JP5401770B2 - 面位置検出装置、露光装置及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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- 第1レンズ系を含み、所定面からの光を前記第1レンズ系を介して被検面上の検出領域内の複数の検出点へ導く送光光学系と、
第2レンズ系を含み、前記被検面上の前記検出領域内の前記複数の検出点で反射された前記光を前記第2レンズ系を介して受光面へ導き、前記第2レンズ系によって前記受光面に前記光による前記所定面の像を形成する受光光学系と、
前記受光面に形成された前記所定面の像を介した前記光を検出する検出手段と、
前記第1レンズ系から前記被検面までの前記光の光路に配置され、前記第1レンズ系から射出した前記光を第1の光と第2の光とに分割する分割手段と、
前記被検面から前記第2レンズ系までの前記光の光路に配置され、前記被検面で反射された前記第1の光と、前記被検面を非経由の前記第2の光とを共に前記受光面へ向かわせる合成手段と、
前記第2の光の光路に配置され、前記受光面に形成される前記第1の光による前記所定面の像と前記第2の光による前記所定面の像とが同じ向きになるよう前記第2の光による前記所定面の像を反転させるための1つ以上の反射面と、
を備え、
前記複数の検出点が配列された前記検出領域の長手方向と、前記送光光学系からの光の進行方向とは平行であり、
前記第1の光および前記第2の光は、レンズを介さずに前記分割手段から前記合成手段へ導かれ、
前記検出手段は、前記受光面に形成された前記所定面の像を介した前記第1の光と前記第2の光とを検出し、前記第1の光と前記第2の光との検出結果に基づいて、前記被検面の面位置に関する情報を出力することを特徴とする面位置検出装置。 - 前記第1の光の光路に配置される反射面の数と、前記第2の光の光路に配置される反射面の数との差は、奇数であることを特徴とする請求項1に記載の面位置検出装置。
- 前記第1の光と前記第2の光とは、前記第2レンズ系を介して前記検出手段の前記受光面へ導かれることを特徴とする請求項1または2に記載の面位置検出装置。
- 第1レンズ系を含み、基準物体からの光を前記第1レンズ系を介して被検面上の検出領域内の複数の検出点へ導く送光光学系と、
第2レンズ系を含み、前記被検面上の前記検出領域内の前記複数の検出点で反射された前記光を前記第2レンズ系を介して受光面へ導き、前記第2レンズ系によって前記受光面に前記光による前記基準物体の像を形成する受光光学系と、
前記受光面に形成された前記基準物体の像を介した前記光を検出する検出手段と、
前記第1レンズ系から前記被検面までの前記光の光路に配置され、前記基準物体からの光のうち前記基準物体の第1領域からの第1の光を前記被検面を経由する第1光路に導くと共に、前記基準物体の第2領域からの第2の光を前記被検面を非経由の第2光路に導くために、前記第1光路と前記第2光路との少なくとも一方の光路を偏向させる第1光路偏向手段と、
前記被検面から前記第2レンズ系までの前記光の光路に配置され、前記第1の光を前記第2レンズ系を介して前記受光面の第3領域に導くと共に、前記第2の光を前記第2レンズ系を介して前記受光面の第4領域に導くために、前記被検面から前記第2レンズ系までの前記第1光路と、前記第2光路との少なくとも一方の光路を偏向する第2光路偏向手段と、
前記第2の光の光路に配置され、前記受光面に形成される前記第1の光による前記基準物体の像と前記第2の光による前記基準物体の像とが同じ向きになるよう前記第2の光による前記基準物体の像を反転させるための1つ以上の反射面と、
を備え、
前記複数の検出点が配列された前記検出領域の長手方向と、前記送光光学系からの光の進行方向とは平行であり、
前記第1の光および第2の光は、レンズを介さずに前記第1光路偏向手段から前記第2光路偏向手段へ導かれ、
前記検出手段は、前記第3領域に形成された前記基準物体の像を介した前記第1の光と前記第4領域に形成された前記基準物体の像を介した前記第2の光とを検出し、前記第1の光と前記第2の光との検出結果に基づいて、前記被検面の面位置に関する情報を出力することを特徴とする面位置検出装置。 - 前記第1の光の光路に配置される反射面の数と、前記第2の光の光路に配置される反射面の数との差は、奇数であることを特徴とする請求項4に記載の面位置検出装置。
- 前記検出手段が出力する情報に基づいて前記被検面の位置を調整する調整手段をさらに備え、
前記検出手段は、前記第2の光の検出結果に基づいて前記第1の光の検出結果を補正し、
前記調整手段は、前記検出手段にて補正された検出結果に基づいて、前記被検面の位置を調整することを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか一項に記載の面位置検出装置。 - 所定のパターンを感光性基板上に転写する露光装置において、
前記感光性基板の面位置を検出するための請求項1乃至請求項6の何れか一項に記載の面位置検出装置と、
前記面位置検出装置の検出結果に基づいて前記感光性基板を移動させる移動装置と、
を備え、
前記所定のパターンは、前記移動装置によって移動された前記感光性基板に転写されることを特徴とする露光装置。 - 前記所定のパターンの像を前記感光性基板上に投影する投影光学系を備え、
前記投影光学系は、該投影光学系と前記感光性基板との間に供給された液体を介して該感光性基板に前記所定のパターンの像を投影することを特徴とする請求項7記載の露光装置。 - 請求項7または請求項8記載の露光装置を用いて所定のパターンを感光性基板上に転写する転写工程と、
前記転写工程により前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像する現像工程と、
を含むことを特徴とするデバイスの製造方法。
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