JP5365693B2 - 半導体装置および半導体装置におけるデータ転送方法 - Google Patents

半導体装置および半導体装置におけるデータ転送方法 Download PDF

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Description

本発明は、半導体装置および半導体装置におけるデータ転送方法に関し、特に、複数の論理マクロを備えた論理回路領域と複数のメモリマクロを備えたメモリ回路領域を有する半導体装置および半導体装置におけるデータ転送方法に関する。
携帯電話機などの情報端末機器は音声処理機能や画像処理機能など多機能化が進んでいることから、情報端末機器に使用される半導体チップには多数の論理マクロを搭載する必要がある。近年では、半導体プロセスの微細化に伴いチップ上に多くの論理マクロを集積することが可能になり、論理マクロの数は多いもので10を超えている。このように多機能を1つのチップ上に集積した半導体チップはシステム・オン・チップ(System on Chip、以下SoCという)と呼ばれ、その一例が特許文献1に記載されている。
論理マクロの多くはCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)のロジック回路からなる。また、それぞれの論理マクロはプログラムやデータの一時記憶用のメモリが必要となる。そのためSRAM(Static Random Access Memory)やDRAM(Dynamic Random Access Memory)、MRAM(Magnetoresistive Random Access Memory)といったメモリが論理マクロの近くに配置されていることが望ましい。
図21に、SoCチップ内の論理マクロとオンチップメモリの構成の一例を示す。図21に示す関連するSoCチップ800においては、論理マクロごとにオンチップメモリが配置されている。論理マクロ810Aはメモリマクロ810aにアクセスし、また、論理マクロ820Bはメモリマクロ820bに、論理マクロ830Cはメモリマクロ830cに、論理マクロ840Dはメモリマクロ840dに、それぞれアクセスする。論理マクロとメモリマクロとは、論理マクロおよびメモリマクロにそれぞれ配置された入出力ポート(I/Oポート)850を介して接続され、メモリへのアクセスが行われる。また、システム全体で動作するために論理マクロ同士でデータの授受を行う必要があることから、論理マクロ同士も配線接続されている。
ここで、SoCチップ内の一つの論理マクロとそれに対応するメモリマクロとを接続する場合、論理マクロの数の増加に伴い、必要な接続配線の総数も増加する。例えば、メモリのビット幅が32ビット、ワード数が1000ワードであるとした場合、読み出しデータ用に32本、書き込みデータ用に32本、アドレス用に10本、コマンド用に2本の計76本の接続配線が必要である。SoCチップ内の論理マクロの数が10個である場合には、各論理マクロとそれに対応するメモリマクロを接続するために必要な接続配線の総数は760本となる。
特開平10−134022号公報(段落「0028」〜「0034」)
論理回路が形成される領域とメモリ回路が形成される領域は、以下の理由から分離して配置することが望ましい。すなわち、メモリはアナログ的な回路構成が必要なことから論理回路とは別に最適化されたトランジスタや記憶素子が用いられ、また、製造プロセスにおいてそれぞれ異なる工程が含まれるからである。さらに、それぞれの回路性能を最適にするために異なる電源電圧を用いること、また、デジタルの論理回路に比べてメモリ回路はノイズ耐性が小さいこと、などの理由からである。
論理回路領域とメモリ回路領域を分離して配置するためには、例えば、同一の半導体チップ上で論理回路領域とメモリ回路領域を分けて形成する方法、または論理回路とメモリ回路を分離し、別々の半導体チップ上にそれぞれ形成する方法などが考えられる。メモリ回路を別の半導体チップに形成する場合、具体的には、メモリ回路を搭載した半導体チップと論理回路を搭載した半導体チップを並べて配置し、ボード基板を介して配線接続することにより半導体チップ間での信号伝送を行う方法がある。また、メモリ回路を搭載した半導体チップと論理回路を搭載した半導体チップを縦積みにし、それぞれの半導体チップの表面同士が向かい合うようにフリップチップ積層して半導体チップ間をバンプ接続する方法もある。
しかしながら、SoCチップ内で論理回路領域とメモリ回路領域を分離して形成した場合、論理マクロとメモリマクロ間の配線が、論理マクロの数だけ論理回路領域とメモリ回路領域の間で交差することになる。そのため、配線のレイアウトが複雑になりレイアウト工数が増加する。また、配線密度の増加を回避するために迂回した配線を多用することとなり、データ転送速度が低下することになる。したがって、各論理マクロとメモリマクロ間のデータ転送のための配線数を少なくすることが望ましい。しかし、配線数を少なくすると、多数の論理マクロとそのメモリマクロとの信号を個別に接続するには配線数が足りなくなる。そのため、複数の論理マクロから転送された複数のデータが領域間の配線上で干渉してしまうという問題があった。
また、論理回路とメモリ回路を別々の半導体チップに搭載する場合は、半導体チップ内の配線であればサブ・ミクロン程度のサイズであるのに対し、数十〜数百ミクロンと二桁程度大きいサイズのボード基板配線を使わざるを得なくなる。また半導体チップのパッド形状は一辺が百ミクロン以上と大きいため、半導体チップ間の接続配線をつなぐための半導体チップ上のパッド数が数百個程度に制限される。したがって、この場合も、多数の論理マクロとそれに対応するメモリマクロとをそれぞれ接続するためには配線数が不足する。そのため、この場合においても、複数の論理マクロから転送された複数のデータが半導体チップ間の配線上で干渉してしまうという問題があった。
本発明の目的は、上述した課題である、SoCチップなどの半導体装置における論理回路領域とメモリ回路領域を分離すると、両領域間で相互に転送されるデータが両領域間の配線上で干渉する、という課題を解決する半導体装置および半導体装置におけるデータ転送方法を提供することにある。
本発明の半導体装置は、複数の論理マクロと第1のデータ転送部と第1の入出力部を備えた論理回路領域と、複数のメモリマクロと第2のデータ転送部と第2の入出力部を備えたメモリ回路領域を有し、第1のデータ転送部は、複数の論理マクロと接続され、第2のデータ転送部は、複数のメモリマクロと接続され、第1の入出力部と第2の入出力部は互いに接続され、第1のデータ転送部は、第1の入出力部および第2の入出力部を介して、個々の論理マクロで発生する第1のデータ群を第1のデータ群毎に異なる時間帯に第2のデータ転送部に転送し、第2のデータ転送部は、第2の入出力部および第1の入出力部を介して、個々のメモリマクロに蓄積された第2のデータ群を第2のデータ群毎に異なる時間帯に第1のデータ転送部に転送する。
本発明の半導体装置におけるデータ転送方法は、半導体装置を構成する複数の論理マクロでそれぞれ発生するデータを、論理マクロ毎に第1のデータ群として形成し、第1のデータ群を、第1のデータ群毎に具なる時間帯に、論理マクロに対応した半導体装置を構成するメモリマクロに転送し、半導体装置を構成する複数のメモリマクロにそれぞれ蓄積されたデータを、メモリマクロ毎の第2のデータ群として形成し、第2のデータ群を、第2のデータ群毎に異なる時間帯に、メモリマクロに対応した半導体装置を構成する論理マクロに転送する。
本発明の半導体装置によれば、半導体装置を構成する論理回路領域とメモリ回路領域との間でデータを相互に転送するときのデータ間の干渉を抑制することができる。
図1は本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の構成を示す平面図である。
図2は本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の論理回路領域における回路構成図である。
図3は本発明の第1の実施形態に係る半導体装置のメモリ回路領域における回路構成図である。
図4は本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の論理回路領域における別の回路構成図である。
図5は本発明の第1の実施形態に係る別の半導体装置の構成を示す平面図である。
図6は本発明の第1の実施形態に係る別の半導体装置の論理回路領域における回路構成図である。
図7は本発明の第1の実施形態に係る別の半導体装置のメモリ回路領域における回路構成図である。
図8は本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の構成を示す平面図である。
図9は本発明の第3の実施形態に係る半導体装置におけるデータ転送方法を説明するための半導体装置の論理回路領域における回路構成図である。
図10は本発明の第3の実施形態に係る半導体装置におけるデータ転送方法を説明するための半導体装置のメモリ回路領域における回路構成図である。
図11は本発明の第3の実施形態に係る半導体装置におけるデータ転送方法を説明するための波形図である。
図12は本発明の第3の実施形態に係る半導体装置におけるデータ転送方法を説明するための半導体装置の構成を示す平面図である。
図13は本発明の第4の実施形態に係る半導体装置の構成を示す平面図である。
図14は本発明の第4の実施形態に係る半導体装置の論理回路領域における順序制御部の回路構成図とその動作を示す表図である。
図15は本発明の第4の実施形態に係る半導体装置のメモリ回路領域における順序制御部の回路構成図とその動作を示す表図である。
図16は本発明の第5の実施形態に係る半導体装置の構成を示す平面図である。
図17は本発明の第5の実施形態に係る半導体装置の論理回路領域における入出力制御部の回路構成図とその動作を示す表図である。
図18は本発明の第5の実施形態に係る半導体装置のメモリ回路領域における入出力制御部の回路構成図とその動作を示す表図である。
図19は本発明の第6の実施形態に係る半導体装置を説明するための、(a)模式的な斜視図、(b)メモリ回路基板の構成を示す平面図、(c)論理回路基板の構成を示す平面図、である。
図20は本発明の半導体装置の別のメモリマクロの構成を示す平面図である。
図21は関連するSoCチップの構成を示す平面図である。
以下に、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
〔第1の実施形態〕
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置100の構成を示す平面図である。半導体装置100は、複数の論理マクロ111と第1のデータ転送部112と第1の入出力部113を備えた論理回路領域110と、論理マクロ111と対応した複数のメモリマクロ121と第2のデータ転送部122と第2の入出力部123を備えたメモリ回路領域120を有する。第1のデータ転送部112は複数の論理マクロ111と接続され、第2のデータ転送部122は複数のメモリマクロ121と接続される。また、第1の入出力部113と第2の入出力部123は領域間接続配線130により互いに接続されている。
第1のデータ転送部112は第1の入出力部113および第2の入出力部123を介して、個々の論理マクロ111で発生する第1のデータ群を第1のデータ群毎に異なる時間帯に第2のデータ転送部122に転送する。同様に、第2のデータ転送部122は第2の入出力部123および第1の入出力部113を介して、個々のメモリマクロ121に蓄積された第2のデータ群を第2のデータ群毎に異なる時間帯に第1のデータ転送部112に転送する。
本実施形態による半導体装置100によれば、第1のデータ群としての書き込みデータは、論理回路領域110の第1の入出力部113からメモリ回路領域120の第2の入出力部123に向けて、書き込みデータ毎に異なる時間帯に時間をずらして順送りで転送される。そのため、論理回路領域110とメモリ回路領域120との間の領域間接続配線130上で複数のデータが干渉することを抑制することができる。同様に、第2のデータ群としてのメモリマクロからの読み出しデータは、読み出しデータ毎に異なる時間帯に時間をずらして順送りで転送される。そのため、この場合においても、領域間接続配線130上で複数のデータが干渉することを抑制することができる。
ここで、第1のデータ転送部112は、各論理マクロ111と第1の入出力部113としての第1のI/Oポート115が接続される第1のリングバス114を備えることができる。また、第2のデータ転送部122は、各メモリマクロ121と第2の入出力部123としての第2のI/Oポート125が接続される第2のリングバス124を備えることができる。
論理マクロ111からメモリマクロ121へ書き込みデータを転送する場合、第1のリングバス114は書き込みデータを各論理マクロ111から順送りで第1のI/Oポート115まで転送する。書き込みデータは領域間接続配線130により論理回路領域110の第1のI/Oポート115からメモリ回路領域120の第2のI/Oポート125まで転送される。メモリ回路領域120においては、第2のリングバス124によって、書き込みデータは第2のI/Oポート125からデータの送付先である対応するメモリマクロ121まで順送りで転送される。
また、メモリマクロ121から論理マクロ111へ読み出しデータを転送する場合も同様に、メモリ回路領域120において第2のリングバス124は読み出しデータを順送りに第2のI/Oポート125まで転送する。読み出しデータは領域間接続配線130により、第2のI/Oポート125から論理回路領域110の第1のI/Oポート115まで転送される。論理回路領域110においては、第1のリングバス114によって、読み出しデータは第1のI/Oポート115から送り先である対応する論理マクロ111まで順送りで転送される。
次に、本実施形態による半導体装置について、図2から図4を用いてさらに詳細に説明する。
図2は、本実施形態に係る半導体装置100の論理回路領域110における回路構成図である。各論理マクロ111の入力側は第1のリングバス114に直接接続され、各論理マクロ111の出力側はマルチプレクサ116およびレジスタ117を介して第1のリングバス114に接続される。マルチプレクサ116には、接続されている論理マクロ111からのデータと前段の論理回路ブロックのレジスタ117からの出力データが入力され、いずれか一方が選択される。ここで、論理マクロからマルチプレクサに入力するデータは、例えば、各論理マクロ111からメモリマクロ121へ送信する書き込みデータを32ビットとすると、これに送り先のメモリマクロ121のアドレス用の2ビットを追加した合計34ビット幅のデータとすることができる。
論理回路領域110からメモリ回路領域120へ各論理マクロ111の書き込みデータを送信する場合、最初のクロックのタイミングで各論理マクロ111に接続されたマルチプレクサ116が論理マクロ111からの書き込みデータを選択し、レジスタ117がそのデータを保持する。その後に、マルチプレクサ116が入力を切り替えて前段のレジスタ117からのデータを選択し、次のクロックのタイミングでそれぞれのレジスタ117に保持されたデータを第1のリングバス114に接続された隣接するレジスタ117に転送する。このようにデータはクロックに同期して第1のリングバス114上で順送りされ、第1のI/Oポート115へ送られる。第1のI/Oポート115からは、メモリ回路領域120に接続されている領域間接続配線130へデータが送信される。
図3は、本実施形態に係る半導体装置100のメモリ回路領域120における回路構成図である。各メモリマクロ121の入力側は第2のリングバス124に直接接続され、各メモリマクロ121の出力側はマルチプレクサ126およびレジスタ127を介して第2のリングバス124に接続される。論理回路領域110から送信された書き込みデータは第2のI/Oポート125で受信され、第2のI/Oポート125が接続されたレジスタ127に保持される。そして第2のリングバス124によって順送りに隣接するレジスタ127に転送される。各レジスタ127と接続されたメモリマクロ121は、各レジスタ127に保持された書き込みデータの送り先のメモリマクロを指定するアドレスビットを見て、自分宛である場合は、その書き込みデータをメモリマクロ内に取り込む。
このように本実施形態による半導体装置100では、それぞれの論理マクロ111で発生した書き込みデータは第1のリングバス114に接続されたレジスタ117を順送りに転送される。したがって、それぞれの書き込みデータが領域間接続配線130上を転送される順番はあらかじめ決められていることになる。その結果、論理回路領域の第1のI/Oポート115からメモリ回路領域の第2のI/Oポート125へ時間をずらして各論理マクロの書き込みデータが転送されるので、複数のデータが領域間接続配線130上で干渉することを抑制することができる。
メモリマクロ121から読み出しデータを転送する場合には、メモリ回路領域120において読み出しデータは第2のリングバス124によって第2のI/Oポート125まで転送される。その後に論理回路領域110の第1のI/Oポート115に転送され、論理回路領域110では読み出しデータを受け取る論理マクロ111まで第1のリングバス114によって転送される。したがって、この場合においても、メモリ回路領域の第2のI/Oポート125から論理回路領域の第1のI/Oポート115へ時間をずらして各メモリマクロの読み出しデータが転送されるので、複数のデータが領域間接続配線130上で干渉することを抑制することができる。
本実施形態では、論理回路領域110のすべての論理マクロ111が同時に第1のリングバス114に書き込みデータを送信し、各レジスタ117に各論理マクロ111からの書き込みデータをセットしてから、第1のリングバス114によってデータを順送りすることとした。そのため、すべての書き込みデータが第1のI/Oポート115からメモリ回路領域120に転送されるまでは、各論理マクロ111は次の書き込みデータを送信しない。したがって、あるクロック時間では書き込みデータを送信しない論理マクロが存在する場合、書き込みデータではない無効なデータが入力されたレジスタが存在し、無効なデータが転送されることになる。そこで、書き込みデータとともにそのデータが有効か無効かを識別する識別信号を一緒に送り、識別信号が無効を示している場合には、後段の論理マクロが新たな書き込みデータを送信し、第1のリングバス114によって新たな書き込みデータを転送することとしてもよい。これにより、領域間接続配線におけるデータ転送効率を高めることができる。
また、本実施形態では、それぞれの領域のリングバスは、書き込みデータと読み出しデータの二種類のデータの転送を兼用して行うこととしたが、これに限らず、図4に示すように、書き込みデータ用リングバス114−1と読み出しデータ用リングバス114−2をそれぞれ備えた2重のリングバス構造としてもよい。
本実施形態では、第1の入出力部113としての第1のI/Oポート115は第1のデータ転送部112である第1のリングバス114に接続され、第2の入出力部123としての第2のI/Oポート125は第2のデータ転送部122である第2のリングバス124に接続されることとした。しかし、これに限らず、図5に示すように、第1の入出力部113としての第1のI/Oポート115は論理マクロ111のいずれかと接続され、第2の入出力部123としての第2のI/Oポート125はメモリマクロ121のいずれかと接続されることとしてもよい。
図6に、この場合の論理回路領域110の回路構成図の一例を示す。論理マクロ111からの書き込みデータは第1のI/Oポート115と接続する論理マクロ111Aまで第1のリングバス114によって転送される。この論理マクロ111Aを介して第1のI/Oポート115に転送され、メモリ回路領域120に送信される。図7にメモリ回路領域120の回路構成図の一例を示す。メモリ回路領域120の第2のI/Oポート125において書き込みデータを受信した後、第2のI/Oポート125と接続するメモリマクロ121Dに転送される。その後、このメモリマクロ121Dから第2のリングバス124にデータが転送され、第2のリングバス124によって順送りにデータが転送される。アドレス先となっているメモリマクロ121は第2のリングバス124からその書き込みデータを受信する。
このように図5〜図7に示した実施形態においても、それぞれの論理マクロ111で発生した書き込みデータは第1のリングバス114に接続されたレジスタ117を順送りに転送される。したがって、それぞれの書き込みデータが領域間接続配線130上を転送される順番はあらかじめ決められていることになる。その結果、論理回路領域の第1のI/Oポート115からメモリ回路領域の第2のI/Oポート125へ時間をずらして各論理マクロの書き込みデータが転送されるので、複数のデータが領域間接続配線130上で干渉することを抑制することができる。また、メモリマクロ121から読み出しデータを論理回路領域110の第1のI/Oポート115に転送する場合も、同様にデータの干渉を抑制することができる。
〔第2の実施形態〕
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図8は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置200の構成を示す平面図である。半導体装置200は、各論理マクロ211と対応するメモリマクロ221との間を、それぞれの対ごとに接続する転送開始信号配線240を有している。その他の構成は、第1の実施形態による半導体装置100と同様である。この転送開始信号配線240を用いて、論理マクロ211からメモリマクロ221へ転送開始信号が送信される。転送開始信号は論理マクロ211とメモリマクロ221間のデータ転送の開始を知らせるためだけに用いられるので、1ビット幅の接続配線で充分である。
転送開始信号を受け取ったメモリマクロは、送信元である論理マクロから第1のI/Oポート215まで、及び第2のI/Oポート225から自身のメモリマクロまでデータを転送する際のクロックサイクル数をカウントし、そのクロックサイクル数に達した時にデータを受け取る。ここで、データ転送にかかるクロックサイクル数は、第1のリングバス214および第2のリングバス224を順送りするレジスタの数によって定まる。したがって、論理マクロ211の数、メモリマクロ221の数、及び第1のI/Oポート215と第2のI/Oポート225のそれぞれの配置位置により、データ転送にかかるクロックサイクル数が決まることになる。以上より、各メモリマクロ221のカウンタにこのクロックサイクル数の情報をあらかじめ設定しておくことにより、メモリマクロ211が第2のリングバス224を流れるデータの中から、自分宛のデータを選択して取り込むことができる。
第1の実施形態による半導体装置100においては、例えば32ビットの書き込みデータに送付先のメモリマクロのアドレスとして例えば2ビットを加えて34ビットの信号として一緒に論理マクロからメモリマクロへ転送することとしている。それに対して、本実施形態の半導体装置200によれば、宛先となるメモリマクロのアドレス情報を転送し、アドレス情報を照合してデータの取捨を行うという処理が不要となるので、論理マクロ211およびメモリマクロ221における制御が容易になる、という効果が得られる。
同様に、メモリマクロ221から転送される読み出しデータを論理マクロ211が受取る場合においても、転送開始信号配線240により転送開始信号がメモリマクロ221から論理マクロ211へ送信される。論理マクロ211はデータ転送にかかるクロックサイクル数をカウンタで計測し、第1のリングバス214を流れるデータの中から自分宛のデータを選択して取り込むことができる。
〔第3の実施形態〕
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。本実施形態に係る半導体装置におけるデータ転送方法は、まず、半導体装置を構成する複数の論理マクロでそれぞれ発生するデータを、論理マクロ毎に第1のデータ群として形成する。また、半導体装置を構成する複数のメモリマクロにそれぞれ蓄積されたデータを、メモリマクロ毎の第2のデータ群として形成する。そして、第1のデータ群を、第1のデータ群毎に異なる時間帯に、論理マクロに対応したメモリマクロに転送し、第2のデータ群を、第2のデータ群毎に異なる時間帯に、メモリマクロに対応した論理マクロに転送する。
そして、第1のデータ群は、論理マクロに接続された第1のデータ転送部と、第1のデータ転送部に接続された第1の入出力部、および第1の入出力部に接続された第2の入出力部を介して対応するメモリマクロに転送される。また、第2のデータ群は、メモリマクロに接続された第2のデータ転送部と、第2のデータ転送部に接続された第2の入出力部、および第2の入出力部に接続された第1の入出力部を介して対応する論理マクロに転送される。このとき、第1のデータ転送部と第2のデータ転送部における転送速度、および第1の入出力部と第2の入出力部との間の転送速度が、論理マクロと第1のデータ転送部またはメモリマクロと第2のデータ転送部との間の転送速度の2倍以上となっている。
本実施形態に係る半導体装置におけるデータ転送方法によれば、各論理マクロと各メモリマクロとの間をそれぞれ独立に配線した場合と比べ、同等のデータ転送速度が得られる。したがって、データ転送速度の低下を招くことなく、データ転送時のデータ間の干渉を抑制することができる。例えば、論理マクロの数を4個とした場合、第1のデータ転送部としての第1のリングバスのデータ転送速度と、論理回路領域とメモリ回路領域との間のデータ転送速度を、論理マクロと第1のリングバスとの間の転送速度の4倍に設定する。それにより、4個の論理マクロからそれぞれ対応するメモリマクロへデータを送信する場合、各論理マクロとメモリマクロとの間を個別に配線した場合と同等時間後に、各メモリマクロがデータを受信することが可能となる。
次に、本実施形態による半導体装置におけるデータ転送方法について、図9から図12を用いてさらに詳細に説明する。
図9は、本実施形態に係る半導体装置におけるデータ転送方法を説明するための半導体装置の論理回路領域310における回路構成図である。各論理マクロ311は通常速度のクロックCLK1で同期しているが、第1のリングバス314上のレジスタ317は4倍速のクロックCLK2で同期している。
また図10は、本実施形態に係る半導体装置におけるデータ転送方法を説明するための半導体装置のメモリ回路領域320における回路構成図である。メモリマクロ321は通常速度のクロックCLK1で同期しているが、第2のリングバス324上のレジスタ327は4倍速のクロックCLK2で同期している。
図11は、論理マクロ311からメモリマクロ321へデータ転送した場合の波形図である。ここで、La〜Ldは各論理マクロ311を、Ma〜Mdは各メモリマクロ321を、LRa〜LRdは論理回路領域310における各レジスタ317を、MRa〜MRdはメモリ回路領域320における各レジスタ327を表す。論理マクロLa、Lb、Lc、LdからCLK1に同期して送信された書き込みデータa、b、c、dは、それぞれレジスタLRa、LRb、LRc、LRdに、4倍速のクロックCLK2に同期して取り込まれる。次のクロックサイクルで、レジスタLRaに取り込まれていた書き込みデータaは、論理回路領域の第1のI/Oポート315を経由してメモリ回路領域の第2のI/Oポート325にデータが転送され、メモリ回路領域の第2のリングバス324に取り込まれる。書き込みデータaは第2のリングバス324上を4倍速のクロックCLK2に同期して転送され、通常速度のクロックCLK1に同期してメモリマクロMaに取り込まれる。また書き込みデータb、c、dは、それぞれ異なる時間帯に論理回路領域からメモリ回路領域に転送される。図11からわかるように、各書き込みデータは、通常速度のクロックCLK1の1サイクル期間で論理マクロから送信され、2サイクル期間で論理回路領域からメモリ回路領域に転送され、3サイクル期間でメモリマクロに取り込まれる。したがって、本実施形態によれば、各論理マクロと各メモリマクロとの間をそれぞれ独立に配線した場合と同じクロックサイクル数で書き込みデータの転送を行うことができる。
また、図12に示すように、リングバスをそれぞれ複数個備えた半導体装置300であっても本実施形態を用いることができる。半導体装置300は例えば、第1のリングバスおよび第2のリングバスをそれぞれ2個ずつ備え、論理マクロ311の一部を一方の第1のリングバス314−1に接続して第1のI/Oポート315までデータ転送し、残りの論理マクロ311を他方の第1のリングバス314−2に接続して第1のI/Oポート315までデータ転送する。このとき、第1のI/Oポート315から第2のI/Oポート325に向けては通常速度の2倍の速度でデータを転送することとすれば、同様の効果が得られる。メモリ回路領域320に例えば、一方の第2のリングバス324−1と他方の第2のリングバス324−2を備えることとしてもよい。
〔第4の実施形態〕
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。図13は、本発明の第4の実施形態に係る半導体装置400の構成を示す平面図である。半導体装置400は、各論理マクロ411および各メモリマクロ421をそれぞれ接続する第1の順序制御部440および第2の順序制御部450を有する。論理回路領域410においては、第1のデータ群としての書き込みデータが、複数の論理マクロ411からそれぞれの接続配線によって第1の順序制御部440に集められる。そして論理マクロ毎の書き込みデータが、領域間接続配線430を介して論理回路領域410の第1のI/Oポート415からメモリ回路領域420の第2のI/Oポート425へ転送される。このとき第1の順序制御部440は、各論理マクロ411を順序付けた順序情報に従って各書き込みデータを順次転送する。
図14に、論理回路領域410における第1の順序制御部440の回路構成の一例を示す。第1の順序制御部440は、複数の論理マクロ411からの書き込みデータの入力を選択するセレクタ回路441とカウンタ回路442を有する(図14(a))。ここで、例えば、4つの論理マクロLa、Lb、Lc、Ldからのデータを入力するセレクタ回路441の入力ポートをそれぞれa、b、c、dとする。このとき、カウンタ回路442が出力する2ビットのカウンタ値をセレクタ回路441の制御信号とし、入力ポートa、b、c、dのいずれかを選択する(図14(b))。ここで、カウンタ値の増加に伴ってセレクタ回路441が順次選択する論理マクロの順番を順序情報とすることができる。第1の順序制御部440からの出力データは第1のI/Oポート415を介してメモリ回路領域420へ送信される。
一方、メモリ回路領域420には第2の順序制御部450が配置されている。この第2の順序制御部450は、第2のI/Oポート425へ入力された書き込みデータを送り先の各メモリマクロ421へ振り分けて転送する。図15に、メモリ回路領域420における第2の順序制御部450の回路構成の一例を示す。第2の順序制御部450は、第2のI/Oポート425から受取った書き込みデータの出力先を選択するセレクタ回路451とカウンタ回路452を有する(図15(a))。ここで、例えば、4つのメモリマクロMa、Mb、Mc、Mdへデータを出力するセレクタ回路451の出力ポートをa、b、c、dとする。このとき、カウンタ回路452が出力する2ビットのカウンタ値をセレクタ回路451の制御信号とし、出力力ポートa、b、c、dのいずれかを選択する(図15(b))。これにより、4つのメモリマクロへの出力データを順次選択することができる。
ここで、論理回路領域410における第1の順序制御部440とメモリ回路領域420における第2の順序制御部450は共通の順序情報を有し、カウンタ回路442、452は互いに同期している。そのため、論理マクロLa、Lb、Lc、Ldからの書き込みデータがそれぞれ対応するメモリマクロMa、Mb、Mc、Mdに順次転送される。
なお、第2のデータ群としての読み出しデータをメモリマクロ421から論理マクロ411へ転送する場合であっても、データの転送方向を逆向きにすることにより、同様の回路構成を備えた順序制御部を用いることができる。
以上説明したように、本実施形態による半導体装置400によれば、第1のデータ群としての書き込みデータは、論理回路領域410の第1のI/Oポート415からメモリ回路領域420の第2のI/Oポート425に向けて、書き込みデータ毎に異なる時間帯に時間をずらして順送りで転送される。そのため、論理回路領域410とメモリ回路領域420との間の領域間接続配線430上で複数のデータが干渉することを抑制することができる。ここで、第1の実施形態による半導体装置100ではリングバスを用いることとしているので、各論理マクロ111でそれぞれ発生する書き込みデータをメモリ回路領域に転送する順番は、各論理マクロ111の配置により固定されていた。それに対して、本実施形態による半導体装置400によれば、第1の順序制御部440および第2の順序制御部450における順序情報を変更することにより、書き込みデータをメモリ回路領域に転送する順番を変更することができるという効果が得られる。すなわち、書き込みデータを送信する論理マクロの順番、または書き込みデータを受信するメモリマクロの順番を入れ替えることが可能になる。例えば、通常のカウンタはクロックに同期してカウントアップするため、a→b→c→dの順番に選択されるが、2ビットのカウンタ回路の出力信号を反転させることによって、d→c→b→aと転送する順番を逆にすることができる。また、カウンタ値の下位ビットだけを反転させることにより、b→a→d→cのように転送する順番を入れ替えることも可能となる。
本実施形態においては、上述したように、メモリ回路領域420における第2の順序制御部450から各メモリマクロ421への書き込みデータの転送は、共通の順序情報を用いて、カウンタ回路442、452を互いに同期させて制御することとした。しかし、これに限らず、アドレスを用いて制御することとしてもよい。すなわち、書き込みデータ毎に送り先のアドレスを付与し、論理回路領域410から順次送信する。そしてメモリ回路領域420の第2の順序制御部450は、このアドレスに基づいて送り先に相当するメモリマクロ421を選択し、選択したメモリマクロに対して書き込みデータを出力することとしてもよい。
また、本実施形態による半導体装置400におけるデータの転送速度は特に制限されないが、第1の順序制御部440および第2の順序制御部450における転送速度、および第1のI/Oポート415と第2のI/Oポート425との間の転送速度を、論理マクロ411と第1の順序制御部440またはメモリマクロ421と第2の順序制御部450との間の転送速度の2倍以上とすることができる。
例えば、論理回路領域410の第1の順序制御部440から第1のI/Oポート415へのデータ出力は、論理マクロ411から第1の順序制御部440への転送速度の4倍とし、同じ速度で第1のI/Oポート415から第2のI/Oポート425へデータ転送を行う。そして、メモリ回路領域420の第2の順序制御部450からメモリマクロ421に転送するときに元の転送速度に戻すこととしてもよい。これにより、4個の論理マクロから対応するそれぞれのメモリマクロへ同時にデータ転送する場合、各論理マクロとメモリマクロとの間を個別に配線した場合と同様の時間で各メモリマクロがデータを受信することが可能になる。
〔第5の実施形態〕
次に、本発明の第5の実施形態について説明する。図16は、本発明の第5の実施形態に係る半導体装置500の構成を示す平面図である。半導体装置500においては、論理マクロ511にはそれぞれ第1の入出力制御部560が接続され、各第1の入出力制御部560および第1の入出力部である第1のI/Oポート515がそれぞれ接続された第1の共有バス518が第1のデータ転送部を構成している。一方、メモリマクロ521にはそれぞれ第2の入出力制御部570が接続され、各第2の入出力制御部570および第2の入出力部である第2のI/Oポート525がそれぞれ接続された第2の共有バス528が第2のデータ転送部を構成している。各第1の入出力制御部560は各論理マクロ511を順序付けた順序情報に従って第1のデータ群を前記第1の共有バス518に出力し、各第2の入出力制御部570は順序情報に従って第1のデータ群を第2の共有バス528から順次受信する。
図17に、論理マクロ(La)が有する第1の入出力制御部560の回路構成の一例を示す。第1の入出力制御部560は、例えば、3ステートバッファ回路561、カウンタ回路562、およびコンパレータ回路563を用いて構成することができる(図17(a))。カウンタ回路562は論理マクロ511の個数を例えば4個とした場合、2ビットのカウンタ値をコンパレータ回路563に出力する。カウンタ値が例えば「00」の場合、コンパレータ回路563は3ステートバッファ回路561に「1」を出力する。このとき3ステートバッファ回路561は論理マクロLaから第1のデータ群を構成する信号を第1の共有バス518に出力し、第1のI/Oポート515からメモリ回路領域にデータが転送される。カウンタ値が「00」以外の場合は、コンパレータ回路563は「0」を出力し、このとき3ステートバッファ回路561の出力はハイインピーダンスになる(図17(b))。La以外の論理マクロ(Lb、Lc、Ld)については、カウンタ値が例えば「01」、「10」、「11」のときに、それぞれデータを出力するようにコンパレータ回路563を設定する。
一方、メモリ回路領域520には図16に示すように、各メモリマクロ521に第2の入出力制御部570が配置されている。図18に、メモリマクロ(Ma)が有する第2の入出力制御部570の回路構成の一例を示す。第2の入出力制御部570は、例えば、3ステートバッファ回路571、カウンタ回路572、およびコンパレータ回路573を用いて構成することができる(図18(a))。カウンタ回路572は2ビットのカウンタ値をコンパレータ回路573に出力する。カウンタ値が例えば「00」場合、コンパレータ回路573は3ステートバッファ回路571に「1」を出力する。このとき3ステートバッファ回路571は第2の共有バス528からの信号をメモリマクロMaに出力する。カウンタ値が「00」以外の場合は、コンパレータ回路573は「0」を出力し、このとき3ステートバッファ回路571の出力はハイインピーダンスになる(図18(b))。Ma以外のメモリマクロ(Mb、Mc、Md)については、カウンタ値が例えば「01」、「10」、「11」のときに、それぞれデータを出力するようにコンパレータ回路573を設定する。
ここで、論理回路領域510における第1の入出力制御部560とメモリ回路領域520における第2の入出力制御部570は共通の順序情報を有し、カウンタ回路562、572は互いに同期している。そのため、論理マクロLa、Lb、Lc、Ldからの書き込みデータがそれぞれ対応するメモリマクロMa、Mb、Mc、Mdに順次転送される。
なお、第2のデータ群としての読み出しデータをメモリマクロ521から論理マクロ511へ転送する場合であっても、データの転送方向を逆向きにすることにより、同様の回路構成を備えた入出力制御部を用いることができる。
以上説明したように、本実施形態による半導体装置500によれば、第1のデータ群としての書き込みデータは、論理回路領域510の第1のI/Oポート515からメモリ回路領域520の第2のI/Oポート525に向けて、書き込みデータ毎に異なる時間帯に時間をずらして順送りで転送される。そのため、論理回路領域510とメモリ回路領域520との間の領域間接続配線530上で複数のデータが干渉することを抑制することができる。さらに、本実施形態による半導体装置500によれば、第1の入出力制御部560、第2の入出力制御部570における順序情報を変更することにより、書き込みデータをメモリ回路領域に転送する順番を変更することができるという効果が得られる。すなわち、書き込みデータを送信する論理マクロの順番、または書き込みデータを受信するメモリマクロの順番を入れ替えることが可能になる。例えば、通常のカウンタはクロックに同期してカウントアップするため、a→b→c→dの順番に選択されるが、2ビットのカウンタ回路の出力信号を反転させることによって、d→c→b→aと転送する順番を逆にすることができる。また、カウンタ値の下位ビットだけを反転させることにより、b→a→d→cのように転送する順番を入れ替えることも可能となる。
また、本実施形態による半導体装置500におけるデータの転送速度は特に制限されないが、第1の入出力制御部560と第1の共有バス518、第2の入出力制御部570と第2の共有バス528のそれぞれにおける転送速度、および第1のI/Oポート515と第2のI/Oポート525との間の転送速度を、論理マクロ511と第1の入出力制御部560またはメモリマクロ521と第2の入出力制御部570との間の転送速度の2倍以上とすることができる。
例えば、論理回路領域510の第1の入出力制御部560から第1の共有バス518へのデータ出力は、論理マクロ511から第1の入出力制御部560への転送速度の4倍とし、同じ速度で第1のI/Oポート515から第2のI/Oポート525へデータ転送を行う。そして、メモリ回路領域520の第2の入出力制御部570からメモリマクロ521にデータを取り込むときに元の速度に戻すこととしてもよい。これにより、4個の論理マクロから対応するそれぞれのメモリマクロへ同時にデータ転送する場合、各論理マクロとメモリマクロとの間を個別に配線した場合と同様の時間で各メモリマクロがデータを受信することが可能になる。
〔第6の実施形態〕
次に、本発明の第6の実施形態について説明する。図19に、本発明の第6の実施形態に係る半導体装置600を示す。同図(a)は半導体装置600の構成を説明するための模式的な斜視図、(b)は半導体装置600を構成するメモリ回路基板602の平面図、(c)は半導体装置600を構成する論理回路基板601の平面図、である。半導体装置600は論理回路基板601とメモリ回路基板602を有し、論理回路基板601には論理回路領域610が、メモリ回路基板602にはメモリ回路領域620が形成されている(図19(b)、(c))。ここで論理回路領域610、メモリ回路領域620としては、上述した第1の実施形態から第5の実施形態において用いたものと同様のものを用いることができる。
図19(a)に示すように、論理回路基板601とメモリ回路基板602とが積層した状態で半導体装置600を構成している。本実施形態では、マイクロバンプ630を用いたフリップチップ実装法により、論理回路基板601とメモリ回路基板602のそれぞれの表面が向かい合うように接続した。マイクロバンプ630が接触するそれぞれの基板表面にはパッドが形成されており、このパッドと論理回路基板601上の第1のI/Oポート615およびメモリ回路基板602上の第2のI/Oポート625がそれぞれ配線により接続されている。
そして、論理回路基板601上の論理マクロ611で発生する第1のデータ群が、第1のI/Oポート615を介して第1のデータ群毎に異なる時間帯に第2のI/Oポート625に転送されるように制御される。同様に、メモリ回路基板602上のメモリマクロ621に蓄積された第2のデータ群が、第2のI/Oポート625を介して第2のデータ群毎に異なる時間帯に第1のI/Oポート615に転送されるように制御される。この制御を行うための論理回路領域610およびメモリ回路領域620の構成には、上述した第1の実施形態から第5の実施形態における構成を用いることができる。
以上説明したように、本実施形態による半導体装置600においては、論理回路領域610とメモリ回路領域620との間で各データは異なる時間帯に時間をずらして転送される。そのため、論理回路領域610とメモリ回路領域620との間の領域間で複数のデータが干渉することを抑制することができる。さらに、本実施形態による半導体装置600では、メモリ回路領域620が論理回路基板601とは異なるメモリ回路基板602上に構成されているので、メモリ回路領域620の形成にメモリ回路専用の製造プロセスを利用することができる。これにより、メモリ回路向けにトランジスタの性能を最適化することが可能となる。また、論理回路の形成にのみ必要な製造工程を省略することにより、製造コストの低減を図ることができる。
本実施形態では、論理回路基板601とメモリ回路基板602の接続には、マイクロバンプ630を用いることとしたが、これに限らず、インダクタ結合または容量結合などの非接触による接続形態を用いることとしてもよい。
上述した第1の実施形態から第6の実施形態におけるメモリマクロの構成は、特に限定されることはなく、例えば、複数のサブメモリマクロを有する構成であってもよい。例えば、図20に示すように、メモリマクロ721は複数のサブメモリマクロ722から構成され、個々のサブメモリマクロ722は互いにメモリマクロ内の接続網723によって接続された構成であってもよい。第2のリングバス724から転送された書き込みデータは、接続網723によって書き込み先のサブメモリマクロ722へ転送される。図20には、接続網723として2次元メッシュ構成を用いた例を示したが、接続網723の構成はこれに限らず、バス構成、リング構成、ツリー構成、またはクロスバースイッチ構成のいずれを用いることとしてもよい。
本発明は上記実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で、種々の変形が可能であり、それらも本発明の範囲内に含まれるものであることはいうまでもない。
この出願は、2009年7月17日に出願された日本出願特願2009−168598を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
100、200、300、400、500、600 半導体装置
110、210、310、410、510、610 論理回路領域
111、211、311、411、511、611 論理マクロ
112 第1のデータ転送部
113 第1の入出力部
114、214、314、314−1、314−2 第1のリングバス
114−1 書き込みデータ用リングバス
114−2 読み出しデータ用リングバス
115、215、315、415、515、615 第1のI/Oポート
116、126、316 マルチプレクサ
117、127、317 レジスタ
120、220、320、420、520、620 メモリ回路領域
121、221、321、421、521、621、721 メモリマクロ
122 第2のデータ転送部
123 第2の入出力部
124、224、324、324−1、324−2、724 第2のリングバス
125、225、325、425、525、625 第2のI/Oポート
130、230、330、430、530 領域間接続配線
240 転送開始信号配線
440 第1の順序制御部
450 第2の順序制御部
441、451 セレクタ回路
442、452、562、572 カウンタ回路
518 第1の共有バス
528 第2の共有バス
560 第1の入出力制御部
561、571 3ステートバッファ回路
563、573 コンパレータ回路
570 第2の入出力制御部
601 論理回路基板
602 メモリ回路基板
630 マイクロバンプ
722 サブメモリマクロ
723 接続網
800 関連するSoCチップ
810A、820B、830C、840D 論理マクロ
810a、820b、830c、840d メモリマクロ
850 入出力ポート(I/Oポート)

Claims (10)

  1. 複数の論理マクロと第1のデータ転送部と第1の入出力部を備えた論理回路領域と、複数のメモリマクロと第2のデータ転送部と第2の入出力部を備えたメモリ回路領域を有し、
    前記第1のデータ転送部は、前記複数の論理マクロと接続され、前記第2のデータ転送部は、前記複数のメモリマクロと接続され、前記第1の入出力部と前記第2の入出力部は互いに接続され、
    前記第1のデータ転送部は、前記第1の入出力部および前記第2の入出力部を介して、前記個々の論理マクロで発生する第1のデータ群を前記第1のデータ群毎に異なる時間帯に前記第2のデータ転送部に転送し、
    前記第2のデータ転送部は、前記第2の入出力部および前記第1の入出力部を介して、前記個々のメモリマクロに蓄積された第2のデータ群を前記第2のデータ群毎に異なる時間帯に前記第1のデータ転送部に転送する
    半導体装置。
  2. 請求項1に記載の半導体装置において、
    前記第1のデータ転送部は、前記各論理マクロが接続された第1のリングバスを有し、
    前記第2のデータ転送部は、前記各メモリマクロが接続された第2のリングバスを有する半導体装置。
  3. 請求項2に記載の半導体装置において、
    前記第1の入出力部は前記第1のリングバスと接続され、
    前記第2の入出力部は前記第2のリングバスと接続され、
    前記第1のリングバスは、前記第1のデータ群を前記各論理マクロから前記第1の入出力部に順次転送し、
    前記第2のリングバスは、前記第2のデータ群を前記各メモリマクロから前記第2の入出力部に順次転送する半導体装置。
  4. 請求項2に記載の半導体装置において、
    前記第1の入出力部は前記論理マクロのいずれかと接続され、
    前記第2の入出力部は前記メモリマクロのいずれかと接続され、
    前記第1のリングバスは、前記第1のデータ群を前記各論理マクロから前記第1の入出力部に順次転送し、
    前記第2のリングバスは、前記第2のデータ群を前記各メモリマクロから前記第2の入出力部に順次転送する半導体装置。
  5. 請求項1に記載の半導体装置において、
    前記第1のデータ転送部は、前記各論理マクロおよび前記第1の入出力部が接続された第1の順序制御部を有し、
    前記第2のデータ転送部は、前記各メモリマクロおよび前記第2の入出力部が接続された第2の順序制御部を有し、
    前記第1の順序制御部は、前記個々の論理マクロで発生する第1のデータ群を前記各論理マクロからそれぞれ受信し、前記各論理マクロを順序付けた順序情報に従って前記各第1のデータ群を前記第1の入出力部を介して前記第2の入出力部に順次転送し、
    前記第2の順序制御部は、前記第2の入出力部から前記第1のデータ群を順次受信し、前記順序情報に従って前記各第1のデータ群を前記各論理マクロに対応する前記各メモリマクロに順次転送する半導体装置。
  6. 請求項1に記載の半導体装置において、
    前記論理マクロに接続された第1の入出力制御部と、前記メモリマクロに接続された第2の入出力制御部を備え、
    前記第1のデータ転送部は、前記各第1の入出力制御部および前記第1の入出力部が接続された第1の共有バスを有し、
    前記第2のデータ転送部は、前記各第2の入出力制御部および前記第2の入出力部が接続された第2の共有バスを有し、
    前記各第1の入出力制御部は、前記各論理マクロを順序付けた順序情報に従って、前記第1のデータ群を前記第1の共有バスに出力し、
    前記各第2の入出力制御部は、前記順序情報に従って前記第1のデータ群を前記第2の共有バスから順次受信する半導体装置。
  7. 請求項1から6のいずれか一項に記載の半導体装置において、
    前記論理回路領域と前記メモリ回路領域が同一の基板上に配置されている半導体装置。
  8. 請求項1から6のいずれか一項に記載の半導体装置において、
    前記論理回路領域と前記メモリ回路領域がそれぞれ異なる基板上に配置されている半導体装置。
  9. 半導体装置を構成する複数の論理マクロでそれぞれ発生するデータを、前記論理マクロ毎に第1のデータ群として形成し、
    前記第1のデータ群を、前記第1のデータ群毎に異なる時間帯に、前記論理マクロに対応した前記半導体装置を構成するメモリマクロに転送し、
    前記半導体装置を構成する複数のメモリマクロにそれぞれ蓄積されたデータを、前記メモリマクロ毎の第2のデータ群として形成し、
    前記第2のデータ群を、前記第2のデータ群毎に異なる時間帯に、前記メモリマクロに対応した前記半導体装置を構成する論理マクロに転送する
    半導体装置におけるデータ転送方法。
  10. 請求項9に記載した半導体装置におけるデータ転送方法において、
    前記第1のデータ群は、前記論理マクロに接続された第1のデータ転送部と、前記第1のデータ転送部に接続された第1の入出力部、および前記第1の入出力部に接続された第2の入出力部を介して対応するメモリマクロに転送され、
    前記第2のデータ群は、前記メモリマクロに接続された第2のデータ転送部と、前記第2のデータ転送部に接続された第2の入出力部、および前記第2の入出力部に接続された第1の入出力部を介して対応する論理マクロに転送され、
    前記第1のデータ転送部と前記第2のデータ転送部における転送速度、および前記第1の入出力部と前記第2の入出力部との間の転送速度が、前記論理マクロと前記第1のデータ転送部または前記メモリマクロと第2のデータ転送部との間の転送速度の2倍以上である半導体装置におけるデータ転送方法。
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