JP5417655B2 - 傾き調整方法および傾き調整装置並びにその傾き調整方法において調整されるデバイス - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態として、本発明にかかる傾き調整装置を組み込んだ超音波振動接合装置について図1ないし図8を参照して説明する。なお、図1は本発明の一実施形態における超音波振動接合装置の概略構成図、図2は対象物を搭載する搭載手段の動作を示す概略構成図、図3は搭載手段の斜視図、図4および図5は対象物である基板の概略構成図、図6は対象物を搭載したステージ部およびヘッド部の部分概略構成図、図7は傾き調整の動作手順を示すフローチャート、図8は基準体を搭載したステージ部およびヘッド部の部分概略構成図、図9は基板を搭載したステージ部および基板の平面図である。
本実施形態における接合装置は、図1に示すように、本発明にかかるデバイスが備える対象物を保持するための搭載手段1と、加圧手段2と、装置全体の動作の監視および制御を行う制御装置3とを備えている。
次に、本実施形態におけるデバイスの構成について説明する。本実施形態におけるデバイスは、第1の対象物である基板55および第2の対象物である基板56を備えている。図4に、基板55および基板56の平面図を示す。
次に傾き調整の動作手順について説明する。図7に、傾き調整の動作手順を示すフローチャートを示す。
次に超音波振動による接合動作について説明する。基板同士の傾き調整が終了すると、ヘッド部39が上下駆動機構40によって下降されて接合対象である基板55のパッド60および基板56のパッド65が接触され、所定圧力の加圧下、超音波振動が与えられて接合動作が行われる。
次に、本発明の第2実施形態について、図10を参照して説明する。図10(a)は本実施形態におけるデバイスが備える第1の対象物の平面図、同図(b)は第2の対象物の平面図である。以下に第1実施形態との相違点について説明する。
次に、本発明の第3実施形態について、図11を参照して説明する。図11は本実施形態におけるデバイスが備える第1および第2の対象物の概略構成図であり、以下に、第1実施形態との相違点について説明する。
次に、本発明の第4実施形態について、図12および図13を参照して説明する。図12および図13は本実施形態におけるデバイスが備える第1および第2の対象物の概略構成図であり、以下に、第1実施形態との相違点について説明する。
次に、本発明の第5実施形態について、図14ないし図17を参照して説明する。図14ないし16は本実施形態におけるデバイスが備える第1および第2の対象物の概略構成図であり、以下に、第4実施形態との相違点について説明する。
次に、本発明の第6実施形態について、図18を参照して説明する。図18は本実施形態におけるデバイスが備える第1および第2の対象物の概略構成図であり、以下に、第1実施形態との相違点について説明する。
次に、本発明の第7実施形態について、図19を参照して説明する。図19は本実施形態におけるデバイスが備える第1および第2の対象物の概略構成図である。本発明にかかる傾き調整装置は、対象物同士が非接触である場合に限らず、対象物同士を接触して傾き調整する場合に使用してもよい。その例について、第1実施形態との相違点を示しながら以下に説明する。
次に、本発明の第8実施形態について、図20を参照して説明する。図20は本実施形態におけるデバイスが備える第1および第2の対象物の概略構成図である。本発明にかかる傾き調整装置は、第7実施形態と同様、対象物同士を接触して接触面の歪みを検出し、両対象物の間に作用する荷重から両対象物の相対的な傾きを検出して傾き調整する構成であるが、ラマン分光法により接触面の歪みを検出する点が第7実施形態と異なる。以下に、第7実施形態との相違点を示しながら説明する。
2 加圧手段(第1保持手段、第2保持手段)
3 制御装置(制御手段)
55、70、80、85、95、105、110、115 基板(第1の対象物)
56、71、81、86、96、106、111、116 基板(第2の対象物)
57a、57b、57c、57d、72a、72b 電極(第1検出部)
62a、62b、62c、62d、76a、76b 電極(第2検出部)
67a、67b、67c 電極(第1検出部)
82a、82b、82c 電極(第1検出部)
83a、83b、83c コイル(第2検出部)
87a、87b、87c センサ部(第1検出部)
90a、90b、90c 反射体(第2検出部)
97a、97b、97c、103a、103b、103c ハーフミラー(第1検出部)
98a、98b、98c、104a、104b、104c ミラー(第2検出部)
107a、107b、107c ミリ波受信機(第1検出部)
108a、108b、108c ガンダイオード(第2検出部)
112a、112b、112c バンプ電極(第1検出部)
113a、113b、113c 圧電素子(第2検出部)
117a、117b、117c シリコン素子(第1検出部)
118a、118b、118c 接触部(第2検出部)
Claims (4)
- 互いに接合される板状の第1および第2の対象物同士の対向配置された状態での相対的な傾きを調整する傾き調整方法において、
複数の電極が形成された前記第1の対象物を用意する工程と、
前記第1の対象物に対向配置されたときに該第1の対象物の各電極のいずれかと対向して対を成す電極が複数形成された前記第2の対象物を用意する工程と、
前記第1および第2の対象物の前記各電極それぞれにより複数の電極対を形成するように、前記第1の対象物と前記第2の対象物とを対向配置する工程と、
前記第1および第2の対象物を近接して対向配置した状態で、複数の前記電極対の静電容量を検出することにより、前記各静電容量の値から非接触で対向配置された前記第1および第2の対象物同士の相対的な傾きを検出する検出工程と、
前記第1および第2の対象物の一方を基準としたときの他方の傾きを傾き調整手段によって変更して、前記検出工程で検出した前記第1および第2の対象物同士の相対的な傾きを所定の傾きに調整する傾き調整工程とを含む
ことを特徴とする傾き調整方法。 - 前記第1および第2の対象物のそれぞれに他の回路パターンが形成されており、
前記第1の対象物の各電極は、前記第1の対象物の前記第2の対象物との対向面に前記他の回路パターンとともに同一の金属材料により一緒に形成され、
前記第2の対象物の各電極は、前記第2の対象物の前記第1の対象物との対向面に前記他の回路パターンとともに同一の金属材料により一緒に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の傾き調整方法。 - 互いに接合される板状の第1および第2の対象物同士の対向配置された状態での相対的な傾きを調整する傾き調整装置において、
複数の電極が形成された前記第1の対象物を保持する第1保持手段と、
前記第1の対象物に対向配置されたときに該第1の対象物の各電極のいずれかと対向して対を成す電極が複数形成された前記第2の対象物を保持する第2保持手段と、
前記第1保持手段および前記第2保持手段の少なくともいずれかに配設され、前記第1および第2の対象物の一方を基準としたときの他方の傾きを調整する傾き調整手段と、
前記傾き調整手段を制御して、前記第1および第2の対象物同士の相対的な傾きを所定の傾きに調整する制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記第1および第2の対象物の前記各電極それぞれにより複数の電極対が形成されるように、前記第1保持手段に保持された前記第1の対象物と前記第2保持手段に保持された前記第2の対象物とが近接して対向配置された状態で、複数の前記電極対の静電容量の値から非接触で検出される前記第1および第2の対象物同士の相対的な傾きに基づいて前記調整手段を制御することを特徴とする傾き調整装置。 - 請求項1または2に記載の傾き調整方法において相対的な傾きが調整される前記第1の対象物および前記第2の対象物を備えることを特徴とするデバイス。
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