JP6630264B2 - 光導波路部品の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、異方性プラズマエッチングを用いて、光回路基板の基板面の垂直方向から傾斜した反射ミラー構造を有する光導波路部品の製造方法を提供する。本発明によれば、光回路基板に、ミラー角度の変化の少ない溝(反射ミラー構造)を形成することが可能になる。
図6は、上述したPLC短冊10の実施例を示す図である。被加工対象として、5×20mm2のPLCが並列に15個並んだ75×20mm2のPLC短冊を用いた。PLC上にはフォトリソグラフィーにより短辺に対して並行に開口部が形成されているマスク16を作製した。図7に示すように、斜めエッチング治具として、高さ25mm長さ120mmのカーボン製の電界制御ブロック30と斜め設置治具21を用いた。このとき、ミラー角度の加工条件を求めるため、設置角を45度、60度、75度とした斜め設置治具21を用意した。エッチングチャンバー内の下部電極上に、斜め設置治具21とその傾斜面21a側に電界制御ブロック30を設置したのち、傾斜面21aの中央にPLC短冊10を設置し、設置角度の異なる斜めエッチングをそれぞれ行った。3時間の斜めエッチングの後、PLC短冊10中の各PCLチップに形成されたミラーのミラー角度を評価した。
次に、斜めエッチング治具の奥行方向の長さと、PCL短冊のPLCチップに形成されたミラーのミラー角度の設置位置依存性を評価した。
次に、本発明を、複数のPLC短冊の一括斜めエッチングを適用することの有効性を評価した。
16 マスク
20、21、22 斜め設置治具
21a、22b 傾斜面
30 電界制御ブロック
Claims (8)
- 光回路基板の基板面の垂直方向から傾斜した反射ミラー構造を有する光導波路部品の製造方法であって、
異方性プラズマエッチングを用いて前記傾斜した反射ミラー構造を作製する際に、対面する上部電極と下部電極との間に、
前記基板面よりも大きい傾斜面を有する傾斜保持手段を用い、前記傾斜面により前記光回路基板の前記基板面の裏面の全体を保持して、前記下部電極の面に対して傾斜した状態で前記光回路基板を保持することと、
前記傾斜した反射ミラー構造を作製する前記光回路基板の前記基板面に対面する近傍に、前記基板面に対して傾斜した平坦な面を有する電界制御手段を設置することと、
電圧を印加して、発生したプラズマにより前記光回路基板に対して異方性プラズマエッチングを行うことと、を備え、
前記傾斜保持手段は、前記傾斜面の反対側に平坦な面を有し、前記傾斜保持手段の前記傾斜面の反対側の前記平坦な面の前記基板面に対する傾斜は、前記電界制御手段の前記平坦な面の前記基板面に対する傾斜と等しく、
前記下部電極の面に対して傾斜した状態で前記光回路基板を保持することは、複数の傾斜保持手段を、それぞれの前記傾斜面が並列になるよう、前記傾斜保持手段の前記傾斜面の反対側の前記平坦な面の近傍に配列し、前記複数の傾斜保持手段がそれぞれ前記下部電極の面に対して傾斜した状態で前記光回路基板を保持することを含み、
前記光回路基板に対して異方性プラズマエッチングを行うことは、前記複数の傾斜保持手段がそれぞれ保持する複数の光回路基板を一度にエッチングすることを含む、
ことを特徴とする製造方法。 - 光回路基板の基板面の垂直方向から傾斜した反射ミラー構造を有する光導波路部品の製造方法であって、
異方性プラズマエッチングを用いて前記傾斜した反射ミラー構造を作製する際に、対面する上部電極と下部電極との間に、
前記基板面よりも大きい傾斜面を有する傾斜保持手段を用い、前記傾斜面により前記光回路基板の前記基板面の裏面の全体を保持して、前記下部電極の面に対して傾斜した状態で前記光回路基板を保持することと、
前記傾斜した反射ミラー構造を作製する前記光回路基板の前記基板面に対面する近傍に、前記基板面に対して傾斜した平坦な面を有する電界制御手段を設置することと、
電圧を印加して、発生したプラズマにより前記光回路基板に対して異方性プラズマエッチングを行うことと、を備え、
前記電界制御手段は、前記基板面に対して傾斜した複数の平坦な面を有し、
前記下部電極の面に対して傾斜した状態で前記光回路基板を保持することは、前記電界制御手段の前記基板面に対して傾斜した前記複数の平坦な面の近傍において複数の前記傾斜保持手段を用い、前記複数の傾斜保持手段がそれぞれ前記下部電極の面に対して傾斜した状態で前記光回路基板を保持することを含む、
ことを特徴とする製造方法。 - 前記電界制御手段は、前記基板面に対して傾斜した複数の平坦な面を有し、
前記下部電極の面に対して傾斜した状態で前記光回路基板を保持することは、前記電界制御手段の前記基板面に対して傾斜した前記複数の平坦な面の近傍において複数の前記傾斜保持手段を用い、前記複数の傾斜保持手段がそれぞれ前記下部電極の面に対して傾斜した状態で前記光回路基板を保持することを含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の製造方法。 - 前記光回路基板の前記基板面の前記裏面を保持する前記傾斜保持手段の前記傾斜面の水平方向の長さが、前記光回路基板の前記基板面の水平方向の長さに前記光回路基板の前記基板面の長手方向の幅の2倍以上を加えた長さである、
ことを特徴とする請求項1、2または3に記載の製造方法。 - 前記下部電極の面に対して傾斜した状態で前記光回路基板を保持することは、前記光回路基板の水平方向の中心を、前記傾斜保持手段の前記傾斜面の水平方向の中心で保持することを含む、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の製造方法。 - 前記反射ミラー構造は、前記光回路基板の水平方向に並行な開口部を有する、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の製造方法。 - 前記光回路基板は、複数の平面光波回路が水平方向に並列に形成された光回路基板である、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の製造方法。 - 前記平坦な面は、前記下部電極の面に垂直な面である、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の製造方法。
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JP2016237887A JP6630264B2 (ja) | 2016-12-07 | 2016-12-07 | 光導波路部品の製造方法 |
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