JP5385010B2 - Electronic component mounting equipment - Google Patents

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Description

本発明は、ノズルで吸着した電子部品の保持状態を確認して実装を行う電子部品実装装置に関する。   The present invention relates to an electronic component mounting apparatus that performs mounting by checking a holding state of an electronic component sucked by a nozzle.

電子部品実装装置は、電子部品のフィーダから電子部品を受け取り、基板の実装箇所まで運搬する吸着ノズルを備えた搭載ヘッドと、ベースフレームに固定装備され、吸着ノズルに保持された電子部品を下方から撮像する画像認識装置とを備え、毎回の搭載時に電子部品を保持する搭載ヘッドをカメラの真上を通過させて撮像を行うことにより、当該撮像画像の画像処理によりノズル中心に対する電子部品の位置ズレやノズル中心線回りの角度(傾き)を求めて、これらに基づいて位置及び傾きの補正を行ってから搭載している。
しかしながら、かかる電子部品実装装置は、毎回の搭載時に必ずヘッドに画像認識装置の上方を通過させるので、ヘッドの迂回によりサイクルタイムが長くなるという問題があった。
そこで、従来の他の電子部品実装装置では、図16に示すように、真下に向けられた画像認識装置201をヘッド202に搭載し、かつ図示しないベースフレームには断面V字状で長尺のミラー203をヘッド202の可動エリアの全幅に渡って設け、フィーダから基板に移動する途中でV字状のミラー203の反射を利用してノズル204を真下から見た状態を画像認識装置201が撮像することを可能としている。即ち、V字状のミラー203は全幅に渡って形成されているので、フィーダから基板まで真っ直ぐにヘッド202を移動させても必ずV字状のミラー203の上方を通過し、電子部品Tを吸着したノズル204を真下から撮像することを可能としている(例えば、特許文献1)。
The electronic component mounting apparatus receives an electronic component from an electronic component feeder and mounts a mounting head having a suction nozzle that transports the electronic component to a mounting position on a board and a base frame, and holds the electronic component held by the suction nozzle from below. An image recognition device that captures the image, and a mounting head that holds the electronic component during each mounting is passed through the camera to perform imaging, thereby performing positional displacement of the electronic component with respect to the nozzle center by image processing of the captured image. And an angle (inclination) around the nozzle center line is obtained, and the position and inclination are corrected based on these angles, and then mounted.
However, such an electronic component mounting apparatus has a problem that the cycle time becomes long due to the detour of the head because the electronic component mounting apparatus always passes the head over the image recognition apparatus every time it is mounted.
Therefore, in another conventional electronic component mounting apparatus, as shown in FIG. 16, an image recognition apparatus 201 directed downward is mounted on a head 202, and a base frame (not shown) has a long V-shaped cross section. The mirror 203 is provided over the entire width of the movable area of the head 202, and the image recognition device 201 captures the state in which the nozzle 204 is viewed from directly below using the reflection of the V-shaped mirror 203 while moving from the feeder to the substrate. It is possible to do. In other words, since the V-shaped mirror 203 is formed over the entire width, even if the head 202 is moved straight from the feeder to the substrate, the V-shaped mirror 203 always passes above the V-shaped mirror 203 and sucks the electronic component T. It is possible to pick up an image of the nozzle 204 that has just been formed (for example, Patent Document 1).

特開平5−167295号公報JP-A-5-167295

しかしながら、上記従来の電子部品実装装置は、V字状のミラーの長さについて、一部の経路やフィーダを除外することで短縮することが可能であるが、原則として搭載ヘッドの可動エリアの全幅とほぼ等しい長さが必要となるので、ミラーのV字の角度が撓みやねじれ等により全長方向の各位置によって変動があると搭載部品の位置の認識結果が正しくなくなってしまうという問題があった。特に、V字状ミラーは二回反射により画像認識手段で撮像を行うので、このような角度の狂いによる搭載部品の位置の認識結果への影響はより大きくなるという問題があった。また、二枚の平坦なミラーを組み合わせて利用する場合には、それぞれのミラーの角度を正確に調節して取り付けなければならず、装置の製造の効率を低下させるという問題が生じていた。
また、上記V字状のミラー場合、その長手方向に直交する方向の幅Wは、画像認識手段とノズルの間の距離より大きくする必要が有り、ミラーの幅の大型化が避けられないという問題があった。かかるミラーの幅の大型化は、各反射面について高い平滑度が要求されるミラーの製作を困難とすると共に、フィーダから基板までの間に配置することにより、これらの相互間距離を延ばすこととなり、サイクルタイムの短縮化の妨げとなっていた。
However, the above-described conventional electronic component mounting apparatus can shorten the length of the V-shaped mirror by excluding some paths and feeders, but in principle, the entire width of the movable area of the mounting head Therefore, there is a problem that the recognition result of the position of the mounted component becomes incorrect if the V-shaped angle of the mirror fluctuates depending on each position in the full length direction due to bending or twisting. . In particular, since the V-shaped mirror is imaged by the image recognition means by two-time reflection, there is a problem that the influence on the recognition result of the position of the mounted component due to such an angle deviation becomes larger. In addition, when two flat mirrors are used in combination, the angles of the respective mirrors must be accurately adjusted and there is a problem that the manufacturing efficiency of the apparatus is lowered.
Further, in the case of the V-shaped mirror, the width W in the direction perpendicular to the longitudinal direction needs to be larger than the distance between the image recognition means and the nozzle, and the mirror width cannot be increased. was there. Such an increase in the width of the mirror makes it difficult to manufacture a mirror that requires a high degree of smoothness on each reflecting surface, and increases the distance between them by placing it between the feeder and the substrate. This hinders the reduction of cycle time.

本発明は、より正確に安定して電子部品の保持状態を認識可能とすることをその目的とする。   An object of the present invention is to make it possible to recognize a holding state of an electronic component more accurately and stably.

請求項1記載の発明は、電子部品の実装が行われる基板を保持する基板保持部と、実装される電子部品を供給する部品供給部と、前記基板に搭載する電子部品を吸着する昇降可能なノズルを備えたヘッドと、前記部品供給部から前記基板保持部の間の互いに直交するX軸方向とY軸方向とに沿った領域にかけて前記ヘッドを任意に移動位置決めするヘッド移動機構とを備える電子部品実装装置において、斜め下方に視線を向けた状態で前記ヘッドに搭載され、平面的な画像が撮像可能であって、前記ノズルに吸着された電子部品を撮像する撮像手段と、前記電子部品実装装置のベースフレームにおける前記部品供給部と前記基板保持部との間に設けられ、当該部品供給部から基板保持部へと前記ヘッドが移動する場合に移動を生じる方向をY軸方向とした場合にこれと直交するX軸方向に平行な基板搬送方向に沿って延在する唯一の反射面を有する撮像ミラーと、前記撮像ミラーに反射された電子部品の撮像画像から前記吸着された電子部品の前記ノズルに対する位置及び角度を判定する画像処理装置とを備え、前記撮像ミラーの反射面は、前記ノズルの中心線と前記撮像手段の視線との二等分線を垂線とする傾斜面であり、前記電子部品の位置及び角度を判定するためのヘッドの位置を求めるために、前記撮像ミラー又はその周囲に前記撮像ミラーに対して必ず一定の配置で存在するものであって画像で認識可能である指標を設け、
前記画像処理装置は、前記部品供給部から基板保持部へと前記ヘッドが移動する際の前記撮像手段の撮像範囲内において前記指標がY軸方向に所定量ずれた複数の判定位置をそれぞれ通過するときに撮像し、前記ノズルの中心線と前記撮像手段の視線とが一致する判定位置を基準に他の判定位置での撮像画像の位置ズレを補正した上で前記電子部品の位置を比較し、前記電子部品の位置及び角度を判定することを特徴とする。
According to the first aspect of the present invention, there is provided a substrate holding unit that holds a substrate on which electronic components are mounted, a component supply unit that supplies electronic components to be mounted, and an elevating mechanism that can adsorb the electronic components mounted on the substrate. An electronic device comprising: a head provided with a nozzle; and a head moving mechanism for arbitrarily moving and positioning the head over a region along the X-axis direction and the Y-axis direction perpendicular to each other between the component supply unit and the substrate holding unit. In the component mounting apparatus, an image pickup unit that is mounted on the head in a state in which a line of sight is directed obliquely downward and capable of taking a planar image and picks up an electronic component adsorbed by the nozzle, and the electronic component mounting provided with the component supply unit in the base frame of the apparatus between the substrate holder, a direction causing movement when the from the component feeding unit to the substrate holder head moves Y An imaging mirror with only one reflective surface extending along the parallel direction of substrate conveyance in the X-axis direction orthogonal thereto in the case of the direction, the adsorbed from the electronic component of the captured image that is reflected on the imaging mirror An image processing device for determining a position and an angle of the electronic component with respect to the nozzle, and the reflecting surface of the imaging mirror is inclined with a bisector between the center line of the nozzle and the line of sight of the imaging means as a perpendicular line Mendea is, in order to determine the position of the head to determine the position and angle of the electronic component, be those which occur always at a fixed arrangement with respect to the imaging mirror or the imaging mirror around the image Indices that can be recognized in
The image processing apparatus passes each of a plurality of determination positions where the index is shifted by a predetermined amount in the Y-axis direction within an imaging range of the imaging means when the head moves from the component supply unit to the substrate holding unit. When the image is captured, the position of the electronic component is compared after correcting the positional deviation of the captured image at another determination position with reference to the determination position where the center line of the nozzle and the line of sight of the imaging unit match. The position and angle of the electronic component are determined .

請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明と同様の構成を備えると共に、前記撮像手段は、前記ノズル先端部がその視野に直接入るように前記ヘッドに搭載されていることを特徴とする。 The invention described in claim 2 has the same configuration as that of the invention described in claim 1 , and the imaging means is mounted on the head so that the nozzle tip portion directly enters the field of view. To do.

請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明と同様の構成を備えると共に、
前記撮像手段は、前記部品供給部からの部品吸着を行う時のノズル高さ又は前記基板保持部の基板に対する部品実装時のノズル高さにおける前記ノズルの先端部がその視野に直接入るように前記ヘッドに搭載されていることを特徴とする。
The invention described in claim 3 has the same configuration as that of the invention described in claim 2 ,
The imaging means is arranged such that the tip of the nozzle directly enters the field of view at the nozzle height at the time of component suction from the component supply unit or the nozzle height at the time of component mounting on the substrate of the substrate holding unit. It is mounted on the head.

請求項4記載の発明は、請求項2又は3記載の発明と同様の構成を備えると共に、前記撮像手段は、アクチュエータにより焦点距離を調節する焦点調節機構を備え、前記画像処理装置は、タイミングを異ならせて、直接撮像される前記ノズル先端部に対応する焦点距離と前記撮像ミラーを介して撮像される前記ノズル先端部に対応する焦点距離のそれぞれとなるように前記焦点調節機構のアクチュエータを制御することを特徴とする。 The invention described in claim 4 has the same configuration as that of the invention described in claim 2 or 3 , and the image pickup means includes a focus adjustment mechanism that adjusts a focal length by an actuator, and the image processing apparatus adjusts timing. The actuator of the focus adjustment mechanism is controlled so that the focal length corresponding to the nozzle tip directly imaged and the focal length corresponding to the nozzle tip imaged via the imaging mirror are respectively different. It is characterized by doing.

請求項5記載の発明は、請求項2又は3記載の発明と同様の構成を備えると共に、前記撮像手段はカメラが備える主光学系と焦点距離調整用の副光学系とを備え、前記主光学系は直接撮像される前記ノズル先端部に対応する焦点距離とし、前記副光学系は前記撮像ミラーを介して撮像される前記ノズル先端部を含む領域について前記主光学系と協働により焦点距離を合わせることを特徴とする。 The invention described in claim 5 has the same configuration as that of the invention described in claim 2 or 3 , and the imaging means includes a main optical system provided in the camera and a sub optical system for adjusting the focal length, and the main optical system. The system has a focal length corresponding to the tip of the nozzle that is directly imaged, and the sub optical system sets the focal length in cooperation with the main optical system in a region including the nozzle tip that is imaged through the imaging mirror. It is characterized by matching.

請求項6記載の発明は、請求項1から5のいずれか一項に記載の発明と同様の構成を備えると共に、前記画像処理装置は、既知の位置にある前記ヘッドのノズルを前記撮像ミラーを介して当該撮像ミラーの長手方向に沿った複数箇所で撮像することで当該長手方向における誤差の特性を取得し、前記電子部品の位置及び角度を判定する際に、前記特性に基づいて補正を行うことを特徴とする。 According to a sixth aspect of the present invention, the image processing apparatus includes the same configuration as that of the first aspect of the present invention, and the image processing device includes the imaging mirror at the nozzle of the head at a known position. The characteristic of the error in the longitudinal direction is acquired by imaging at a plurality of locations along the longitudinal direction of the imaging mirror, and correction is performed based on the characteristic when determining the position and angle of the electronic component It is characterized by that.

請求項7記載の発明は、請求項1から6のいずれか一項に記載の発明と同様の構成を備えると共に、前記撮像手段による撮像画像の静止画像又は動画のデータを記憶する画像記憶手段を備えることを特徴とする。 The invention described in claim 7 has the same configuration as that of the invention described in any one of claims 1 to 6 , and image storage means for storing still image or moving image data of the image captured by the imaging means. It is characterized by providing.

請求項8記載の発明は、請求項1から7のいずれか一項に記載の発明と同様の構成を備えると共に、前記撮像ミラーの反射面を保護する透明な保護手段を備えることを特徴とする。 The invention described in claim 8 has the same configuration as that of the invention described in any one of claims 1 to 7 , and further includes a transparent protection means for protecting the reflecting surface of the imaging mirror. .

請求項9記載の発明は、請求項8記載の発明と同様の構成を備えると共に、前記保護手段の表面の清掃を行う清掃手段を備えることを特徴とする。 The invention described in claim 9 has the same configuration as that of the invention described in claim 8, and further includes a cleaning means for cleaning the surface of the protection means.

請求項1記載の発明は、撮像ミラーの傾斜配置によりヘッドのノズルを垂直下方から見た状態で吸着された電子部品を撮像することが可能である。
さらに、撮像ミラーは、従来のV字状のミラーと異なり、唯一の反射面を有する構造なので、平板状とすることもでき、加工が容易であり、所定の長手方向に沿って延出されたとしても撓みや歪みの発生を抑制することが可能である。さらに、撮像ミラーは、従来のV字状のミラーと異なり、唯一の反射面を有し、一回反射で撮像を可能とするので、二つの反射面の角度誤差を生じないので、位置検出の誤差を抑制することが可能である。また、同様に、ミラーの取付も容易となり、装置の製造効率を向上させることが可能となる。
また、撮像ミラーの長手方向と直交する方向の幅は、ノズルと撮像手段との間の距離以上とする必要がなく、反射により撮像される電子部品の画像が欠けない範囲で幅を縮小することが可能となる。従って、部品供給部から基板保持部の間のY軸方向に直交する方向に撮像ミラーを配置しても、当該ミラーの存在による部品供給部から基板保持部の距離の延長は最小限とすることができ、実装のサイクルタイムを短縮することが可能となる。
According to the first aspect of the present invention, it is possible to pick up an image of an electronic component that is sucked in a state in which the nozzle of the head is viewed from vertically below by the inclined arrangement of the imaging mirror.
Furthermore, unlike conventional V-shaped mirrors, the imaging mirror has a unique reflecting surface, so it can also be flat, easy to process, and extended along a predetermined longitudinal direction. However, it is possible to suppress the occurrence of bending and distortion. Furthermore, unlike conventional V-shaped mirrors, the imaging mirror has a single reflecting surface and enables imaging with a single reflection, so there is no angular error between the two reflecting surfaces. It is possible to suppress errors. Similarly, the mirror can be easily attached, and the manufacturing efficiency of the apparatus can be improved.
In addition, the width of the imaging mirror in the direction orthogonal to the longitudinal direction need not be greater than the distance between the nozzle and the imaging means, and the width should be reduced within a range in which the image of the electronic component imaged by reflection is not lost. Is possible. Therefore, even if the imaging mirror is arranged in a direction perpendicular to the Y-axis direction between the component supply unit and the substrate holding unit, the extension of the distance from the component supply unit to the substrate holding unit due to the presence of the mirror should be minimized. It is possible to shorten the mounting cycle time.

さらに、請求項1記載の発明は、撮像ミラーそのもの又はその周囲に電子部品の位置及び角度判定を行うヘッドの位置を定める指標を設け、当該指標が撮像範囲内の所定位置に到達した時の撮像画像に基づいて電子部品の位置及び角度を判定する。上記「所定位置」とは、部品供給部から基板保持部(又はその逆)に向かう方向について予め定めた位置を示すものとし、その直交方向(ミラーの長手方向)についてはいずれの位置であってもよい。
ヘッドが部品供給部から基板保持部に向かう方向に移動する場合、撮像手段の視線が撮像ミラーに反射してノズルの中心線と一致するポイントは前記移動方向について一カ所しかなく、当該ポイントを認識するための指標を設けたので、精度良く電子部品の位置及び角度を求めることが可能となる。
なお、指標は、マークのように一点で示すものに限らず、線状のものでも良い。また、指標は、位置を示すための専用のマークに限らず、撮像ミラーに対して必ず一定の配置で存在するものであって画像で認識可能であるもの(例えば、撮像ミラーのエッジ部分等)であればよい。
Further, according to the first aspect of the present invention, an index for determining the position and angle of the electronic component is provided around the imaging mirror itself or around the imaging mirror, and imaging when the index reaches a predetermined position within the imaging range. The position and angle of the electronic component are determined based on the image. The “predetermined position” indicates a predetermined position in the direction from the component supply unit to the substrate holding unit (or vice versa), and is any position in the orthogonal direction (longitudinal direction of the mirror). Also good.
When the head moves in the direction from the component supply unit to the substrate holding unit, the line of sight of the imaging means reflects to the imaging mirror and there is only one point that matches the center line of the nozzle in the movement direction, and the point is recognized. Since the index for doing so is provided, the position and angle of the electronic component can be obtained with high accuracy.
The index is not limited to a single point such as a mark but may be a linear one. In addition, the index is not limited to a dedicated mark for indicating a position, but is always present in a fixed arrangement with respect to the imaging mirror and can be recognized by an image (for example, an edge portion of the imaging mirror). If it is.

請求項2及び3記載の発明は、撮像手段がノズル先端部を視野に直接入れるように搭載されているので、ノズルの垂直下方からの画像のみならず、斜め側方からの画像も取得することができる。例えば、かかる斜め側方の画像を記録することにより、例えば、電子部品の吸着エラーや搭載エラーの発生時の原因究明や、吸着動作や搭載動作の挙動分析等、電子部品の位置及び角度検出以外の種々の用途に利用することが可能となる。 According to the second and third aspects of the present invention, since the imaging means is mounted so that the nozzle tip portion is directly placed in the field of view, not only an image from a vertically lower side of the nozzle but also an image from an oblique side is obtained. Can do. For example, by recording such an oblique image, for example, investigation of the cause of an electronic component suction error or mounting error, analysis of the behavior of the suction operation or mounting operation, etc. It can be used for various applications.

請求項4記載の発明は、タイミングを異ならせて直接撮像されるノズル先端部の焦点距離と撮像ミラーを介して撮像されるノズル先端部の焦点距離とに焦点を合わせるので、直接撮像されるノズル画像と反射して撮像されるノズル画像のそれぞれについて適切な焦点距離で撮像したものを取得でき、それぞれの画像の用途に対して精度の向上を図ることが可能となる。 The invention according to claim 4 focuses on the focal length of the nozzle tip portion directly imaged at different timings and the focal length of the nozzle tip portion imaged through the imaging mirror. It is possible to acquire an image captured at an appropriate focal length for each of the image and the nozzle image that is reflected and captured, and it is possible to improve the accuracy for each application of the image.

請求項5記載の発明は、主光学系と副光学系とにより、直接撮像されるノズル画像と反射して撮像されるノズル画像のそれぞれについて適切な焦点距離で撮像したものを常に取得でき、それぞれの画像の用途に対して精度の向上を計ることが可能となる。 The invention according to claim 5 can always acquire what was imaged at an appropriate focal length for each of the nozzle image captured directly and the nozzle image reflected and imaged by the main optical system and the sub optical system, Therefore, it is possible to improve the accuracy of the image application.

請求項6記載の発明は、画像処理装置が、撮像ミラーの長手方向における誤差の特性を取得し、電子部品の位置及び角度を当該誤差特性に基づいて補正するので、仮に、撮像ミラーに撓みや歪みによる長手方向の各位置での誤差を生じていた場合でも、これを適切に補正することができるので、より高精度に電子部品の位置及び角度検出を行うことが可能となる。 In the sixth aspect of the invention, the image processing apparatus acquires the characteristic of the error in the longitudinal direction of the imaging mirror, and corrects the position and angle of the electronic component based on the error characteristic. Even if an error has occurred in each position in the longitudinal direction due to distortion, it can be corrected appropriately, so that the position and angle of the electronic component can be detected with higher accuracy.

請求項7記載の発明は、撮像手段による撮像画像の静止画像又は動画のデータを記憶するので、これらのデータを利用して適切に電子部品の位置及び角度検出或いはその他の処理を行うことが可能となる。 The invention according to claim 7 stores still image data or moving image data of an image captured by the imaging means, so that it is possible to appropriately detect the position and angle of the electronic component or perform other processing using these data. It becomes.

請求項8記載の発明は、撮像ミラーの反射面を保護する透明な保護手段を備えるので、撮像ミラーの反射面に高品質の光学ガラスを使用しても保護を図ることができ、より高精度に電子部品の位置及び角度検出を行うことが可能となる。また、傷やくもりなどが生じても、保護手段のみを交換すれば良く、維持管理コストの低減を図ることが可能となる。 Since the invention according to claim 8 is provided with a transparent protective means for protecting the reflecting surface of the imaging mirror, the protection can be achieved even if high-quality optical glass is used for the reflecting surface of the imaging mirror. In addition, the position and angle of the electronic component can be detected. Even if scratches or cloudiness occur, it is only necessary to replace the protection means, and the maintenance cost can be reduced.

請求項9記載の発明は、保護手段の表面の清掃を行う清掃手段を備えるので、汚れの付着などにより撮像画像の劣化を防止し、より高精度に電子部品の位置及び角度検出を行うことが可能となる。 According to the ninth aspect of the present invention, since the cleaning means for cleaning the surface of the protection means is provided, it is possible to prevent deterioration of the picked-up image due to adhesion of dirt, etc., and to detect the position and angle of the electronic component with higher accuracy. It becomes possible .

本実施の形態に係る電子部品実装装置の全体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the whole electronic component mounting apparatus which concerns on this Embodiment. ヘッド周辺の側面図である。It is a side view of a head periphery. CCDカメラの撮像画像を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the captured image of a CCD camera. 図4(A)は撮像ミラーを保護層で保護する保護手段の断面図、図4(B)は天板で保護する保護手段の断面図である。4A is a cross-sectional view of protection means for protecting the imaging mirror with a protective layer, and FIG. 4B is a cross-sectional view of protection means for protecting with the top plate. 図5(A)はエアーブロー機構による清掃手段の斜視図、図5(B)はワイパー機構による清掃手段の斜視図である。FIG. 5A is a perspective view of the cleaning means by the air blow mechanism, and FIG. 5B is a perspective view of the cleaning means by the wiper mechanism. 電子部品実装装置の制御系を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control system of an electronic component mounting apparatus. 誤差特性を示す誤差テーブルの概念を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the concept of the error table which shows an error characteristic. 撮像ミラーの長手方向における各位置を利用した反射画像の撮像例であり、図8(A)は撓みの発生がない理想的な場合の撮像画像の例であり、図8(B)は撓みによる位置誤差及び角度変動を生じている例である。FIG. 8A is an example of a reflected image using each position in the longitudinal direction of the imaging mirror, FIG. 8A is an example of an ideal image where there is no deflection, and FIG. 8B is due to deflection. It is an example which has produced the position error and the angle fluctuation. 電子部品の実装制御を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the mounting control of an electronic component. CCDカメラから電子部品までの二種類の焦点距離を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows two types of focal distances from a CCD camera to an electronic component. 反射画像の取得位置到達を示す指標としての撮像ミラーの端縁部の撮像例である。It is an example of an imaging of the edge part of an imaging mirror as a parameter | index which shows the acquisition position arrival of a reflected image. 副光学系を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the sub-optical system. 認識位置を複数にした場合で、認識ミラーに部品落下や汚れが有る場合を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the case where a recognition mirror has components fallen and dirt when there are multiple recognition positions. ノズル中心とカメラ視野中心が一致した状態の近傍でY方向のずれがあるときにノズル中心とカメラ視野中心がずれる量が計算するための説明図である。It is explanatory drawing for calculating the quantity which a nozzle center and a camera visual field center shift | offset when there exists a shift | offset | difference of a Y direction in the vicinity of the state where the nozzle center and the camera visual field center corresponded. 図13の各指標に基づくヘッド位置での撮像画像を示し、図15(A)はP1での撮像画像、図15(B)はP1での撮像画像、図15(C)はP1での撮像画像である。FIG. 15A shows a captured image at the head position based on each index of FIG. 13, FIG. 15A shows a captured image at P1, FIG. 15B shows a captured image at P1, and FIG. 15C shows an image taken at P1. It is an image. 従来の電子部品実装装置の例を示す側面図である。It is a side view which shows the example of the conventional electronic component mounting apparatus.

(実施形態の全体構成)
本発明の実施形態について、図1乃至図11に基づいて説明する。図1は、本実施形態たる電子部品実装装置100の斜視図である。以下、図示のように、水平面において互いに直交する二方向をそれぞれX軸方向(基板搬送方向)とY軸方向(基板搬送方向との直交方向)とし、これらに直交する鉛直方向をZ軸方向というものとする。
電子部品実装装置100は、基板に各種の電子部品の搭載を行うものであって、図1に示すように、搭載される電子部品を供給する複数の電子部品フィーダー101及び電子部品フィーダー101を複数並べて保持するフィーダーバンク102からなる二組の部品供給部と、X軸方向に基板を搬送する基板搬送手段103と、当該基板搬送手段103による基板搬送経路の途中に設けられた基板に対する電子部品搭載作業を行うための基板保持部104と、複数(この例では三基)の吸着ノズル105を昇降可能に保持して電子部品Tの保持を行うヘッド106と、ヘッド106を二組の部品供給部と基板保持部104とを含んだ作業エリア内の任意の位置に駆動搬送するヘッド移動機構としてのX−Yガントリ107と、ヘッド106に搭載され、吸着ノズル105に吸着された電子部品の撮像を行う複数(この例では三基)の撮像手段としてのCCDカメラ108と、吸着ノズル105に保持された電子部品Tの垂直下方からの画像をCCDカメラ108により撮像可能とする撮像ミラー20と、上記各構成を搭載支持するベースフレーム114と、上記各構成の動作制御を行う動作制御手段10とを備えている。
(Overall configuration of the embodiment)
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view of an electronic component mounting apparatus 100 according to the present embodiment. Hereinafter, as shown in the drawing, two directions orthogonal to each other in the horizontal plane are respectively referred to as an X-axis direction (substrate transport direction) and a Y-axis direction (a direction orthogonal to the substrate transport direction), and a vertical direction orthogonal to these is referred to as a Z-axis direction. Shall.
The electronic component mounting apparatus 100 mounts various electronic components on a board. As shown in FIG. 1, the electronic component mounting apparatus 100 includes a plurality of electronic component feeders 101 and a plurality of electronic component feeders 101 that supply electronic components to be mounted. Electronic component mounting on a substrate provided in the middle of a substrate transfer path by the substrate transfer means 103, and a substrate transfer means 103 for transferring a substrate in the X-axis direction, and a pair of component supply sections composed of feeder banks 102 held side by side A substrate holding unit 104 for performing work, a head 106 that holds a plurality (three in this example) of suction nozzles 105 so as to be movable up and down, and two sets of component supply units for the head 106 And an XY gantry 107 as a head moving mechanism for driving and transporting to an arbitrary position in a work area including the substrate holding unit 104 and the head 106. A plurality of (three in this example) CCD camera 108 that captures an image of the electronic component sucked by the suction nozzle 105 and an image from the vertically lower side of the electronic component T held by the suction nozzle 105 are displayed. An imaging mirror 20 that can be imaged by the CCD camera 108, a base frame 114 that mounts and supports each of the above components, and an operation control means 10 that controls the operation of each of the above components are provided.

かかる電子部品実装装置100の動作制御手段10は、各吸着ノズル105に吸着された電子部品をそれぞれのCCDカメラ108で撮像して得られた撮像画像データから画像処理を行ってノズル先端部に対する電子部品の位置及びノズルの中心線を中心とする角度(向き)を求め、基板に対する吸着ノズル105の位置決めの補正並びに吸着ノズル105を回転させて電子部品の角度の補正を行い、電子部品の実装制御を行う。   The operation control means 10 of the electronic component mounting apparatus 100 performs image processing from captured image data obtained by imaging the electronic components sucked by the suction nozzles 105 by the respective CCD cameras 108 and performs electronic processing on the nozzle tip. The component position and the angle (orientation) about the center line of the nozzle are obtained, the positioning of the suction nozzle 105 relative to the substrate is corrected, and the angle of the electronic component is corrected by rotating the suction nozzle 105 to control the mounting of the electronic component. I do.

基板搬送手段103は、図示しない搬送ベルトを備えており、その搬送ベルトにより基板をX軸方向に沿って搬送する。
また、前述したように、基板搬送手段103による基板搬送経路の途中には、電子部品を基板へ搭載する際の作業位置で基板を固定保持するための基板保持部104が設けられている。基板搬送手段103は、基板保持部104まで基板を搬送すると共に停止して、図示しない保持機構により基板の保持を行う。つまり、基板は保持機構により保持された状態で安定した電子部品の搭載作業が行われる。
The substrate transport unit 103 includes a transport belt (not shown), and transports the substrate along the X-axis direction by the transport belt.
As described above, the substrate holding unit 104 for fixing and holding the substrate at the work position when the electronic component is mounted on the substrate is provided in the middle of the substrate transfer path by the substrate transfer means 103. The substrate transport unit 103 transports the substrate to the substrate holding unit 104 and stops and holds the substrate by a holding mechanism (not shown). That is, a stable electronic component mounting operation is performed while the substrate is held by the holding mechanism.

各フィーダーバンク102は、ベースフレーム114のY軸方向両端部のそれぞれにX軸方向に沿った状態で設けられている。各フィーダーバンク102は、X−Y平面に沿った平坦部を備え、当該平坦部の上面に複数の電子部品フィーダー101がX軸方向に沿って羅列して載置装備される。
また、各フィーダーバンク102は、各電子部品フィーダー101を保持するための図示しないラッチ機構を備えており、必要に応じて、各電子部品フィーダー101を装着又は分離することを可能としている。
Each feeder bank 102 is provided in a state along the X-axis direction at each of both ends of the base frame 114 in the Y-axis direction. Each feeder bank 102 includes a flat portion along the XY plane, and a plurality of electronic component feeders 101 are arranged and mounted on the upper surface of the flat portion along the X-axis direction.
Each feeder bank 102 is provided with a latch mechanism (not shown) for holding each electronic component feeder 101, and each electronic component feeder 101 can be mounted or separated as necessary.

上述した電子部品フィーダー101は、後端部側に電子部品が均一間隔で無数に封入されたテープを巻回したテープリールを保持すると共に、先端部近傍には、上述したように、ヘッド106への電子部品の受け渡し部101aを有している。そして、フィーダーバンク102に取り付けられた状態では、電子部品の受け渡し部101aがY軸方向及びZ軸方向について一定の位置となるようになっている。なお、X軸方向についてはフィーダーバンク102上のX軸方向におけるいずれの位置に取り付けられるかによって電子部品の受け渡し部101aの位置も定まることとなる。
そして、実装作業の実行時には、電子部品の受け渡し部101aまでテープの搬送が行われて、当該受け渡し部101aに位置決めされたヘッド106に対して電子部品の供給が行われるようになっている。
The electronic component feeder 101 described above holds a tape reel wound with a tape in which an infinite number of electronic components are encapsulated at uniform intervals on the rear end side, and in the vicinity of the front end portion, as described above, to the head 106. The electronic component delivery unit 101a is provided. And in the state attached to the feeder bank 102, the delivery part 101a of an electronic component becomes a fixed position about a Y-axis direction and a Z-axis direction. In addition, in the X-axis direction, the position of the electronic component delivery unit 101a is determined depending on which position in the X-axis direction on the feeder bank 102 is attached.
When the mounting operation is performed, the tape is transported to the electronic component delivery unit 101a, and the electronic component is supplied to the head 106 positioned in the delivery unit 101a.

X−Yガントリ107は、X軸方向にヘッド106の移動を案内するX軸ガイドレール107aと、このX軸ガイドレール107aと共にヘッド106をY軸方向に案内する二本のY軸ガイドレール107bと、X軸方向に沿ってヘッド106を移動させる駆動源であるX軸モータ109と、X軸ガイドレール107aを介してヘッド106をY軸方向に移動させる駆動源であるY軸モータ110とを備えている。そして、各モータ109、110の駆動により、ヘッド106を二本のY軸ガイドレール107bの間となる領域のほぼ全体に搬送することを可能としている。
なお、各モータ109、110は、ぞれぞれの回転量が動作制御手段10に認識され、所望の回転量となるように制御されることにより、ヘッド106を介して吸着ノズル105やCCDカメラ108の位置決めを行っている。
また、電子部品実装作業の必要上、前記した二つのフィーダーバンク102,基板保持部104とはいずれもX−Yガントリ107によるヘッド106の搬送可能領域内に配置されている。
The XY gantry 107 includes an X-axis guide rail 107a that guides the movement of the head 106 in the X-axis direction, and two Y-axis guide rails 107b that guide the head 106 in the Y-axis direction together with the X-axis guide rail 107a. , An X-axis motor 109 that is a drive source that moves the head 106 along the X-axis direction, and a Y-axis motor 110 that is a drive source that moves the head 106 in the Y-axis direction via the X-axis guide rail 107a. ing. By driving the motors 109 and 110, the head 106 can be transported to almost the entire region between the two Y-axis guide rails 107b.
The motors 109 and 110 have their rotation amounts recognized by the operation control means 10 and are controlled so as to have a desired rotation amount, whereby the suction nozzle 105 and the CCD camera are connected via the head 106. 108 is positioned.
In addition, the two feeder banks 102 and the board holding unit 104 are both disposed within the transportable area of the head 106 by the XY gantry 107 in view of the necessity of mounting electronic components.

図2はヘッド106周辺の側面図である。図示のように、ヘッド106は、その先端部で空気吸引により電子部品Tを保持する三基の吸着ノズル105と、この吸着ノズル105をZ軸方向に駆動する駆動源であるZ軸モータ111(図6参照)と、吸着ノズル105を介して保持された電子部品をZ軸方向を中心として回転駆動させる回転駆動源である回転モータ112(図6参照)とが設けられている。なお、Z軸モータ111及び回転モータ112はそれぞれ吸着ノズル105ごとに個別に設けられているが、図2においてはいずれも一つのみを図示している。
上記各吸着ノズル105は、Z軸方向に沿った状態でヘッド106に支持されており、ノズル内部が負圧発生源に接続され、当該吸着ノズル105の先端部(下端部)において吸気吸引を行うことにより電子部品Tの吸着及び保持が行われる。
つまりこれらの構造により、実装作業時には、実装を行う電子部品フィーダー101の電子部品の受け渡し部101aまでヘッド106を移動させ、Z軸モータ111の駆動により吸着ノズル105を下降させ、その先端部で電子部品フィーダー101から電子部品を吸着し、基板の実装位置までヘッド106を移動させ、吸着ノズル105を下降させて搭載作業を実行する。
また、ヘッド106が電子部品フィーダー101の電子部品の受け渡し部101aから基板の実装位置まで移動するまでの間に、吸着ノズル105の先端部に保持された電子部品の位置(ノズル中心からの位置ズレ)と角度(ノズル中心回りの角度ズレ)とを検出すると共に回転モータ112による角度補正とヘッド106の位置決め補正とが行われる。
FIG. 2 is a side view around the head 106. As shown in the figure, the head 106 has three suction nozzles 105 that hold the electronic component T by air suction at the tip, and a Z-axis motor 111 (a drive source that drives the suction nozzle 105 in the Z-axis direction). 6) and a rotation motor 112 (see FIG. 6), which is a rotational drive source for rotating the electronic component held via the suction nozzle 105 around the Z-axis direction. The Z-axis motor 111 and the rotary motor 112 are individually provided for each suction nozzle 105, but only one is shown in FIG.
Each suction nozzle 105 is supported by the head 106 in a state along the Z-axis direction, the inside of the nozzle is connected to a negative pressure generation source, and suction suction is performed at the tip (lower end) of the suction nozzle 105. Thus, the electronic component T is sucked and held.
That is, due to these structures, during the mounting operation, the head 106 is moved to the electronic component delivery portion 101a of the electronic component feeder 101 to be mounted, the suction nozzle 105 is lowered by driving the Z-axis motor 111, and the electronic portion is moved at the tip portion. The electronic component is sucked from the component feeder 101, the head 106 is moved to the mounting position of the substrate, and the suction nozzle 105 is lowered to execute the mounting operation.
Also, the position of the electronic component held at the tip of the suction nozzle 105 (position displacement from the center of the nozzle) until the head 106 moves from the electronic component delivery portion 101a of the electronic component feeder 101 to the mounting position of the substrate. ) And angle (angle deviation around the center of the nozzle) and angle correction by the rotary motor 112 and head 106 positioning correction are performed.

各CCDカメラ108は、対応する吸着ノズル105に対してY軸方向について隣接して配置されており、その視線108a(カメラの撮像光学系の光軸)は下方に向かうにつれてそれぞれの吸着ノズル105側に近接する方向に傾斜している。また、これら各CCDカメラ108の視線108aは、X軸方向については傾きを生じておらず、Y−Z平面に平行となっている。
そして、ヘッド106のY軸方向の移動により、各吸着ノズル105の垂直下方でその中心線105aが撮像ミラー20のY軸方向における中間点20aと交差する時に(図2の状態)、CCDカメラ108の視線108aも中間点20aの位置で吸着ノズル105の中心線105aと交差するように、CCDカメラ108は固定支持されている。
Each CCD camera 108 is arranged adjacent to the corresponding suction nozzle 105 in the Y-axis direction, and the line of sight 108a (the optical axis of the imaging optical system of the camera) moves toward the suction nozzle 105 as it goes downward. It is inclined in the direction close to. The line of sight 108a of each CCD camera 108 is not inclined in the X-axis direction and is parallel to the YZ plane.
When the center line 105a intersects the intermediate point 20a in the Y-axis direction of the image pickup mirror 20 vertically below each suction nozzle 105 due to the movement of the head 106 in the Y-axis direction (state of FIG. 2), the CCD camera 108. The CCD camera 108 is fixedly supported so that the line of sight 108a also intersects the center line 105a of the suction nozzle 105 at the position of the intermediate point 20a.

一方、二つの撮像ミラー20は、いずれも長尺な平板状であって、それぞれが基板保持部104と一方のフィーダーバンク102との間と、基板保持部104と他方のフィーダーバンク102との間とにヘッドが移動するY軸方向に直交する方向に沿って配置されている。即ち、一方の撮像ミラー20は、一方のフィーダーバンク102から電子部品Tを受け取って基板まで搬送する間にCCDカメラ108にて撮像を行うために設けられ、他方の撮像ミラー20は、他方のフィーダーバンク102から電子部品Tを受け取って基板まで搬送する間にCCDカメラ108にて撮像を行うために設けられている。
各撮像ミラー20は、フィーダーバンク102のX軸方向幅或いはヘッド106のX軸方向の可動範囲とほぼ同じ長さに設定されており、フィーダーバンク102のいずれにセットされた電子部品フィーダー101から電子部品Tを受け取って搬送する場合でも、撮像を可能としている。
On the other hand, each of the two imaging mirrors 20 has an elongated flat plate shape, and each is between the substrate holding unit 104 and one feeder bank 102 and between the substrate holding unit 104 and the other feeder bank 102. Are arranged along a direction perpendicular to the Y-axis direction in which the head moves. That is, one imaging mirror 20 is provided for imaging with the CCD camera 108 while the electronic component T is received from one feeder bank 102 and conveyed to the substrate, and the other imaging mirror 20 is provided with the other feeder. It is provided for taking an image with the CCD camera 108 while receiving the electronic component T from the bank 102 and transporting it to the substrate.
Each imaging mirror 20 is set to have substantially the same length as the X-axis direction width of the feeder bank 102 or the movable range of the head 106 in the X-axis direction, and the electronic component feeder 101 set in any of the feeder banks 102 supplies the electronic Even when the component T is received and conveyed, imaging is possible.

さらに、各撮像ミラー20の反射面(上面)は、いずれもX軸方向に対して平行となっているが、Y軸方向に対しては傾斜している。即ち、各撮像ミラー20の反射面は、いずれも、前述したヘッド106に搭載された吸着ノズル105の中心線105aとCCDカメラ108の視線108aの二等分線D(吸着ノズル105とCCDカメラ108の間を通過する方の二等分線)に垂直となるように傾斜している。
各撮像ミラー20の傾斜角度が上述のように設定されることにより、吸着ノズル105の真下に撮像ミラー20が位置する場合(図2の状態)に、CCDカメラ108の視線108aは撮像ミラー20の反射により吸着ノズル105の中心線105aと丁度重なり合うこととなり、吸着ノズル105に吸着された電子部品Tを垂直下方から見た画像を撮像することが可能となる。
Further, the reflecting surfaces (upper surfaces) of the imaging mirrors 20 are all parallel to the X-axis direction, but are inclined with respect to the Y-axis direction. That is, the reflecting surfaces of the imaging mirrors 20 are all bisectors D (the suction nozzle 105 and the CCD camera 108) between the center line 105a of the suction nozzle 105 mounted on the head 106 and the line of sight 108a of the CCD camera 108. It is inclined so as to be perpendicular to the bisector that passes between the two.
By setting the inclination angle of each imaging mirror 20 as described above, when the imaging mirror 20 is positioned directly below the suction nozzle 105 (the state of FIG. 2), the line of sight 108a of the CCD camera 108 is The reflection just overlaps the center line 105a of the suction nozzle 105, and it is possible to capture an image of the electronic component T sucked by the suction nozzle 105 as viewed from vertically below.

図3はCCDカメラ108の撮像画像を示している。かかるCCDカメラ108の撮像範囲108sは、吸着ノズル105の先端部或いは先端部に吸着された電子部品Tが撮像ミラー20によらず直接撮像可能となるように調節されている。即ち、撮像範囲108sの中央には撮像ミラー20が横たわるように撮像され、その中心には吸着ノズル105に吸着された電子部品Tの下面の反射像が撮像される。さらに、撮像範囲108sの側縁部近傍には直接撮像された吸着ノズル105の先端部と吸着された電子部品Tの直接像が撮像されるようになっている。
なお、吸着ノズル105は、電子部品フィーダー101からの電子部品吸着時の吸着高さと、当該吸着高さから上昇してヘッド105の搬送移動時の搬送高さと、搬送高さから下降して基板に対して実装する際の実装高さと、おおむね三段階の目標高さが設定されているが、いずれの高さである場合でも吸着ノズル105に吸着された電子部品が撮像範囲内となるようにCCDカメラ108の撮像範囲は設定されている。なお、CCDカメラ108による電子部品Tの直接撮像が、吸着時と実装時の状態記録又は状態観察などを目的とする場合には、吸着ノズル105が吸着高さの場合と実装高さの場合とが撮像範囲108s内となれば足りるので、搬送高さにある場合には撮像範囲内とならなくとも良い。
FIG. 3 shows a captured image of the CCD camera 108. The imaging range 108 s of the CCD camera 108 is adjusted so that the tip part of the suction nozzle 105 or the electronic component T sucked to the tip part can be directly picked up without using the imaging mirror 20. That is, an image is taken so that the imaging mirror 20 lies at the center of the imaging range 108 s, and a reflection image of the lower surface of the electronic component T attracted by the suction nozzle 105 is taken at the center. Further, a direct image of the tip of the suction nozzle 105 that has been directly imaged and the electronic component T that has been picked up is captured in the vicinity of the side edge of the imaging range 108s.
The suction nozzle 105 is disposed at the suction height when the electronic component is sucked from the electronic component feeder 101, the transport height when the head 105 is transported and lowered from the suction height, and is lowered from the transport height to the substrate. On the other hand, a mounting height for mounting and a target height of approximately three levels are set, but the CCD is arranged so that the electronic component sucked by the suction nozzle 105 is within the imaging range at any height. The imaging range of the camera 108 is set. In addition, when the direct imaging of the electronic component T by the CCD camera 108 is for the purpose of recording the state or the state observation at the time of suction and mounting, the case where the suction nozzle 105 is at the suction height and the case of the mounting height. Is within the imaging range 108s, it is not necessary to be within the imaging range when it is at the conveyance height.

また、各CCDカメラ108には、アクチュエータである焦点調節モータ115(図6参照)により撮像光学系の焦点距離を調節する焦点調節機構(図示略)を備えている。かかる焦点調節機構は、撮影レンズを光軸に沿って前後に移動して焦点距離を調節するためのものであり、焦点調節モータ115は、動作制御手段10により制御される。その制御内容については後述する。   Each CCD camera 108 includes a focus adjustment mechanism (not shown) that adjusts the focal length of the imaging optical system by a focus adjustment motor 115 (see FIG. 6) that is an actuator. Such a focus adjustment mechanism is for adjusting the focal length by moving the photographing lens back and forth along the optical axis, and the focus adjustment motor 115 is controlled by the operation control means 10. Details of the control will be described later.

また、各CCDカメラ108には、撮像方向前方を照射する複数のLEDなど発光素子からなる照明ランプ113が設けられている。かかる照明ランプ113は、吸着ノズル105の周囲が特に撮像に問題ない程度に明るい場合には必須ではない。かかる照明ランプ113は、動作制御手段10により明滅が制御され、必要時(例えば、電子部品Tの吸着時、実装時、撮像ミラー20の通過時など)のみ点灯するよう制御しても良いし、明度センサを設け、吸着ノズル105の周囲の明度が一定値未満の時のみ照射するように制御しても良い。また、照明ランプ113は、ヘッド106側ではなく、前述した必要時の撮影を行う場所で照射を行うようにベースフレーム114側に装備されていても良い。   Each CCD camera 108 is provided with an illumination lamp 113 made up of light emitting elements such as a plurality of LEDs that illuminate the front in the imaging direction. The illumination lamp 113 is not essential when the periphery of the suction nozzle 105 is bright enough to cause no problem with imaging. The illumination lamp 113 may be controlled to be turned on only when necessary (for example, when the electronic component T is picked up, mounted, or passed through the imaging mirror 20). A brightness sensor may be provided, and control may be performed so that irradiation is performed only when the brightness around the suction nozzle 105 is less than a certain value. Further, the illumination lamp 113 may be provided not on the head 106 side but on the base frame 114 side so as to perform irradiation at a place where the above-described photographing is performed when necessary.

前述した撮像ミラー20は、その反射面の保護手段を有している。図4は保護手段の例を示している。
保護手段としては図4(A)の断面図に示すように、反射素材21の上面に光学ガラス22が付されてなる撮像ミラー20の上面に透明な保護材料からなる保護層23を利用しても良い。
また、保護手段の別の例としては、図4(B)の断面図に示すように、撮像ミラー20の上方で支持された透明な天板24を利用しても良い。
The imaging mirror 20 described above has a protection means for the reflection surface. FIG. 4 shows an example of the protection means.
As a protection means, as shown in the sectional view of FIG. 4A, a protective layer 23 made of a transparent protective material is used on the upper surface of the imaging mirror 20 in which the optical glass 22 is attached to the upper surface of the reflective material 21. Also good.
As another example of the protection means, a transparent top plate 24 supported above the imaging mirror 20 may be used as shown in the cross-sectional view of FIG.

さらに、撮像ミラー20には清掃手段が設けられている。図5は清掃手段の例を示している。
清掃手段としては図5(A)の斜視図に示すように、撮像ミラー20の上面側にエアーを吹き付けるエアーノズル25と当該ノズル25にエアーの供給を行う図示しない吸排気機構とエアーの供給のオンオフを切り換え可能な清掃用電磁弁26(図6参照)とを備えるエアーブロー機構を利用しても良い。
また、清掃手段の別の例としては、図5(B)の斜視図に示すように、清掃対象となる平面を摺動する弾性素材からなるワイパー27と、ワイパー27を撮像ミラー20の長手方向に沿ってガイドする支軸28と、ワイパー27に移動動作を付与する駆動源となる清掃用モータとを備えるワイパー機構を利用しても良い。
なお、上記エアーブロー機構は、図4(A)の例に限らず、図4(B)の例に適用しても良い。その場合、天板24の上面にエアーブローを行うこととなる。
また、同様に、ワイパー機構についても、図4(B)の例に限らず、図4(A)の例に適用しても良い。その場合、保護層23の上面をワイパー27が摺動を行うこととなる。
Furthermore, the imaging mirror 20 is provided with a cleaning means. FIG. 5 shows an example of the cleaning means.
As a cleaning means, as shown in the perspective view of FIG. 5A, an air nozzle 25 that blows air onto the upper surface side of the imaging mirror 20, an intake / exhaust mechanism (not shown) that supplies air to the nozzle 25, and air supply An air blow mechanism including a cleaning electromagnetic valve 26 (see FIG. 6) that can be switched on and off may be used.
As another example of the cleaning means, as shown in the perspective view of FIG. 5B, the wiper 27 made of an elastic material that slides on the plane to be cleaned, and the wiper 27 in the longitudinal direction of the imaging mirror 20 A wiper mechanism that includes a support shaft 28 that is guided along and a cleaning motor that is a drive source that imparts a moving operation to the wiper 27 may be used.
Note that the air blow mechanism is not limited to the example of FIG. 4A, but may be applied to the example of FIG. 4B. In that case, air blow is performed on the upper surface of the top plate 24.
Similarly, the wiper mechanism may be applied not only to the example of FIG. 4B but also to the example of FIG. In that case, the wiper 27 slides on the upper surface of the protective layer 23.

なお、上記清掃手段はいずれも動作制御手段10により制御される。そして、清掃動作の実行は、電子部品の実装動作の非実行時において実行されるか、或いは、実装中であって、撮像ミラー20による反射画像の取得タイミングを外したタイミングで実行される。   The cleaning means is controlled by the operation control means 10. Then, the cleaning operation is executed when the electronic component mounting operation is not executed, or at the timing during which the reflection image acquisition timing by the imaging mirror 20 is removed during mounting.

(動作制御手段)
図6は電子部品実装装置100の制御系を示すブロック図である。この図に示すように、動作制御手段10は、主に、X−Yガントリ107のX軸モータ109、Y軸モータ110、ヘッド106において吸着ノズル105の昇降を行うZ軸モータ111、吸着ノズル105の回転を行う回転モータ112、CCDカメラ108、照明ランプ113、焦点調節モータ115、清掃用電磁弁26の動作制御を行い、所定の制御プログラムに従って各種の処理及び制御を実行するCPU30と、各種の処理及び制御を実行するためのプログラムが格納されたシステムROM12と、各種のデータを格納することで各種の処理の作業領域となるRAM13と、CPU30と各種の機器との接続を図るI/F(インターフェース)14と、基板に実装する電子部品のリストや各電子部品の実装位置及び電子部品の受け取り位置等の実装の動作制御に要する実装データ等が格納される不揮発性の記憶装置17と、各種の設定や操作に要するデータの入力を行うための操作パネル15と、各種設定の内容や必要情報の提示、撮像画像の表示等を行う表示モニタ18とを有している。また、前述した各モータ109〜112、115は、いずれもエンコーダを備えるサーボモータであり、図示しないサーボドライバを介してI/F14と接続されている。
なお、ここでは、清掃手段としてエアーブロー機構を利用している場合を例示している。
以下、動作制御手段10のCPU30が行う特徴的な処理又は制御について説明を行う。
(Operation control means)
FIG. 6 is a block diagram showing a control system of the electronic component mounting apparatus 100. As shown in this figure, the operation control means 10 mainly includes an X-axis motor 109, a Y-axis motor 110 of the XY gantry 107, a Z-axis motor 111 that raises and lowers the suction nozzle 105 in the head 106, and a suction nozzle 105. A CPU 30 that controls the operation of the rotary motor 112, the CCD camera 108, the illumination lamp 113, the focus adjustment motor 115, and the cleaning electromagnetic valve 26, and executes various processes and controls according to a predetermined control program. A system ROM 12 storing programs for executing processing and control, a RAM 13 serving as a work area for various processes by storing various data, and an I / F (connection to connect the CPU 30 and various devices) Interface) 14, a list of electronic components to be mounted on the board, mounting positions of each electronic component, and receiving of the electronic components Non-volatile storage device 17 for storing mounting data required for mounting operation control such as mounting position, operation panel 15 for inputting data required for various settings and operations, and details and necessity of various settings And a display monitor 18 for displaying information, displaying captured images, and the like. Each of the motors 109 to 112 and 115 described above is a servo motor including an encoder, and is connected to the I / F 14 via a servo driver (not shown).
Here, a case where an air blow mechanism is used as the cleaning means is illustrated.
Hereinafter, characteristic processing or control performed by the CPU 30 of the operation control unit 10 will be described.

(撮像ミラー特性検出処理)
前述した撮像ミラー20は、X軸方向に沿って長尺であるため、撓みを生じる場合がある。このため、撮像ミラー20は、X軸方向における各位置において反射した電子部品Tの撮像画像の位置誤差を生じる場合がある。
従って、動作制御手段10では、被実装作業時において、撮像ミラー20の長手方向における誤差特性を示す誤差テーブルを作成する。
即ち、撮像ミラー20は、その設置位置が既知であることを前提として、図7の斜視図に示すように、CPU30は、いずれかの吸着ノズル105の中心線105aと撮像ミラー20のY軸方向における中間位置と一致するようにY軸モータ110によりヘッド106を位置決めした後、X軸モータ109を駆動させてX軸方向について均一の間隔で順次ヘッド106を移動位置決めし、各位置においてCCDカメラ108により撮像を行う。
図8(A)は撓みの発生がない理想的な場合の撮像画像の例であり、図8(B)は撓みによる位置誤差及び角度変動を生じている例である。なお、直接撮像画像の図示は省略している。
そして、X軸方向における各位置での撮像画像データに対する画像処理を行い、撮像範囲内の電子部品中心位置及び角度を周知のパターンマッチングなどの手法により検出する。さらに、CPU30は、検出された各位置における電子部品の中心位置と撮像範囲の中心との位置ズレを位置誤差として算出し、各位置における角度変化を角度誤差として算出する。さらに、撮像ミラー20の長手方向を、X軸方向における各撮像位置を中心とする複数の区間X1,X2,X3,…に分割し、各区間ごとに求められた位置誤差と角度誤差とを登録し、これを撮像ミラー20の長手方向における誤差特性を示す誤差テーブルとして記憶装置17に記憶する。
そして、電子部品の実装時には、部品供給部で電子部品を吸着し、基板の実装位置に搬送する途中で、撮像ミラー20による反射像により電子部品Tの位置及び角度検出が行われる際に、吸着ノズル105が撮像ミラー20の上方を通過する際のX座標から、誤差テーブルのいずれに区間X1,X2,X3,…に属するかを判定し、該当する区間の誤差データを読み出して、電子部品Tの位置及び角度に対して誤差の補正を行う。
(Imaging mirror characteristic detection processing)
Since the imaging mirror 20 described above is long along the X-axis direction, it may bend. For this reason, the imaging mirror 20 may cause a position error of the captured image of the electronic component T reflected at each position in the X-axis direction.
Therefore, the operation control unit 10 creates an error table indicating error characteristics in the longitudinal direction of the imaging mirror 20 during the mounting work.
That is, assuming that the installation position of the imaging mirror 20 is known, as shown in the perspective view of FIG. 7, the CPU 30 determines the center line 105a of any of the suction nozzles 105 and the Y-axis direction of the imaging mirror 20. After the head 106 is positioned by the Y-axis motor 110 so as to coincide with the intermediate position, the X-axis motor 109 is driven to sequentially move and position the head 106 at uniform intervals in the X-axis direction. The image is taken by.
FIG. 8A shows an example of a captured image in an ideal case where there is no occurrence of bending, and FIG. 8B shows an example in which position error and angle fluctuation are caused by bending. In addition, illustration of a direct captured image is abbreviate | omitted.
Then, image processing is performed on the captured image data at each position in the X-axis direction, and the electronic component center position and angle within the imaging range are detected by a known method such as pattern matching. Further, the CPU 30 calculates a positional deviation between the center position of the electronic component and the center of the imaging range at each detected position as a position error, and calculates an angle change at each position as an angle error. Further, the longitudinal direction of the imaging mirror 20 is divided into a plurality of sections X1, X2, X3,... Centering on each imaging position in the X-axis direction, and the position error and angle error obtained for each section are registered. Then, this is stored in the storage device 17 as an error table indicating error characteristics in the longitudinal direction of the imaging mirror 20.
When the electronic component is mounted, the electronic component is picked up by the component supply unit, and is picked up when the position and angle of the electronic component T are detected by the reflected image of the imaging mirror 20 while being transported to the mounting position of the substrate. From the X coordinate when the nozzle 105 passes over the imaging mirror 20, it is determined which of the error table belongs to the sections X1, X2, X3,..., The error data of the corresponding section is read, and the electronic component T The error is corrected for the position and angle.

(電子部品実装制御)
動作制御手段10による電子部品の実装制御を図9のフローチャートに基づいて説明する。なお、ここでは、電子部品一つの実装動作を例示するものとする。
まず、CPU30は、記憶装置17の実装データから電子部品Tの受け取り位置(対象となる電子部品フィーダー101の受け渡し部101aの位置座標)と基板の実装位置の位置座標の読み出しを行う(ステップS1)。
ついで、X、Y軸モータ109,110を駆動させてヘッド106を電子部品Tの受け取り位置に移動させる(ステップS2)。
(Electronic component mounting control)
The electronic component mounting control by the operation control means 10 will be described with reference to the flowchart of FIG. Here, the mounting operation of one electronic component is illustrated.
First, the CPU 30 reads out the receiving position of the electronic component T (position coordinates of the delivery unit 101a of the target electronic component feeder 101) and the position coordinates of the mounting position of the board from the mounting data in the storage device 17 (step S1). .
Next, the X and Y axis motors 109 and 110 are driven to move the head 106 to the receiving position of the electronic component T (step S2).

そして、前述した焦点調節モータ115を駆動させて直接画像焦点距離となるように焦点調節を行う(ステップS3)。
即ち、図10に示すように、CCDカメラ108の焦点距離をCCDカメラ108から吸着高さの吸着ノズル105の先端部までの直線距離である直接画像焦点距離F2となるように焦点調節モータ115を制御する。これにより、斜め上方から見た電子部品Tの吸着状態の撮像画像が鮮明に撮像される。なお、電子部品Tの実装動作の実行の際には、その終了までCCDカメラ108は継続して撮像を行い、その動画データが記録装置17に記録される。
Then, the focus adjustment motor 115 described above is driven to perform focus adjustment so as to directly reach the image focal length (step S3).
That is, as shown in FIG. 10, the focus adjustment motor 115 is set so that the focal length of the CCD camera 108 becomes a direct image focal length F2 that is a linear distance from the CCD camera 108 to the tip of the suction nozzle 105 at the suction height. Control. Thereby, the picked-up image of the suction state of the electronic component T viewed from obliquely above is clearly picked up. When the mounting operation of the electronic component T is executed, the CCD camera 108 continuously captures images until the end of the mounting operation, and the moving image data is recorded in the recording device 17.

次いで、CPU30は、Z軸モータ111を駆動させて吸着ノズル105を吸着高さまで下降させ、電子部品Tの吸着を行う(ステップS4)。
そして、吸着ノズル105を搬送高さに上昇させ、焦点調節モータ115を駆動させて反射画像焦点距離となるように焦点調節を行う(ステップS5)。即ち、図10に示すように、CCDカメラ108の焦点距離を、CCDカメラ108から撮像ミラー20を経て吸着高さの吸着ノズル105の先端部に至るまでの経路長の距離である間接画像焦点距離F1となるように焦点調節モータ115を制御する。これにより、吸着ノズル105が撮像ミラー20の上方を通過する際に、垂直下方から見た電子部品Tの吸着状態の撮像画像が鮮明に撮像される。
Next, the CPU 30 drives the Z-axis motor 111 to lower the suction nozzle 105 to the suction height, and sucks the electronic component T (step S4).
Then, the suction nozzle 105 is raised to the conveyance height, and the focus adjustment motor 115 is driven to adjust the focus so that the reflected image focal length is obtained (step S5). That is, as shown in FIG. 10, the focal length of the CCD camera 108 is the indirect image focal length which is the distance of the path length from the CCD camera 108 to the tip of the suction nozzle 105 at the suction height through the imaging mirror 20. The focus adjustment motor 115 is controlled so as to be F1. Thereby, when the suction nozzle 105 passes above the imaging mirror 20, a captured image of the suction state of the electronic component T viewed from the vertically lower side is clearly captured.

ついで、X、Y軸モータ109,110の駆動を開始させて、ヘッド106を電子部品Tの実装位置への搬送を開始する(ステップS6)。
そして、搬送中において、電子部品Tの反射画像の取得位置到達の監視を行う(ステップS7)。
ここで、電子部品Tの反射画像の取得位置到達の監視処理について説明する。前述したように、撮像ミラー20のY軸方向における中間位置と吸着ノズル105の中心線とがY軸方向について一致する場合に、撮像ミラー20に電子部品Tの垂直下方からの画像が反射されて撮像されるようになっている。動作制御手段10では、この位置にヘッド105が到達するか否かを監視し、到達を検出するとその際の撮像画像の静止画像データをRAM13に記録し、当該画像から電子部品Tの位置及び角度検出を行う。
そして、図11に示すように、反射画像の取得位置到達の検出は、撮像ミラー20のX軸方向に沿った端縁部20Tが撮像範囲内における判定位置Mに到達したか否かにより行う。つまり、CCDカメラ108の撮像画像は、ヘッド106が撮像ミラー20の上方にさしかかると、撮像範囲内で撮像ミラー20の端縁部20Tが一定方向に移動することとなる。そして、判定位置Mに撮像ミラー20の端縁部が位置する時に、撮像ミラー20のY軸方向における中間位置と吸着ノズル105の中心線とがY軸方向について一致するように、予め、判定位置Mの設定を行うことにより、CCDカメラ108の撮像画像を監視することで、電子部品Tの反射画像の取得位置到達を検出することが可能となっている。
なお、撮像ミラー20の端縁部20Tは、撮像ミラー20と比べてコントラスト差が大きくなうような色彩を撮像ミラー20の背景側に付しておくことにより、CCDカメラ20の撮像画像において、撮像ミラー20の端縁部の前後で各画素の検出強度に差が生じるので、この検出強度差を検出することで撮像ミラー20の端縁部20Tを認識することが可能である。
CPU30は、かかる処理を行うことにより、電子部品Tの反射画像の取得位置到達を検出されると、前述したように、CCDカメラ108による撮像画像を静止画像データとしてRAM13に記憶する(ステップS8)。
Next, driving of the X and Y axis motors 109 and 110 is started to start transporting the head 106 to the mounting position of the electronic component T (step S6).
Then, during conveyance, the arrival of the reflection image acquisition position of the electronic component T is monitored (step S7).
Here, the monitoring process for reaching the acquisition position of the reflection image of the electronic component T will be described. As described above, when the intermediate position of the imaging mirror 20 in the Y-axis direction and the center line of the suction nozzle 105 match in the Y-axis direction, the image from the vertically lower side of the electronic component T is reflected on the imaging mirror 20. The image is captured. The operation control means 10 monitors whether or not the head 105 reaches this position. When the movement is detected, the still image data of the captured image at that time is recorded in the RAM 13, and the position and angle of the electronic component T are recorded from the image. Perform detection.
Then, as shown in FIG. 11, detection of the arrival position of the reflected image is detected based on whether or not the edge 20T along the X-axis direction of the imaging mirror 20 has reached the determination position M within the imaging range. That is, in the captured image of the CCD camera 108, when the head 106 approaches the imaging mirror 20, the edge 20T of the imaging mirror 20 moves in a certain direction within the imaging range. Then, when the edge portion of the imaging mirror 20 is positioned at the determination position M, the determination position is set in advance so that the intermediate position of the imaging mirror 20 in the Y-axis direction and the center line of the suction nozzle 105 coincide in the Y-axis direction. By setting M, it is possible to detect the arrival of the reflected image of the electronic component T by monitoring the captured image of the CCD camera 108.
Note that the edge 20T of the imaging mirror 20 is provided with a color on the background side of the imaging mirror 20 such that the contrast difference is larger than that of the imaging mirror 20, so that in the captured image of the CCD camera 20, Since there is a difference in the detection intensity of each pixel before and after the edge of the imaging mirror 20, it is possible to recognize the edge 20T of the imaging mirror 20 by detecting this difference in detection intensity.
When the CPU 30 detects the arrival of the reflection image acquisition position of the electronic component T by performing such processing, the image captured by the CCD camera 108 is stored in the RAM 13 as still image data as described above (step S8). .

そして、CPU30は、静止画像データに基づいて、撮像範囲内における電子部品Tの位置及ぶ角度を周知の画像処理の手法(例えば、パターンマッチング等)を用いて特定する(ステップS9)。
このとき、記憶装置17の誤差テーブルを参照して、電子部品Tの反射画像の取得位置到達時における吸着ノズル105のX軸方向の位置に基づいて区間X1,X2,X3,…を特定し、位置及び角度の補正を行う。
これにより、回転モータ112の駆動を行い、電子部品Tを回転させて適切な角度に調節する(ステップS10)。
そして、再び、前述した焦点調節モータ115を駆動させて直接画像焦点距離となるように焦点調節を行う(ステップS11)。
Then, based on the still image data, the CPU 30 specifies the angle over which the electronic component T is positioned within the imaging range using a known image processing method (for example, pattern matching) (step S9).
At this time, referring to the error table of the storage device 17, the sections X1, X2, X3,... Are specified based on the position of the suction nozzle 105 in the X-axis direction when the reflected image of the electronic component T is reached. Correct the position and angle.
Thereby, the rotation motor 112 is driven, and the electronic component T is rotated and adjusted to an appropriate angle (step S10).
Then, the focus adjustment motor 115 described above is driven again, and the focus adjustment is performed so that the direct image focal length is obtained (step S11).

そして、ステップS9で求められた吸着ノズル105に対する電子部品Tの位置を補正値としてヘッド106を実装位置に位置決めし(ステップS12)、CPU30は、Z軸モータ111を駆動させて吸着ノズル105を実装高さまで下降させ、電子部品Tの実装を行い(ステップS13)、制御を終了する。
なお、実装データに設定された全ての電子部品Tについて上記実装制御を繰り返す。
Then, the head 106 is positioned at the mounting position using the position of the electronic component T relative to the suction nozzle 105 obtained in step S9 as a correction value (step S12), and the CPU 30 drives the Z-axis motor 111 to mount the suction nozzle 105. The electronic component T is lowered to the height, and the electronic component T is mounted (step S13), and the control is finished.
The above mounting control is repeated for all the electronic components T set in the mounting data.

(実施形態の効果)
以上のように、電子部品実装装置100では、撮像ミラー20の傾斜配置によりヘッド106の吸着ノズル105を垂直下方から見た状態で吸着された電子部品Tを撮像することが可能である。そして、撮像ミラー20を平板状としたので、その反射面は一つのみとなり、撮像時において一回反射による電子部品Tの垂直下方らの画像を取得することが可能となる。
かかる平板状の撮像ミラー20は、従来のV字状のミラーと異なり、加工が容易であるため、長手方向について撓みや歪みの発生を抑制することが可能である。また、撮像ミラー20は平板状であることから、二回反射を行うV字状のミラーのように、二回反射による撓みの誤差の影響の増大を生じないため、電子部品Tの位置及び角度の検出において、精度向上を計ることが可能である。
また、撮像ミラー20は、反射面が一つなので、その取付の際には、その角度調節も一回で済み、ミラーの取付も容易となり、装置の製造効率を向上させることが可能となる。
さらに、V字状のミラーの場合と異なり、撮像ミラー20のY軸方向幅は、吸着ノズル105とCCDカメラ108の間の距離に合わせる必要がなく、縮小化が可能であるため、部品供給部から基板保持部104の間に撮像ミラー20を配置しても、当該ミラーの存在による部品供給部から基板保持部104の距離の延長は生じないため、実装のサイクルタイムを短縮することが可能となる。
(Effect of embodiment)
As described above, the electronic component mounting apparatus 100 can capture an image of the electronic component T that is sucked by the inclined arrangement of the imaging mirror 20 with the suction nozzle 105 of the head 106 viewed from vertically below. Since the imaging mirror 20 has a flat plate shape, there is only one reflection surface, and it is possible to acquire an image from below the electronic component T by reflection once during imaging.
Such a flat imaging mirror 20 is easy to process unlike a conventional V-shaped mirror, and therefore, it is possible to suppress the occurrence of bending and distortion in the longitudinal direction. In addition, since the imaging mirror 20 has a flat plate shape, unlike the V-shaped mirror that performs twice reflection, the influence of the deflection error due to twice reflection does not occur. It is possible to improve the accuracy of detection.
Further, since the imaging mirror 20 has one reflecting surface, the angle adjustment is only required once when the mirror is mounted, and the mirror can be easily mounted, and the manufacturing efficiency of the apparatus can be improved.
Further, unlike the case of the V-shaped mirror, the width in the Y-axis direction of the imaging mirror 20 does not need to match the distance between the suction nozzle 105 and the CCD camera 108 and can be reduced. Even if the imaging mirror 20 is arranged between the substrate holding unit 104 and the substrate holding unit 104, the distance from the component supply unit to the substrate holding unit 104 due to the presence of the mirror does not occur, so that the mounting cycle time can be shortened. Become.

また、動作制御手段10は、撮像ミラー20の端縁部20Tを電子部品の位置及び角度判定を行うヘッド106の位置を定める指標とし、当該指標が撮像範囲内の判定位置Mに到達した時の撮像画像に基づいて電子部品の位置及び角度を判定する。
これにより、ヘッド106が部品供給部から基板保持部104に向かう方向に移動する場合、CCDカメラ108の視線が撮像ミラー20に反射して吸着ノズル105の中心線105aと一致するポイントを容易に検出することができ、精度良く電子部品の位置及び角度を求めることが可能となる。
Further, the operation control means 10 uses the edge 20T of the imaging mirror 20 as an index for determining the position of the head 106 for determining the position and angle of the electronic component, and when the index reaches the determination position M within the imaging range. The position and angle of the electronic component are determined based on the captured image.
Thereby, when the head 106 moves in the direction from the component supply unit to the substrate holding unit 104, a point where the line of sight of the CCD camera 108 is reflected by the imaging mirror 20 and coincides with the center line 105a of the suction nozzle 105 is easily detected. Thus, the position and angle of the electronic component can be obtained with high accuracy.

また、CCDカメラ108は吸着ノズル105の先端部を視野に直接入れるように搭載されているので、撮像ミラー20で反射させた吸着ノズル105に吸着された電子部品の垂直下方からの下面画像(下面図)により周知の画像処理により電子部品の水平方向の位置ずれ検出ができるのみならず、斜め側方からの画像も取得することができる。かかる斜め側方の画像を記録することにより、例えば、吸着ノズルに吸着された電子部品を斜め側方から撮影した実際の画像と、予め記憶手段に記憶した3次元(縦横高さ方向)方向に沿って部品の縦横高さ方向を配置して、3次元傾きゼロ(即ち回転ゼロ、傾きゼロ)に配置した部品を前記斜め側方から撮影した基準画像と、を比較することにより、前記吸着ノズルに吸着された電子部品の3次元(縦横高さ方向)の傾きを検出して3次元傾きデータを得ることができる。さらに、予め記憶手段に記憶された電子部品の形状や縦横高さのサイズデータ等の部品データを読み出して、前記部品データと前記3次元傾きデータとに基づき、吸着により傾いた状態の電子部品を正面図、側面図および平面図に展開した画像を作成することができる。この正面図、側面図に加えて、平面図または前記下面図の少なくとも一方の各画像データと、前記部品の下面画像に基づく水平方向の位置ずれ量データとに基づいて、コンピュータによる周知の画像処理を行うことにより、吸着ノズル105の先端部に吸着された状態の前記電子部品を立体的な3次元静止画像に合成して記憶手段に記録し表示することができる。
さらに前記電子部品を吸着ノズル105で吸着開始してから吸着ノズル105の上昇ととともに電子部品を上昇して位置ずれや傾きが発生するまでの吸着状態を示す3次元静止画像を複数作成して記憶することで任意のタイミングの3次元静止画像を選択して表示できる。
さらに前記複数の3次元静止画像を時間経過に沿って順次連続的に表示することで、電子部品が吸着ノズルに対して位置ずれや傾きが発生する過程を3次元動画画像で連続的に、任意の角度および倍率、表示速度で表示することができる。
このように、前記垂直下方からの画像と前記斜め側方からの画像および、水平方向の位置ずれデータ、3次元傾きデータ、さらに前記3次元静止画像または3次元動画画像を、電子部品吸着前から吸着上昇後まで表示画面に表示することにより、吸着エラーや搭載エラーの発生時の原因究明や、吸着動作や搭載動作の挙動分析等、電子部品の位置及び角度検出以外の種々の用途に利用することが可能となる。さらに一台のカメラで電子部品の3次元静止画像および3次元動画画像を作成できるので、二台のカメラを用いて3次元画像を記録する場合と比較すると、部品塔載ヘッドおよび部品塔載ヘッドを移動するXY移動機構の小型化、省電力化、コスト低減、タクトタイムの短縮高速化を実現できる。
Further, since the CCD camera 108 is mounted so that the tip of the suction nozzle 105 is directly placed in the field of view, the lower surface image (bottom surface) of the electronic component sucked by the suction nozzle 105 reflected by the imaging mirror 20 from below. As shown in FIG. 4, not only horizontal displacement of the electronic component can be detected by well-known image processing, but also an image from an oblique side can be acquired. By recording such an image on the oblique side, for example, an actual image obtained by photographing the electronic component sucked by the suction nozzle from the oblique side and a three-dimensional (vertical and horizontal height direction) direction stored in advance in the storage means. The suction nozzle is arranged by comparing the reference image obtained by photographing the part arranged at three-dimensional inclination zero (that is, zero rotation, zero inclination) from the oblique side by arranging the vertical and horizontal height directions of the parts along The three-dimensional inclination data can be obtained by detecting the three-dimensional (vertical and horizontal height direction) inclination of the electronic component adsorbed on the surface. Furthermore, by reading out the component data such as the shape of the electronic component and the size data of the vertical and horizontal height stored in the storage means in advance, the electronic component tilted by the suction is based on the component data and the three-dimensional tilt data. Images developed in a front view, a side view, and a plan view can be created. In addition to the front view and the side view, well-known image processing by a computer based on the image data of at least one of the plan view and the bottom view, and the horizontal displacement data based on the bottom image of the component By performing the above, it is possible to synthesize the electronic component in the state of being sucked by the tip of the suction nozzle 105 into a three-dimensional three-dimensional still image, and record and display it in the storage means.
Further, a plurality of three-dimensional still images are generated and stored indicating the suction state from when the electronic component is started to be sucked by the suction nozzle 105 to when the electronic component is lifted and the electronic component is lifted to cause positional deviation or inclination. By doing so, a three-dimensional still image at an arbitrary timing can be selected and displayed.
Furthermore, by displaying the plurality of three-dimensional still images sequentially and sequentially over time, the process in which the electronic component is displaced or tilted with respect to the suction nozzle can be continuously and arbitrarily selected as a three-dimensional moving image. Can be displayed at an angle, magnification, and display speed.
As described above, the image from the vertically lower side, the image from the oblique side, the horizontal position shift data, the three-dimensional tilt data, and the three-dimensional still image or the three-dimensional moving image can be obtained from before the electronic parts are sucked. By displaying on the display screen until after the suction rises, it can be used for various purposes other than the detection of the position and angle of electronic parts, such as investigation of the cause when suction error or mounting error occurs, analysis of behavior of suction operation or mounting operation, etc. It becomes possible. Furthermore, since a three-dimensional still image and a three-dimensional moving image of an electronic component can be created with one camera, the component mounting head and the component mounting head are compared with the case where a three-dimensional image is recorded using two cameras. The XY moving mechanism that moves the vehicle can be reduced in size, reduced in power consumption, reduced in cost, and shortened tact time and increased in speed.

また、動作制御手段10は、タイミングを異ならせて直接撮像される吸着ノズル105の先端部に吸着された電子部品Tを焦点距離とする場合と、撮像ミラー20を介して撮像されるノズル先端部の電子部品Tの焦点距離とに焦点を合わせるので、直接撮像されるノズル画像と撮像ミラー20に反射して撮像されるノズル画像のそれぞれについて適切な焦点距離で撮像したものを取得でき、それぞれの画像の用途に対して精度の向上を図ることが可能となる。   Further, the operation control means 10 uses the electronic component T sucked to the tip of the suction nozzle 105 that is directly imaged at different timings as the focal length, and the nozzle tip that is imaged through the imaging mirror 20. Since the focus is adjusted to the focal length of the electronic component T, the nozzle image captured directly and the nozzle image reflected by the imaging mirror 20 can be acquired with appropriate focal lengths. It is possible to improve the accuracy for the purpose of the image.

また、動作制御手段10は、撮像ミラー20の長手方向における誤差の特性を示す誤差テーブルを取得し、電子部品の位置及び角度を当該誤差特性に基づいて補正するので、仮に、撮像ミラー20に撓みや歪みによる長手方向の各位置での誤差を生じていた場合でも、これを適切に補正することができるので、より高精度に電子部品の位置及び角度検出を行うことが可能となる。   Further, the operation control unit 10 acquires an error table indicating the characteristics of errors in the longitudinal direction of the imaging mirror 20, and corrects the position and angle of the electronic component based on the error characteristics. Even if an error occurs at each position in the longitudinal direction due to or distortion, this can be corrected appropriately, so that the position and angle of the electronic component can be detected with higher accuracy.

また、動作制御手段10では、CCDカメラ108による撮像画像の静止画像又は動画のデータを記憶するので、これらのデータを利用して適切に電子部品の位置及び角度検出或いはその他の処理を行うことが可能となる。   In addition, since the operation control means 10 stores still image data or moving image data of an image captured by the CCD camera 108, it is possible to appropriately detect the position and angle of the electronic component or perform other processing using these data. It becomes possible.

撮像ミラー20の反射面を保護する透明な保護層23や天板24等の保護手段を備えるので、撮像ミラー20の反射面に高品質の光学ガラスを使用しても保護を図ることができ、より高精度に電子部品の位置及び角度検出を行うことが可能となる。また、傷やくもりなどが生じても、保護手段のみを交換すれば良く、維持管理コストの低減を図ることが可能となる。
さらに、撮像ミラー20には、保護手段の表面の清掃を行うエアーブロー機構やワイパー機構などの清掃手段を備えるので、汚れの付着などにより撮像画像の劣化を防止し、より高精度に電子部品の位置及び角度検出を行うことが可能となる。
また、非搭載動作時やヘッド106が電子部品の位置及び角度を判定する位置にある時を回避して清掃手段による清掃を行うので、清掃手段による撮像画像の影響を排除でき、さらに高精度に電子部品の位置及び角度検出を行うことが可能となる。
Since the protective means such as the transparent protective layer 23 and the top plate 24 for protecting the reflective surface of the imaging mirror 20 is provided, protection can be achieved even if high-quality optical glass is used for the reflective surface of the imaging mirror 20, It becomes possible to detect the position and angle of the electronic component with higher accuracy. Even if scratches or cloudiness occur, it is only necessary to replace the protection means, and the maintenance cost can be reduced.
Furthermore, since the imaging mirror 20 is provided with cleaning means such as an air blow mechanism or a wiper mechanism for cleaning the surface of the protection means, it is possible to prevent deterioration of the captured image due to adhesion of dirt, etc. Position and angle detection can be performed.
In addition, since the cleaning means performs the cleaning operation while avoiding the non-mounting operation or when the head 106 is in the position for determining the position and angle of the electronic component, the influence of the captured image by the cleaning means can be eliminated, and the accuracy can be increased. It is possible to detect the position and angle of the electronic component.

(その他)
CCDカメラ108の焦点距離を変更する焦点調節機構を備えているが、これに限定されず、図12に示すように、電子部品の直接画像の撮像に適した焦点距離の主光学系と、撮像ミラー20を介した電子部品の間接画像の撮像に適した焦点距離調整用の副光学系116とから構成しても良い。
主光学系は、CCDカメラ108の内部にあって、その視野の全体を均一な焦点距離(CCDカメラ108から吸着ノズル105先端部までの直線距離)とする。
また、副光学系116は、CCDカメラ108から撮像ミラー20までの間に配置され、CCDカメラ108から吸着ノズル105先端部までの直線上には干渉しないように配置されている。そして、この副光学系116は主光学系との協働により、CCDカメラ108から撮像ミラー20を介して吸着ノズル105の先端部に至る距離を焦点距離とする。
このように静的な構成で、二つの焦点距離で撮像を行うことも可能である。
(Other)
Although the focus adjustment mechanism for changing the focal length of the CCD camera 108 is provided, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 12, a main optical system having a focal length suitable for direct imaging of electronic components, and imaging You may comprise from the sub optical system 116 for focal distance adjustment suitable for the imaging of the indirect image of an electronic component via the mirror 20. FIG.
The main optical system is inside the CCD camera 108, and the entire visual field is set to a uniform focal length (a linear distance from the CCD camera 108 to the tip of the suction nozzle 105).
The sub optical system 116 is disposed between the CCD camera 108 and the imaging mirror 20, and is disposed so as not to interfere with a straight line from the CCD camera 108 to the tip of the suction nozzle 105. The sub optical system 116, in cooperation with the main optical system, sets the focal length to the distance from the CCD camera 108 to the tip of the suction nozzle 105 via the imaging mirror 20.
It is possible to perform imaging at two focal lengths with such a static configuration.

また、CCDカメラ108に被写界深度が深い光学系を設けることで、電子部品Tの直接的な距離と撮像ミラー20を経由する距離の両方に焦点が合うようにして、個々の距離について焦点調節を不要としても良い。   Further, by providing the CCD camera 108 with an optical system having a deep depth of field, both the direct distance of the electronic component T and the distance passing through the imaging mirror 20 are in focus so that each distance is focused. Adjustment may not be necessary.

また、上記実施形態では、撮像ミラー20の端縁部20Tを電子部品の位置及び角度判定を行うヘッド106の位置を定める指標としてミラー20に反射した吸着ノズル105の中心線とCCDカメラ108の視線とが一致するヘッド106のY軸方向における位置を求めている。
これについて、図13に示すように、撮像範囲内の判定位置MをヘッドのY軸方向について複数点(ここでは三点)定め、ヘッド106が電子部品フィーダ101の電子部品の受け渡し部101aから基板Kの実装位置Hに移動する際に、撮像されたミラー20の端縁部20Tが各判定位置Mを通過する際のヘッド位置P1,P2,P3における撮像画像に基づいて電子部品の位置及び角度を求め、それぞれについて比較を行ってもよい。
In the above embodiment, the center line of the suction nozzle 105 reflected on the mirror 20 and the line of sight of the CCD camera 108 are used as an index for determining the position of the head 106 for determining the position and angle of the electronic component using the edge 20T of the imaging mirror 20. The position in the Y-axis direction of the head 106 that matches is obtained .
As shown in FIG. 13, as shown in FIG. 13, determination positions M within the imaging range are determined at a plurality of points (here, three points) in the Y-axis direction of the head, and the head 106 moves from the electronic component delivery unit 101 a of the electronic component feeder 101 to the substrate. The position and angle of the electronic component based on the captured images at the head positions P1, P2, and P3 when the edge 20T of the captured mirror 20 passes through each determination position M when moving to the K mounting position H. And may be compared for each.

この場合、図14に示すように、Y軸方向にΔYだけずれた他のヘッド位置の吸着ノズル105Xの場合には、ミラーの反射位置が高さ方向について異なることから、そのときのCCDカメラ108Xの視線108aに対してY軸方向についてΔCだけズレを生じることとなる。
例えば、ヘッド位置P2が反射した吸着ノズル105の中心線とCCDカメラ108の視線とが一致するヘッド106のY軸方向における位置であるものとすると(図15(B))、撮像される吸着ノズル105に吸着された電子部品の位置は、ヘッド位置P1では図15(A)、ヘッド位置P3では図15(C)のようにズレを生じることとなる。
ミラー20の傾斜角度をθとすると、吸着ノズル105の中心線とCCDカメラ108の視線の交差角度はθ/2となり、ヘッド位置のズレに対する撮像される電子部品の位置ズレΔC(吸着ノズル105の中心線位置のズレ)は、次式(1)で求めることが可能である。
ΔC=ΔY・tanθ・cosθ …(1)
In this case, as shown in FIG. 14, in the case of the suction nozzle 105X at another head position shifted by ΔY in the Y-axis direction, the mirror reflection position differs in the height direction, so the CCD camera 108X at that time Is shifted by ΔC with respect to the line of sight 108a in the Y-axis direction.
For example, assuming that the center line of the suction nozzle 105 reflected by the head position P2 and the line of sight of the CCD camera 108 coincide with each other in the Y axis direction of the head 106 (FIG. 15B), the suction nozzle to be imaged. The position of the electronic component attracted by 105 is shifted as shown in FIG. 15A at the head position P1 and as shown in FIG. 15C at the head position P3.
If the inclination angle of the mirror 20 is θ, the crossing angle between the center line of the suction nozzle 105 and the line of sight of the CCD camera 108 is θ / 2, and the positional deviation ΔC of the electronic component to be imaged relative to the deviation of the head position (of the suction nozzle 105 The deviation of the center line position can be obtained by the following equation (1).
ΔC = ΔY · tanθ · cosθ (1)

従って、三点P1,P2,P3で撮像する場合には、P1,P3について上式で算出したズレ量ΔCで位置補正を行った上で比較を行えばよい。なお、電子部品の角度について比較する場合には、ヘッド位置における影響は少ないのでそのまま比較することができる。
そして、上述のように、三点以上で撮像を行った場合には、相互に値を比較し、あらかじめ決定した閾値より大きな差を示す部品位置や角度を除外して残った値を正常な認識結果として搭載動作に使用する。残った値の平均値や中央値やばらつきが最小になる組み合わせを選択する等残った値をどのように使用するかは本旨を逸脱しない範囲で任意である。なお、電子部品Tの反射画像の取得位置の近傍でY方向の距離がY1はY軸駆動に使用しているエンコーダの読みを使用する。
Therefore, when imaging is performed at the three points P1, P2, and P3, the comparison may be performed after correcting the position with the shift amount ΔC calculated by the above equation for P1 and P3. Note that when comparing the angles of the electronic components, the influence on the head position is small, and the comparison can be made as it is.
Then, as described above, when imaging is performed at three or more points, the values are compared with each other, and the remaining values excluding component positions and angles that show a difference larger than a predetermined threshold are recognized normally. As a result, it is used for loading operation. How to use the remaining values, such as selecting a combination that minimizes the average value, median value, and variation of the remaining values, is arbitrary without departing from the scope of the present invention. In the vicinity of the position where the reflection image of the electronic component T is acquired, the Y-direction distance Y1 uses the reading of the encoder used for Y-axis driving.

例えば、図13の例では、位置P2の近くに汚れQが付着しており、撮像画像から電子部品の位置や角度が正しく求められない可能性がある。そして、その結果、P2における電子部品の位置又は角度が他の位置又は角度から閾値を超えて大きく異なる場合には点P2の位置又は角度を考慮せず、他の二点P1,P3から位置又は角度を算出する。なお差の大小は、例えば三点の平均値を基準値として、その差を求める。
三点P1,P2,P3での位置又は角度の差が閾値よりも小さい場合には、上述の除外は行わず位置又は角度を算出する。
また、点P2を除外して二点P1,P3における位置又は角度の比較を行い、それでも、それらの差が閾値を超える場合には、装置停止、警告、或いは判定不良の事実を記録してそのまま実装動作を継続する等のエラー処理を実行することが望ましい。また、それらの差が閾値を超える場合には、認識のミラー20の汚れや搭載用の部品の落下など、ミラー20の清掃の必要性が推測される。従って、図5の清掃手段を備える場合には、上記エラー処理と共に、実装作業を妨げないタイミングで清掃手段が清掃を実行するように制御してもよい。なお、上述したエラー処理と清掃はいずれかを組み合わせて実行しても良い。
For example, in the example of FIG. 13, the dirt Q is attached near the position P2, and the position and angle of the electronic component may not be correctly obtained from the captured image. As a result, when the position or angle of the electronic component at P2 differs greatly from the other position or angle beyond the threshold, the position or angle of the point P2 is not considered, and the position or angle from the other two points P1 and P3 Calculate the angle. For the magnitude of the difference, for example, the difference is obtained using an average value of three points as a reference value.
When the difference in position or angle at the three points P1, P2, and P3 is smaller than the threshold value, the position or angle is calculated without performing the above-described exclusion.
Also, the position or angle is compared at the two points P1 and P3 excluding the point P2, and if the difference between them still exceeds the threshold value, the fact of the device stop, warning, or judgment failure is recorded as it is. It is desirable to execute error handling such as continuing the mounting operation. If the difference exceeds the threshold, it is estimated that the mirror 20 needs to be cleaned, such as dirt on the recognition mirror 20 or dropping of components for mounting. Therefore, when the cleaning unit of FIG. 5 is provided, the cleaning unit may be controlled to perform cleaning at a timing that does not interfere with the mounting operation together with the error processing. Note that the error processing and cleaning described above may be executed in combination.

また、撮像を行うヘッド位置については、三点以上でも良いし、二点としても良い。
二点で撮像を行う場合には、両者における電子部品の位置又は角度の差があらかじめ決定した閾値より小さいときには実装動作を継続し、大きい時には前述した除外は行わず、認識の信頼性に対する警告や装置の停止等の動作或いは認識不良の記録或いはミラーの清掃のいずれかまたはいずれか組み合わせて行なう。
Further, the head position for imaging may be three or more points, or two points.
When imaging at two points, the mounting operation is continued when the difference in the position or angle of the electronic components between the two is smaller than a predetermined threshold, and when the difference is larger, the above-described exclusion is not performed. This is performed by any one or a combination of operations such as stopping of the apparatus, recording of recognition failure, and mirror cleaning.

なお、撮像を行うヘッド位置を定める指標はミラーの端縁部に限らず、ミラーの辺縁の画像認識でも良いし、別に認識用の指標を設けても良い。   The index for determining the head position for imaging is not limited to the edge portion of the mirror, but may be image recognition of the edge of the mirror, or a separate index for recognition may be provided.

10 動作制御手段(画像処理装置)
13 RAM(画像記憶手段)
17 記憶装置(画像記憶手段)
20 撮像ミラー
20T 端縁部(指標)
23 保護層(保護手段)
24 天板(保護手段)
25 エアーノズル(清掃手段)
27 ワイパー(清掃手段)
100 電子部品実装装置
101 電子部品フィーダー(部品供給部)
102 フィーダーバンク(部品供給部)
104 基板保持部
105 吸着ノズル(ノズル)
106 ヘッド
107 X−Yガントリ(ヘッド移動機構)
108 CCDカメラ(撮像手段)
115 焦点調節モータ(アクチュエータ)
116 副光学系
T 電子部品
10 Operation control means (image processing apparatus)
13 RAM (image storage means)
17 Storage device (image storage means)
20 imaging mirror 20T edge part (index)
23 Protective layer (protective means)
24 Top plate (protection means)
25 Air nozzle (cleaning means)
27 Wiper (cleaning means)
100 Electronic Component Mounting Device 101 Electronic Component Feeder (Component Supply Unit)
102 Feeder bank (parts supply unit)
104 Substrate holder 105 Suction nozzle (nozzle)
106 head 107 XY gantry (head moving mechanism)
108 CCD camera (imaging means)
115 Focus adjustment motor (actuator)
116 Sub-optical system T Electronic component

Claims (9)

電子部品の実装が行われる基板を保持する基板保持部と、
実装される電子部品を供給する部品供給部と、
前記基板に搭載する電子部品を吸着する昇降可能なノズルを備えたヘッドと、
前記部品供給部から前記基板保持部の間の互いに直交するX軸方向とY軸方向とに沿った領域にかけて前記ヘッドを任意に移動位置決めするヘッド移動機構とを備える電子部品実装装置において、
斜め下方に視線を向けた状態で前記ヘッドに搭載され、平面的な画像が撮像可能であって、前記ノズルに吸着された電子部品を撮像する撮像手段と、
前記電子部品実装装置のベースフレームにおける前記部品供給部と前記基板保持部との間に設けられ、当該部品供給部から基板保持部へと前記ヘッドが移動する場合に移動を生じる方向をY軸方向とした場合にこれと直交するX軸方向に平行な基板搬送方向に沿って延在する唯一の反射面を有する撮像ミラーと、
前記撮像ミラーに反射された電子部品の撮像画像から前記吸着された電子部品の前記ノズルに対する位置及び角度を判定する画像処理装置とを備え、
前記撮像ミラーの反射面は、前記ノズルの中心線と前記撮像手段の視線との二等分線を垂線とする傾斜面であり、
前記電子部品の位置及び角度を判定するためのヘッドの位置を求めるために、前記撮像ミラー又はその周囲に前記撮像ミラーに対して必ず一定の配置で存在するものであって画像で認識可能である指標を設け、
前記画像処理装置は、前記部品供給部から基板保持部へと前記ヘッドが移動する際の前記撮像手段の撮像範囲内において前記指標がY軸方向に所定量ずれた複数の判定位置をそれぞれ通過するときに撮像し、前記ノズルの中心線と前記撮像手段の視線とが一致する判定位置を基準に他の判定位置での撮像画像の位置ズレを補正した上で前記電子部品の位置を比較し、前記電子部品の位置及び角度を判定することを特徴とする電子部品実装装置。
A board holding unit for holding a board on which electronic components are mounted;
A component supply unit for supplying electronic components to be mounted;
A head provided with a vertically movable nozzle that adsorbs electronic components mounted on the substrate;
In an electronic component mounting apparatus comprising: a head moving mechanism that arbitrarily moves and positions the head over a region along the X-axis direction and the Y-axis direction orthogonal to each other between the component supply unit and the substrate holding unit;
Mounted on the head in a state where the line of sight is directed obliquely downward, an imaging unit capable of capturing a planar image and capturing an electronic component adsorbed by the nozzle;
The Y-axis direction is a direction that is provided between the component supply unit and the substrate holding unit in the base frame of the electronic component mounting apparatus, and causes the movement when the head moves from the component supply unit to the substrate holding unit. an imaging mirror with only one reflective surface extending along the parallel direction of substrate conveyance in the X-axis direction orthogonal thereto in the case of a,
An image processing device that determines a position and an angle of the sucked electronic component with respect to the nozzle from a captured image of the electronic component reflected by the imaging mirror;
The reflecting surface of the imaging mirror, Ri inclined surfaces der that the perpendicular bisector of the line of sight of the centerline and the imaging means of the nozzle,
In order to determine the position of the head for determining the position and angle of the electronic component, the imaging mirror or its surroundings must be present in a fixed arrangement with respect to the imaging mirror and can be recognized by an image. Set an indicator,
The image processing apparatus passes each of a plurality of determination positions where the index is shifted by a predetermined amount in the Y-axis direction within an imaging range of the imaging means when the head moves from the component supply unit to the substrate holding unit. When the image is captured, the position of the electronic component is compared after correcting the positional deviation of the captured image at another determination position with reference to the determination position where the center line of the nozzle and the line of sight of the imaging unit match. An electronic component mounting apparatus for determining a position and an angle of the electronic component.
前記撮像手段は、前記ノズル先端部がその視野に直接入るように前記ヘッドに搭載されていることを特徴とする請求項1記載の電子部品実装装置。 The electronic component mounting apparatus according to claim 1 , wherein the imaging unit is mounted on the head so that the nozzle tip directly enters the field of view. 前記撮像手段は、前記部品供給部からの部品吸着を行う時のノズル高さ又は前記基板保持部の基板に対する部品実装時のノズル高さにおける前記ノズルの先端部がその視野に直接入るように前記ヘッドに搭載されていることを特徴とする請求項2記載の電子部品実装装置。 The imaging means is arranged such that the tip of the nozzle directly enters the field of view at the nozzle height at the time of component suction from the component supply unit or the nozzle height at the time of component mounting on the substrate of the substrate holding unit. The electronic component mounting apparatus according to claim 2 , wherein the electronic component mounting apparatus is mounted on a head. 前記撮像手段は、アクチュエータにより焦点距離を調節する焦点調節機構を備え、
前記画像処理装置は、タイミングを異ならせて、直接撮像される前記ノズル先端部に対応する焦点距離と前記撮像ミラーを介して撮像される前記ノズル先端部に対応する焦点距離のそれぞれとなるように前記焦点調節機構のアクチュエータを制御することを特徴とする請求項2又は3記載の電子部品実装装置。
The imaging means includes a focus adjustment mechanism that adjusts a focal length by an actuator,
The image processing device has different timings so that a focal length corresponding to the nozzle tip directly picked up and a focal length corresponding to the nozzle tip picked up via the imaging mirror are set. 4. The electronic component mounting apparatus according to claim 2, wherein an actuator of the focus adjustment mechanism is controlled.
前記撮像手段はカメラが備える主光学系と焦点距離調整用の副光学系とを備え、前記主光学系は直接撮像される前記ノズル先端部に対応する焦点距離とし、前記副光学系は前記撮像ミラーを介して撮像される前記ノズル先端部を含む領域について前記主光学系と協働により焦点距離を合わせることを特徴とする請求項2又は3記載の電子部品実装装置。 The imaging means includes a main optical system included in a camera and a sub optical system for adjusting a focal length, the main optical system has a focal length corresponding to the nozzle tip portion to be directly imaged, and the sub optical system is the imaging 4. The electronic component mounting apparatus according to claim 2 , wherein a focal length is adjusted in cooperation with the main optical system for a region including the nozzle tip portion imaged through a mirror. 前記画像処理装置は、既知の位置にある前記ヘッドのノズルを前記撮像ミラーを介して当該撮像ミラーの長手方向に沿った複数箇所で撮像することで当該長手方向における誤差の特性を取得し、前記電子部品の位置及び角度を判定する際に、前記特性に基づいて補正を行うことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の電子部品実装装置。 The image processing apparatus acquires the characteristics of the error in the longitudinal direction by imaging the nozzle of the head at a known position at a plurality of locations along the longitudinal direction of the imaging mirror via the imaging mirror, The electronic component mounting apparatus according to any one of claims 1 to 5 , wherein when the position and angle of the electronic component are determined, correction is performed based on the characteristic. 前記撮像手段による撮像画像の静止画像又は動画のデータを記憶する画像記憶手段を備えることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の電子部品実装装置。 The electronic component mounting apparatus according to claim 1, further comprising an image storage unit that stores still image data or moving image data of an image captured by the imaging unit. 前記撮像ミラーの反射面を保護する透明な保護手段を備えることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の電子部品実装装置。 The electronic component mounting apparatus according to claim 1, further comprising a transparent protection unit that protects a reflection surface of the imaging mirror. 前記保護手段の表面の清掃を行う清掃手段を備えることを特徴とする請求項8記載の電子部品実装装置。 9. The electronic component mounting apparatus according to claim 8, further comprising cleaning means for cleaning the surface of the protection means.
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