JP5418359B2 - 分布帰還型半導体レーザ - Google Patents
分布帰還型半導体レーザ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5418359B2 JP5418359B2 JP2010072697A JP2010072697A JP5418359B2 JP 5418359 B2 JP5418359 B2 JP 5418359B2 JP 2010072697 A JP2010072697 A JP 2010072697A JP 2010072697 A JP2010072697 A JP 2010072697A JP 5418359 B2 JP5418359 B2 JP 5418359B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- type cladding
- cladding layer
- phase shift
- metal electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
まず、始めに図1〜図3を参照して、この実施形態のDFBレーザの構造について説明する。
続いて、図2及び図4〜図7を参照して、DFBレーザ10の製造法について説明する。
続いて、DFBレーザ10の動作について説明する。DFBレーザ10は、従来のDFBレーザとほぼ同様に、金属電極20に正電圧及び第2金属電極32に負電圧を印加すると、金属電極20には正孔が、第2金属電極32には電子が注入され、これらは活性層16に向かって移動する。このようにして移動した電子と正孔とは、活性層16の中で再結合し、ほぼ禁制帯幅のエネルギーに相当する波長の光を発生し、誘導放出される。この誘導放出光は、回折格子層18でブラッグ反射されレーザ発振が生じてコヒーレントな光が出力される。
(1)この実施形態では、活性層16にInGaAsPの多重量子井戸構造を用いた場合について例示した。しかし、活性層16として、多重量子井戸構造ではないInGaAsPバルク品を用いてもよい。
10a,10b 端面
12 p型クラッド層
12a p型クラッド層凸部
12b p型クラッド層平坦部
12Z p型クラッド層凸部前駆体
14 n型クラッド層
14a n型クラッド層凸部
14b n型クラッド層平坦部
14c 裏面
16 活性層
18 回折格子層
18a λ/4位相シフト部
20 金属電極
201a 第1直線部
201b 第1櫛歯部
202a 第2直線部
202b 第2櫛歯部
20c 接続部
22 p−InGaAsコンタクト層
24 絶縁膜
26 電流ブロック層
26a p型InPブロック層
26b n型InPブロック層
28 コンタクト電極
30 エッチング保護用SiO2膜
32 第2金属電極
Claims (2)
- p型クラッド層とn型クラッド層との間に、誘導放出光を生成する活性層と、λ/4位相シフト部を備えた回折格子層とを備えていて、
前記p型クラッド層上の前記活性層に対応する位置に、該活性層に電流を注入するための金属電極が、前記誘導放出光の光伝播方向に沿って設けられており、
該金属電極は、
前記光伝播方向に沿って互いに平行に延在するとともに、互いに電気的に接続された第1及び第2直線部と、
前記第1直線部から前記第2直線部に向かって突出し、前記光伝播方向に沿って前記λ/4位相シフト部から離間するにつれて、互いの櫛歯の間隔が徐々に狭まっていく、複数の第1櫛歯部と、
前記第2直線部から、前記第1直線部の順次に隣接する2個の前記第1櫛歯部の間にそれぞれ一本ずつ突出する複数の第2櫛歯部と、
を備えていることを特徴とする分布帰還型半導体レーザ。 - 前記第1及び第2櫛歯部の前記第1及び第2直線部からの突出長さは、前記第1及び第2直線部の間の間隔と等しい長さであることを特徴とする請求項1に記載の分布帰還型半導体レーザ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010072697A JP5418359B2 (ja) | 2010-03-26 | 2010-03-26 | 分布帰還型半導体レーザ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010072697A JP5418359B2 (ja) | 2010-03-26 | 2010-03-26 | 分布帰還型半導体レーザ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011205003A JP2011205003A (ja) | 2011-10-13 |
JP5418359B2 true JP5418359B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=44881325
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010072697A Expired - Fee Related JP5418359B2 (ja) | 2010-03-26 | 2010-03-26 | 分布帰還型半導体レーザ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5418359B2 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62173785A (ja) * | 1986-01-27 | 1987-07-30 | Nec Corp | 半導体レ−ザ |
JP2533355B2 (ja) * | 1988-03-11 | 1996-09-11 | 国際電信電話株式会社 | 分布帰還形半導体レ―ザ装置およびその電流注入方法 |
JP2637763B2 (ja) * | 1988-04-18 | 1997-08-06 | 富士通株式会社 | 半導体レーザ装置 |
JPH0529709A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-02-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 多電極分布帰還型半導体レーザ |
JP3142333B2 (ja) * | 1991-12-17 | 2001-03-07 | 株式会社東芝 | 分布帰還型半導体レ−ザ及びその駆動方法 |
JP3449645B2 (ja) * | 1994-07-29 | 2003-09-22 | 富士通株式会社 | 光機能デバイス及びその駆動方法 |
JP2000068590A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Mitsubishi Electric Corp | 分布帰還型半導体レーザダイオード |
JP2002084033A (ja) * | 2000-09-06 | 2002-03-22 | Nec Corp | 分布帰還型半導体レーザ |
JP4594816B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2010-12-08 | 富士通株式会社 | 波長可変レーザ |
-
2010
- 2010-03-26 JP JP2010072697A patent/JP5418359B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011205003A (ja) | 2011-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4721924B2 (ja) | 光導波路を伝搬する光と回折格子とを結合させた光素子 | |
US7457340B2 (en) | High coherent power, two-dimensional surface-emitting semiconductor diode array laser | |
JP5177285B2 (ja) | 光素子及びその製造方法 | |
US20150244149A1 (en) | Tunable Semiconductor Device And Method For Making Tunable Semiconductor Device | |
JP5182362B2 (ja) | 光素子及びその製造方法 | |
JPH0582889A (ja) | 半導体レーザおよびその製造方法 | |
CA2473396C (en) | High coherent power, two-dimensional surface-emitting semiconductor diode array laser | |
JP2005166998A (ja) | リッジ型分布帰還半導体レーザ | |
JP5287886B2 (ja) | 光導波路を伝搬する光と回折格子とを結合させた光素子 | |
JP5418359B2 (ja) | 分布帰還型半導体レーザ | |
JPWO2018043229A1 (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP2013168513A (ja) | 半導体レーザおよび光半導体装置 | |
JP4615184B2 (ja) | 分布帰還型半導体レーザ素子 | |
JP5163355B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2002043688A (ja) | リッジ型分布帰還半導体レーザ素子 | |
JP2012033975A (ja) | 半導体レーザの作製方法 | |
JP5702262B2 (ja) | 波長可変半導体レーザ | |
JPH0642583B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2003304035A (ja) | 半導体光素子 | |
US20040151224A1 (en) | Distributed feedback semiconductor laser oscillating at longer wavelength mode and its manufacture method | |
JP2008258453A (ja) | 分布帰還型半導体レーザ | |
JP4612448B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2000058961A (ja) | 半導体レーザ | |
JP2008085214A (ja) | 波長可変レーザ | |
JPH1187851A (ja) | 半導体レーザの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130925 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131022 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5418359 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |