JP5369954B2 - 角速度センサ - Google Patents
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Description
32 駆動電極
33 モニタ電極
34 第1のセンス電極
35 第2のセンス電極
40 ドライブ回路
43 タイミング制御回路
48 第1のDA変換手段
56 第1の積分回路
66 第2のDA変換手段
67 第2の積分回路
70 比較回路
Claims (1)
- 駆動電極と第1のセンス電極と第2のセンス電極とモニタ電極とを設けた振動子と、この振動子を所定の駆動周波数で駆動振動させるドライブ回路と、前記第1のセンス電極からの出力信号と第2のセンス電極からの出力信号とを比較する比較回路を有するとともに前記第1のセンス電極および第2のセンス電極からの出力信号を処理するセンス回路と、このセンス回路とドライブ回路とにタイミング信号を出力するタイミング制御回路とを備え、前記タイミング制御回路から出力されるタイミング信号を基に、ドライブ回路からの出力信号を第1のセンス電極または第2のセンス電極に交互に切り替えて入力し、前記ドライブ回路の出力信号を第1のセンス電極または第2のセンス電極のうちのいずれか一方のセンス電極に入力するとともに、他方のセンス電極からの出力信号を検出することにより、振動子の出力信号の感度を監視する構成とした角速度センサ。
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