JP5372117B2 - 電着超砥粒工具およびその製造方法 - Google Patents
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Description
好ましくは、測定部のめっきは超砥粒層のめっきと同一工程で製造される。
好ましくは、測定部は超砥粒を含む。
好ましくは、測定部は超砥粒層から離隔して設けられる。
この発明に従った電着超砥粒工具の製造方法は、上記のいずれかの電着超砥粒工具の製造方法であって、測定部と超砥粒層とが設けられる台金の部分を露出させるマスキングを形成する工程と、マスキング上からめっきにより台金上に測定部と超砥粒層とを同時に形成する工程とを備える。
(実施の形態1)
図1は、この発明の実施の形態1に従った電着超砥粒工具としてのCMPコンディショナの断面図である。図1を参照して、CMPコンディショナ1は、回転軸2を中心に回転する工具である。
21と、ニッケルめっき層21に保持されている超砥粒としてのダイヤモンド砥粒22とを有する。ニッケルめっき層21は、ニッケルめっき層31と同一工程で製造される。超砥粒としては、ダイヤモンドだけでなくCBNを用いることができる。
図4を参照して、外周部12にダイヤモンド砥粒22を仮固定する。その後、マスキング層61を除去する。
図5は、この発明の実施の形態2に従った電着超砥粒工具としてのCMPコンディショナの断面図である。実施の形態2に従ったCMPコンディショナ1では、超砥粒であるダイヤモンド砥粒32がめっき厚測定部30に設けられている点で、実施の形態1に従ったCMPコンディショナ1と異なる。
図6は、この発明の実施の形態3に従った電着超砥粒工具としての砥石の断面図である。図6を参照して、電着ホイール3の外周部が尖った形状をしており、その部分において、台金10上に超砥粒層20が設けられる。台金10には、めっき厚測定部30が設けられている。
図7は、この発明の実施の形態4に従った電着超砥粒工具としての砥石の断面図である。図7を参照して、電着ホイール3の外周部が凹んだ形状をしており、その部分において、台金10上に超砥粒層20が設けられる。台金10には、めっき厚測定部30が設けられている。
図8は、この発明の実施の形態5に従った電着超砥粒工具としての砥石の断面図である。図8を参照して、電着ホイール3の外周部が凸形状をしており、その部分において、台金10上に超砥粒層20が設けられる。台金10には、めっき厚測定部30が設けられている。
(実施例1)
以下のような本発明の実施例1のCMPコンディショナを実施の形態1に従って製作して、本発明の効果を実験により確認した。
次に、めっき厚測定部30に析出したニッケルめっき層31の厚みを測定した。触針が被測定物の表面を倣って走行する方式の表面形状測定器のテーブル上に、めっきを完了した上記の台金10を乗せて、台金10露出部とめっき厚測定部30の段差を計測して、この段差をめっきの厚みとした。なお、ダイヤモンド電着部(超砥粒層20)にも同じ条件でめっきが施されているので、めっき測定部位のめっき厚みと、ダイヤモンド電部位のめっきの厚みは同じと考えられる。実際にめっきの完了した台金を切断して、その断面から、ダイヤモンド電着部とめっき厚測定部30のめっきの厚みをそれぞれ測定して、その数値を比較したが厚みに差が認められなかった。以下に本発明品である試作品1から3の電気めっきを継続した時間と、めっき厚測定部30のめっき厚みを示す。
試作品2 めっきを継続した時間:T2時間、めっきの厚み:0.118mm
試作品3 めっきを継続した時間:T3時間、めっきの厚み:0.104mm
ただし、T1>T2>T3である。
Claims (10)
- 台金と、
前記台金の表面に形成された超砥粒層とを備え、前記超砥粒層では超砥粒がめっきにより前記台金に固定されており、さらに
前記超砥粒層のめっき厚を測定するために前記台金の表面に設けられた測定部とを備えた、電着超砥粒工具。 - 前記測定部はめっきを含む、請求項1に記載の電着超砥粒工具。
- 前記測定部のめっきは前記超砥粒層のめっきと同一工程で製造される、請求項2に記載の電着超砥粒工具。
- 前記測定部はめっきのみで構成される、請求項2または3に記載の電着超砥粒工具。
- 前記測定部は超砥粒を含む、請求項2または3に記載の電着超砥粒工具。
- 前記測定部は前記超砥粒層と同一工程で製造される、請求項5に記載の電着超砥粒工具。
- 前記測定部は前記超砥粒層から離隔して設けられる、請求項1から6のいずれか1項に記載の電着超砥粒工具。
- 前記電着超砥粒工具は、超砥粒ホイール、ロータリードレッサ、パッドドレッサおよびCMPコンディショナのいずれかから選択される一つである、請求項1から7のいずれか1項に記載の電着超砥粒工具。
- 前記超砥粒層では超砥粒が1層のみ固定されている、請求項1から8のいずれか1項に記載の電着超砥粒工具。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載の電着超砥粒工具の製造方法であって、
前記測定部と前記超砥粒層とが設けられる前記台金の部分を露出させるマスキングを形成する工程と、
前記マスキング上からめっきにより前記台金上に前記測定部と前記超砥粒層とを同時に形成する工程とを備えた、電着超砥粒工具の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011260386A JP5372117B2 (ja) | 2011-11-29 | 2011-11-29 | 電着超砥粒工具およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2011260386A JP5372117B2 (ja) | 2011-11-29 | 2011-11-29 | 電着超砥粒工具およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013111707A JP2013111707A (ja) | 2013-06-10 |
JP5372117B2 true JP5372117B2 (ja) | 2013-12-18 |
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ID=48707803
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5372117B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108883517B (zh) * | 2016-03-24 | 2021-01-26 | 联合材料公司 | 超硬磨料砂轮 |
JP6169307B1 (ja) * | 2016-03-24 | 2017-07-26 | 株式会社アライドマテリアル | 超砥粒ホイール |
CN115070513B (zh) * | 2022-05-20 | 2023-11-10 | 江麓机电集团有限公司 | 一种高刚度断续磨头及其激光辅助制造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10202531A (ja) * | 1997-01-16 | 1998-08-04 | Asahi Diamond Ind Co Ltd | ドレッサ及びその製造方法 |
JPH10202537A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-04 | Mitsubishi Materials Corp | 内周刃砥石およびその製造方法 |
JP2001287150A (ja) * | 2000-04-11 | 2001-10-16 | Asahi Diamond Industrial Co Ltd | Cmp用コンディショナ |
JP2007152511A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Nikon Corp | ドレッシング工具、ドレッシング機構、ドレッシング機構を備えた研磨装置、この研磨装置を用いた半導体デバイス製造方法及びこの製造方法により製造された半導体デバイス |
JP2008229741A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-02 | Fujitsu Ltd | 研磨量計測方法 |
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2011
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013111707A (ja) | 2013-06-10 |
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A977 | Report on retrieval |
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