invention of claim 1 is an imaging apparatus, wherein a lens unit manufactured at a wafer level, a first fixing unit disposed on one main surface side of the lens unit, and the A second fixing portion disposed on the other main surface side of the lens portion; a first elastic member that elastically connects the lens portion and the first fixing portion with respect to a driving direction along the optical axis of the lens portion ; a second elastic member elastically connecting with respect to the driving direction and the and the lens portion second fixing portion, the lens portion, the first elastic member, and the driven member including the second elastic member and the A driving layer that drives in the driving direction, and the second fixing portion is a housing that stores the driven body in a non-contact manner in a plane direction orthogonal to the driving direction when no external force is applied. The lens in a plane perpendicular to the optical axis of In the cross section, the longest distance from the optical axis to the outer edge of the cross section is longer than the shortest distance from the optical axis to the inner wall of the housing in the plane, and the driven body is subjected to external force on the driven body. When hitting the inner wall of the housing.
また、請求項2の発明は、請求項1の発明に係る撮像装置において、前記レンズ部は、レンズを有する1以上の層によって構成される。 According to a second aspect of the present invention, in the imaging apparatus according to the first aspect of the present invention, the lens unit includes one or more layers having lenses.
また、請求項3の発明は、撮像装置であって、ウエハレベルで作製されるレンズ部と、前記レンズ部の一主面側に配置される第1固定部と、前記レンズ部の他主面側に配置される第2固定部と、前記レンズ部と前記第1固定部とを前記レンズ部の光軸に沿った駆動方向に関して弾性的に接続する第1弾性部材と、前記レンズ部と前記第2固定部とを前記駆動方向に関して弾性的に接続する第2弾性部材と、前記レンズ部、前記第1弾性部材、および前記第2弾性部材を含む被駆動体を前記駆動方向に駆動する駆動層とを備え、前記第2固定部は、前記被駆動体を外力が作用しない時に前記駆動方向に直交する平面方向に関して非接触で収納するハウジングであり、前記レンズ部の光軸に垂直な平面における前記レンズ部の断面形状は、矩形であり、矩形断面の中心から当該矩形断面の外縁までの最長距離が、前記矩形断面の中心から前記ハウジングの内壁までの最短距離より長い。
Further, the invention of
また、請求項4の発明は、撮像装置であって、ウエハレベルで作製されるレンズ部と、前記レンズ部の一主面側に配置される第1固定部と、前記レンズ部の他主面側に配置される第2固定部と、前記レンズ部と前記第1固定部とを前記レンズ部の光軸に沿った駆動方向に関して弾性的に接続する第1弾性部材と、前記レンズ部と前記第2固定部とを前記駆動方向に関して弾性的に接続する第2弾性部材と、前記レンズ部、前記第1弾性部材、および前記第2弾性部材を含む被駆動体を前記駆動方向に駆動する駆動層とを備え、前記第2固定部は、前記被駆動体を外力が作用しない時に前記駆動方向に直交する平面方向に関して非接触で収納するハウジングであり、前記レンズ部の光軸に垂直な平面における前記レンズ部の断面形状は、多角形であり、前記多角形における外接円の半径が、前記外接円の外心から前記ハウジングの内壁までの最短距離より長い。
また、請求項5の発明は、請求項1ないし請求項4のうち、何れか1項記載の撮像装置において、前記駆動層は、形状記憶合金を含む板状部材によって構成される。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an imaging apparatus including a lens unit manufactured at a wafer level, a first fixing unit disposed on one main surface side of the lens unit, and the other main surface of the lens unit. A second fixing portion disposed on the side, a first elastic member that elastically connects the lens portion and the first fixing portion with respect to a driving direction along an optical axis of the lens portion, the lens portion, and the lens portion A second elastic member that elastically connects the second fixed portion with respect to the driving direction; and a drive that drives the driven body including the lens portion, the first elastic member, and the second elastic member in the driving direction. The second fixing portion is a housing that houses the driven body in a non-contact manner in a plane direction orthogonal to the driving direction when no external force is applied, and is a plane perpendicular to the optical axis of the lens unit The lens section in FIG. There, the radius of the circumscribed circle of the polygon is longer than the shortest distance to the outer heart inner wall of the housing of the circumscribed circle.
According to a fifth aspect of the present invention, in the imaging device according to any one of the first to fourth aspects, the drive layer is configured by a plate-like member including a shape memory alloy.
また、請求項6の発明は、駆動装置であって、ウエハレベルで作製されるレンズ部と、前記レンズ部の一主面側に配置される第1固定部と、前記レンズ部の他主面側に配置される第2固定部と、前記レンズ部と前記第1固定部とを前記レンズ部の光軸に沿った駆動方向に関して弾性的に接続する第1弾性部材と、前記レンズ部と前記第2固定部とを前記駆動方向に関して弾性的に接続する第2弾性部材と、前記レンズ部、前記第1弾性部材、および前記第2弾性部材を含む被駆動体を前記駆動方向に駆動する駆動層と、を備え、前記第2固定部は、前記被駆動体を外力が作用しない時に前記駆動方向に直交する平面方向に関して非接触で収納するハウジングであり、前記レンズ部の光軸に垂直な平面における前記レンズ部の断面において、前記光軸から当該断面の外縁までの最長距離が、前記平面における前記光軸から前記ハウジングの内壁までの最短距離より長く、前記被駆動体は、当該被駆動体に外力が作用したときに、前記ハウジングの内壁に当たる。
Further, the invention of claim 6 is a driving device, which is a lens unit manufactured at a wafer level, a first fixing unit disposed on one main surface side of the lens unit, and the other main surface of the lens unit. A second fixing portion disposed on the side, a first elastic member that elastically connects the lens portion and the first fixing portion with respect to a driving direction along an optical axis of the lens portion, the lens portion, and the lens portion A second elastic member that elastically connects the second fixed portion with respect to the driving direction; and a drive that drives the driven body including the lens portion, the first elastic member, and the second elastic member in the driving direction. The second fixing portion is a housing that stores the driven body in a non-contact manner in a plane direction orthogonal to the driving direction when no external force is applied, and is perpendicular to the optical axis of the lens portion. In cross section of the lens part in the plane, The longest distance from the optical axis to the outer edge of the cross section is longer than the shortest distance from the optical axis to the inner wall of the housing in the plane, and when the driven body is subjected to an external force on the driven body, It hits the inner wall of the housing.
請求項1から請求項6に記載の発明によれば、外力による被駆動体の移動を抑制することができるので、外力がレンズを支持する各弾性部材に与える影響を低減させることができる。 According to the first to sixth aspects of the present invention, since the movement of the driven body due to an external force can be suppressed, the influence of the external force on each elastic member that supports the lens can be reduced.
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
<実施形態>
図1は、本発明の実施形態に係るカメラモジュール500Aを搭載した携帯電話機100の概略構成を示す模式図である。なお、図1および図1以降の図では方位関係を明確化するために、XYZの相互に直交する3軸が適宜付されている。
<Embodiment>
FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a
図1に示されるように、携帯電話機100は、折り畳み式の携帯電話機として構成され、第1の筐体200と、第2の筐体300と、ヒンジ部400とを有している。
As shown in FIG. 1, the
第1の筐体200および第2の筐体300は、それぞれ板状の直方体であり、各種電子部材を格納する筐体としての役割を有している。具体的には、第1の筐体200は、カメラモジュール500Aおよび表示ディスプレイ(不図示)を備え、第2の筐体300は、携帯電話機100を電気的に制御する制御部、およびボタン等の操作部材(不図示)を備えている。
Each of the
ヒンジ部400は、第1の筐体200と第2の筐体300とを回動可能に接続している。これにより、携帯電話機100は、折り畳み可能となっている。
The
図2は、携帯電話機100のうち第1の筐体200に着目した断面模式図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the
図2に示されるように、カメラモジュール500Aは、XY断面のサイズが約5mm四方であり、厚さ(Z方向の奥行き)が約3mm程度である小型の撮像装置、所謂マイクロカメラユニット(MCU)として構成されている。
As shown in FIG. 2, the
以下、カメラモジュール500Aの構成、およびその製造工程等について順次説明する。
Hereinafter, the configuration of the
<カメラモジュールの構成>
図3は、カメラモジュール500Aの断面模式図であり、矢印YJ1の示す方向が+Z方向となっている。
<Configuration of camera module>
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the
図3に示されるように、カメラモジュール500Aは、撮影光学系としてのレンズ層(「レンズ部」とも称する)16を駆動する駆動機構KBと、被写体像に関する撮影画像を取得する撮像部PBとを有し、駆動機構KBと撮像部PBとはスペーサSAを介して接続されている。 As shown in FIG. 3, the camera module 500 </ b> A includes a drive mechanism KB that drives a lens layer (also referred to as a “lens unit”) 16 as an imaging optical system, and an imaging unit PB that acquires a captured image related to a subject image. The drive mechanism KB and the imaging unit PB are connected via a spacer SA.
撮像部PBは、例えば、COMSセンサまたはCCDセンサなどの撮像素子111を有する撮像素子層11と、撮像素子ホルダ層12と、赤外(IR)カットフィルタ層13とをこの順序で積層した構成を有している。
The imaging unit PB has a configuration in which, for example, an
撮像部PBとカバー20とで覆われた空間には、いずれもウエハ状態で(ウエハレベルで)作製される、レンズ層16、レンズ層16を保持する第1平行ばね(下層平行ばね)15および第2平行ばね(上層平行ばね)17、並びに駆動部として機能するアクチュエータ層(駆動層)14が格納されている。当該空間に格納される各機能層は互いに協働してレンズ層16を駆動させる駆動機構KBを構成する。
In the space covered with the imaging unit PB and the
具体的には、カメラモジュール500Aでは、カバー20および撮像部PBは、レンズ層16に対する固定部となる。
Specifically, in the camera module 500 </ b> A, the
そして、レンズ層16は、固定部に結合された第1平行ばね15および第2平行ばね17によって支持される。より詳細には、レンズ層16の一主面側(−Z側)における撮像部PBとレンズ層16との間には、第1平行ばね15が介挿され、レンズ層16の他主面側(+Z側)におけるカバー20とレンズ層16との間には、第2平行ばね17が介挿される。
The
非駆動状態(例えば駆動前の静止状態)では、第1平行ばね15と第2平行ばね17とは互いに弾性変形した状態となり、第1平行ばね15の弾性力と第2平行ばね17の弾性力とが釣り合う位置において、レンズ層16は静止する。
In a non-driving state (for example, a stationary state before driving), the first
アクチュエータ層14は、レンズ層16の一主面側から他主面側に向かう方向(+Z方向)に駆動変位を発生させる変位発生部を有し、レンズ層16の一主面側に配置される。変位発生部は、レンズ層16の一主面側に突出した突起部161と接触し、変位発生部で生じる駆動変位は、突起部161を介してレンズ層16に伝達される。
The
以上のように、カメラモジュール500Aでは、レンズ層16が、当該レンズ層16を介して互いに対向する位置に配置された弾性部材と結合され、当該弾性部材は、レンズ層16に垂直な方向(レンズ層16の垂直方向)に互いに弾性変形した状態でレンズ層16を保持する。そして、この状態において、アクチュエータ層14の変位発生部から駆動力がレンズ層16に伝達されると、レンズ層16および各弾性部材は、被駆動体として変位する。
As described above, in the
このように、カメラモジュール500Aに設けられた駆動機構KBは、ウエハレベルで作製されたレンズ層16をレンズ層16の光軸方向に変位させることができ、カメラモジュール500Aを駆動装置として機能させる。
As described above, the driving mechanism KB provided in the
<各機能層について>
以下では、カメラモジュール500Aを構成する各機能層の詳細について説明する。なお、各機能層においては、−Z方向側の面を一主面側の面と称し、+Z方向側の面を他主面側の面と称するものとする。
<About each functional layer>
Below, the detail of each functional layer which comprises
○撮像素子層11:
図3に示されるように、撮像素子層11は、撮影光学系を通過した被写体光を受光して被写体像に関する画像信号を生成する撮像素子111と、その周辺回路、および撮像素子111を囲む外周部を備える部材である。
○ Image sensor layer 11:
As shown in FIG. 3, the
なお、撮像素子層11の一主面(−Z側の面)には、リフロー方式によるはんだ付けを行うためのはんだボールHBが設けられている。また、ここでは図示を省略しているが、撮像素子層11の一主面には、撮像素子111に対する信号の付与、および撮像素子111からの信号の読み出しを行うための配線を接続するための各種端子が設けられている。
Note that a solder ball HB for performing reflow soldering is provided on one main surface (the surface on the −Z side) of the
○撮像素子ホルダ層12:
撮像素子ホルダ層12は、例えば、樹脂などの素材によって形成され、接着剤などによって接合される撮像素子層11を保持する部材である。撮像素子ホルダ層12の略中央には、開口が設けられている。
○ Image sensor holder layer 12:
The imaging
○赤外カットフィルタ層13:
赤外カットフィルタ層13は、透明基板上に屈折率の異なる透明薄膜を多層化して構成される。
○ Infrared cut filter layer 13:
The infrared
具体的には、赤外カットフィルタ層13は、例えば、ガラスまたは透明樹脂で構成される基板の上面に屈折率の異なる多数の透明薄膜をスパッタリングなどで形成したもので、薄膜の厚みおよび屈折率の組合せにより、透過する光の波長帯が制限される。赤外カットフィルタ層13としては、例えば、600nm以上の波長帯の光を遮断するものが採用される。
Specifically, the infrared
○レンズ層16:
レンズ層16は、ガラス基板を基材としてウエハレベルで作製され、レンズを有する1以上の層(「レンズ構成層」とも称する)を重ね合わせて成形される。本実施形態では、3枚のレンズを重ね合わせてレンズ層16が構成される場合について例示する。図4は、レンズ層16の断面模式図であり、矢印YJ2の示す方向が+Z方向となっている。図5は、レンズ層16の下面外観図である。
○ Lens layer 16:
The
図4に示されるように、レンズ層16は、第1レンズG1を有するレンズ構成層LY1と、第2レンズG2を有するレンズ構成層LY2と、第3レンズG3を有するレンズ構成層LY3とを有し、各レンズ構成層LY1〜LY3は、この順序でリブRBを介して結合されている。
As shown in FIG. 4, the
また、図4および図5に示されるように、第1レンズG1を有するレンズ構成層LY1の一主面には、レンズとして機能しない非レンズ部において突起部161が設けられている。
As shown in FIGS. 4 and 5, a
各レンズ構成層LY1〜LY3は、ガラス基板162を基材としていずれも同様の手法にて作製される。図6は、第3レンズG3を有するレンズ構成層LY3の作製の様子を示す図である。
Each of the lens constituent layers LY1 to LY3 is produced by the same method using the
具体的には、図6に示されるように、ガラス基板162の両面それぞれに透明度の高いアクリル系またはエポキシ系の紫外線(UV)硬化樹脂が塗布される。そして、両面から各レンズ(図6では、第3レンズG3)の形状を有する透明のレンズ成型用型163が所定の圧力で押し当てられるとともに紫外線UV1が照射されて、ガラス基板162の各面にポリマーレンズGP1,GP2がそれぞれ成形される。
Specifically, as shown in FIG. 6, a highly transparent acrylic or epoxy ultraviolet (UV) curable resin is applied to both surfaces of the
このようにして作製された各レンズ構成層LY1〜LY3には、2カ所以上の所定の位置に位置合わせのためのアライメントマークが形成されている。各レンズ構成層LY1〜LY3は、リブRBを有するリブ層を各レンズ構成層LY1〜LY3間に挟んで一体のレンズ層16へと組み上げられる。
In each of the lens constituent layers LY1 to LY3 thus manufactured, alignment marks for alignment are formed at two or more predetermined positions. The lens constituent layers LY1 to LY3 are assembled into an
具体的には、各レンズ構成層LY1〜LY3およびリブ層は、マスクアライナー等を用いてそれぞれのアライメントマークを確認しながら、基板形状のままアライメントされ接合される。接合方法としては、各レンズ構成層LY1〜LY3に接合させるリブ層の表面にUV硬化層を設け、紫外線を照射することで接合する手法、或いは、リブ層の表面に不活性ガスのプラズマを照射し、リブ層の表面を活性化したまま張り合わせて接合する手法(表面活性化接合法)が採用される。 Specifically, the lens constituent layers LY1 to LY3 and the rib layer are aligned and bonded in the shape of the substrate while confirming the respective alignment marks using a mask aligner or the like. As a bonding method, a UV cured layer is provided on the surface of the rib layer to be bonded to each of the lens constituent layers LY1 to LY3, and a method of bonding by irradiating ultraviolet rays, or irradiation of an inert gas plasma on the surface of the rib layer is performed. Then, a technique (surface activated bonding method) is employed in which the surfaces of the rib layers are bonded together while being activated.
なお、カメラモジュール500Aに絞りを形成する場合は、第2レンズG2を有する層にシャドウマスクを施した上で遮光材料薄膜を形成する手法、或いは別途黒色に色づけされた樹脂材料などで絞りレイヤーを構成する手法等が用いられる。
When forming a diaphragm on the
○第1平行ばね15:
図7は、第1平行ばね15の上面外観図である。図8は、レンズ層16に装着された第1平行ばね15を示す図である。
○ First parallel spring 15:
FIG. 7 is a top external view of the first
図7に示されるように、第1平行ばね15は、固定枠体151と、弾性部152とを有する弾性部材であり、カメラモジュール500Aにおいてばね機構を形成する層(弾性層)となる。
As shown in FIG. 7, the first
固定枠体151は、第1平行ばね15の外周部を構成し、隣接するアクチュエータ層14(詳細には、アクチュエータ層14の枠体142(後述))に接合される。
The fixed
弾性部152は、弾性変形可能な板状部材EBで構成され、板状部材EBの接続部PG1において固定枠体151に接続されている。また、弾性部152は、板状部材EBの接合部PG2においてレンズ層16に接合される。すなわち、第1平行ばね15は、固定枠体151においてアクチュエータ層14と接合され、弾性部152に設けられた接合部PG2においてレンズ層16と接合される。
The
そして、レンズ層16が+Z方向に移動され、レンズ層16とアクチュエータ層14とが引き離されると、接続部PG1と接合部PG2とがZ方向において位置ずれすることになり、接続部PG1と接合部PG2とを繋ぐ板状部材EBは曲げ変形(たわみ変形)を生じ湾曲する。このように第1平行ばね15は、レンズ層16とアクチュエータ層14とが引き離された状態において板状部材EBに弾性変形が生じたばね機構として機能する。
When the
なお、第1平行ばね15は、SUS系の金属材料またはりん青銅などを用いて作製される。例えば、SUS系の金属材料で第1平行ばね15を作製する場合は、フォトリソグラフィで平行ばねの形状を金属材料上にパターンニングし、塩化鉄系のエッチング液に浸してウエットエッチングを行うことによって、平行ばねのパターンが形成される。
The first
○アクチュエータ層14:
アクチュエータ層14は、金属またはシリコン(Si)等の基板上に、駆動力を発生させる変位素子(「アクチュエータ素子」とも称する)143を設けた薄板状の部材である。図9は、アクチュエータ層14の上面図であり、図10は、アクチュエータ層の側面図である。
○ Actuator layer 14:
The
具体的には、図9に示されるように、アクチュエータ層14は、外周部を構成する枠体142と、枠体142の内側の中空部分に対して当該枠体142から延伸された2枚の板状の梁部141とを備えている。そして、梁部141の他主面側には、薄膜状のアクチュエータ素子143が設けられ、梁部141とアクチュエータ素子143とは、いずれか一方の変形に応じて他方が追随して変形する関係となっている。例えば、梁部141が薄膜アクチュエータとして機能する際には、アクチュエータ素子143の変形に応じて梁部141が変形する。
Specifically, as shown in FIG. 9, the
アクチュエータ素子143としては、例えば、形状記憶合金(SMA)を含む部材が用いられる。この場合、基板上にSiO2などの絶縁層、金属のヒータ層、およびSMA層をスパッタリング法などを用いて形成した後に、記憶させたい形状の型に梁部141をセットし、所定温度(例えば、600℃)程度で加熱する処理(形状記憶処理)が施される。
As the
SMAは、加熱等されて所定の温度に達すると、予め記憶されている所定の縮み形状(「記憶形状」とも称する)に復元するという特性を有している。このため、ヒータ層への通電によってSMAが加熱されると、SMAは、記憶形状に縮み変形し、梁部141の自由端(延伸端)FTが+Z方向に移動する(図10参照)。すなわち、梁部141の自由端FT側が、変位発生部として機能する。
The SMA has a characteristic that when it reaches a predetermined temperature by heating or the like, it is restored to a predetermined contracted shape (also referred to as “memory shape”) stored in advance. For this reason, when the SMA is heated by energizing the heater layer, the SMA contracts and deforms into a memorized shape, and the free end (extended end) FT of the
なお、ヒータ層への通電は、撮像素子層11の電極に接続された配線144(図9中の破線)により行われるが、当該電極からヒータ層への導電は、アクチュエータ層14、赤外カットフィルタ層13、および撮像素子ホルダ層12の側面に貼り付けられた薄型の導電部材(不図示)を介して行えばよい。
The heater layer is energized by the wiring 144 (broken line in FIG. 9) connected to the electrode of the
また、アクチュエータ素子143を、絶縁層とSMA層とによって構成して、SMAに直接通電させるようにしてもよい。この場合、SMAへの通電によって発生するジュール熱により、SMAは自己加熱されて所定の縮み形状に変形する。
Further, the
アクチュエータ層14の枠体142は、第1平行ばね15の固定枠体151(図8参照)と接合される。接合された状態では、各梁部141は自由端FT側において突起部161とそれぞれ接することになり、各梁部141の自由端FTにおいて発生する変位が、各突起部161を介してレンズ層16に伝えられる。このように、梁部141は、レンズ層16に変位を伝達する作用部として機能する。
The
なお、梁部141の自由端FT側で発生する変位量は、SMAの加熱温度に応じて異なり、ヒータ層への通電量を制御することによって変位量を調整することができる。
Note that the amount of displacement generated on the free end FT side of the
また、SMAの変形にともなってヒータ層も変形することになるが、当該ヒータ層の変形に応じてヒータ層の電気抵抗値も変化する。このため、アクチュエータ素子143を駆動するために設けられたドライバICでヒータ層の電流抵抗値をモニタリングして変位量を制御してもよい。
In addition, the heater layer is also deformed with the deformation of the SMA, but the electric resistance value of the heater layer is also changed according to the deformation of the heater layer. For this reason, the amount of displacement may be controlled by monitoring the current resistance value of the heater layer with a driver IC provided to drive the
○第2平行ばね17:
図7に示されるように、第2平行ばね17は、第1平行ばね15と同様の構成および機能を有する弾性部材であり、固定枠体171と弾性部172とを備えている。
○ Second parallel spring 17:
As shown in FIG. 7, the second
第2平行ばね17の固定枠体171は、カバー20と接合され、弾性部172に設けられた接合部PG2は、レンズ層16の他主面と接合される。
The fixed
この状態において、レンズ層16とカバー20とが引き離されると、板状部材EBにおいて弾性変形が発生し、第2平行ばね17は、ばね機構として機能する。
In this state, when the
○カバー20
カバー20は、樹脂材料を素材として、型を用いたプレス加工によって成形される。カバー20は、被駆動体としての第1平行ばね15、第2平行ばね17、およびレンズ層16を収納し保護するハウジングとして機能するとともに、被駆動体に対する固定部となる。
○
The
なお、カバー20は、樹脂材料のプレス加工によって格子状に多数成形された後、一つ一つのカメラモジュール500A用にダイシングされる。
In addition, the
<レンズ層16とカバー20との関係>
カメラモジュール500Aでは、通常、レンズ層16とハウジングとして機能するカバー20の内壁とは、空間的に離れていて非接触な状態であるが、外力の影響によりレンズ層16が移動した場合は、レンズ層16がカバー20の内壁に当たる(衝突する)ように構成される。
<Relationship Between
In the
これによれば、例えば、カメラモジュール500Aに予期せぬ衝撃が与えられた場合でも、衝撃による外力がレンズ層16を支持する第1平行ばね15および第2平行ばね17に与える影響を低減させることができる。
According to this, for example, even when an unexpected impact is given to the
具体的には、図11〜図14を参照して説明する。図11、図13および図14は、レンズ層16の積層方向に平行な平面におけるカメラモジュール500Aの断面図である。図12は、外力によりレンズ層16が移動する様子を示す図である。
Specifically, this will be described with reference to FIGS. 11, 13, and 14 are cross-sectional views of the camera module 500 </ b> A on a plane parallel to the stacking direction of the
図11に示されるように、本実施形態では、レンズ層16の積層方向に垂直(単に、「レンズ層16に平行」とも表現する)な平面におけるレンズ層16の断面形状は、正方形を含む矩形状である。また、レンズ層16に平行な平面におけるカバー20の内壁NKも、矩形状に形成されている。そして、第1平行ばね15、第2平行ばね17、およびレンズ層16を含む被駆動体に外力が作用し被駆動体が移動すると、被駆動体(ここでは、レンズ層16)は、カバー20の内壁NKと接触するように構成される。
As shown in FIG. 11, in this embodiment, the cross-sectional shape of the
例えば、図12に示されるように、外力の影響を受けてレンズ層16が矢印YAで示す方向に回転すると、レンズ層16の各角KP1〜KP4は、カバー20の内壁NKと接触する。このようにレンズ層16が、固定部として機能するカバー20の内壁NKと接触すると、外力による被駆動体の移動が制限(抑制)されるので、外力がレンズ層16を支持する各弾性部材に与える影響を低減させることができる。これによれば、外力によるレンズ層16の移動によってレンズ層16を保持する第1平行ばね15および第2平行ばね17に塑性変形または破損等が発生するのを防止することができる。
For example, as shown in FIG. 12, when the
外力によってレンズ層16が移動した場合に、レンズ層16をカバー20の内壁NKに接触させるために、レンズ層16とカバー20とは次のような関係を有して構成される。
In order to bring the
具体的には、図13に示されるように、レンズ層16の積層方向に垂直な平面におけるレンズ層16の断面(「矩形断面」とも称する)ML1の中心(中心点)CPから矩形断面ML1を規定する外縁GF1までの最長距離(図13の両矢印LD1で表される距離)が、矩形断面ML1の中心CPからカバー20の内壁NKまでの最短距離(図13の両矢印SD1で表される距離)より長くなるようにレンズ層16とカバー20とは構成される。
Specifically, as shown in FIG. 13, a rectangular cross section ML1 is formed from the center (center point) CP of the cross section (also referred to as “rectangular cross section”) ML1 of the
なお、レンズ層16の断面ML1の中心点CPは、断面ML1が示す図形を点対称とする対称点であるとも表現される。
Note that the center point CP of the cross section ML1 of the
また、矩形断面ML1の中心CPの代わりにレンズの光軸LJ1を用いて、レンズ層16とカバー20との関係を表現することもできる。すなわち、レンズ層16とカバー20とは、レンズ層16の光軸LJ1に垂直な平面におけるレンズ層16の断面において、光軸LJ1から当該断面の外縁GF1までの最長距離(両矢印LD1)が、平面における光軸LJ1からカバー20の内壁NKまでの最短距離(両矢印SD1)より長くなるように構成される。なお、図13では、矩形断面ML1における光軸LJ1の位置と矩形断面ML1の中心CPとは一致している。
Further, the relationship between the
また、このようなレンズ層16とカバー20との関係は、レンズ層16の積層方向に垂直な平面におけるレンズ層16の断面ML1において、当該断面ML1の各頂点TP1〜TP4を通る外接円EG1(図14参照)を用いても表現することができる。
Further, such a relationship between the
すなわち、レンズ層16の断面形状が外接円EG1を有する多角形であった場合、当該外接円EG1の半径ED1が、外接円EG1の外心LP1からカバー20の内壁NKまでの最短距離(図14の両矢印SD1で表される距離)より長くなるようにレンズ層16とカバー20とは構成される。
That is, when the cross-sectional shape of the
<カメラモジュール500Aの製造工程>
ここで、カメラモジュール500Aの製造工程について詳述する。
<Manufacturing process of
Here, the manufacturing process of the
図15は、カメラモジュール500Aの製造工程を示すフローチャートである。図15に示すように、(工程A)シートの準備(ステップSP1)、(工程B)シートの接合(ステップSP2)、(工程C)ダイシング(ステップSP3)、(工程D)カバー20の取付(ステップSP4)、および(工程E)駆動空間の確保(ステップSP5)が順次に行われて、カメラモジュール500Aが製造される。 以下、各工程について説明する。
FIG. 15 is a flowchart showing a manufacturing process of the
○シートの準備(工程A):
まず、ステップSP1では、カメラモジュール500Aを形成する各機能層に関するシートが、層ごとに形成される。図16は、準備するシートの構成例を示す平面図である。なお、ここでは、円盤状のシートが準備されるものとする。
○ Preparation of sheet (process A):
First, in step SP1, a sheet relating to each functional layer forming the
機能層ごとのシートには、当該機能層に係る部材に相当するチップがマトリクス状に所定配列で多数形成されている。 In the sheet for each functional layer, a large number of chips corresponding to members related to the functional layer are formed in a matrix in a predetermined arrangement.
例えば、図16に示されるように、撮像素子ホルダ層12のシート(撮像素子ホルダシート)HU2には、撮像素子ホルダ層12に相当するチップが所定配列で多数形成される。なお、ここでは、「所定配列」という表現を、多数のチップを所定の方向に所定の間隔で配列した状態を含む意味で用いている。
For example, as shown in FIG. 16, a large number of chips corresponding to the image
当該撮像素子ホルダシートHU2は、例えば、樹脂材料を素材として、金属金型を用いたプレス加工によって作製される。 The imaging element holder sheet HU2 is manufactured by, for example, press working using a metal mold using a resin material as a raw material.
このようにステップSP1では、撮像素子ホルダシートHU2と同様に、撮像素子層11、赤外カットフィルタ層13、アクチュエータ層14、第1平行ばね15、レンズ層16、および第2平行ばね17の各機能層に関するチップを含む各シートHU1,HU3〜HU7がそれぞれ準備される。
As described above, in step SP1, each of the
○シートの接合(工程B):
ステップSP2では、各シートHU1〜HU7が互いに接合される。図17は、準備されたシートHU1〜HU7を順次に積層させて接合する様子を模式的に示す図である。
○ Sheet joining (process B):
In step SP2, the sheets HU1 to HU7 are joined to each other. FIG. 17 is a diagram schematically illustrating a state in which the prepared sheets HU1 to HU7 are sequentially stacked and joined.
具体的には、図17に示されるように、撮像素子シートHU1、撮像素子ホルダシートHU2、赤外カットフィルタシートHU3、アクチュエータシートHU4、第1平行ばねシートHU5、レンズシートHU6、および第2平行ばねシートHU7について、各シートHU1〜HU7に含まれる各チップが互いに積層されるように、シート形状のまま位置合わせ(アライメント)が行われる。そして、各シートHU1〜HU7が接着剤等を用いて接合される。 Specifically, as shown in FIG. 17, the imaging element sheet HU1, the imaging element holder sheet HU2, the infrared cut filter sheet HU3, the actuator sheet HU4, the first parallel spring sheet HU5, the lens sheet HU6, and the second parallel. The spring sheet HU7 is aligned (aligned) with the sheet shape so that the chips included in the sheets HU1 to HU7 are stacked on each other. And each sheet | seat HU1-HU7 is joined using an adhesive agent etc.
○ダイシング(工程C):
次のステップSP3では、7つのシートHU1〜HU7を積層して形成された積層部材が、ダイシングテープ等で保護された後、ダイシング装置によってチップ毎に切り離される。これにより、図18に示されるような積層された7つの層11〜17を有する光学系のユニット(光学ユニット)50が多数生成される。
○ Dicing (Process C):
In the next step SP3, the laminated member formed by laminating the seven sheets HU1 to HU7 is protected by a dicing tape or the like and then separated for each chip by a dicing apparatus. Thereby, a large number of optical system units (optical units) 50 having seven
なお、カバー20取り付け直後の光学ユニット50では、レンズ層16の駆動空間が未だ確保されていない状態であるため、レンズ層16を駆動させることができない。また、カバー20取り付け直後の光学ユニット50では、アクチュエータ層14の梁部141は、梁部141の自由端FT側において突起部161によって−Z方向に押され、湾曲した状態となっている。
In the
○カバー20の取付(工程D):
ステップSP4では、光学ユニット50にカバー20が取り付けられる。図19は、カバー20が取り付けられた光学ユニット50を示す図である。
○ Attaching the cover 20 (process D):
In step SP4, the
具体的には、図19に示されるように、組み立て治具JG1上に光学ユニット50が設置される。そして、光学ユニット50にカバー20が被せられ、第2平行ばね17の固定枠体171とカバー20とが接着剤等によって接合される。
Specifically, as shown in FIG. 19, the
なお、組み立て治具JG1の設置面の傾きは、水平面に対して5分(1/12度)以内であることが好ましい。 The inclination of the installation surface of the assembly jig JG1 is preferably within 5 minutes (1/12 degrees) with respect to the horizontal plane.
○駆動空間の確保(工程E):
ステップSP5では、被駆動体(レンズ層16)の駆動空間が確保される。図20は、レンズ層16の駆動空間を確保する工程を説明するための図である。
○ Secure drive space (Process E):
In step SP5, the drive space of the driven body (lens layer 16) is secured. FIG. 20 is a diagram for explaining a process of securing a driving space for the
具体的には、図20に示されるように、カバー20の上部にカバー押し上げ治具JG2が設置される。カバー押し上げ治具JG2は、カバー20を保持可能な真空チャック部JG3を有している。また、カバー押し上げ治具JG2は、ACサーボモータとピエゾアクチュエータとの組合せによりサブミクロンの押し上げ精度を有している。カバー20は、この機構を用いて、矢印YJ3で示されるように+Z方向に引き上げられる。
Specifically, as shown in FIG. 20, a cover push-up jig JG <b> 2 is installed on the upper part of the
本実施形態では、カバー20は、レンズ層16の駆動分に応じて所定量(例えば200μm)引き上げられる。
In the present embodiment, the
そして、引き上げられたカバー20の下部と光学ユニット50との隙間KGにUV硬化樹脂KJ1が挿入され(図3参照)、紫外線の照射によってUV硬化樹脂KJ1が硬化される。このUV硬化樹脂KJ1の硬化によって、カバー20と撮像部PBとは相対的に固定される。
Then, the UV curable resin KJ1 is inserted into the gap KG between the lower portion of the raised
なお、カバー20を固定する際には、カバー20を引き上げた距離とカバー20の傾きの変化とをモニタリングすることによってカバー20の傾きが抑制される。
When the
このようなカバー20の引き上げによってカバー20と撮像部PBとはレンズ層16の垂直方向に引き離され、第1平行ばね15および第2平行ばね17は、それぞれ弾性変形する。そして、レンズ層16はZ方向に移動可能な状態となる。
As the
このように、ステップSP5では、取り付けられたカバー20が+Z方向に引き上げられ、レンズ層16の駆動空間が確保される。
Thus, in step SP5, the attached
また、突起部161によって−Z方向に押し曲げられていたアクチュエータ層14の梁部141における曲げ変形(図19参照)は、カバー20の引き上げによって緩和される(図20参照)。
Further, the bending deformation (see FIG. 19) in the
UV硬化樹脂KJ1によってカバー20が固定された状態(図3参照)では、梁部141は、突起部161による−Z方向への押し曲げによって若干の曲げ変形を有していることが好ましい。換言すれば、カバー20が固定された状態において、梁部141は、突起部161と接して(当接して)いることが好ましい。
In a state where the
合焦動作などでレンズ層16を駆動する際には、アクチュエータ層14の梁部141が突起部161を+Z方向に押し上げることになるが、例えば、駆動前の静止状態において梁部141と突起部161とが離れていた場合は、駆動の際に梁部141が突起部161に接触するまで所定の時間を要する。すなわち、静止状態において梁部141と突起部161とが離れていた場合は、駆動に際して空振り区間が存在することになる。
When the
しかし、カバー20が固定された状態、すなわち駆動前の静止状態において梁部141と突起部161とが予め接触している場合は、空振り区間が存在しないため、梁部141で発生した駆動変位を無駄なく突起部161に伝えることができる。
However, when the
このように、突起部161は、梁部141で発生した駆動変位を被駆動体であるレンズ層16に効率良く伝える役割を果たしている。
Thus, the
<変形例>
以上、この発明の実施の形態について説明したが、この発明は、上記に説明した内容に限定されるものではない。
<Modification>
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the contents described above.
例えば、上記実施形態では、レンズ層16の積層方向に垂直な平面におけるレンズ層16の断面形状は矩形状であったが、これに限定されない。図21〜図24は、変形例に係るレンズ層16の積層方向に平行な平面における断面図である。
For example, in the above embodiment, the cross-sectional shape of the
具体的には、レンズ層16の積層方向に垂直な平面におけるレンズ層16の断面形状は、図21に示されるような五角形、或いは図22に示されるような六角形であってもよい。
Specifically, the cross-sectional shape of the
例えば、図21に示されるように、レンズ層16Bの断面形状が五角形であった場合、レンズ層16Bの光軸LJ2に垂直な平面におけるレンズ層16Bの断面ML2において、光軸LJ2から当該断面ML2の外縁GF2までの最長距離(両矢印LD2)が、光軸LJ2に垂直な平面における光軸LJ2からカバー20の内壁までの最短距離(両矢印SD2)より長くなるようにレンズ層16Bとカバー20Bとは、構成される。
For example, as shown in FIG. 21, when the cross-sectional shape of the lens layer 16B is a pentagon, the cross-section ML2 from the optical axis LJ2 in the cross-section ML2 of the lens layer 16B in a plane perpendicular to the optical axis LJ2 of the lens layer 16B. The lens layer 16B and the cover 20B so that the longest distance to the outer edge GF2 (double arrow LD2) is longer than the shortest distance (double arrow SD2) from the optical axis LJ2 to the inner wall of the
さらに、図22に示されるように、レンズ層16Cの断面形状が正六角形であった場合、レンズ層16Cの断面形状は外接円EG3を有し、当該外接円EG3の半径ED3が、外接円EG3の外心LP3からカバー20Cの内壁までの最短距離(図22の両矢印SD3で表される距離)より長くなるようにレンズ層16Cとカバー20Cとは構成される。
Further, as shown in FIG. 22, when the cross-sectional shape of the
なお、カバー20の内部空間の形状は、図21および図22に示されるように収納されるレンズ層16B,16Cに応じて変更してもよい。
The shape of the internal space of the
また、レンズ層16の積層方向に垂直な平面におけるレンズ層16の断面は、図23のレンズ層16Dのように、矩形の四隅FS1〜FS4が欠けた形状、或いは図24のレンズ層16Eのように、回転を防止するための突起部VPを含んだ形状であってもよい。
Further, the cross section of the
また、上記実施形態では、カメラモジュール500Aに衝撃が加わった場合、被駆動体のうちレンズ層16がカバー20の内壁NKに当たる構成としていたが、被駆動体に含まれる第1平行ばね15および第2平行ばね17の少なくとも1つがカバー20の内壁NKに当たる構成としてもよい。
In the above embodiment, when an impact is applied to the
また、上記実施形態では、撮像素子層11に設けられた電極からヒータ層への導電を、アクチュエータ層14、赤外カットフィルタ層13、および撮像素子ホルダ層12の側面に設けられた薄型の導電部材(不図示)を介して行っていたが、これに限定されない。図25は、変形例に係るカメラモジュール500Bを示す図である。
In the above embodiment, the conductive property from the electrode provided on the
具体的には、図25に示されるように、カバー20と光学ユニット50との隙間KGを埋める接着剤KJ2に導電性を有する導電接着剤を採用し、当該導電接着剤をアクチュエータ層14、赤外カットフィルタ層13、および撮像素子ホルダ層12の側面に渡って設けるようにしてもよい。これによれば、撮像素子層11の電極からヒータ層への導電を、導電接着剤を介して行うことが可能になる。
Specifically, as shown in FIG. 25, a conductive adhesive having conductivity is adopted as the adhesive KJ2 that fills the gap KG between the
500A,500B カメラモジュール
100 携帯電話機
11 撮像素子層
111 撮像素子
12 撮像素子ホルダ層
13 カットフィルタ層
13 赤外カットフィルタ層
14 アクチュエータ層
15 第1平行ばね
16,16B,16C,16D,16E レンズ層
17 第2平行ばね
20,20B,20C カバー
143 アクチュエータ素子
CP 中心
LJ1,LJ2 光軸
EG1,EG3 外接円
KB 駆動機構
ML1 断面(矩形断面)
NK 内壁
500A,
NK inner wall
Claims (6)
前記レンズ部の一主面側に配置される第1固定部と、
前記レンズ部の他主面側に配置される第2固定部と、
前記レンズ部と前記第1固定部とを前記レンズ部の光軸に沿った駆動方向に関して弾性的に接続する第1弾性部材と、
前記レンズ部と前記第2固定部とを前記駆動方向に関して弾性的に接続する第2弾性部材と、
前記レンズ部、前記第1弾性部材、および前記第2弾性部材を含む被駆動体を前記駆動方向に駆動する駆動層と、
を備え、
前記第2固定部は、前記被駆動体を外力が作用しない時に前記駆動方向に直交する平面方向に関して非接触で収納するハウジングであり、
前記レンズ部の光軸に垂直な平面における前記レンズ部の断面において、前記光軸から当該断面の外縁までの最長距離が、前記平面における前記光軸から前記ハウジングの内壁までの最短距離より長く、
前記被駆動体は、当該被駆動体に外力が作用したときに、前記ハウジングの内壁に当たる撮像装置。 A lens unit fabricated at the wafer level;
A first fixing part disposed on one main surface side of the lens part;
A second fixing portion disposed on the other main surface side of the lens portion;
A first elastic member that elastically connects the lens unit and the first fixing unit with respect to a driving direction along the optical axis of the lens unit ;
A second elastic member elastically connecting the lens portion and the second fixing portion with respect to the driving direction ;
A driving layer for driving a driven body including the lens unit, the first elastic member, and the second elastic member in the driving direction ;
With
The second fixing portion is a housing that stores the driven body in a non-contact manner in a plane direction orthogonal to the driving direction when no external force acts.
In the cross section of the lens portion in a plane perpendicular to the optical axis of the lens portion, the longest distance from the optical axis to the outer edge of the cross section is longer than the shortest distance from the optical axis to the inner wall of the housing in the plane.
The image pickup apparatus in which the driven body hits the inner wall of the housing when an external force is applied to the driven body.
前記レンズ部の一主面側に配置される第1固定部と、
前記レンズ部の他主面側に配置される第2固定部と、
前記レンズ部と前記第1固定部とを前記レンズ部の光軸に沿った駆動方向に関して弾性的に接続する第1弾性部材と、
前記レンズ部と前記第2固定部とを前記駆動方向に関して弾性的に接続する第2弾性部材と、
前記レンズ部、前記第1弾性部材、および前記第2弾性部材を含む被駆動体を前記駆動方向に駆動する駆動層と、
を備え、
前記第2固定部は、前記被駆動体を外力が作用しない時に前記駆動方向に直交する平面方向に関して非接触で収納するハウジングであり、
前記レンズ部の光軸に垂直な平面における前記レンズ部の断面形状は、矩形であり、
矩形断面の中心から当該矩形断面の外縁までの最長距離が、前記矩形断面の中心から前記ハウジングの内壁までの最短距離より長い撮像装置。 A lens unit fabricated at the wafer level;
A first fixing part disposed on one main surface side of the lens part;
A second fixing portion disposed on the other main surface side of the lens portion;
A first elastic member that elastically connects the lens unit and the first fixing unit with respect to a driving direction along the optical axis of the lens unit ;
A second elastic member elastically connecting the lens portion and the second fixing portion with respect to the driving direction ;
A driving layer for driving a driven body including the lens unit, the first elastic member, and the second elastic member in the driving direction ;
With
The second fixing portion is a housing that stores the driven body in a non-contact manner in a plane direction orthogonal to the driving direction when no external force acts.
The cross-sectional shape of the lens part in a plane perpendicular to the optical axis of the lens part is a rectangle,
An imaging apparatus in which a longest distance from the center of the rectangular cross section to an outer edge of the rectangular cross section is longer than a shortest distance from the center of the rectangular cross section to the inner wall of the housing.
前記レンズ部の一主面側に配置される第1固定部と、
前記レンズ部の他主面側に配置される第2固定部と、
前記レンズ部と前記第1固定部とを前記レンズ部の光軸に沿った駆動方向に関して弾性的に接続する第1弾性部材と、
前記レンズ部と前記第2固定部とを前記駆動方向に関して弾性的に接続する第2弾性部材と、
前記レンズ部、前記第1弾性部材、および前記第2弾性部材を含む被駆動体を前記駆動方向に駆動する駆動層と、
を備え、
前記第2固定部は、前記被駆動体を外力が作用しない時に前記駆動方向に直交する平面方向に関して非接触で収納するハウジングであり、
前記レンズ部の光軸に垂直な平面における前記レンズ部の断面形状は、多角形であり、
前記多角形における外接円の半径が、前記外接円の外心から前記ハウジングの内壁までの最短距離より長い撮像装置。 A lens unit fabricated at the wafer level;
A first fixing part disposed on one main surface side of the lens part;
A second fixing portion disposed on the other main surface side of the lens portion;
A first elastic member that elastically connects the lens unit and the first fixing unit with respect to a driving direction along the optical axis of the lens unit ;
A second elastic member elastically connecting the lens portion and the second fixing portion with respect to the driving direction ;
A driving layer for driving a driven body including the lens unit, the first elastic member, and the second elastic member in the driving direction ;
With
The second fixing portion is a housing that stores the driven body in a non-contact manner in a plane direction orthogonal to the driving direction when no external force acts.
The cross-sectional shape of the lens part in a plane perpendicular to the optical axis of the lens part is a polygon,
An imaging apparatus in which a radius of a circumscribed circle in the polygon is longer than a shortest distance from an outer center of the circumscribed circle to an inner wall of the housing.
前記レンズ部の一主面側に配置される第1固定部と、
前記レンズ部の他主面側に配置される第2固定部と、
前記レンズ部と前記第1固定部とを前記レンズ部の光軸に沿った駆動方向に関して弾性的に接続する第1弾性部材と、
前記レンズ部と前記第2固定部とを前記駆動方向に関して弾性的に接続する第2弾性部材と、
前記レンズ部、前記第1弾性部材、および前記第2弾性部材を含む被駆動体を前記駆動方向に駆動する駆動層と、
を備え、
前記第2固定部は、前記被駆動体を外力が作用しない時に前記駆動方向に直交する平面方向に関して非接触で収納するハウジングであり、
前記レンズ部の光軸に垂直な平面における前記レンズ部の断面において、前記光軸から当該断面の外縁までの最長距離が、前記平面における前記光軸から前記ハウジングの内壁までの最短距離より長く、
前記被駆動体は、当該被駆動体に外力が作用したときに、前記ハウジングの内壁に当たる駆動装置。 A lens unit fabricated at the wafer level;
A first fixing part disposed on one main surface side of the lens part;
A second fixing portion disposed on the other main surface side of the lens portion;
A first elastic member that elastically connects the lens unit and the first fixing unit with respect to a driving direction along the optical axis of the lens unit ;
A second elastic member elastically connecting the lens portion and the second fixing portion with respect to the driving direction ;
A driving layer for driving a driven body including the lens unit, the first elastic member, and the second elastic member in the driving direction ;
With
The second fixing portion is a housing that stores the driven body in a non-contact manner in a plane direction orthogonal to the driving direction when no external force acts.
In the cross section of the lens portion in a plane perpendicular to the optical axis of the lens portion, the longest distance from the optical axis to the outer edge of the cross section is longer than the shortest distance from the optical axis to the inner wall of the housing in the plane.
The driven body is a driving device that hits the inner wall of the housing when an external force is applied to the driven body.
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