JP5373717B2 - 光導波路部品の作製方法 - Google Patents
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Description
図5に示す15×20mm2のPLCを被加工対象として用い、異方性プラズマエッチングにより斜め溝を形成した。被加工対象のPLC上にはフォトリソグラフィーにより短辺に対して並行に開口部17が形成されているマスク16を作製した。
実施例1では、石英ガラスを材料とした傾斜保持治具を用いて斜め溝の加工を行った場合、エッチング時間が進むにつれて電界分布が変化するため、均一なエッチングが出来なかった。そこでエッチングに用いる傾斜保持治具および電界制御ブロックの表面にスパッタでAuをコーティングし、下部電極と電気的に接続することで、傾斜保持治具および電界制御ブロックの帯電の抑制を試みた。使用したPLC、および傾斜保持治具のサイズは実施例1と同様である。図10にエッチング時間に対する各設置角度における斜め溝角度を示す。図9と比較して、エッチングが進んでも、斜め溝角度の変化は小さいことが明らかとなった。したがって、電界分布およびプラズマがより安定なエッチングであることがわかる。
11 基板
12 アンダークラッド
13 コア
14 オーバークラッド
15 斜め溝
16 マスク
17 開口部
20 傾斜保持治具
30 電界制御ブロック
40 誘電性テープ
50 下部電極
Claims (2)
- 異方性プラズマエッチングで、基板上に形成された光回路に前記基板の面の垂直方向から傾斜した溝を作成する方法であって、対面する上部電極と下部電極との間に、
導体または半導体により構成されているあるいは表面に導電性コーティングが施されている傾斜保持手段であり前記下部電極に電気的に接続された前記傾斜保持手段を用いて前記下部電極の面に対して傾斜した状態に前記光回路を保持することと、
導体または半導体により構成されているあるいは表面に導電性コーティングが施されている電界制御手段であり前記下部電極に電気的に接続され前記下部電極の面に垂直な面を有する前記電界制御手段を、当該電界制御手段の前記垂直な面が、前記光回路のエッチングされる面の向かい側の前記光回路の近傍に設置することと、
前記上部電極と前記下部電極との間に電圧を印加して、生成したプラズマにより前記光回路をエッチングすることと
を含むことを特徴とする方法。 - 異方性プラズマエッチング用のチャンバーであって、
対面する上部電極と下部電極と、
前記上部電極と前記下部電極との間に設置された傾斜保持手段であって、光回路を前記下部電極の面に対して傾斜した状態に保持する傾斜保持手段と、
前記上部電極と前記下部電極との間に設置された、前記下部電極の面に垂直な面を有する電界制御手段であって、当該電界制御手段の前記垂直な面が前記光回路のエッチングされる面の向かい側となるように前記光回路の近傍に設置された電界制御手段と、
前記傾斜保持手段および前記電界制御手段を前記下部電極に電気的に接続する手段と
を備え、
前記傾斜保持手段および前記電界制御手段は、導体または半導体により構成されているあるいは表面に導電性コーティングが施されていることを特徴とするチャンバー。
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