JP5400373B2 - 分割電気化学セル及び低コスト高純度水素化物ガス製造方法 - Google Patents

分割電気化学セル及び低コスト高純度水素化物ガス製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5400373B2
JP5400373B2 JP2008324674A JP2008324674A JP5400373B2 JP 5400373 B2 JP5400373 B2 JP 5400373B2 JP 2008324674 A JP2008324674 A JP 2008324674A JP 2008324674 A JP2008324674 A JP 2008324674A JP 5400373 B2 JP5400373 B2 JP 5400373B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
anode
cathode
metal
chamber
gas outlet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008324674A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009149987A (ja
JP2009149987A5 (ja
Inventor
マリオ マシャド レイナルド
ジョージオス チルキス アタナシオス
エル.ハーツ クリストファー
ロバート リーンホウツ ジェイムス
エフ.シュルツ ウィリアム
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Air Products and Chemicals Inc
Original Assignee
Air Products and Chemicals Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Air Products and Chemicals Inc filed Critical Air Products and Chemicals Inc
Publication of JP2009149987A publication Critical patent/JP2009149987A/ja
Publication of JP2009149987A5 publication Critical patent/JP2009149987A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5400373B2 publication Critical patent/JP5400373B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25BELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES FOR THE PRODUCTION OF COMPOUNDS OR NON-METALS; APPARATUS THEREFOR
    • C25B1/00Electrolytic production of inorganic compounds or non-metals
    • C25B1/01Products
    • C25B1/02Hydrogen or oxygen
    • C25B1/04Hydrogen or oxygen by electrolysis of water
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/448Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
    • C23C16/4488Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by in situ generation of reactive gas by chemical or electrochemical reaction
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25BELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES FOR THE PRODUCTION OF COMPOUNDS OR NON-METALS; APPARATUS THEREFOR
    • C25B1/00Electrolytic production of inorganic compounds or non-metals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25BELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES FOR THE PRODUCTION OF COMPOUNDS OR NON-METALS; APPARATUS THEREFOR
    • C25B1/00Electrolytic production of inorganic compounds or non-metals
    • C25B1/01Products
    • C25B1/23Carbon monoxide or syngas
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25BELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES FOR THE PRODUCTION OF COMPOUNDS OR NON-METALS; APPARATUS THEREFOR
    • C25B15/00Operating or servicing cells
    • C25B15/02Process control or regulation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25BELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES FOR THE PRODUCTION OF COMPOUNDS OR NON-METALS; APPARATUS THEREFOR
    • C25B9/00Cells or assemblies of cells; Constructional parts of cells; Assemblies of constructional parts, e.g. electrode-diaphragm assemblies; Process-related cell features
    • C25B9/17Cells comprising dimensionally-stable non-movable electrodes; Assemblies of constructional parts thereof
    • C25B9/19Cells comprising dimensionally-stable non-movable electrodes; Assemblies of constructional parts thereof with diaphragms
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25BELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES FOR THE PRODUCTION OF COMPOUNDS OR NON-METALS; APPARATUS THEREFOR
    • C25B9/00Cells or assemblies of cells; Constructional parts of cells; Assemblies of constructional parts, e.g. electrode-diaphragm assemblies; Process-related cell features
    • C25B9/40Cells or assemblies of cells comprising electrodes made of particles; Assemblies of constructional parts thereof
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30Hydrogen technology
    • Y02E60/36Hydrogen production from non-carbon containing sources, e.g. by water electrolysis

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electrolytic Production Of Non-Metals, Compounds, Apparatuses Therefor (AREA)
  • Electrodes For Compound Or Non-Metal Manufacture (AREA)

Description

本発明は、電気化学的プロセス及び装置の分野にある。より詳しくは、本発明は、対となる酸素の同時生成を伴ったIV及びV族揮発水素化物の分割電気化学セル合成及び生成、並びにその合成を実行するための反応器に向けられる。その合成及び反応器は、実質的に酸素が存在しない高純度水素化物をより効率的に生成するために設計される。
高純度ガスは、半導体の製造及びドーピングに必要とされる。大抵、これらのガスは危険な毒性を有する。商用圧縮ガスボンベは、数千ポンド毎平方インチ圧力でガスを貯蔵し、1〜10ポンドのガスを収容する。それゆえ、これらの物質の集中的な生産、輸送、及び貯蔵は、それらを取り扱うものに危険をもたらす。
これらの危険を避けるために、これらの危険性ガスを、必要とするときだけ発生させるように供給する装置が、例えば、半導体製造工場における化学気相成長反応器で、開発された。例えば、特許文献1及び特許文献2おいてW.M.Ayersは、化学気相成長反応器への導入に関して適当な圧力で揮発水素化物を供給する電気化学的な装置及び方法を記載している。そのようなプロセスは、非分割電気化学セルにおいて犠牲陽極(すなわち、酸素に腐食する電極)と水酸化物系電解質を用いることにより、対応する金属陰極から金属水素化物ガス及び水素ガスを発生させる。しかし、そのようなプロセスは、犠牲陽極金属、例えばモリブデン及びタングステンの高コストに起因して、大量生産には経済的に魅力がない。
特許文献3において、Porterは、酸素放出する陽極と共に酸性電解質中に溶解された砒素塩を利用するアルシンガスの合成のための電気化学方法を開示する。しかし、この方法で、アルシン濃度は、25%未満に限定された。Porterの方法の他の一つの制限は、電気化学セルの分割された陽極及び陰極部分において、圧力と液レベルを均衡させる必要性であった。
特許文献4において、Bouardは、砒素塩を含有する電解質と分割電気化学セルにおいて作用する酸とを利用し、陰極室アルシン及び水素を発生させ、且つ陽極室酸素を発生させる電気化学プロセスを開示する。このプロセスは、補助的なガス分離タンクと多数のポンプを使用する必要性負担を負う。加えて、酸及び砒素塩の両方の同時計量及び添加を、プロセスを維持するために必要とする
特許文献5及び特許文献6は、酸素形成を避ける条件下で、電解質水溶液を用いた水素化物の電気化学的生成を開示する。水素化物収率は、所望されるよりもずっと低い。
米国特許第5,158,656号明細書 米国特許第6,080,297号明細書 米国特許第4,178,224号明細書 米国特許第5,425,857号明細書 米国特許第5,427,659号明細書 米国特許第5,474,659号明細書
それゆえ、水素化物ガスを生成し、供給するための有効な手段を提供するために努力が続けられてきた一方で供給される水素化物ガス、特に酸素生成物の流れが実質的に存在しない水素化物の及び量を向上する必要性が当該分野において未だに存在する。
本発明の第1の実施態様としては、
下記の(a)〜(f)を有する分割電気化学セル:
(a)その少なくとも一部に金属M含有する管状外被
(b)電気絶縁体底部、
(c)陰極ガス出口、陽極ガス出口及び水入口を含む電気絶縁体上蓋
(d)分割電気化学セルを陰極室と陽極室分割する分割材であって、陽極と陰極の回路から電気的に絶縁された分割材、
(e)金属Mの固体棒材と金属M 粒体固定層とからなる群から選択される陰極、及び陰極ガス出口を含む陰極室
(f)金属M含有する管状外被の該少なくとも一部である陽極、陽極ガス出口及び水入口を含む陽極室;
陰極室と陽極室を部分的に充填している、金属水酸化物MOHを含む電解質水溶液;
陰極ガス出口と接続されている第1の制御弁
陽極ガス出口と接続されている第2の制御弁;及び
水入口と接続される第3の制御弁
具備し、且つその陰極及び陽極が、電解質水溶液に少なくとも部分的に浸漬されている、金属M 水素化物ガス発生させるための装置が挙げられる
本発明の他の実施態様としては
(a)その少なくとも一部に金属M含有する管状外被と、
(b)電気絶縁体底と、
(c)陰極ガス出口、陽極ガス出口及び水入口を含む電気絶縁体上蓋と、
(d)分割電気化学セルを陰極室と陽極室分割する分割材であって陽極と陰極の回路から電気的に絶縁された分割材と、
(e)金属Mの固体棒材と金属M 粒体固定層とからなる群から選択される陰極、及び陰極ガス出口を含む陰極室と、
(f)金属M含有する管状外被の該少なくとも部分である陽極、陽極ガス出口及び水入口を含む陽極室と
を含む分割電気化学セルにおいて、金属M 水素化物を発生させるための方法であって、次のステップを含む方法が挙げられる:
陰極室及び陽極室に金属水酸化物MOHを含む電解質水溶液を提供し、陰極及び陽極電解質水溶液に少なくとも部分的に浸漬させるステップ
分割電気化学セルに電力を供給するステップ;
陰極ガス出口及び陽極ガス出口に接続された制御弁を使用することにより、差圧ΔP=Pc−Paを制御するステップここで、Pc:陰極室の圧力、Pa:陽極室の圧力
差圧ΔPを増加させるステップ
陰極室で発生するガスを陰極ガス出口を通じて水素化物ガスとして放出させるステップ
陽極室で発生するガスを陽極ガス出口を通じて放出させるステップ;及び
制御弁を閉じるステップ
さらに本発明の他の実施態様としては
下記の(a)〜(f)を有する分割電気化学セル:
(a)管状外被の少なくとも一部に金属ニッケルを含有する管状外被
(b)電気絶縁体底部、
(c)陰極ガス出口、陽極ガス出口及び水入口を含む電気絶縁体上蓋
(d)分割電気化学セルを陰極室と陽極室分割する分割材であって陽極と陰極の回路から電気的に絶縁されている分割材
(e)固体棒材Asと金属As粒体固定層からなる群から選択される陰極、及び陰極ガス出口を含む陰極室
(f)金属ニッケルを含有する管状外被の少なくとも一部である陽極、陽極ガス出口及び水入口を含む陽極室
金属水酸化物MOHを含み、陰極室及び陽極室を少なくとも部分的に充填している電解質水溶液;
陰極ガス出口と接続されている第1の制御弁
陽極ガス出口と接続されている第2の制御弁
水入口と接続される第3の制御弁
具備する装置であって、その陰極及び陽極が、電解質溶液に少なくとも部分的に浸漬されている、砒素金属水素化物ガスを発生させるための装置が挙げられる
さらに本発明の他の実施態様としては
(a)その少なくとも一部に金属ニッケルを含有する管状外被と、
(b)電気絶縁体底と、
(c)陰極ガス出口、陽極ガス出口及び水入口を含む電気絶縁体上蓋と、
(d)分割電気化学セルを陰極室と陽極室分割する分割材であって陽極と陰極の回路から電気的に絶縁されている分割材と、
(e)固体棒材Asと金属As粒体固定層とからなる群から選択される陰極、及び陰極ガス出口を含む陰極室と、
(f)金属ニッケルを含有する管状外被の少なくとも一部である陽極、陽極ガス出口及び水入口を含む陽極室
を含む分割電気化学セルにおいて、砒素金属水素化物ガスを発生させるための方法であって、次のステップを含む方法が挙げられる
陰極室及び陽極室に金属水酸化物M OHを含む電解質水溶液を提供し、陰極及び陽極を電解質水溶液に少なくとも部分的に浸漬させるステップ
分割電気化学セルに電力を供給するステップ;
陰極ガス出口と陽極ガス出口に接続される制御弁を使用することにより差圧ΔP=Pc−Paを制御するステップここで、Pc:陰極室の圧力、Pa:陽極室の圧力);
差圧ΔPを増加させるステップ;
陰極室で発生するガスを陰極ガス出口を通じて水素化物ガスとして放出させるステップ;
陽極室で発生するガスを陽極ガス出口を通じて放出させるステップ;及び
制御弁を閉じるステップ。
さらに本発明の他の実施態様としては
下記の(a)〜(c)を有する分割電気化学セル:
(a)金属Mを少なくとも部分的に含有するU字形管状外被であって、そのU字形管状外被の片側が、陰極室を形成し、U字形管状外被の他の側が、陽極室を形成し、且つU字形管状外被の底部分が、陰極室と陽極室を接続するが陰極ガスと陽極ガスとを混合させない電気絶縁体を含むU字形管状外被、
(b)金属Mの固体棒材及び金属M 粒体固定層からなる群から選択される陰極、及び陰極ガス出口を含む電気絶縁体上蓋を含む陰極室
(c)金属M含有するU字形管状外被の他の側である陽極、並びに陽極ガス出口及び水入口を含む電気絶縁体上蓋を含む陽極室
金属水酸化物MOHを含み、陰極室及び陽極室を部分的に充填している電解質水溶液
陰極ガス出口と接続される第1の制御弁;
陽極ガス出口と接続される第2の制御弁;及び
水入口と接続される第3の制御弁
具備する装置であって、陰極及び陽極が電解質水溶液に浸漬されている、砒素金属水素化物ガス発生させるための装置が挙げられる
さらに本発明の他の実施態様としては
(a)金属Mを少なくとも部分的に含有するU字形管状外被であって、そのU字形管状外被の片側が陰極室を形成し、U字形管状外被の他の側が陽極室を形成し、且つU字形管状外被の底部分、陰極室と陽極室を接続するが陰極ガスと陽極ガスとを混合させない電気絶縁体を含むU字形管状外被と
(b)金属Mの固体棒材及び金属M 粒体固定層からなる群から選択される陰極、及び陰極ガス出口を含む電気絶縁体上蓋を含む陰極室
(c)金属M含有するU字形管状外被の他の側である陽極、並びに陽極ガス出口及び水入口を含む電気絶縁体上蓋を含む陽極室と
を含む分割電気化学セルにおいて金属M 水素化ガスを発生させるための方法であって、次のステップを含む方法が挙げられる
陰極室及び陽極室に金属水酸化物M OHを含む電解質水溶液を提供し、陰極及び陽極を電解質水溶液に少なくとも部分的に浸漬させるステップ;
分割電気化学セルに電力を供給するステップ;
陰極ガス出口及び陽極ガス出口に接続される制御弁を使用することにより差圧ΔP=Pc−Paを調節するステップここで、Pc:陰極室の圧力、Pa:陽極室の圧力
差圧ΔPを増加させるステップ
陰極室で発生するガスを陰極ガス出口を通じて水素化物ガスとして放出させるステップ
陽極室で発生するガスを陽極ガス出口を通じて放出させるステップ;及び
制御弁を閉じるステップ
上述の実施態様において、Mは、Sb、As、Ge、Pb、Cd及びれらの組合せからなる群から選択される金属又は金属合金であり、Mは、ニッケル、銅、ステンレス鋼、及びアルミニウム並びにこれらの組合せを含む陽極酸素発生に適な金属又は金属合金であり、Mは、アルカリ金属及びアルカリ土類金属からなる群から選択され、且つ電解質水溶液のMOHは、2重量%〜45重量%の範囲であり、さらにOHは、NaOH、KOH、LiOH、CsOH、NHOH及びれらの組合せからなる群から選択される。
加えて、分割電気化学セルは、電流密度が、およそ100〜およそ15,000A/mの範囲;又は、一定の電圧が、およそ2〜およそ15ボルトの範囲;温度が、およそ15℃〜およそ100℃の範囲;Pc及びPaが、およそ50,000〜およそ500,000Paの範囲;ΔPが、およそ1〜およそ10,000Paの範囲の下で作動し、水が陽極室に連続的に又はバッチ式に加えられる。
分割材は、電解質水溶液中に部分的に延びて陽極ガスと陰極ガスとの混合を防ぐ、固体不透過性の隔壁である。
あるいは、分割材は、固体不透過性の隔壁と多孔質の透過性隔膜との組合せであり、この多孔質の透過性隔膜は、気泡の混合を防止するために孔寸法が陽極室及び陰極室で発生する気泡より小さく、且つその分割材は、陽極ガスと陰極ガスの混合を防止するために、電解質水溶液中に少なくとも部分的に延びる。
上述の実施態様は、分割電気化学セルの温度を制御するために、分割電気化学セルの管状外被を被覆し、且つ循環冷却液の流入口及び流出口を有する伝熱ジャケットを含む。
本発明は、電子部品と太陽電池材料の製造において使用する実質的に酸素の存在しない高品質且つ低コストな水素化物ガスを、連続的に製造するための装置及び方法を開示する。
現在、水素化物ガスは、大容量の高圧ボンベ又は固体の支持材に吸収された状態で入手可能である。水素化物ガスは、極めて強い毒性があり、それらを大量に貯蔵することの代替手段は、電気化学的生成による水素化物ガスのその場(insitu)生成を提供することである。本発明は、任意の大量貯蔵システムに存在するであろうものの小部分に、水素化物ガスのリアルタイムの在庫を減少させることを可能とする。加えて、水素化物は、水素化物ガスを用いる設備において予期しない安全性の問題が起こった場合に、電流を切ることにより直ちに運転停止することができる、分割電気化学セルから生産されるであろう。金属陰極を事前に取付けた分割電気化学セル輸送することができセル中に水素化物ガスがない状態で)、且つ水素化物ガス漏れの懸念がなく現場での操業のための場所に保存することができる。
加えて、アルシンの現在の製造プロセスにおいて、砒化亜鉛、硫酸と反応さて、生アルシンガスと砒素で汚染された硫酸亜鉛の残りの固形廃棄物の流れを生成する。この廃棄物の流れ、特殊な有害廃棄物の埋立地において処分されなければならない。これは、本発明が最小限の固形廃棄物発生する条件で用いられる場合に避けられる、経済/環境的な不利を提示する。電解質は、補充水だけの添加で本質的に安定であり、そしてこれは、電解質の再利用を可能にする。
現在の砒化亜鉛製造プロセスは、硫黄不純物を含有する生のガスを与える。これらは除去されなければならない。本発明はこれらの不純物を回避する。しかし、その新規プロセスは、アルシンガスの酸素汚染を避ける手法で運転されなければならない。
対応する金属陰極からの水素化物の電気化学的なその場生成が開発されてきた。これらのプロセスにおいて、陽極は、犠牲金属、例えばモリブデン、カドミウム、又はタングステンであり、これは高価であり、塩の廃棄物を発生する。本発明において、水と金属陰極だけが消費され、費用のかかる犠牲陽極は避けられる。われわれのプロセスにおける全体のプロセス化学が、下記に示され、式中、CE(0〜1)は電気化学プロセスのアルシン電流効率である。われわれのプロセスの典型的な値は、CE=0.80〜0.95である。
Figure 0005400373
この装置は、固体砒素棒材が陰極として機能し、且つニッケル管が陽極として機能する、分割電気化学セルを含む。電解質は、任意の水系の水酸化物塩、例えば、水酸化カリウムの20〜25%水溶液である。
その電気化学セルは、酸素ガスとアルシンガスが混合しないように陽極室及び陰極室に分割される。ガスは、独立した出口を通じてそれら各々の室の気相に存在する。電気化学セルを分離し、且つガス混合を抑制する2つの選択肢が存在する。1つの選択肢は、固体の隔壁を使用することであり、また他の選択は多孔質の隔膜と組合わせて固体分割材を使用することである
任意的な円筒形の分割電気化学セルの設計は、プロセスが大気よりも高い圧力で効率的に運転することを可能とし不純物、例えば水の除去を促進し、且つ水素化物を処理する補助装置に供給する。その運転方法は、次のステップを含む:液面を維持して金属水素化物ガスと酸素が混合しないことを確保するステップ;陰極室からの水素化物ガス及び陽極室からの酸素を連続的に除去するステップ;水が消費されるにしたがって水を継続的に置換するステップ;レベルを制御して液圧封止維持することを確保するステップ;分割電気化学セルに供給する電流を制御して容器が過圧されないことを確保するステップ;水素化物のストリームの純度を、実質的に酸素が存在しないように制御するステップ
図1〜図6は、分離した陽極室及び陰極室を有する分割電気化学セルの設計の変形を示す。
下記のものは、図1〜図6において使用される基本表記である。
20=陽極室と陰極室分離し、陽極又は陰極回路から電気的に絶縁され固体隔壁。絶縁材料(例えば高密度ポリエチレン)又は陽極及び陰極の回路から絶縁される場合の金属、例えばステンレス鋼から作ることができる
21=不電導性透過性隔膜。
22=分割電気化学セルジャケットからの冷却液出口。
23=分割電気化学セルジャケットへの冷却液入口。
24=陽極ガス口と陰極ガス口を有し、且つ陽極及び陰極回路から電気的に絶縁されている固体蓋
25=陰極室。
26=陽極室。
27=伝熱ジャケット(不電導性液体)。
28=分割電気化学セルからの酸素形成を抑制する分割電気化学セル上の電気絶縁体。
29=陽極室と陰極室を接続し、陽極室と陰極室から電気的に絶縁されている液体導管底
30=砒素電極、固体棒材又は粒体固定層。
31=陽極としてもはたらき、典型的な構成がニッケルである分割電気化学セル外被。
33=砒素層と電気的に接触させるための金属棒材。
40=陰極室からの陰極ガス出口。
41=陽極室からの陽極ガス出口。
42=差圧変換器/制御器。
43=高圧変換器/スイッチ
44=電気電源。
45=給水入口。
50=電源に対する高圧アラーム信号。
51=電源に対する差圧制御信号。
52=陽極電力接続。
53=陰極電力接続。
54=高圧入力。
55=陰極室からの差圧入力。
56=陽極室からの差圧入力。
57=陰極ガス制御弁に対する制御信号。
58=水制御弁に対する制御信号。
59=陽極ガス制御弁に対する制御信号。
80=陰極ガス制御/計測弁。
81=陽極ガス制御/計測弁。
82=水制御/計測弁。
図1及び図2は、電気的絶縁された導管底部分29が、陽極室26と陰極室25とを接続している、U字形管状外被構成設計され分割電気化学セルを示す。陽極室及び陰極室で放出され、混合しないが浮揚力によってその各室のガス「ヘッドスペース」(室25、26の上部分)に浮上するガスを区分するために機能させるように、この導管を、十分に低く配置する。そのガスはこれらの「ヘッドスペース」域からガス出口40及び41を通じて出ることができる。補充水を、入口45を通じて連続的に又はバッチ式に加えることができる。陽極室陰極室との連続的な液の連絡が、室間のイオン流動させるために必要であるが、この連絡させる開口部は酸素とアルシンの上昇気泡が再結合しないように提供されるべきである
図3〜図6において、陽極室及び陰極室は、陽極室が中央の管状陰極室の周りにある環状構造となる、「管内管」形状の形態配置される。特定配置は物質の利用可能性又は分割電気化学セルの異なる寸法に対する製造の選好により影響を受ける
図3及び図4は、固体の隔壁を用いて設計された「管内管」構造を有する分割電気化学セルを示し、固体の、不透過性の隔壁20が、電気化学セルを陽極室26と陰極室25分割している。隔壁20は、陽極室及び陰極室放出されるガスが、混合しないが浮揚力によってその各室のガス「ヘッドスペース」域(室26、25の上部分)に浮上するように電解質水溶液中に十分に延びる。そのガスは、これらの「ヘッドスペース」域からガス出口40及び41を通じて出ることができる。補充水を、入口45を通じて連続的に又はバッチ式に加えることができる。陽極室及び陰極室の連続的な液の連絡が、室間のイオン流動をさせるために必要であるが、この連絡をさせる開口部は酸素とアルシンの上昇気泡が再結合しないように提供されるべきである
図5及び図6は、固体隔壁20及び多孔/透過性隔膜21の組合せ用いて設計された「管内管」構造を有する分割電気化学セルを示し、組合せの隔壁20及び21は、電気化学セルを陽極室26と陰極室25分割する。隔壁20は、多孔/液透過性隔膜21に隣接して電解質水溶液中に延びる。その隔膜の孔は、酸素及びアルシン気泡が隔膜を通じて通過できないほど十分小さい。この隔膜は、陽極と陰極室間の連絡だけが、隔膜の孔を通じるように、分割電気化学セルのまで延びていてもよい。陽極及び陰極放出されるガスは、混合しないが、浮揚力によってその各室のガス「ヘッドスペース」域(室26、25の上部分)に浮上する。陽極室及び陰極室(26と25)の間の隔膜21を通した連続的な液の連絡が、室間のイオン流動させるために必要である。図3において、固体の隔壁20は、液体を流動させるが気泡の通過を防ぐ、「チューブ・イン・チューブ」設計における多孔質隔膜21により、一部で置換される
プロセス制御のために多くの構成が可能である。
1.差動変換器/制御器42を、陽極室及び陰極室からの差圧入力信号、55及び56間で測定される、固有のプログラミングされた差圧の設定値に到達した場合に、制御信号51を用いて、電源44から電流を切るようにプログラミングすることができる
2.圧力入力54から測定された高圧変換器/調節器43への全圧力が、プログラム圧力を越える場合に緊急の停止が同様に可能である。43からの信号が、制御信号50を通じて電源44に達して、電力を停止する。
3.代替の制御機構は、55と56との差圧が制御設定値を越える場合に、陰極制御弁80及び/又は陽極制御弁81を制御する。
分割電気化学セルの温度制御は分割電気化学セルの周囲にあるジャケット27を通じて、入口23を通って、出口22からジャケットを出る通常の冷却液(不導電性液体)源を用いることにより、達成することができる
「管内管」構造(図3〜図6に示される)を有する分割電気化学セル関して、陽極31が分割電気化学セル外被の一部でもある場合に、特に有利である。ニッケルは、アルカリ性水酸化物電解質水溶液が使用される場合に、31についての構築に許容可能な材料であるプラスチック、例えば高密度ポリエチレンと薄ニッケル電極の複合分割電気化学セルも許容可能である
以下の実施例を、本発明をさらに説明する目的に提供するが、これに限定することを決して意図していない
実施例1
分割電気化学セル、図1による「U字形」管の構造に構築した。垂直陽極室26は24.5mm内径ニッケル管からなり、且つ垂直陰極室25は24.5mm内径316ステンレス鋼管からなる。2つの室を、において24.5mm内径テフロン(登録商標)管によって接続した。陰極は99%純度砒素棒材、直径21mm、長さ486mm、及び重量450gであった。砒素棒材がステンレス鋼外被に接触しないことを保証するプラスチックスペーサーと共に、陰極を、ステンレス鋼管中に配置した。陽極室と陰極室を、25wt%KOH水溶液250mで充填した。分割電気化学セルは、ジャケットがかぶされず、また周囲の外部冷却を、ファンを用いて実行した。陽極室を、雰囲気に通気し、且つ陽極で発生した酸素を、窒素パージガスで混合した
分割電気化学セルを、3.0アンペアの一定電流Aで、又は8700A/m 電流密度を用いて運転したが、その間に分割電気化学セルの電圧は10〜12Vで変動した。電流密度は、濡れた(KOH水溶液に浸漬された)陽極の幾何表面積で割られた、陽極での全電流として定義される。陰極室と陽極室との差圧を、陰極室の制御弁を用いて250〜1000Paに維持した。差圧1000Pa超で、陰極ガスを、分割電気化学セルからガス分析及び収集室に、差圧が250Paに達して制御弁が閉じられるまで、放出した。この効果は、一定電流運転中に、分割電気化学セルの液面を上下させた。ガス組成は本質的に82%から86%(モル%)アルシン及び水素18%〜14%からなる補充物からなる。分割電気化学セル温度を、58℃〜70℃に維持した
その結果を、図7、図8、図9及び図10示す。
図7は、AsH/O 分割電気化学セルに関しての典型的な動作曲線を示す。四重極質量分析計、QMSを用いて分析された陽極及び陰極のガスの点を示す。その結果は、図9及び図10示している。
図8は、分析計内の残存種を示すヘリウム中のバックグラウンド四重極質量スペクトルを示す。
図9は、本質的に純粋なアルシンと微量の水素を示す陰極ガスの四重極質量スペクトルを示す。留意すべきは、残存の酸素が、図8のバックグラウンドと同じ水準であることである。結果として、陰極室発生した砒素ガスは、陽極室発生した酸素と混合されない。
図1〜図6で設計したように固体の隔壁により陽極室と陰極室とに分割された分割電気化学セルから発生させたアルシンは実質的に酸素が存在しない。
図10は、本質的に純粋な酸素を示す窒素を用いて希釈された陽極ガスの四重極質量スペクトルを示す。
実施例2
この実施例において、分割電気化学セルを、実施例1のように正確に運転したが、砒素棒材を、純度99%、平均粒子サイズ3mmの砒素の粒体固定層交換した。砒素粒体層は、1インチの高さであり、且つステンレス鋼管状外被と電気的に接続させた。電源からの陰極をステンレス鋼陰極外被外壁に取り付け、且つ電気的接続を砒素層にした。そのアルシンガスは近似的に85%であり、水素からなる残部を有し、且つ実質的に酸素が存在しない(100ppm未満)
実施例3
この実施例において、分割電気化学セルを、実施例1のように正確に運転したが、32gのアルシン試料を収集し、ガスクロマトグラフィーによって分析し、且つ結果表1に要約した。酸素レベルは、14.1ppm維持された。水素とバックグラウンド窒素以外に、重大な不純物、特に水素化ゲルマニウム及びホスフィンは、観測されなかった。
Figure 0005400373
実施例4
分割電気化学セルを、図5に従って構築した。分割電気化学セル外壁外被31を、ニッケル−200から構築し、内径152mmとした。これは外側の陽極室26を形成する。内側の隔膜21は、76mm内径を有し、0.100mmの平均寸法の多孔質ポリエチレンで構築した。陰極室25砒素棒材30はおよそ直径51mm、長さ305mm、及び重量3000gであり、且つ純度99%を有した。陽極及び陰極室(26及び25)を分離する固体のパーティション20は、分割電気化学セル蓋24に不可欠であり、またステンレス鋼で作られた。蓋24及び隔壁20を、テフロン(登録商標)ガスケットを用いて陽極電極及び陰極電極の両方から電気的に絶縁した。全体の分割電気化学セルの高さは、およそ610mmであり、またこれを、25%の水酸化カリウムの8つのリーダー(leader)で充填した
分割電気化学セル内の温度を、外冷却ジャケット27を使用して20℃〜25℃に制御した陽極室と陰極室(26と25)との差圧を、陽極ガス弁(81)を用いて±50Paで維持しながら、30A一定電流又は610A/m 電流密度を、分割電気化学セルに適用した
陽極ガスのガス組成を、質量分析とガスクロマトグラフィーにより連続的に測定した。微量ガス分析を、アルシンガスについて実施し、全体のガス組成を表2に示した。陰極ガス組成は安定であり、主なガス種は、95%〜97%のアルシンと残部の水素であった
Figure 0005400373
図5設計されたように、多孔質隔膜と組合せ固体の隔壁を用いることにより陽極室と陰極室とに分割された分割電気化学セルから発生するアルシンは、実質的に酸素が存在しない
前述の実施例、及び望ましい実施態様の記載は、請求項により定められた本発明を限定するよりも例証していると考慮されるべきである。容易に認識されるように、上述した特徴多数の変形及び組合せを、請求項示される本発明から離れることなく利用することができる。そのような変形は、発明の精神と範囲からの逸脱とはみなされずそのような全ての変形が、次の特許請求の範囲内に含まれると解釈される。
「U字形」形状を有する分割電気化学セルである。陰極は水素化物金属製造される固体金属棒材からなる
「U字形」形状を有する分割電気化学セルである。陰極は水素化物金属製造される金属粒体固定層からなる
「チューブ・イン・チューブ」形状を有する分割電気化学セルである。固体の隔壁が、電気化学セルを分割している。陰極は水素化物金属製造される固体金属棒材からなる。
「チューブ・イン・チューブ」形状を有する分割電気化学セルである。固体の隔壁が、電気化学セルを分割している。陰極は水素化物の金属製造される金属粒体固定層からなる。
「チューブ・イン・チューブ」形状を有する分割電気化学セルである。多孔質隔膜に隣接する固体隔壁が、電気化学セルを分割している。陰極は水素化物金属製造される固体金属棒材からなる。
「チューブ・イン・チューブ」形状を有する分割電気化学セルである。多孔質隔膜に隣接する固体隔壁が、電気化学セルを分割している。陰極は水素化物の金属製造される金属粒体固定層からなる。
AsH/O分割電気化学セルに関する典型的な動作曲線である
分析計内の残存種を示すヘリウム中のバックグラウンド四極質量スペクトルである。
陰極ガスの四極質量スペクトルである。
窒素で希釈された陽極ガスの四極質量スペクトルである。

Claims (24)

  1. 下記の(a)〜(f)を有する分割電気化学セル:
    (a)少なくとも一部に金属Mを含有する管状外被、
    (b)電気絶縁体底部、
    (c)陰極ガス出口、陽極ガス出口及び水入口を含む電気絶縁体上蓋、
    (d)分割電気化学セルを陰極室と陽極室に分割する分割材であって、陽極回路と陰極回路から電気的に絶縁された分割材、
    (e)金属Mの固体棒材及び金属Mの粒体固定層からなる群から選択される陰極、及び該陰極ガス出口を含む該陰極室、
    (f)金属Mを含有する管状外被の該少なくとも一部である陽極、該陽極ガス出口及び該水入口を含む陽極室;
    該陰極室と該陽極室とを部分的に充填している、酸化物MOHを含む電解質水溶液;
    該陰極ガス出口と接続されている第1の制御弁;
    該陽極ガス出口と接続されている第2の制御弁;及び
    該水入口と接続されている第3の制御弁
    を具備し、且
    該陰極の該金属Mと該陽極の該金属Mが、該電解質水溶液に少なくとも部分的に浸漬しており;該M が、アンチモンSb、砒素As、ゲルマニウムGe、鉛Pb、カドミウムCd及びこれらの組合せからなる群から選択される金属または金属合金であり;該M が、ニッケル、銅、ステンレス鋼、アルミニウム、及びこれらの組合せからなる群から選択される、陽極の酸素発生に適切な金属または金属合金であり;該M が、アルカリ金属及びアルカリ土類金属からなる群から選択される金属又はNH である、
    金属Mの水素化物ガスを発生させるための装置。
  2. 該分割材が、該電気絶縁体上蓋から該電解質水溶液中に少なくとも部分的に延びて陽極ガスと陰極ガスとの混合を防ぐ固体の不透過性の隔壁である、請求項1に記載の装置。
  3. 該分割材が、固体の不透過性の隔壁と多孔質の透過性隔膜との組合せであって、該多孔質の透過性隔膜の孔寸法は、気泡の混合を防ぐために、陽極室及び該陰極室において発生する気泡より小さく、且つ該分割材が、該電気絶縁体上蓋から該電解質水溶液中に少なくとも部分的に延びて陽極ガスと陰極ガスの混合を防ぐ、請求項1に記載の装置。
  4. 電解質水溶液中のMOHが、2重量%〜45重量%の範囲である、請求項1に記載の装置。
  5. 該MOHが、NaOH,KOH,LiOH,CsOH,NHOH及びこれらの組合せからなる群から選択される、請求項4に記載の装置。
  6. 該分割電気化学セルの該管状外被を被覆する伝熱ジャケットをさらに含む装置であって、該伝熱ジャケットが冷却液を循環させるための流入口と流出口を有する請求項1に記載の装置。
  7. (a)少なくとも一部に金属Mを含有する管状外被と、
    (b)電気絶縁体底部と、
    (c)陰極ガス出口、陽極ガス出口及び水入口を含む電気絶縁体上蓋と、
    (d)分割電気化学セルを陰極室と陽極室に分離する分割材であって、陽極回路と陰極回路から電気的に絶縁されている分割材と、
    (e)金属Mの固体棒材及び金属Mの粒体固定層からなる群から選択される陰極、及び該陰極ガス出口を含む該陰極室と、
    (f)該金属Mを含有する管状外被の少なくとも一部である陽極、該陽極ガス出口及び該水入口を含む陽極室と
    を含む分割電気化学セルにおいて、金属Mの水素化物ガスを発生させるための方法であって、次のステップを含む方法:
    酸化物MOHを含む電解質水溶液を、該陰極室及び該陽極室に提供し、該陰極の該金属M及び該陽極の該金属Mを、少なくとも部分的に該電解質水溶液に浸漬させるステップ、ここで該M は、アンチモンSb、砒素As、ゲルマニウムGe、鉛Pb、カドミウムCd及びこれらの組合せからなる群から選択される金属または金属合金であり、該M は、ニッケル、銅、ステンレス鋼、アルミニウム、及びこれらの組合せからなる群から選択される、陽極の酸素発生に適切な金属または金属合金であり、該M は、アルカリ金属及びアルカリ土類金属からなる群から選択される金属又はNH である
    該分割電気化学セルに電力を供給するステップ;
    該陰極ガス出口及び該陽極ガス出口に接続された制御弁を使用することにより、差圧ΔP=Pc−Paを制御するステップ(ここで、Pc:該陰極室の圧力、Pa:該陽極室の圧力);
    該差圧ΔPを増加させるステップ;
    該陰極室において発生するガスを該陰極ガス出口を通じて水素化物ガスとして放出させるステップ;
    該陽極室において発生するガスを該陽極ガス出口を通じて放出させるステップ;及び
    該制御弁を閉じるステップ。
  8. 電解質水溶液中のMOHが2重量%〜45重量%の範囲である、請求項7に記載の方法。
  9. 該電力が、100A/m〜15,000A/mの範囲の一定電流密度、または2ボルト〜15ボルトの範囲の定電圧Vにより供給され;Pc及びPaが、50,000Pa〜500,000Paの範囲であり;ΔPが、1Pa〜10,000Paの範囲であり;該分割電気化学セルを、15℃〜100℃の範囲の温度で作動され;且つ水を、該陽極室に連続的またはバッチ式で加えられる、請求項7に記載の方法。
  10. (a)少なくとも一部に金属ニッケルを含む管状外被と、
    (b)電気絶縁体底部と、
    (c)陰極ガス出口、陽極ガス出口及び水入口を含む電気絶縁体上蓋と、
    (d)分割電気化学セルを陰極室と陽極室に分離する分割材であって、陽極と陰極の回路から電気的に絶縁されている分割材と、
    (e)固体棒材As及び金属As粒体の固定層からなる群から選択される陰極、及び該陰極ガス出口を含む陰極室と、
    (f)金属ニッケルを含む管状外被の少なくとも一部である陽極、該陽極ガス出口及び該水入口を含む陽極室と
    を含む分割電気化学セルにおいて、砒素金属水素化物ガスを発生させるための方法であって、次のステップを含む方法:
    酸化物MOHを含む電解質水溶液を、該陰極室及び該陽極室に提供し、該陰極の該As及び該陽極の該金属ニッケルを、少なくとも部分的に電解質水溶液に浸漬させるステップ、ここで該M は、アルカリ金属及びアルカリ土類金属からなる群から選択される金属又はNH である
    該分割電気化学セルに電力を供給するステップ;
    該陰極ガス出口及び該陽極ガス出口に接続された制御弁を使用することにより、差圧ΔP=Pc−Paを制御するステップ(ここで、Pc:該陰極室の圧力、Pa:該陽極室の圧力);
    該差圧ΔPを増加させるステップ;
    該陰極室において発生するガスを該陰極ガス出口を通じて水素化物ガスとして放出させるステップ;
    該陽極室において発生するガスを該陽極ガス出口を通じて放出させるステップ;及び
    該制御弁を閉じるステップ。
  11. 電解質水溶液中のMOHを2重量%〜45重量%の範囲とする、請求項10に記載の方法。
  12. 該MOHが、NaOH、KOH、LiOH、CsOH、NHOH及びそれらの組合せからなる群から選択される、請求項11に記載の方法。
  13. 該電力が、100A/m〜15,000A/mの範囲の一定電流密度、または2ボルト〜15ボルトの範囲の定電圧Vにより供給であり;Pc及びPaが、50,000Pa〜500,000Paの範囲であり;ΔPが、1Pa〜10,000Paの範囲であり;該分割電気化学セルが、15℃〜100℃の範囲の温度で作動され;且つ水が、該陽極室に連続的又はバッチ式で加えられる、請求項10に記載の方法。
  14. 下記の(a)〜(c)を有する分割電気化学セル:
    (a)少なくとも部分的に金属Mを含有するU字形管状外被であって、該U字形管状外被の片側が、陰極室を形成し、該U字形管状外被の他の側が、陽極室を形成し、且つ該U字形管状外被の底部分が、該陰極室と該陽極室とを接続するが陰極ガスと陽極ガスとを混合させない電気絶縁体を含むU字形管状外被と
    (b)金属Mの固体棒材及び金属Mの粒体固定層からなる群から選択される陰極と、陰極ガス出口を有する電気絶縁体上蓋とを含む陰極室と、
    (c)金属Mを含有する該U字形管状外被の該他の側である陽極と、陽極ガス出口及び水入口を有する電気絶縁体上蓋とを含む陽極室;
    該陰極室及び該陽極室を部分的に充填している、水酸化物MOHを含む電解質水溶液;
    該陰極ガス出口と接続されている第1の制御弁;
    該陽極ガス出口と接続されている第2の制御弁;
    該水入口と接続される第3の制御弁
    を具備し、かつ
    該陰極の該金属Mと該陽極の該金属Mが、該電解質水溶液に浸漬しており;該M が、アンチモンSb、砒素As、ゲルマニウムGe、鉛Pb、カドミウムCd及びこれらの組合せからなる群から選択される金属または金属合金であり;該M が、ニッケル、銅、ステンレス鋼、アルミニウム、及びこれらの組合せからなる群から選択される、陽極の酸素発生に適切な金属または金属合金であり;該M が、アルカリ金属及びアルカリ土類金属からなる群から選択される金属又はNH である、
    金属Mの水素化物ガスを発生させるための装置。
  15. 該分割電気化学セルの該管状外被を被覆する伝熱ジャケットをさらに含む装置であって、該伝熱ジャケットが循環冷却液の流入口と流出口を有する、請求項14に記載の装置。
  16. 電解質水溶液中のMOHが、2重量%〜45重量%の範囲である、請求項14に記載の装置。
  17. 該MOHが、NaOH、KOH、LiOH、CsOH、NHOH及びこれらの組合せからなる群から選択される、請求項16に記載の装置。
  18. (a)少なくとも部分的に金属Mを含有するU字形管状外被であって、該U字形管状外被の片側が、陰極室を形成し、該U字形管状外被の他の側が、陽極室を形成し、且つ該U字形管状外被底部分が、該陰極室と該陽極室とを接続するが陰極ガスと陽極ガスとを混合させない電気絶縁体を含むU字形管状外被と
    (b)金属Mの固体棒材と金属Mの粒体固定層からなる群から選択される陰極と、陰極ガス出口を有する電気絶縁体上蓋とを含む陰極室と、
    (c)金属Mを含有する該U字形管状外被の該他の側である陽極、並びに陽極ガス出口及び水入口を有する電気絶縁体上蓋を含む陽極室と
    を含む分割電気化学セルにおいて、金属Mの水素化物ガスを発生させるための方法であって、次のステップを含む方法:
    酸化物MOHを含む電解質水溶液を、該陰極室及び該陽極室に提供し、該陰極の該金属M及び該陽極の該金属Mを、少なくとも部分的に電解質水溶液に浸漬させるステップ、ここで該M は、アンチモンSb、砒素As、ゲルマニウムGe、鉛Pb、カドミウムCd及びこれらの組合せからなる群から選択される金属または金属合金であり、該M は、ニッケル、銅、ステンレス鋼、アルミニウム、及びこれらの組合せからなる群から選択される、陽極の酸素発生に適切な金属または金属合金であり、該M は、アルカリ金属及びアルカリ土類金属からなる群から選択される金属又はNH である
    該分割電気化学セルに電力を供給するステップ;
    該陰極ガス出口及び該陽極ガス出口に接続された制御弁を使用することにより、差圧ΔP=Pc−Paを制御するステップ(ここで、Pc:該陰極室の圧力、Pa:該陽極室の圧力);
    該差圧ΔPを増加させるステップ;
    該陰極室において発生するガスを該陰極ガス出口を通じて水素化物ガスとして放出させるステップ;
    該陽極室において発生するガスを該陽極ガス出口を通じて放出させるステップ;及び
    該制御弁を閉じるステップ。
  19. 電解質水溶液中の金属水酸化物MOHが2重量%〜45重量%の範囲である、請求項18に記載の方法。
  20. 該電力が、100A/m〜15,000A/mの範囲の一定電流密度、または2ボルト〜15ボルトの範囲の定電圧Vにより供給され;Pc及びPaが、50,000Pa〜500,000Paの範囲であり;ΔPが、1Pa〜10,000Paの範囲であり;該分割電気化学セルが、15℃〜100℃の範囲の温度で作動され;且つ水が、該陽極室に連続的又はバッチ式で加えられる、請求項18に記載の方法。
  21. 該分割材が、該電気絶縁体上蓋から少なくとも部分的に電解質水溶液中に延びて陽極ガスと陰極ガスとの混合を妨げる固体の不透過性の隔壁である、請求項7に記載の方法。
  22. 該分割材が、固体の不透過性の隔壁と多孔質の透過性隔膜との組合せであって、該多孔質の透過性隔膜の孔寸法は、気泡の混合を防ぐために、該陽極室及び該陰極室において発生する気泡より小さく、且つ該分割材が、該電気絶縁体上蓋から少なくとも部分的に電解質水溶液中に延びて陽極ガスと陰極ガスの混合を防ぐ、請求項7に記載の方法。
  23. 該分割材が、該電気絶縁体上蓋から少なくとも部分的に電解質水溶液中に延びて陽極ガスと陰極ガスとの混合を妨げる固体の不透過性の隔壁である、請求項10に記載の方法。
  24. 該分割材が、固体の不透過性の隔壁と多孔質の透過性隔膜との組合せであって、該多孔質の透過性隔膜の孔寸法は、気泡の混合を防ぐために、該陽極室及び該陰極室において発生する気泡より小さく、且つ該分割材が、該電気絶縁体上蓋から少なくとも部分的に電解質水溶液中に延びて陽極ガスと陰極ガスの混合を防ぐ、請求項10に記載の方法。
JP2008324674A 2007-12-20 2008-12-19 分割電気化学セル及び低コスト高純度水素化物ガス製造方法 Active JP5400373B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/961,396 US20090159454A1 (en) 2007-12-20 2007-12-20 Divided electrochemical cell and low cost high purity hydride gas production process
US11/961396 2007-12-20

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009149987A JP2009149987A (ja) 2009-07-09
JP2009149987A5 JP2009149987A5 (ja) 2010-12-02
JP5400373B2 true JP5400373B2 (ja) 2014-01-29

Family

ID=40467149

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008324674A Active JP5400373B2 (ja) 2007-12-20 2008-12-19 分割電気化学セル及び低コスト高純度水素化物ガス製造方法

Country Status (6)

Country Link
US (3) US20090159454A1 (ja)
EP (1) EP2072640B1 (ja)
JP (1) JP5400373B2 (ja)
KR (1) KR101095214B1 (ja)
CN (1) CN101463485B (ja)
TW (1) TWI480425B (ja)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9909224B2 (en) * 2009-05-01 2018-03-06 Xergy Ltd Electrochemical compressor with reactant conduit
WO2011140322A1 (en) 2010-05-05 2011-11-10 Benham Roger A Pressure density differential device
US8361303B2 (en) * 2010-09-02 2013-01-29 Air Products And Chemicals, Inc. Electrodes for electrolytic germane process
WO2014043651A2 (en) 2012-09-14 2014-03-20 Liquid Light, Inc. High pressure electrochemical cell and process for the electrochemical reduction of carbon dioxide
CN102903937B (zh) * 2012-10-24 2014-09-17 大连交通大学 U型液相反应器
CN103014746B (zh) * 2013-01-06 2015-06-03 东北电力大学 一种电解法制备液体高铁酸盐装置及其工艺
US8765518B1 (en) * 2013-03-12 2014-07-01 International Business Machines Corporation Chalcogenide solutions
US9528191B2 (en) * 2014-02-26 2016-12-27 Air Products And Chemicals, Inc. Electrolytic apparatus, system and method for the efficient production of nitrogen trifluoride
CN110612365B (zh) * 2017-05-19 2022-04-05 昭和电工株式会社 电化学制造锗烷的方法
CN111212933A (zh) * 2017-10-11 2020-05-29 沙特基础工业全球技术公司 没有离子交换膜的用于氢和氧分离的水分解系统
CN112703274A (zh) * 2018-11-28 2021-04-23 阿耶尔斯集团有限责任公司 用于高效节能地电化学生产氢化物气体的方法和设备
CN111378979B (zh) * 2018-12-29 2022-03-15 紫石能源有限公司 砷纳米颗粒及其制备方法、电解制砷烷的系统和方法
NL1043221B1 (nl) * 2019-04-04 2020-10-08 V O F E R M Sieling En C J Kloet Inrichting en werkwijze voor het door middel van elektrolyse produceren van waterstof en voor het injecteren van de geproduceerde waterstof in een gasleiding.
WO2021132028A1 (ja) * 2019-12-27 2021-07-01 昭和電工株式会社 フッ素ガスの製造方法及びフッ素ガス製造装置
US20220090275A1 (en) * 2020-09-10 2022-03-24 Utica Leaseco, Llc Systems and methods for high-rate electrochemical arsine generation
US20220074057A1 (en) * 2020-09-10 2022-03-10 Utica Leaseco, Llc Systems and methods for large scale gas generation

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3078218A (en) * 1958-08-04 1963-02-19 Union Carbide Corp Hydrogenation of halogen compounds of elements of groups iii and iv of the periodic system
US3109791A (en) * 1960-07-27 1963-11-05 Hooker Chemical Corp Method of preparing phosphine
US3109793A (en) * 1960-07-27 1963-11-05 Hooker Chemical Corp Method of preparing phosphine
US3404076A (en) * 1965-04-15 1968-10-01 Shell Oil Co Electrolytic preparation of hydrides
US3755128A (en) * 1970-09-15 1973-08-28 Isotopes Inc Electrolysis system and method
US4178224A (en) * 1978-01-19 1979-12-11 Texas Instruments Incorporated Apparatus for generation and control of dopant and reactive gases
US4374014A (en) * 1981-03-20 1983-02-15 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy High pressure electrolytic oxygen generator
JPS63133464A (ja) * 1986-11-25 1988-06-06 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 固体電解質型燃料電池
JP2686609B2 (ja) * 1987-07-27 1997-12-08 日本重化学工業株式会社 燃料電池
JPS6431352U (ja) 1987-08-17 1989-02-27
CA2010482C (en) * 1989-04-18 1998-08-25 Gardy Cadet Process for the fabrication of devices; utilizing electrochemically generated gases
US5474659A (en) * 1989-04-18 1995-12-12 At&T Corp. Process and apparatus for generating precursor gases used in the manufacture of semiconductor devices
US5158656A (en) * 1991-03-22 1992-10-27 Electron Transfer Technologies, Inc. Method and apparatus for the electrolytic preparation of group IV and V hydrides
FR2710043B1 (fr) * 1993-09-17 1995-10-13 Air Liquide Procédé et dispositif de génération d'arsine par voie électrolytique.
JP3889813B2 (ja) * 1995-12-06 2007-03-07 エレクトロン・トランスファー・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 半導体加工用の水素化物ガスを一定組成で供給するための方法と装置
US6080297A (en) * 1996-12-06 2000-06-27 Electron Transfer Technologies, Inc. Method and apparatus for constant composition delivery of hydride gases for semiconductor processing
JP3637039B2 (ja) * 2002-07-26 2005-04-06 忠彦 水野 水素ガスの発生方法および水素ガス発生装置
JP4355790B2 (ja) * 2003-02-07 2009-11-04 Dowaエコシステム株式会社 電解装置、及び電解処理方法
WO2004076721A2 (en) * 2003-02-21 2004-09-10 Avalence Llc Electrolyzer apparatus and method for hydrogen production
KR101073274B1 (ko) * 2003-03-05 2011-10-12 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 유기 화합물의 수소화 처리 장치 및 유기 화합물의 수소화처리 방법
RU2230830C1 (ru) * 2003-07-08 2004-06-20 Общество с ограниченной ответственностью "Фирма "ХОРСТ" Способ получения высокочистого гидрида германия (варианты)
US8021536B2 (en) * 2006-04-13 2011-09-20 Air Products And Chemical, Inc. Method and apparatus for achieving maximum yield in the electrolytic preparation of group IV and V hydrides
US8361303B2 (en) * 2010-09-02 2013-01-29 Air Products And Chemicals, Inc. Electrodes for electrolytic germane process

Also Published As

Publication number Publication date
EP2072640B1 (en) 2014-06-18
CN101463485A (zh) 2009-06-24
KR20090067066A (ko) 2009-06-24
US20140008240A1 (en) 2014-01-09
EP2072640A3 (en) 2010-07-28
EP2072640A2 (en) 2009-06-24
US20150345037A1 (en) 2015-12-03
US20090159454A1 (en) 2009-06-25
CN101463485B (zh) 2011-10-05
TWI480425B (zh) 2015-04-11
TW200928002A (en) 2009-07-01
JP2009149987A (ja) 2009-07-09
KR101095214B1 (ko) 2011-12-16
US9738982B2 (en) 2017-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5400373B2 (ja) 分割電気化学セル及び低コスト高純度水素化物ガス製造方法
JP2009149987A5 (ja)
US8591720B2 (en) Method and apparatus for achieving maximum yield in the electrolytic preparation of group IV and V hydrides
US4541989A (en) Process and device for the generation of ozone via the anodic oxidation of water
CN117947432A (zh) 电化学反应装置
US5158656A (en) Method and apparatus for the electrolytic preparation of group IV and V hydrides
US11447879B2 (en) Hydrogen generator
US20090029203A1 (en) Fuel Cell System With an Electrochemical Hydrogen Generation Cell
US20220074059A1 (en) Electrolytic cell for h2 generation
JP3889813B2 (ja) 半導体加工用の水素化物ガスを一定組成で供給するための方法と装置
US3294586A (en) Fuel cell with movable casing and electrodes and method for operating fuel cell withan anode containing an alkaline earth metal
US20220025528A1 (en) Method and apparatus for energy efficient electrochemical production of hydride gases
US5474659A (en) Process and apparatus for generating precursor gases used in the manufacture of semiconductor devices
JPH071757B2 (ja) デバイスの製造方法
JP2017206729A (ja) 高圧水電解システム及びその吸着材交換方法
US984905A (en) Process and apparatus for the electrolytic decomposition of alkaline salts.
JP2015125912A (ja) 燃料電池システム

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101015

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111017

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111025

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20120124

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20120127

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120425

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130122

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20130419

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20130424

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130722

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131001

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131025

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5400373

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250