JP5380924B2 - 表面形状検査装置及び表面形状検査方法 - Google Patents
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Description
本発明を好適に実施した第1の実施形態について説明する。図1に、本実施形態に係る表面形状検査装置の構成を示す。表面形状検査装置は、凹凸形状増幅部材1と、透明弾性体21及び透明剛体22からなる透明板2と、カメラ3とコンピュータ4とを有する。図1は、回転機構7によって回転させられている円柱又は円筒状の被検査物5に凹凸形状増幅部材1を押し付け、複数の突起部先端の位置をカメラで観測している状態を示している。凹凸形状増幅部材1は、被検査物表面形状に沿うように曲げ変形可能なシート状物体11及びそのシート状物体に垂直な方向に等間隔に配置した複数の突起12で構成されている。凹凸形状増幅部材1は、回転している円筒又は円柱状の被検査物5の表面に透明板2によって押し付けられる。この際に変形した複数の突起12の先端部の位置をカメラ3で撮影し、それをコンピュータ4で処理することにより、被検査物5の表面全体の凹凸分布や高さ及び深さを含む形状を検査する。
また、凹凸形状増幅部材1が被検査物5の形状に沿いながら検査するため、径が一定でない円柱又は円筒状物体の表面形状検査に適用可能である。被検査物5を回転させながら検査を行うため、広い検査スペースを必要とせず、省スペースな装置構成とすることが可能である。
また、複数の突起12の先端部の位置を観測することのみで、被検査物5の表面の凹凸形状を検査できるため、簡単な構成で効率よく被検査物5の表面の形状を検査できる。
さらに、複数の突起12の先端部の位置を検出し、簡単な計算式で被検査物5の表面の高さ及び深さを含む形状を算出できる。
本発明を好適に実施した第2の実施形態について説明する。図6に、本実施形態に係る表面形状検査装置の構成を示す。第1の実施形態と同様に、表面形状検査装置は、凹凸形状増幅部材1と、透明弾性体21及び透明剛体22からなる透明板2と、カメラ3とコンピュータ4とを有する。図6は、並進移動機構8によって並進移動させられている板状の被検査物6に凹凸形状増幅部材1を押し付け、複数の突起部先端の位置をカメラで観測している状態を示す。凹凸形状増幅部材1は、被検査物6の表面形状に沿うように曲げ変形可能なシート状物体11及びそのシート状物体に垂直な方向に等間隔に配置した複数の突起12で構成されている。凹凸形状増幅部材1は、並進運動している板状の被検査物6の表面に透明板2によって押し付けられる。この際に変形した複数の突起12の先端部の位置をカメラ3で撮影し、それをコンピュータ4で処理することにより、被検査物6の表面全体の凹凸分布や高さ及び深さを含む形状を検査する。
また、凹凸形状増幅部材1が被検査物6の形状に沿いながら検査するため、厚さが一定でない板状物体の表面形状検査に利用できる。また、被検査物6を移動させながら検査するため、被検査物6を搬送する途中で検査する場合などに適用可能である。
また、複数の突起12の先端部の位置を観測することのみで、被検査物6の表面の凹凸形状を検査できるため、簡単な構成で効率よく被検査物6の表面の形状を検査できる。
さらに、複数の突起12の先端部の位置を検出し、簡単な計算式で被検査物6の表面の高さ及び深さを含む形状を算出できる。
2 透明板
3 カメラ
4 コンピュータ
5、6 被検査物
7 回転機構
8 並進移動機構
11 シート状物体
12 突起
21 透明弾性体
22 透明剛体
Claims (5)
- 円柱又は円筒状の被検査物の表面に沿うように曲げ変形可能なシート状部材を下面とし、前記シート状部材の上に等間隔に配置され、各々がシート面と垂直方向に配向した複数の突起からなる、前記被検査物の表面の凹凸を増幅する凹凸形状増幅手段と、
前記凹凸形状増幅手段の下面を前記被検査物の表面に沿わせるように当接させる、いずれも透明な剛体及び弾性体の2層構造の板からなる当接手段と、
前記被検査物の表面の検査対象部分を前記凹凸形状増幅手段に対して相対的に移動させるとともに、前記被検査物を支持及び回転させる移動手段と、
前記凹凸形状増幅手段によって増幅された前記被検査物の表面の凹凸を光学的に検出する、前記被検査物の表面を撮影するカメラ及び、該カメラが撮影した画像を解析するコンピュータからなる検出手段とを有し、
前記当接手段における弾性体が前記複数の突起に当接し、前記カメラは前記当接手段における2層構造の板ごしに前記複数の突起を撮影することを特徴とする表面形状検査装置。 - 板状の被検査物の表面に沿うように曲げ変形可能なシート状部材を下面とし、前記シート状部材の上に等間隔に配置され、各々がシート面と垂直方向に配向した複数の突起からなる、前記被検査物の表面の凹凸を増幅する凹凸形状増幅手段と、
前記凹凸形状増幅手段の下面を前記被検査物の表面に沿わせるように当接させる、いずれも透明な剛体及び弾性体の2層構造の板からなる当接手段と、
前記被検査物の表面の検査対象部分を前記凹凸形状増幅手段に対して相対的に移動させるとともに、前記被検査物を前記凹凸形状増幅手段のシート面に対して並進させる移動手段と、
前記凹凸形状増幅手段によって増幅された前記被検査物の表面の凹凸を光学的に検出する、前記被検査物の表面を撮影するカメラ及び、該カメラが撮影した画像を解析するコンピュータからなる検出手段とを有し、
前記当接手段における弾性体が前記複数の突起に当接し、前記カメラは前記当接手段における2層構造の板ごしに前記複数の突起を撮影することを特徴とする表面形状検査装置。 - 請求項1又は2記載の表面形状検査装置を用いた表面形状検査方法であって、
前記凹凸形状増幅手段の下面を前記被検査物表面の形状に沿わせ、前記被検査物の表面形状に合わせて変形した前記複数の突起の先端部の位置を前記カメラで撮影しながら検査対象部分を移動させ、その際に得られた画像を処理し、前記複数の突起の先端部の位置から前記被検査物の表面全体の凹凸分布を求めることを特徴とする表面形状検査方法。 - 前記複数の突起の先端部の位置を基に前記被検査物表面の前記カメラの撮像範囲内での傾斜を検出し、それらの情報に基づいて前記被検査物表面の凹凸の深さ又は高さを含む表面形状を検出することを特徴とする請求項3記載の表面形状検査方法。
- 任意の前記複数の突起の先端部と、他の前記複数の突起の先端部との間隔の変化に基づいて前記検査対象物表面の前記カメラの撮像範囲内での傾斜を検出することを特徴とする請求項4記載の表面形状検査方法。
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