JP5406153B2 - ヘッドがディスク面上を飛行するとともにディスク上のトラックを辿る装置 - Google Patents

ヘッドがディスク面上を飛行するとともにディスク上のトラックを辿る装置 Download PDF

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Description

背景
磁気ディスクドライブは、一般に、磁気ディスクにデータを読取るおよび/または書込むために磁気ディスクの所望のトラック上にヘッドを配置するヘッドサスペンションに装着されたヘッドを含む。このような磁気ディスクドライブでは、大きさを小さくしたいという要望、記憶密度を増加させたいという要望、およびコストを下げたいという要望が絶え間なく存在する。大きさを小さくして記憶密度を増加させるために、データを記憶するディスク上のトラックは、より接近させて位置決めされる。トラック密度が高くなると、ヘッドの位置決めがデータの正確な読み書きにとってより重要になる。トラック密度が増加するにつれて、磁気ディスクの所望のトラック上で素早くかつ正確にヘッドを中央に置くようにヘッドサスペンションを制御することが、音声コイルモータおよびサーボ制御システムにとって益々困難になる。
ヘッドの精密な位置決めが不可欠になるにつれて、単一の作動源で正確にヘッドを位置決めすることもより困難になる。したがって、磁気ディスクに対してさらにヘッドを位置決めするために、マイクロアクチュエータが提案されてきた。ヘッドが磁気ディスクの表面を横断するときに、マイクロアクチュエータがヘッドの精密な位置制御を行なう一方、音声コイルモータがヘッドのマクロな位置制御を行なう。作動およびサスペンションシステムのためのより優れた構成が必要である。
概要
一実現例では、今回開示する技術は、ベースプレートの端部へ取付けられたヘッドを有する装置を教示する。ベースプレートは、ベースプレートのねじり軸がヘッド付近を通るようにする傾斜したセクションを含む。
別の実現例では、今回開示する技術は、ベースプレートに取付けられたロードビームを有する装置を教示する。当該装置は、また、ロードビームの、ベースプレートとは反対側の端部に取付けられたヘッドを含む。ベースプレートは、装置のねじり軸がヘッドを通るようにする、質量がシフトしたセクションを含む。
さらに別の実現例では、今回開示する技術は、ベースプレート共振振幅を減少させる方法を教示する。当該方法は、ヘッド付近を通るようにベースプレートねじり軸を移動させるように、サスペンション上のベースプレート質量を隣接するディスク面の方にシフトさせる工程を含む。
本明細書では、他の実現例についても説明し、記載する。
対応するねじり軸を有する例示的な水平なベースプレートの正面図である。 対応するねじり軸を有する例示的な傾斜したベースプレートの正面図である。 平坦なベースプレートに対応する周波数応答関数Aおよび傾斜したベースプレートに対応する周波数応答関数Bを示す。 ロードビームおよびヘッドに取付けられた例示的な傾斜したベースプレートの平面図である。 例示的な傾斜したベースプレートの平面図である。 図4Aの例示的な傾斜したベースプレートの正面図である。 例示的な多平面ベースプレートの平面図である。 図5Aの例示的な多平面ベースプレートの正面図である。 例示的な多平面ベースプレートの平面図である。 図6Aの例示的な多平面ベースプレートの正面図である。 対応するねじり軸を有する、アクチュエータアームの傾斜面に装着された例示的な傾斜したベースプレートの正面図である。 ベースプレートねじりモードが引起すヘッドのオフトラック運動を減少させるまたは解消するための例示的な工程を示す。
詳細な説明
ベースプレート上の圧電素子(または、他のマイクロアクチュエータモータ素子)が精密な位置制御のためにベースプレートを変形させることを可能にするのに十分な可撓性を有するヘッドサスペンションにおけるベースプレートは、望ましくない共振モードを生じさせる可能性がある。これらの望ましくない共振モードのうちの1つは、本明細書では、ベースプレートねじりモードと呼ばれる。ベースプレートねじりモードは、ヘッドサスペンションに沿って概して長手方向に走る軸の周りでのねじりを引起す。ねじり軸の厳密な位置は、ベースプレートにおける重量分布によって主に規定される。たとえば、ねじり軸は、ベースプレートがアクチュエータアームに取付けられている位置から、ベースプレートの質量中心線に沿って走っていてもよい。従来のマイクロアクチュエータサスペンションの構成では、十分なトラッキング性能を達成するために、駆動レベルのサーボ制御アルゴリズムがベースプレートねじりモードを補償する。しかしながら、この補償は、トラッキングシステムの全帯域幅を減少させる。
図1Aは、対応するねじり軸106を有する例示的な水平なベースプレート102の正面図である。従来のマイクロアクチュエータサスペンションの構成は、一般に、水平なベースプレート102、または代替的に、それぞれのヘッド112付近にまたはそれぞれのヘッド112にねじり軸106を通すように最適化されていない傾斜したベースプレートを利用する。水平なベースプレート102、ロードビーム110およびヘッド112は、一括して、ディスクドライブのためのサスペンションの一部である。ヘッド112は、ディスクが回転している間、ディスク面114の若干上方を「飛行」する。さらに、ヘッド112は、ディスクが回転しているとき、ディスク上の所望のトラックを辿る。
例示的な水平なベースプレート102は、水平なベースプレート102を通って概して水平に走るねじり軸106を有する。ロードビーム110の一端は水平なベースプレート102の端部に装着され、ヘッド112はロードビーム110の反対側の端部に装着される。ねじり軸106がヘッド112と交わらないので、ねじり軸106の周りでのねじりは、ヘッド112が大幅に横方向にずれる(すなわち、ディスク面114に平行に、サスペンションの長手方向軸と直交してずれる)ことを招き得る。ベースプレートねじり軸106は図1Aでは実質的に水平であるように示されているが、ベースプレートねじり軸106は、水平なベースプレート102の重量分布に応じて、上向きまたは下向きに角度がついていてもよい。とにかく、ベースプレートねじり軸106がヘッド112付近をまたはヘッド112を通らない場合に、大幅な横方向のずれが生じ得る。
図1Bは、対応するねじり軸108を有する例示的な傾斜したベースプレート104の正面図である。いくつかの実現例では、今回開示する技術に係るマイクロアクチュエータサスペンションの構成は、傾斜したベースプレート104、および/または、それぞれのヘッド118付近にまたはそれぞれのヘッド118にねじり軸を通すように別のやり方で最適化されたベースプレートを利用する。傾斜したベースプレート104、ロードビーム116およびヘッド118は、同様に、ディスクドライブのための別のサスペンションの一部である。ヘッド118も、ディスクが回転している間、ディスク面120の若干上方を「飛行」し、ヘッド118も、ディスクが回転しているとき、ディスク上の所望のトラックを辿る。
傾斜したベースプレート104は、水平なベースプレート102よりもディスク面120に近い質量分布を有する。これは、本明細書では、ディスク面120の方へのベースプレート104の質量のシフトと呼ばれる。その結果、傾斜したベースプレート104に対応するベースプレートねじり軸108も同様にディスク面120に接近するが、さらに、ディスク面120に向かって下向きにθ度の角度がついていてもよい。ベースプレートねじり軸108の厳密な角度および位置は、傾斜したベースプレート104の重量分布に依存する。傾斜したベースプレート104の重量分布は、ねじり軸108が、図1Aのようにヘッド118の上方を通るのではなく、ヘッド118を通るように最適化される。ヘッド118付近にまたはヘッド118にねじり軸108を通すように最適化された例示的なベースプレートの構成については、図3〜図6Bに関して詳細に説明する。
ねじり軸108の周りでのねじりはベースプレートねじり軸108の周りでのベースプレート104およびロードビーム116の回転を依然として引起し得るが、ヘッド118の横方向のずれは大幅に減少または解消する。さらに、ロードビーム116に取付けられている傾斜したベースプレート104の端部は、ディスク面120に向かって角度がつけられる、および/または、水平なベースプレート102よりもディスク面120に接近するように方向付けられる。このため、ロードビーム116は、ディスク面120の上方でロードビーム116を所望の向きおよび高さに戻すための1つ以上の撓み122を有していてもよい。一実現例では、傾斜したベースプレート104の質量は、ロードビーム116および/またはヘッド118の質量よりも大幅に大きい。このため、撓み122がねじり軸108の位置に実質的に影響を及ぼすことはない。
一実現例では、傾斜したベースプレート104の一部のみが傾けられる。たとえば、傾斜したベースプレート104は、一方の側が水平であり他方の側が傾斜している状態の撓み線をその幅に亘って有していてもよい(たとえば、図3〜図4B参照)。別の実現例では、傾斜したベースプレート104全体が傾けられる。たとえば、傾斜したベースプレート104は、アクチュエータアーム上の傾斜面に取付けられてもよい。アクチュエータアーム上の傾斜面を利用する1つの利点は、ドライブサスペンションの残りの部分が変化のないままであり得ることである。さらに別の実現例では、アクチュエータアームのすべてまたは一部が傾けられてもよく、したがって、傾斜したベースプレート104も同様に傾けられる(たとえば、図7参照)。アクチュエータアームを傾斜させる上での1つの制約は、マルチディスクドライブではアクチュエータアームを傾斜させるための隙間の量が限られていることである。
図2は、平坦なベースプレートに対応する周波数応答関数A 224および傾斜したベースプレートに対応する周波数応答関数B 226を示す。周波数応答関数A 224およびB 226は、ベースプレートに加えられた共振が引起すヘッドのオフトラック運動を表わす。対応するベースプレートが、平坦であるか、または、ヘッド付近にまたはヘッドにベースプレートねじり軸を通すように最適化されない場合、周波数応答関数A 224がヘッドのオフトラック運動を辿る。対応するベースプレートが、傾斜しているか、または、ヘッド付近にまたはヘッドにベースプレートねじり軸を通すように最適化される場合、周波数応答関数B 226がヘッドのオフトラック運動を辿る。例示的な傾斜したまたは最適化されたベースプレートは、図3〜図6Bに見出され得る。
周波数応答A 224は、およそ15kHz、17kHzおよび22kHzにおいて3つの際立った明確な共振モードを示す。およそ15kHzでの共振モードがベースプレートねじりモードに対応する。より具体的には、ベースプレートねじりモードは、ドライブサスペンションに沿って概して長手方向に走る軸の周りでのヘッドの低次のねじりである。
周波数応答B 226は、およそ17kHzおよび21kHzにおいて主な共振モードを2つだけ示す。一般に、高周波数共振モードよりも低周波数共振モードの方が、ヘッドの性能に対する影響が大きい。このため、15kHzでの低次のベースプレートのねじりは、ヘッド付近にまたはヘッドにベースプレートねじり軸を通すようにベースプレートの質量分布をシフトさせることによって、対処される。
周波数応答B 226の17kHzでの共振モードは、一般に、周波数応答Aの17KHzでの共振モードに対応する。同様に、周波数応答Bの21KHzでの共振モードは、一般に、周波数応答Aの22kHzでの共振モードに対応する。周波数応答A 224の15kHzでの共振モードは、おおむね、共振モードB 226にはない。これは、傾斜したベースプレートのベースプレートねじり軸がヘッド付近をまたはヘッドを通るためである。その結果、ヘッドのオフトラック運動がほとんどまたは全くない。この例示的な実現例では、ベースプレートは2度傾けられていたが、ヘッド付近をまたはヘッドを通るようにねじり軸をシフトさせるために必要な傾斜角度は、さまざまであり得る。
図3は、ロードビーム316およびヘッド318に取付けられた例示的な傾斜したベースプレート304の平面図である。いくつかの実現例では、傾斜したベースプレート304は概して多平面であり(すなわち、傾斜したベースプレート304は、2つ以上の平面上に位置する素子を含み)、撓み線330が2つ以上の平面を描いている。傾斜したベースプレート304の主要セクション334は、ディスク面におよそ平行に装着される。傾斜したベースプレート304のT字型セクション332は、ディスク面に向かって下向きに角度がついている(たとえば、図1Bにおけるベースプレート104参照)。T字型セクション332は、T字型セクション332の中央部分の両側に装着された1つ以上の圧電素子328(たとえば、1つ以上の圧電ダイ)を有していてもよい。圧電素子328は、印加された電界によって伸張したり収縮したりして、傾斜したベースプレート304の主要セクション334を基準としたT字型セクション332の微調整を制御する。ヘッドのマクロな位置制御は、音声コイルモータおよびサーボ制御システムを用いて、ディスク面に概して垂直に走る軸の周りで傾斜したベースプレート304全体を回転させることによって、達成される。
ロードビーム316の一端は、ベースプレート304のT字型セクション332の底部側に取付けられる。ロードビーム316は、ベースプレート304のマクロな位置制御およびT字型セクション332の微調整で動く。ヘッド318は、ロードビーム316の下側であって、反対側の端部に装着される。ベースプレート304のT字型セクション332がディスク面に向かって傾斜しているので、ロードビーム316は、ディスク面から離れるようにロードビーム316を撓ませる第1の撓み線336と、ディスク面の上方でロードビームを所望の高さおよび向きに方向付ける第2の撓み線338(たとえば、プリロード湾曲(preload bend))とを有する。ねじり軸308は、平面図において、ベースプレート304、ロードビーム316およびヘッド318の中心線を通る。ねじり軸308は、また、ヘッド318付近をまたはヘッド318を通るように、正面図においてディスク面に向かって下向きに角度がついている(たとえば、図4B参照)。
図4Aは、例示的な傾斜したベースプレート404の平面図である。傾斜したベースプレート404は、撓み線430によって接続された主要セクション434とT字型セクション432とを有する。主要セクション434は、アクチュエータアームに取付けられるように構成され、ディスク面に概して平行に向けられる。T字型部分432は、ロードビームに取付けられるように構成され、ディスク面に向かって傾けられる。傾斜したT字型部分432は、傾斜したベースプレート404の質量中心をディスク面420の方に移動させる。
図4Bは、図4Aの例示的な傾斜したベースプレート404の正面図である。傾斜したベースプレート404は、撓み線430によって接続された主要セクション434とT字型セクション432とを有する。ねじり軸408は、傾斜したベースプレート404の質量中心と一致している。したがって、T字型セクション432をディスク面420に向かって下向きに撓ませることによって、ねじり軸408も同様に、ディスク面420に向かって下向きに撓む。
図5Aは、例示的な多平面ベースプレート504の平面図である。図4Aおよび図4Bの傾斜したベースプレート404と同様に、多平面ベースプレート504は、主要セクション534とT字型セクション532とを有する。主要セクション534は、アクチュエータアームに取付けられるように構成され、ディスク面に概して平行に向けられる。T字型セクション532は、ロードビームに取付けられるように構成され、中央部分550と上部部分552とを含む。T字型セクション532は、第1の撓み線540と第2の撓み線542とを有し、第1の撓み線540および第2の撓み線542は、共同して、T字型セクション532の中央部分550を、ディスク面により近い平面に移動させる。
図5Bは、図5Aの例示的な多平面ベースプレート504の正面図である。図5B上で左から右に移動して、多平面ベースプレート504の主要セクション534は、ディスク面520に平行に向けられ、ディスク面520から第1の距離のところにある。T字型セクション532の中央部分550は、第1の撓み線540において、これもディスク面520に平行であるがディスク面520により近い平面へとシフトされる。T字型セクション532の上部部分552は、第2の撓み線542において、これもディスク面520に平行な平面へとシフトされる。いくつかの実現例では、上部部分552は、ディスク面520からの距離が主要セクション534と同じところにある。他の実現例では、T字型セクション532の上部部分552は、第2の撓み線542において、これもディスク面520に平行であり、さらに中央部分550よりもディスク面520から離れている(または、ディスク面520に近い)が、ディスク面520からの距離が主要セクション534と同じところにあるわけではない平面へとシフトされる。ねじり軸508は、多平面ベースプレート504の質量中心と一致している。したがって、ディスク面520により近いT字型セクション532の中央部分550を撓ませることによって、ねじり軸508は、ディスク面520に向かって下向きに撓む。
図6Aは、例示的な多平面ベースプレート604の平面図である。図4Aおよび図4Bの傾斜したベースプレート404と同様に、多平面ベースプレート604は、主要セクション634とT字型セクション632とを有する。主要セクション634は、アクチュエータアームに取付けられるように構成され、ディスク面に概して平行に向けられる。T字型セクション632は、ロードビームに取付けられるように構成され、中央部分650と、第1の上部部分646と、第2の上部部分648とを含む。T字型セクション632は、第1の撓み線640と、第2の撓み線642と、第3の撓み線644とを有し、第1の撓み線640、第2の撓み線642および第3の撓み線644は、共同して、T字型セクション632の中央部分650を、ディスク面により近い平面に移動させる。
図6Bは、図6Aの例示的な多平面ベースプレート604の正面図である。図6B上で左から右に移動して、多平面ベースプレート604の主要セクション634は、ディスク面620に平行に向けられ、ディスク面620から第1の距離のところにある。T字型セクション632の中央部分650は、第1の撓み線640において、これもディスク面620に平行であるがディスク面620により近い平面へとシフトされる。T字型セクション632の第1の上部部分646および第2の上部部分648(図6A参照)は、第2の撓み線642および第3の撓み線644においてそれぞれに、これもディスク面620に平行であるが、ディスク面620からの距離が主要セクション634と同じまたは類似のところにある平面へとシフトされる。
他の実現例では、T字型セクション632の第1の上部部分646および第2の上部部分648(図6A参照)は、第2の撓み線642および第3の撓み線644においてそれぞれに、これもディスク面620に平行であり、中央部分650よりもさらにディスク面620から離れている(または、ディスク面620に近い)が、ディスク面620からの距離が主要セクション634と同じところにあるわけではない平面へとシフトされる。ねじり軸608は、多平面ベースプレート604の質量中心と一致している。ディスク面620により近いT字型セクション632の中央部分を撓ませることによって、ねじり軸608は、ディスク面620に向かって下向きに撓む。この実現例では、多平面ベースプレート604は、(図6Bに示される実現例における2つの平面と比較して)3つの平面を有する。
ディスク面に向かってベースプレートのすべてまたはあるセクションを傾斜させるおよび/または撓ませることによって、サスペンションとディスクとの間の隙間が減少する。図5の多平面ベースプレート504と比較して、図6の撓んだ中央部分650は、図5の撓んだ中央部分550よりも大きい。その結果、ねじり軸608の同じ撓みを達成するために、中央部分650の撓みの量は中央部分550未満であり得る。同様に、図4Aおよび図4Bの傾斜したベースプレート404は、サスペンションとディスクとの間の隙間を図5A〜図6Bの多平面ベースプレート504、604未満に減少させる。なぜなら、傾斜したベースプレート404の傾斜した部分が、多平面ベースプレート504、604の撓んだ部分よりも大きいためである。多平面ベースプレート604がディスク面620に近接して装着されるので、多平面ベースプレート604とディスク面620との間の隙間の問題のために、多平面ベースプレート604が図5の多平面ベースプレートよりも好ましいかも知れない。
例示的な実現例では、図4Aおよび図4Bの傾斜したベースプレート404は、水平なベースプレートと比較して、サスペンションとディスクとの間の隙間を0.075mmだけ減少させる。図5Aおよび図5Bの多平面ベースプレート504は、水平なベースプレートと比較して、サスペンションとディスクとの間の隙間を1.5mmだけ減少させる。図6Aおよび図6Bの多平面ベースプレート604は、水平なベースプレートと比較して、サスペンションとディスクとの間の隙間を1.0mmだけ減少させる。
傾斜したベースプレート404に優る多平面ベースプレート504、604の1つの利点は、ヘッドの精密な位置制御のための圧電素子がサスペンションおよびディスク面に平行なままであることである。これは、サスペンションへの圧電素子の組立を簡略化する。なぜなら、圧電素子は、サスペンションの残りの部分に対してある角度をなして組立てられることはないためである。
図3〜図6Bに示されるベースプレート形状因子は単に例であり、本明細書では、ヘッド付近をまたはヘッドを通るようにベースプレートねじり軸を最適化する他の形状因子が意図される。さらに、図1B、図3、図4Aおよび図4Bの傾斜したベースプレート、ならびに、図5A〜図6Bの多平面ベースプレートは、さまざまな形成技術(たとえば、プレスブレーキ、スタンピング、曲げ、鋳造、押出成形および/またはモールディング)を用いて作成されてもよい。さらに、傾斜したベースプレートおよび多平面ベースプレートは、たとえば鋼、アルミニウム、銅およびチタンを含むさまざまな金属合金から構成されてもよい。また、さらに、傾斜したベースプレートおよび多平面ベースプレートは、さまざまな硬質プラスチック、たとえばポリエチレン、ポリプロピレンおよびポリスチレンを含んでいてもよい。
図7は、対応するねじり軸708を有する、アクチュエータアーム754の傾斜面752上に装着された例示的な傾斜したベースプレート704の正面図である。いくつかの実現例では、今回開示する技術に係るマイクロアクチュエータサスペンションの構成は、それぞれのヘッド718付近にまたはそれぞれのヘッド718にねじり軸708を通すように最適化される所望の傾斜角度を達成するために、アクチュエータアーム754上の傾斜面752にベースプレート704を装着する。アクチュエータアーム754、傾斜したベースプレート704、ロードビーム716およびヘッド718はすべて、ディスクドライブのためのサスペンションの一部である。ヘッド718は、ディスク面720の若干上方を「飛行」し、ディスクが回転するとき、ディスク上の所望のトラックを辿る。
傾斜したベースプレート704は、図1Aの水平なベースプレート102よりもディスク面720に近い質量分布を有し得る。これは、本明細書では、ディスク面720の方へのベースプレート704の質量のシフトと呼ばれる。その結果、傾斜したベースプレート704に対応するねじり軸708も同様に、ディスク面720に接近する。さらに、ベースプレート704を傾斜させることは、また、ねじり軸708をディスク面720の方に傾斜させ得る。ベースプレートねじり軸708の厳密な角度および位置は、傾斜したベースプレート704の重量分布および傾斜面752の角度に依存する。傾斜したベースプレート704の重量分布は、ねじり軸708が、図1Aのようにヘッド112の上方ではなく、ヘッド718付近をまたはヘッド718を通るように最適化される。
ねじり軸708の周りでのねじりはベースプレートねじり軸708の周りでのベースプレート704およびロードビーム716の回転を依然として引起し得るが、ヘッド718の横方向のずれは大幅に減少または解消する。さらに、ロードビーム716に取付けられている傾斜したベースプレート704の端部は、ディスク面720に向かって角度がつけられる、および/または、図1Aの水平なベースプレート102よりもディスク面720に接近するように方向付けられる。このため、ロードビーム716は、ディスク面720の上方でロードビーム716を所望の向きおよび高さに戻すために1つ以上の撓み722を有していてもよい。
図8は、ベースプレートねじりモードが引起すヘッドのオフトラック運動を減少または解消するための例示的な工程を示す。位置付け工程802において、ヘッドサスペンション上でベースプレートからヘッドに向かって延びるベースプレートねじり軸を位置付ける。ベースプレートねじり軸は、ベースプレートねじり軸に沿って、ベースプレート、ロードビームおよびヘッドのねじりを引起す少なくとも1つのベースプレートねじりモードに対応する。
傾斜工程804において、ヘッド付近をまたはヘッドを通るようにねじり軸を移動させるように、ディスクに向かって(または、ディスクから離れるように)ベースプレートを傾斜させる。ベースプレートを傾斜させることによって、ベースプレートの質量分布がディスクの方に移動する。ねじり軸の位置がベースプレートの重量分布に関連するので、ねじり軸もディスクの方に移動する。アクチュエータアーム上の傾斜面上にベースプレートを装着することによって、ベースプレート全体をディスクの方に傾斜させてもよい。または、アクチュエータアーム自体を傾斜させてもよく、したがって、アクチュエータアームに装着されたベースプレートも同様に傾けられる。ベースプレートが1つ以上の湾曲部を有する実現例では、ベースプレートの1つ以上のセクションのみが傾けられ、ベースプレートの残りの部分はディスクと水平である。
移動工程806において、質量をシフトさせ、ヘッド付近をまたはヘッドを通るようにねじり軸を移動させるように、ディスクの方に(または、ディスクから離れるように)ベースプレートの少なくとも一部を移動させる。ベースプレートを傾斜させることと同様に、ディスクの方にベースプレートをシフトさせることによって、ベースプレートの質量分布がディスクの方に移動する。ねじり軸の位置がベースプレートの重量分布に関連するので、ねじり軸もディスクの方に移動する。いくつかの実現例では、ねじり軸は、ベースプレートの質量中心を通って走っている。例示的なシフト工程において、ベースプレートの中央部分は、ベースプレートの残りの部分よりもディスクに近い平面へとシフトされてもよい。ベースプレートの質量をシフトさせること(質量シフト工程)は、ベースプレートまたはベースプレートが取付けられた面の少なくとも一部を少なくとも傾斜させること(たとえば、工程804参照)、または、ベースプレートの少なくとも一部を移動させること(たとえば、工程806参照))を含む。
上記の明細書、例およびデータは、この発明の例示的な実施例の構造および用途を完全に説明する。この発明の多くの実施例がこの発明の精神および範囲から逸脱することなくなされ得るので、この発明は、以下に添付される特許請求の範囲に属する。さらに、記載される特許請求の範囲から逸脱することなく、さらに別の実施例では異なる実施例の構造的特徴が組合せられてもよい。
102,104 ベースプレート、106,108 ねじり軸、112,118 ヘッド。

Claims (5)

  1. ベースプレートの端部に取り付けられたロードビームと、前記ロードビームの前記ベースプレートとは反対側の端部へ取付けられたヘッドを備え、ディスクが回転しているときに前記ヘッドが前記ディスク面上を飛行するとともに前記ディスク上のトラックを辿る装置であって、
    前記ベースプレートは、撓み線によってともに接続された主要セクションと傾斜したセクションとを備え、
    前記主要セクションは、隣接する前記ディスク面に概して平行であり
    前記傾斜したセクションは、前記主要セクションよりも前記ディスク面に近づくように前記ディスク面に向かって傾斜しており、
    前記傾斜したセクションは、前記主要セクションと前記傾斜したセクションのねじり軸を前記ヘッド側に傾けるようにし、
    前記ねじり軸は、前記ヘッドを通る、装置。
  2. 前記傾斜したセクションは、T字型セクションを備える、請求項1に記載の装置。
  3. 前記ベースプレートに取付けられ、前記ヘッドの細密な運動制御を行なうために前記ベースプレートを変形させるように構成された少なくとも1つの圧電素子をさらに備える、請求項1〜のいずれか1項に記載の装置。
  4. 記ロードビームは、隣接する前記ディスク面から離れるように前記ロードビームを撓ませる第1の撓み線と、前記ロードビームを前記ディスク面の方に撓ませる、前記第1の撓み線と前記ヘッドとの間の第2の撓み線とを含む、請求項1〜のいずれか1項に記載の装置。
  5. 前記傾斜したセクションは、隣接する前記ディスク面に向かっておよそ2度傾けられる、請求項1〜のいずれか1項に記載の装置。
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