JP5390324B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
2 薬液供給路
11 スピン軸
12 スピンベース
13 チャックピン
14 回転駆動機構
21 薬液供給配管
22 薬液タンク
23 ポンプ
24 温度調節器
25 フィルタ
26 薬液供給バルブ
27 薬液帰還配管
28 薬液帰還バルブ
29 薬液供給ノズル
241 本体
241a 薬液流入配管
241b 薬液流出配管
242 伝熱板
242a 金属線
243 ペルチェ素子
244 放熱板
244a 冷却配管
245 筐体
Claims (4)
- 基板に処理液を供給して処理を行う処理部と、
前記処理部の基板に処理液を供給するための処理液供給路と、
前記処理液供給路に設けられ、前記処理液供給路を流れる処理液を温調する温調手段とを含み、
前記温調手段は、
処理液流入配管と処理液流出配管とを備えた枠体である本体と、
ペルチェ素子と、
導電性を有する材料から成り、枠体である前記本体の枠の開口部を覆うように対向配置された状態で前記本体に密着固定されることにより前記本体とともに処理液流路を形成し、前記ペルチェ素子と前記処理液流路内の処理液との間で熱を伝える平板状の一対の伝熱部材と、
前記伝熱部材を接地する接地手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 前記温調手段は、前記ペルチェ素子の放熱を促進する平板状の放熱部材をさらに備え、
前記伝熱部材と前記放熱部材との間には前記ペルチェ素子が介装され、前記伝熱部材と前記放熱部材とは、互いに前記ペルチェ素子に密着させて取り付けられていることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記温調手段は、前記処理液供給路が配置されている空間の雰囲気から隔離するための筐体に収容されていることを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記本体はフッ素樹脂により形成され、
前記伝熱部材は、さらに耐薬品性を有する材料で構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の基板処理装置。
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