JP5403689B2 - 有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、１枚の透明基板で複数の照明パネルを作製する有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法に関する。
有機エレクトロルミネッセンス照明装置は、一般的に、有機発光膜を透明な平板状の陽極膜と平板状の陰極膜とで挟んでガラス基板などの透明基板に搭載した照明パネルを備えている。この照明パネルの生産性を向上させる方法として、１枚の透明基板から複数の照明パネルを作製する、いわゆる多面取りが知られ、例えば特許文献１に開示されている。
特許文献１に開示された製造方法では、接着剤が塗布された封止基板に導電性の非接着層パターンが設けられている。そして、この非接着層パターンが、透明基板において互いに隣接する２つの陰極の各々の一部と接触するように封止基板を透明基板に貼り付けている。これにより、封止の際に各陰極の全部が接着剤で覆われなくなるので、陰極の通電が妨げられることなく封止基板を透明基板に確実に貼り付けることが可能となる。
有機エレクトロルミネッセンス照明装置の照明パネルは、上述したように、有機発光膜を平板状の陽極膜と平板状の陰極膜とで挟んだ構造となっているので、発光ダイオードであると同時にコンデンサでもある。そのため、製造工程中に発生した静電気により有機発光膜が絶縁破壊する可能性がある。照明パネルを多面取りで作製する場合には、一度に多くの照明パネルを製造するので歩留まりの低下が懸念される。これに対し、特許文献１に開示された製造方法では、非接着層パターンを介して極性が同じ電極膜（陰極）しか電気的に接続されないので有機発光膜の絶縁破壊に対処できない。
そこで、本発明は、静電気による有機発光膜の絶縁破壊が生じにくい有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため本発明による有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法は、１枚の透明基板の表面に、互いに離れて配置される複数の透明電極膜と、前記複数の透明電極膜に接合される導電膜と、を成膜する第１の成膜工程であって、前記複数の透明電極膜の各々を、陽極膜と、該陽極膜から離れて配置される陰極端子膜として成膜し、前記複数の透明電極膜の配置領域の最外周部、および前記複数の透明電極膜の間に前記導電膜を成膜して前記陽極膜と前記陰極端子膜とを前記導電膜を介して電気的に接続する第１の成膜工程と、前記陽極膜の表面に有機発光膜を成膜する第２の成膜工程と、前記有機発光膜の表面から前記陰極端子膜の表面まで連続する陰極膜を成膜する第３の成膜工程と、前記第３の成膜工程の後、前記１枚の透明基板を、前記導電膜に沿って分断する分断工程と、を有する。
本発明によれば、第１の成膜工程で陽極膜と陰極端子膜とが導電膜を介して電気的に接続される。また、第３の成膜工程において陰極膜が陰極端子膜に電気的に接続される。これにより、陽極膜と陰極膜とが電気的に接続された状態（短絡状態）となる。そのため、第３の成膜工程以降の工程で静電気が発生しても有機発光膜に電荷が蓄積しにくくなる。よって、有機発光膜の絶縁破壊が生じにくくなる。
本発明の有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法の一実施形態について説明する。図１は、本実施形態の有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造工程を示すフローチャートである。以下、図１のフローチャートに従って各工程を説明する。
まず、第１の成膜工程（ステップＳ１）について説明する。図２は、第１の成膜工程を説明するための平面図である。また、図３は図２に記載の切断線Ａ−Ａに沿った断面図であり、図４は図２に記載の切断線Ｂ−Ｂに沿った断面図である。
図２〜図４に示すように、第１の成膜工程は、１枚の透明基板１の表面に、行列状に互いに離れて配列された複数の透明電極膜２と、複数の透明電極膜２に接合される導電膜３と、を成膜する工程である。透明基板１は、ガラス基板やプラスチック基板などである。
透明電極膜２は、陽極膜２ａと、陽極膜２ａから離れて配置された１対の陰極端子膜２ｂとで構成され、これらの材料は酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）などである。１対の陰極端子膜２ｂは、陽極膜２ａを挟んで互いに対向している。また、１対の陰極端子膜２ｂの配列方向は行方向に揃えられている。なお、この配列方向は列方向に揃えられていてもよい。
アルミニウム（Ａｌ）やクロム（Ｃｒ）などを材料とする導電膜３は、相互に接続される第１の導電膜３ａと、第２の導電膜３ｂと、第３の導電膜３ｃとで構成されている。なお、導電膜３は、透明電極膜２と同じ材料であってもよい。
第１の導電膜３ａは、複数の透明電極膜２の配置領域の最外周部に配置されている。第２の導電膜３ｂは、複数の透明電極膜２の行間に配置されている。第３の導電膜３ｃは、複数の透明電極膜２の列間に配置されている。これにより、全ての陽極膜２ａと全ての陰極端子膜２ｂとが、第１の導電膜３ａ、第２の導電膜３ｂ、および第３の導電膜３ｃを介して電気的に接続される。
次に、第２の成膜工程（ステップＳ２）について説明する。第２の成膜工程は、陽極膜２ａの表面に有機発光膜４を成膜する工程である。有機発光膜４の材料については特に制限されるものでなく従来と同様でよい。
次に、第３の成膜工程（ステップＳ３）について説明する。図５は、第３の成膜工程を説明するための平面図である。また、図６は、図５に記載の切断線Ｃ−Ｃに沿った断面図である。また、図７は、図５に記載の切断線Ｄ−Ｄに沿った断面図である。第３の成膜工程は、図５〜図７に示すように、有機発光膜４の表面から陰極端子膜２ｂの表面まで連続する陰極膜５を成膜する工程である。これにより、陰極膜５は、陰極端子膜２ｂと電気的に接続される。陰極端子膜２ｂと陽極膜２ａとは導電膜３を介して電気的に接続されているので、陰極膜５と陽極膜２ａとは電気的に接続された状態（短絡状態）となっている。そのため、第３の成膜工程以降の工程で静電気が発生しても、この状態が解除されるまでは有機発光膜４に電荷が蓄積しにくくなる。よって、静電気による有機発光膜４の絶縁破壊が生じにくくなる。
次に、第３の成膜工程の後に実施される検査工程（ステップＳ４）について図８〜図１３を参照しながら説明する。図８〜図１３の各々は、検査工程における導電膜３の分断箇所のパターンを示す平面図である。なお、図８〜図１３の各々では、説明をわかりやすくするために陰極膜５の記載を省略している。
検査工程は、まず、第１の導電膜３ａ、第２の導電膜３ｂ、および第３の導電膜３ｃの各々を、陽極膜２ａのみ電気的に接続する第１の部分８と、１対の陰極端子膜２ｂのみと電気的に接続する第２の部分と、に分断する。その後、第１の部分８および第２の部分を介して陽極膜２ａと１対の陰極端子膜２ｂとの間に、順方向または逆方向の少なくとも一方の電圧を印加する。順方向の電圧を印加する場合には、エージング処理となり有機発光膜４の発光状態を検査することができる。一方、逆方向の電圧を印加する場合には、リペア処理となり有機発光膜４において電気的にショートした微小な部分を電気的にオープンにする。なお、検査が終了すると、透明電極膜２、有機発光膜４、陰極膜５の各々は封止される。
図８では、第１の導電膜３ａと第２の導電膜３ｂとの接続部分、第１の導電膜３ａと第３の導電膜３ｃとの接続部分、および第２の導電膜３ｂと第３の導電膜３ｃとの接続部分が分断箇所１０となっている。このように各導電膜の接続部分を分断箇所とすることによって、第１の導電膜３ａ、第２の導電膜３ｂ、および第３の導電膜３ｃのうち、２つの導電膜を一括して分断できる。そのため分断箇所を簡略化することが可能となる。なお、図８では、第１の導電膜３ａが１行１列ずつ分断されているので、透明電極１に成膜された陽極膜２ａと１対の陰極端子膜２ｂとの間の全てに電圧を印加するためには列数分の検査用陽極端子６と、行数分の検査用陰極端子７とが必要となる。
また、図９では、第１の導電膜３ａと第２の導電膜３ｂとの接続部分が分断箇所１０から除かれ、第１の導電膜３ａの第２の部分９が先頭列または最後尾列にそれぞれ配列された透明電極２の陰極端子膜２に対して連続している。また、図１０では、第１の導電膜３ａと第３の導電膜３ｃとの接続部分が分断箇所１０から除かれ、第１の導電膜３ａの第１の部分８が先頭行または末端行にそれぞれ配列された透明電極２の陽極膜２ａに対して連続している。これにより、検査用陽極端子６または検査用陰極端子７のいずれか一方を共通化できる。そのため、検査用陽極端子６および検査用陰極端子７の合計数を削減することが可能となる。
さらに、図１１〜図１３では、第１の導電膜３ａと第２の導電膜３ｂとの接続部分、および第１の導電膜３ａと第３の導電膜３ｃとの接続部分の両方が分断箇所１０から除かれている。これにより、第１の検査用陽極端子６および検査用陰極端子７の両方を共通化できる。そのため、検査用陽極端子６または検査用陰極端子７の合計数をさらに削減することが可能となる。なお、図１１、図１２では、第２の導電膜３ｂと第３の導電膜３ｃとの接続部分も分断箇所１０から除かれ、図１３では、第２の導電膜３ｂと第３の導電膜３ｃとの接続部分は分断箇所１０となっている。また、図１１では、第２の導電膜３ｂと第３の導電膜３ｃとの接続部分の換わりに、該接続部分を挟む２箇所で第２の導電膜３ｂを分断する。一方、図１２では、第２の導電膜３ｂと第３の導電膜３ｃとの接続部分の換わりに、該接続部分を挟む２箇所で第３の導電膜３ｃを分断する。
次に、検査工程の後に実施される分断工程（ステップＳ５）について説明する。分断工程は、透明基板１を、導電膜３（第１の導電膜３ａ、第２の導電膜３ｂ、第３の導電膜３ｃ）に沿って分断する。これにより、第１の導電膜３ａ〜第３の導電膜３ｃの各々が透明電極膜２から分断されるとともに、１枚の透明基板１から有機エレクトロルミネッセンス照明装置用の複数の照明パネルが作製される。
上述したように、本実施形態では、第１の成膜工程において陽極膜２ａと陰極端子膜２ｂとが第１の導電膜３ａ〜第３の導電膜３ｃで短絡しているので、第３の成膜工程が終了した時点で、陰極膜５と陽極膜２ａとは短絡している。そのため、第３の成膜工程が終了してから検査工程において各導電膜が分断箇所１０で分断されるまでは、静電気が発生しても有機発光膜４に電荷が蓄積しにくくなる。さらに、第３の成膜工程が終了した時点で透明基板１に配置された陽極膜２ａおよび陰極膜５の全てが等電位になるので、浮遊異物の静電的な吸着が発生しにくくなる。その結果、静電気による有機発光膜４の絶縁破壊が生じにくくなる
また、本実施形態では、検査工程において、第１の導電膜３ａ〜第３の導電膜３ｃを分断箇所１０で分断することによって、エージング処理およびリペア処理を一括して行うことが可能となる。
また、本実施形態では、検査工程において、第１の導電膜３ａ〜第３の導電膜３ｃを分断箇所１０で分断することによって、エージング処理およびリペア処理を一括して行うことが可能となる。
なお、本発明では、上記のエージング処理およびリペア処理を分断工程の後に行い、かつ複数の透明電極膜２の行数および列数がともに偶数の場合、図１４に示すように、第２の導電膜３ｂを１行おきに成膜し、第３の導電膜３ｃを１列おきに成膜することとしてもよい。この場合、第２の導電膜３ｂの数および第３の導電膜３ｃの数を削減することが可能となる。
１ 透明基板
２ 透明電極膜
２ａ 陽極膜
２ｂ 陰極端子膜
３ 導電膜
３ａ 第１の導電膜
３ｂ 第２の導電膜
３ｃ 第３の導電膜
４ 有機発光膜
５ 陰極膜
６ 検査用陽極端子
７ 検査用陰極端子
８ 第１の部分
９ 第２の部分
１０ 分断箇所
２ 透明電極膜
２ａ 陽極膜
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３ａ 第１の導電膜
３ｂ 第２の導電膜
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４ 有機発光膜
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６ 検査用陽極端子
７ 検査用陰極端子
８ 第１の部分
９ 第２の部分
１０ 分断箇所
Claims (7)
- １枚の透明基板の表面に、互いに離れて配置される複数の透明電極膜と、前記複数の透明電極膜に接合される導電膜と、を成膜する第１の成膜工程であって、前記複数の透明電極膜の各々を、陽極膜と、該陽極膜から離れて配置される陰極端子膜として成膜し、前記複数の透明電極膜の配置領域の最外周部、および前記複数の透明電極膜の間に前記導電膜を成膜して前記陽極膜と前記陰極端子膜とを前記導電膜を介して電気的に接続する第１の成膜工程と、
前記陽極膜の表面に有機発光膜を成膜する第２の成膜工程と、
前記有機発光膜の表面から前記陰極端子膜の表面まで連続する陰極膜を成膜する第３の成膜工程と、
前記第３の成膜工程の後、前記１枚の透明基板を、前記導電膜に沿って分断する分断工程と、を有する有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法。 - 前記第１の成膜工程において、前記陽極膜を挟んで互いに対向する１対の陰極端子膜を前記陰極端子膜として成膜し、前記複数の透明電極膜を行列状に配列し、前記１対の陰極端子膜の配列方向を行方向または列方向の一方に揃え、前記配置領域の最外周部に配置される第１の導電膜と、前記複数の透明電極膜の行間に配置される第２の導電膜と、前記複数の透明電極膜の列間に配置される第３の導電膜と、を前記導電膜として成膜し、前記第１の導電膜、前記第２の導電膜、および前記第３の導電膜を相互に接続する、請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法。
- 前記第３の成膜工程と前記分断工程との間に、前記第１の導電膜、前記第２の導電膜、および前記第３の導電膜を、前記陽極膜のみと電気的に接続する第１の部分と、前記陰極端子膜のみと電気的に接続する第２の部分と、に分断し、その後、前記第１の部分および前記第２の部分を介して前記陽極膜と前記陰極端子膜との間に順方向または逆方向の少なくとも一方の電圧を印加する検査工程と、を有する請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法。
- 前記検査工程において、前記第１の導電膜の前記第１の部分が、複数の前記陽極膜に対して行方向または列方向のいずれか一方に連続している、請求項３に記載の有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法。
- 前記検査工程において、前記第１の導電膜の前記第２の部分が、複数の前記陰極端子膜に対して行方向または列方向のいずれか一方に連続している、請求項３または４に記載の有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法。
- 前記検査工程において、前記第１の導電膜、前記第２の導電膜、および前記第３の導電膜の分断箇所に、前記第１の導電膜と前記第２の導電膜との接続部分、前記第１の導電膜と前記第３の導電膜との接続部分、または前記第２の導電膜と前記第３の導電膜との接続部分の少なくとも一つが含まれている、請求項３に記載の有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法。
- 前記第１の成膜工程において、前記複数の透明電極膜の行数および列数がともに偶数の場合、前記第２の導電膜を１行おきに成膜し、前記第３の導電膜を１列おきに成膜する、請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法。
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