JP5416887B2 - ディスク装置用サスペンションのクリーニング方法 - Google Patents
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Description
前記レーザ照射装置は、前記レーザビームを所定の発光間隔で前記被クリーニング面に向けて照射し、かつ、その発光間隔を調整可能であるとよい。
図1はクリーニング装置10の一例を示している。このクリーニング装置10によってディスク装置用サスペンションまたはその部品がクリーニングされる。図2はクリーニングされるディスク装置用サスペンション11の一例を示している。
S…単位照射領域
10…クリーニング装置
11…ディスク装置用サスペンション
40…ワーク支持部
41…レーザ照射装置
42…レーザビーム制御手段
43…移動手段
44…パーティクル検査装置
50…レーザビーム
Claims (1)
- 加工されたワークを有するディスク装置用サスペンションをクリーニングするための方法であって、
ステンレス鋼板からなる前記ワークの一部でプレスによる切断加工のための金型が接した切断部分である被クリーニング面に向けて単位照射領域当たりの加熱量が制御されたパルス状のレーザビームを照射するレーザ照射工程を有し、
前記レーザ照射工程では、前記パルス状のレーザビームが照射される領域の温度が、前記ワークの前記切断部分に付着している可能性のある前記ステンレス鋼のパーティクルまたは前記ワークの少なくとも一部が溶融する温度以上でかつパーティクルおよび前記ワークの一部が沸騰しない温度となるように前記レーザビームを前記切断部分の切断面の縁に沿って照射しスキャンさせることにより前記領域をボイドが生じる温度未満に加熱するとともに該領域に存在する前記パーティクルを前記ワークの前記切断部分にボイドによる凝集体が発生しないようワークに溶け込ませることを特徴とするディスク装置用サスペンションのクリーニング方法。
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