JP5357497B2 - 横型電気めっき装置 - Google Patents

Description

本発明は、金属等の導電性帯板に電気めっきを施すめっき装置に係り、特に電源設備コスト及び電気的エネルギーランニングコストの削減を可能とした横型電気めっき装置に関する。

特許文献１には、水平に走行する導電性帯板の上下あるいは片側に近接して陽極電極を対向配置し、またこれらの陽極電極の入側部及び出側部に通電ロールが配置され、陽極電極と導電性帯板の間にめっき液を供給してめっきを行う横型電気めっき装置が紹介されている。このめっき装置において陽極電極と導電性帯板の間に供給されためっき液は通電ロール及びバックアップロール（以下、「ロール」という）に向かってライン方向に流れ、次にロールと陽極電極の間をライン直角方向に流れることでめっき槽外部へ排出される。

特公昭６１−２１３１９号公報

しかしながら、特許文献１記載の横型電気めっき装置においては、未だ解決すべき以下のような問題があった。
このような横型電気めっき装置に使用される通電ロールの直径は一般的に大きいため（例えば２００〜５００ｍｍ）、通電ロールの中心位置から陽極電極端部までの距離Ｌ(以下距離Ｌ、図１参照)は長くなる（例えば１０００ｍｍ）。通常、距離Ｌが長くなると導電性帯板自体の電気抵抗による電圧損失が大きくなるため、大容量の電源が必要になり電源設備のコストが増大するとともに電気的なエネルギーランニングコストも増大する問題が生じる。特に電気抵抗率の高い導電性帯板に対してめっきする場合で距離Ｌが長くなると、電源設備のコスト及び電気的エネルギーランニングコストは電気抵抗率の低い導電性帯板と比較して著しく増大する。

また、この距離Ｌを短縮すると、ロールと陽極電極端部間の空間が狭くなり、ロールと陽極電極端部間のライン直角方向へのめっき液排出ルート断面積が小さくなる。このため当該箇所の圧力損失が増加し、陽極電極と導電性帯板間に供給されためっき液がめっき槽外部へ円滑に排出されなくなる。

一方、ロールと陽極電極端部の間を垂直方向にめっき液を流すルートも考えられる。しかし、陽極電極及び陽極電極を固定支持しているめっき槽のライン方向端部は直方体形状のため、当該ロールと陽極電極端部間の垂直方向断面積は導電性帯板から離れる方向に向かって減少していき、その結果圧力損失が増加し、めっき液は円滑に排出されなくなる。

このように、陽極電極と導電性帯板間に供給しためっき液が円滑に排出されないことは、陽極電極と導電性帯板間にめっき液を滞留させることになり、導電性帯板にめっきする金属イオンの単位時間あたりの供給量低下を招くことになる。この結果、導電性帯板表面近傍の金属イオン濃度が低下するため、高電流によるめっきが困難になり、めっき速度が低下する問題が生じる。

本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、電源設備コスト及び電気的エネルギーランニングコストの削減を目的に、距離Ｌを短縮しても陽極電極と導電性帯板の間に供給されためっき液をめっき槽外部へ円滑に排出し、めっき速度の維持を可能にする横型電気めっき装置を提供することを目的とする。

前記目的に沿う第１の発明に係る横型電気めっき装置は、めっき対象物である導電性帯板の前後に間隔を有してそれぞれ配置され、上下いずれか一方が通電ロールで他方がバックアップロールとなる上ロール及び下ロールと、前記導電性帯板の表面に隙間を有して配置される板状の陽極電極と、該陽極電極が固定されるめっき槽とを有し、前記導電性帯板と前記陽極電極との間にめっき液を供給して、前記導電性帯板に電気めっきを行う横型電気めっき装置において、
前後の前記上ロール及び下ロールのいずれか一方又は双方のロールにそれぞれ隙間を有して対峙する前記陽極電極及び該陽極電極に重なる前記めっき槽の端面と前記導電性帯板に対峙する前記陽極電極の水平面との角度θが鋭角であって、
しかも、前記ロールの中心と前記ロールに対峙する前記陽極電極の先端部を結ぶ線分が通る前記ロール外周の接線と前記水平面との角度をαとした場合、０＜θ≦αとし、前記ロールとこれに対峙する前記陽極電極とで形成されるめっき液の流路断面積を前記導電性帯板から離れる方向に向かって増大させた。

これによって、通電ロール及びバックアップロールと陽極電極との距離を短縮できる。
また、ロールと陽極電極端部間の垂直方向断面積の導電性帯板から離れる方向に向かっての減少が緩和され、めっき液排水経路の断面積減少による圧力損失が低減され、めっき液は円滑に排出されるため、めっき液は滞留することはなく、通電ロール及びバックアップロールと陽極電極との距離を短縮しても、めっき速度を維持できる。

第２の発明に係る横型電気めっき装置は、第１の発明に係る横型電気めっき装置において、前記角度θは２０〜７０度の範囲にある。

第３の発明に係る横型電気めっき装置は、第１、第２の発明に係る横型電気めっき装置において、前記導電性帯板の上側に配置された前記上ロールと前記陽極電極との間には、めっき液排出カバーが設けられ、前記導電性帯板と前記陽極電極の間を通過するめっき液の上方への飛散を防止し、めっき液を前記めっき槽の上側へ導き、めっき液の側方排出を可能としている。

第４の発明に係る横型電気めっき装置は、第３の発明に係る横型電気めっき装置において、前記めっき液排出カバーと前記上ロールとの間には、めっき液が該めっき液排出カバーと該上ロールとの間を通過するのを防止するシール材が設けられている。
第４の発明に係る横型電気めっき装置においては、めっき液排出カバーと上ロールとの間へのシール材の設置により、めっき液排出カバーと導電性帯板の隙間を流れ、上ロールとこのめっき液排出カバーの隙間から漏れようとするめっき液をシールすることができる。なお、シール材は布製で柔らかいものを使用して、上ロールを傷つけることがないようにするのがよい。

また、一般的にめっき液には硫酸などの酸性液体が使用されるが、シール材の材質は耐酸性を有するＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等の樹脂材で構成し、めっき液によりシール材のシール性能が低下しないようにするのが好ましい。さらに、当該シール材と上ロールは操業中常時摺動しているが、シール材の材質である布は例えば、パンチング処理を施し、シール材から発塵しその粉塵が導電性帯板に付着することで導電性帯板の品質が低下しないようにするのが好ましい。

第５の発明に係る横型電気めっき装置は、第１〜第４の発明に係る横型電気めっき装置において、前記上ロール及び下ロールには、めっき液を通過させる溝が形成されている。これによって、めっき液は上ロール及び下ロールの溝を通過して流れる。
第６の発明に係る横型電気めっき装置は、第５の発明に係る横型電気めっき装置において、前記溝の断面積の合計が前記めっき槽の液通過部の断面積以上になっている。これによって陽極電極と導電性帯板の間を通るめっき液の流速を維持することができる。

第７の発明に係る横型電気めっき装置は、第１〜第６の発明に係る横型電気めっき装置において、前記通電ロール及び前記導電性帯板の接触位置と、前記通電ロールに対峙する前記陽極電極の先端部に対応する前記導電性帯板の位置との距離は４０〜１００ｍｍである。

第８の発明に係る横型電気めっき装置は、第１〜第７の発明に係る横型電気めっき装置において、前記導電性帯板の表面抵抗が０．３Ω/sq.以上である。

第９の発明に係る横型電気めっき装置は、第１〜第８の発明に係る横型電気めっき装置において、前記導電性帯板が樹脂製の支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された導電部とを有する。

第１０の発明に係る横型電気めっき装置は、第９の発明に係る横型電気めっき装置において、前記導電部がメッシュパターン形状である。

請求項１〜１０記載の横型電気めっき装置においては、ロール（上ロール及び下ロールのいずれか一方又は双方）にそれぞれ隙間を有して対峙する陽極電極及び該陽極電極に重なるめっき槽の端面を、水平面に対して鋭角に傾斜させたので、通電ロールを含むロールと陽極電極との距離をより短縮できる。これによって、導電性帯板の電圧損失が減少し、電気的エネルギーランニングコストが小さくなると共に、その電源設備コストも下がる。
また、液通過部、即ち流路の断面の局部的な減少も少なくなるので、めっき液が滞留することはなく、めっき速度は維持される。

特に、ロールと陽極電極端部間の垂直方向断面積を導電性帯板から離れる方向に向かって増大させるので、めっき液はより円滑に排出されるため、通電ロール及びバックアップロールと陽極電極との距離を短縮しても、めっき速度の維持が確実なものとなる。

請求項３記載の横型電気めっき装置においては、導電性帯板の上側に配置された上ロールと陽極電極との間に、めっき液排出カバーが設けられているので、導電性帯板と陽極電極の間を通過するめっき液の上方への飛散が防止される。従って、めっき液が周囲に飛散して環境を悪化させることがなくなる。また、このめっき液排出カバーによって、めっき液の側方排出が可能となり、めっき液を円滑に循環させることができる。

請求項４記載の横型電気めっき装置は、めっき液排出カバーと上ロールとの間に、シール材が設けられているので、めっき液が上ロールとめっき液排出カバーの隙間を通って上方に漏れるのを防止できる。

請求項５記載の横型電気めっき装置においては、上ロール及び下ロールに、めっき液を通過させる溝（例えば、断面四角形、断面Ｖ字形、断面Ｕ字形）が形成されているので、めっき液が溝を通ってめっき槽外部へ排出される。
また、請求項６記載の横型電気めっき装置においては、溝断面積の合計がめっき槽の液通過部の断面積以上になっているので、溝の圧力損失は低減できる。これによって、めっき液の滞留がなくなり、めっき速度を維持することができる。

続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１は本発明の第１の実施の形態に係る横型電気めっき装置の要部概略側断面図、図２は同一部省略拡大断面図、図３は本発明の第２の実施の形態に係る横型電気めっき装置の一部省略側断面図、図４は同一部省略正断面図、図５は本発明の第３の実施の形態に係る横型電気めっき装置に使用する通電ロールの説明図である。図６（Ａ）〜（Ｅ）は支持フィルム上に導電部によるメッシュ状パターンを形成する第１方法の説明図である。図７（Ａ）、（Ｂ）は、支持フィルム上に導電部によるメッシュ状パターンを形成する第２方法の説明図である。

図１、図２に示すように本発明の第１の実施の形態に係る横型電気めっき装置１０は、絶縁性物質からなって、断面矩形箱状（即ちダクト状）のめっき槽１１と、めっき槽１１内の天井部１２の内側及び底床部１３の内側にそれぞれ取付けられた板状の陽極電極１４、１５と、陽極電極１４、１５の外側端部（前端部及び後端部）から距離（Ｌ）を有して配置された上ロールを構成する通電ロール１６、１７及び通電ロール１６、１７の直下に配置されてめっき対象物である導電性帯板（ウェブ）１８を通電ロール１６、１７にそれぞれ押しつける下ロールを構成するバックアップロール１９、２０とを有している。以下、これらについて詳しく説明する。

めっき槽１１の中央の上部及び下部には、めっき液給液ヘッダー２１、２２が設けられ、図示しないめっき液タンクから所定濃度のめっき液を図示しないポンプで汲み上げて、めっき液をめっき槽１１内に上及び下から供給している。
めっき槽１１の内部には上下に陽極電極１４、１５が前述のように、めっき槽１１内の天井部１２及び底床部１３に固定されている。この陽極電極１４、１５は導電性帯板１８の表面（この実施の形態では両面）に隙間を有して配置されている。

めっき槽１１の入り側（前側）及び出側（後側）には距離（Ｌ）を有して、通電ロール１６、１７が設けられ、その直下には表面に絶縁体（例えば、ゴム）がライニングされているバックアップロール１９、２０が配置されている。通電ロール１６、１７及びバックアップロール１９、２０に対峙する陽極電極１４、１５の端部（端面）は傾斜し、その先端角θは水平面に対する傾斜角度となっている。

通電ロール１６、１７及び導電性帯板１８の接触位置と、通電ロール１６、１７に対峙する陽極電極１４、１５端部に対応する導電性帯板１８の位置との距離（Ｌ）は４０〜１００ｍｍ、より好ましくは４０〜６０ｍｍとする。距離Ｌは、導電性帯板１８での電圧損失を考慮し、極力短縮することが好ましい。距離Ｌは、陽極電極１４、１５の端部を水平面に対して傾斜させることで短縮できる。さらに、ロール径を小さくすれば、さらに距離Ｌを短縮できる。しかし、現実的には、通電ロールとバックアップロールの支持構造上ロール径を小さくすることには限界がある。距離Ｌを４０ｍｍ以上とすることで、通電ロール及びバックアップロール及びそれらの軸受け部を配置することができる。一方、距離Ｌが１００ｍｍを超えると電圧損失が大きくなり、電気的エネルギーランニングコスト及び電源設備のコストの削減効果が小さくなる。

なお、陽極電極１４、１５が取付けられているめっき槽１１の天井部１２及び底床部１３の先端も、陽極電極１４、１５の傾斜面２４、２５に連続する同一角度θの傾斜面２６、２７となっている。なお、θは鋭角であるから０度を超え９０度未満であるが好ましくは２０〜７０度程度となる。

図２に示すとおり、αはロール中心と陽極電極１４、１５の先端部を結ぶ線分の陽極電極１４、１５の先端部における接線と水平線がなす角度である。このため、０＜θ≦αとすることにより、陽極電極１４（１５）の先端部より上（下）の領域ではめっき液が通過する断面積が徐々に広がることになり、めっき槽１１内部でめっき液が滞留しにくくなる。
また、ロールと陽極電極１４、１５の先端部との最小隙間ＷをＷ≧Ｇ（ここでＧ＝陽極電極１４、１５と導電性帯板１８との間隔）とすることにより、めっき液の流路断面積が、陽極電極１４、１５先端部とロールとの間隔を通過する際、陽極電極１４、１５と導電性帯板１８との間隔を通過する時よりも狭まることはない。なお、Ｒは通電ロール半径である。

次に、図３、図４を参照しながら、本発明の第２の実施の形態に係る横型電気めっき装置３０について説明する。
この横型電気めっき装置３０は、陽極電極１４、１５と上ロールとなる通電ロール１６、１７との間にめっき液排出カバー３１、３２が設けられている点が異なり、その他の構成は基本的には横型電気めっき装置１０と同一であるので、同一構成要素については同一の番号を付して詳しい説明を省略する。

図３に示すように、陽極電極１４と通電ロール１６、１７との間に絶縁体の一例であるプラスチック（樹脂）又はＦＲＰ等からなるめっき液排出カバー３１、３２が設けられている。このめっき液排出カバー３１、３２は、垂直部３３と、垂直部３３の上端に一体的にその一端が連結されている水平部３４と、水平部３４の他端にその上端が連結されている円弧状の屈曲部３５とを有している。この屈曲部３５の曲率半径の中心は、通電ロール１６、１７の軸心と同一であり、通電ロール１６、１７とは少しの隙間（例えば、１〜１０ｍｍ）を有している。
そして、屈曲部３５と通電ロール１６、１７との間には、布製のシール材４２が配置されている。このシール材４２の材質としては、耐酸性を有する例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）を使用するのがよい。

トンネル状となっためっき液排出カバー３１、３２の両側部には、図４に示すように側板３６、３７が形成されていると共に、その内側には断面Ｌ字状の内側ガイド３８、３９が設けられて、側方に流れるめっき液の流路４０、４１を形成している。

これによって、めっき液排出カバー３１、３２と通電ロール１６、１７との間がシールされ、めっき液の漏出がなくなる。また、めっき液排出カバー３１、３２を設けることによって、通電ロール１６、１７と陽極電極１４の間にめっき液の流路が確保され、めっき液の上方への飛散や溢れ出しが防止され、めっき槽１１の上側へ導かれためっき液を側方へ排出することができる。

続いて、本発明の第３の実施の形態に係る横型電気めっき装置に使用する通電ロール４５、バックアップロール４６について、図５を参照しながら説明する。図５に示すように、通電ロール４５は両側に支持軸４７、４８（第１、第２の実施の形態においても同様）を有し、通電ロール４５の途中位置には断面矩形の複数の溝４９が設けられている。バックアップロール４６も両側に支持軸５１、５２を有し、バックアップロール４６の途中位置には断面矩形の複数の溝５０が設けられている。この複数の溝４９、５０の深さｄ及び幅ｗから、導電性帯板１８を挟んだ状態の通電ロール４５及びバックアップロール４６のめっき液通過断面積（溝断面積の合計）Ｓは、Ｓ＝ｎ×ｗ×ｄとなる（ｎは通電ロールとバックアップロールに設けられた溝の総数）ので、この面積Ｓをめっき槽１１の流路断面積（液通過部の断面積）以上にしておく。これによって、めっき槽１１内部のめっき液の流れが滞留しなくなるという利点がある。

前記実施の形態においては、上ロールに通電ロールを、下ロールにバックアップロールを配置したが、下ロールに通電ロールを、上ロールにバックアップロールを配置することもできる。
なお、導電性帯板の片面のみにめっきを行う場合も本発明は適用される。また、本発明に係る導電性帯板は、鋼板等の金属性帯板とすることもできる。
また、第３の実施の形態においては、溝の断面形状は矩形であったが、その他の形状（例えば、断面四角形、断面Ｖ字形、断面Ｕ字形）であっても本発明は適用される。

以上説明した本発明の第１〜第３の実施の形態に係る横型電気めっき装置では、以下のようにしてめっき対象物である導電性帯板１８にめっきすることができる。導電性帯板１８は、樹脂製の支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された導電部とを有する。導電部は、支持フィルム上の全面に形成されていてもよいが、その形状は用途により異なる。例えば、透光性電磁波シールドフィルム用途では、導電部はメッシュパターン形状である。
導電性帯板１８の表面抵抗は、０．３Ω/sq.以上のものである場合、本発明の第１〜第３の実施の形態に係る横型電気めっき装置による電圧損失の抑制効果が大きい。電気抵抗による電圧損失の抑制効果の観点からは、導電性帯板１８の表面抵抗がさらに１Ω/sq.以上、５Ω/sq.以上、１０Ω/sq.以上といった高抵抗のものであるほど、本発明の効果が大きくなる。なお、導電性帯板１８の表面抵抗が５００Ω/sq.を超えると、十分な導電性が得られないため、めっき処理でめっき層が不均一になるなどの問題が生じるおそれがある。そこで、表面抵抗が５００Ω/sq.以下のものが好ましく、１００Ω/sq.以下のものがより好ましい。
導電性帯板１８は通電ロール１６、１７、４５及びバックアップロール１９、２０、４６に挟持されてめっき槽１１内に搬送される。導電性帯板１８には通電ロール１６、１７、４５により給電が行われ、めっき槽１１内にはめっき液が供給されることから、陽極電極１４、１５に対向する位置ではめっき処理が行われる。このめっき処理により、導電性帯板１８上にはめっき層が形成される。例えば、導電性帯板が樹脂製の支持フィルムとその上に形成された導電部とを有する形態では、導電部上にめっき層が形成され、導電性帯板の導電性を向上させることができる。

ここで、支持フィルム（透明フイルム）上に導電部（金属細線）によるメッシュ状パターンを形成するいくつの方法（第１方法〜第４方法）について図６、図７を参照しながら説明する。

第１方法は、透明フイルム７０上に設けられた銀塩感光層８８を露光し、現像、定着することによって形成された金属銀部９２にてメッシュ状パターン９４を構成する方法である。
具体的には、図６（Ａ）に示すように、ハロゲン化銀８４（例えば臭化銀粒子、塩臭化銀粒子や沃臭化銀粒子）をゼラチン８６に混ぜてなる銀塩感光層８８を透明フイルム７０上に塗布する。なお、図６（Ａ）〜図６（Ｃ）では、ハロゲン化銀８４を「粒々」として表記してあるが、あくまでも本発明の理解を助けるために誇張して示したものであって、大きさや濃度等を示したものではない。
その後、図６（Ｂ）に示すように、銀塩感光層８８に対してメッシュ状パターン９４の形成に必要な露光を行う。ハロゲン化銀８４は、光エネルギーを受けると感光して「潜像」と称される肉眼では観察できない微小な銀核を生成する。
潜像を可視化された画像に増幅するために、図６（Ｃ）に示すように、現像処理を行う。具体的には、潜像が形成された銀塩感光層８８を現像液（アルカリ性溶液と酸性溶液のどちらもあるが通常はアルカリ性溶液が多い）にて現像処理する。この現像処理とは、ハロゲン化銀粒子ないし現像液から供給された銀イオンが現像液中の現像主薬と呼ばれる還元剤により潜像銀核を触媒核として金属銀に還元されて、その結果として潜像銀核が増幅されて可視化された銀画像（現像銀９０）を形成する。

現像処理を終えたあとに銀塩感光層８８中には光に感光できるハロゲン化銀８４が残存するのでこれを除去するために図６（Ｄ）に示すように定着処理液（酸性溶液とアルカリ性溶液のどちらもあるが通常は酸性溶液が多い）により定着を行う。
この定着処理を行うことによって、露光された部位には金属銀部９２が形成され、露光されていない部位にはゼラチン８６のみが残存し、光透過性部５４となる。すなわち、透明フイルム７０上に金属銀部９２と光透過性部５４との組み合わせによるメッシュ状パターン９４が形成されることになる。

ハロゲン化銀８４として臭化銀を用い、チオ硫酸塩で定着処理した場合の定着処理の反応式を以下に示す。
ＡｇＢｒ（固体）＋２個のＳ_２Ｏ_３イオン → Ａｇ（Ｓ_２Ｏ_３）_２
（易水溶性錯体）
すなわち、２個のチオ硫酸イオンＳ_２Ｏ_３とゼラチン８６中の銀イオン（ＡｇＢｒからの銀イオン）が、チオ硫酸銀錯体を生成する。チオ硫酸銀錯体は水溶性が高いのでゼラチン８６中から溶出されることになる。その結果、現像銀９０が金属銀部９２として定着されて残ることになる。この金属銀部９２にてメッシュ状パターン９４が構成されることになる。

なお、現像工程は、潜像に対し還元剤を反応させて現像銀９０を析出させる工程であり、定着工程は、現像銀９０にならなかったハロゲン化銀８４を水に溶出させる工程である。詳細は、Ｔ．Ｈ．Ｊａｍｅｓ， Ｔｈｅ Ｔｈｅｏｒｙ ｏｆ ｔｈｅ Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ Ｐｒｏｃｅｓｓ， ４ｔｈ ｅｄ．， Ｍａｃｍｉｌｌｉａｎ Ｐｕｂｌｉｓｈｉｎｇ Ｃｏ．，Ｉｎｃ， ＮＹ，Ｃｈａｐｔｅｒ１５， ｐｐ．４３８−４４２． １９７７を参照されたい。

もちろん、図６（Ｅ）に示すように、上述のようにして、金属銀部９２を形成した後、さらにめっき処理を行って、金属銀部９２のみに導電性金属９６を担持させることによって、金属銀部９２と該金属銀部９２に担持された導電性金属９６にてメッシュ状パターン９４を形成するようにしてもよい。

次に、第２方法は、図７（Ａ）に示すように、例えば透明フイルム７０上に形成された銅箔９８上のフォトレジスト膜１００を露光、現像処理してレジストパターン１０２を形成し、図７（Ｂ）に示すように、レジストパターン１０２から露出する銅箔９８をエッチングすることによって、銅箔９８によるメッシュ状パターン９４を形成する。

次に、第３方法は、透明フイルム上に金属微粒子を含むペーストを印刷することによってメッシュ状パターンを形成する方法である。もちろん、印刷されたペーストに、金属めっきを行うことによって、ペーストと金属めっきによるメッシュ状パターンを形成するようにしてもよい。
第４方法は、透明フイルムに金属薄膜をスクリーン印刷版又はグラビア印刷版によって印刷してメッシュ状パターンを形成する方法である。
これら第１方法〜第４方法によりメッシュ状パターンの導電部を形成し、さらに本発明の装置を用いてめっき処理を行うことで、導電部の電気特性を向上させることができる。

次に、本実施の形態に係る横型電気めっき装置に使用する導電性帯板において、特に好ましい態様であるハロゲン化銀写真感光材料を用いたメッシュ状パターンの形成方法をより詳細に説明する。
メッシュ状パターンの形成方法は、感光材料と現像処理の形態によって、次の３通りの態様が含まれる。
（１） 物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を化学現像又は物理現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる態様。
（２） 物理現像核をハロゲン化銀乳剤層中に含む感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を物理現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる態様。
（３） 物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料と、物理現像核を含む非感光性層を有する受像シートを重ね合わせて拡散転写現像して金属銀部を非感光性受像シート上に形成させる態様。

上記（１）の態様は、一体型黒白現像タイプであり、感光材料上に透光性電磁波シールド膜や光透過性導電膜等の透光性導電膜が形成される。得られる現像銀は化学現像銀又は物理現像銀であり、高比表面のフィラメントである点で後続するめっき又は物理現像過程で活性が高い。
上記（２）の態様は、露光部では、物理現像核近縁のハロゲン化銀が溶解されて現像核上に沈積することによって感光材料上に透光性導電膜が形成される。これも一体型黒白現像タイプである。現像作用が、物理現像核上への析出であるので高活性であるが、現像銀の比表面は小さい球形である。
上記（３）の態様は、未露光部においてハロゲン化銀が溶解されて拡散して受像シート上の現像核上に沈積することによって受像シート上に透光性導電膜が形成される。いわゆるセパレートタイプであって、受像シートを感光材料から剥離して用いる態様である。
いずれの態様もネガ型現像処理及び反転現像処理のいずれの現像を選択することもできる（拡散転写方式の場合は、感光材料としてオートポジ型感光材料を用いることによってネガ型現像処理が可能となる）。
ここでいう化学現像、熱現像、溶解物理現像、拡散転写現像は、当業界で通常用いられている用語どおりの意味であり、写真化学の一般教科書、例えば菊地真一著「写真化学」（共立出版社、１９５５年刊行）、Ｃ．Ｅ．Ｋ．Ｍｅｅｓ編「Ｔｈｅ Ｔｈｅｏｒｙ ｏｆ Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ， ４ｔｈ ｅｄ．」（Ｍｃｍｉｌｌａｎ社、１９７７年刊行）に解説されている。

使用される感光材料について、以下に説明する。
［透明フイルム］
透明フイルムとしては、フレキシブルなプラスチックフイルムを用いることができる。
上記プラスチックフイルムの原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルブチラール、ポリアミド、ポリエーテル、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ＥＶＡ等のポリオレフィン類、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、アクリル樹脂、ポリイミド、又はアラミド等を用いることができる。
本実施の形態においては、透光性、耐熱性、取り扱い易さ及び価格の点から、上記プラスチックフイルムはポリエチレンテレフタレートフイルムが適しているが、耐熱性・熱可塑性等の必要性により、適宜選択される。

［保護層］
用いられる感光材料は、後述する乳剤層上に保護層を設けていてもよい。「保護層」とは、ゼラチンや高分子ポリマーといったバインダからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために感光性を有する乳剤層に形成される。上記保護層は、めっき処理する上では設けない方が好ましく、設けるとしても薄い方が好ましい。その厚みは０．２μｍ以下が好ましい。上記保護層の塗布方法の形成方法は特に限定されず、公知の塗布方法を適宜選択することができる。

［乳剤層］
感光材料は、透明フイルム上に、光センサとして銀塩を含む乳剤層（銀塩含有層）を有することが好ましい。乳剤層には、銀塩のほか、必要に応じて、染料、バインダ、溶媒等を含有することができる。

＜銀塩＞
本実施の形態で用いられる銀塩としては、ハロゲン化銀等の無機銀塩が好ましく、特に銀塩がハロゲン化銀写真感光材料用ハロゲン化銀粒子の形で用いられるのが好ましい。ハロゲン化銀は、光センサとしての特性に優れている。
本実施の形態では、光センサとして機能させるためにハロゲン化銀を使用することが好ましく、ハロゲン化銀に関する銀塩写真フイルムや印画紙、印刷製版用フイルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等で用いられる技術は、本実施の形態においても用いることができる。

＜バインダ＞
乳剤層には、銀塩粒子を均一に分散させ、且つ、乳剤層と支持体との密着を補助する目的でバインダを用いることができる。上記バインダとしては、非水溶性ポリマー及び水溶性ポリマーのいずれもバインダとして用いることができるが、水溶性ポリマーを用いることが好ましい。
上記バインダとしては、例えば、ゼラチン、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、澱粉等の多糖類、セルロース及びその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリサッカライド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。これらは、官能基のイオン性によって中性、陰イオン性、陽イオン性の性質を有する。
乳剤層中に含有されるバインダの含有量は、銀塩含有層中のＡｇ／バインダ体積比が１／４以上になるように調節することが好ましく、１／２以上になるように調節することがさらに好ましい。

＜溶媒＞
上記乳剤層の形成に用いられる溶媒は、特に限定されるものではないが、例えば、水、有機溶媒（例えば、メタノール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、ホルムアミド等のアミド類、ジメチルスルホキシド等のスルホキシド類、酢酸エチル等のエステル類、エーテル類等）、イオン性液体、及びこれらの混合溶媒を挙げることができる。

なお、ハロゲン化銀写真感光材料及びそれを用いたメッシュ状パターンの形成方法は、以下の公開公報に開示の技術と適宜組合せて使用できる。特開２００４−２２１５６４号公報、特開２００４−２２１５６５号公報、特開２００７−２００９２２号公報、特開２００６−３５２０７３号公報、国際公開第２００６／００１４６１号パンフレット、特開２００７−１２９２０５号公報、特開２００７−２３５１１５号公報、特開２００７−２０７９８７号公報、特開２００６−０１２９３５号公報、特開２００６−０１０７９５号公報、特開２００６−２２８４６９号公報、特開２００６−３３２４５９号公報、特開２００７−２０７９８７号公報、特開２００７−２２６２１５号公報、国際公開第２００６／０８８０５９号パンフレット、特開２００６−２６１３１５号公報、特開２００７−０７２１７１号公報、特開２００７−１０２２００号公報、特開２００６−２２８４７３号公報、特開２００６−２６９７９５号公報、特開２００６−２６７６３５号公報、特開２００６−２６７６２７号公報、国際公開第２００６／０９８３３３号パンフレット、特開２００６−３２４２０３号公報、特願２００７−８４８６８、特願２００７−９１９３８、特願２００７−９３０２１、特願２００７−９３２０９、特願２００７−１３４０８２、特願２００７−１３４０８３。

本発明の第１の実施の形態に係る横型電気めっき装置の要部概略側断面図である。 同一部省略拡大断面図である。 本発明の第２の実施の形態に係る横型電気めっき装置の一部省略側断面図である。 同一部省略正断面図である。 本発明の第３の実施の形態に係る横型電気めっき装置に使用する通電ロールの説明図である。 支持フィルム上に導電部によるメッシュ状パターンを形成する第１方法の説明図である。 支持フィルム上に導電部によるメッシュ状パターンを形成する第２方法の説明図である。

符号の説明

１０：横型電気めっき装置、１１：めっき槽、１２：天井部、１３：底床部、１４、１５：陽極電極、１６、１７：通電ロール、１８：導電性帯板、１９、２０：バックアップロール、２１、２２：めっき液給液ヘッダー、２４〜２７：傾斜面、３０：横型電気めっき装置、３１、３２：めっき液排出カバー、３３：垂直部、３４：水平部、３５：屈曲部、３６、３７：側板、３８、３９：内側ガイド、４０、４１：流路、４２：シール材、４５：通電ロール、４６：バックアップロール、４７、４８：支持軸、４９、５０：溝、５１、５２：支持軸、５４：光透過性部、７０：透明フィルム、８４：ハロゲン化銀、８６：ゼラチン、８８：銀塩感光層、９０：現像銀、９２：金属銀部、９４：メッシュ状パターン、９６：導電性金属、９８：銅箔、１００：フォトレジスト膜、１０２：レジストパターン

Claims (10)

1. めっき対象物である導電性帯板の前後に間隔を有してそれぞれ配置され、上下いずれか一方が通電ロールで他方がバックアップロールとなる上ロール及び下ロールと、前記導電性帯板の表面に隙間を有して配置される板状の陽極電極と、該陽極電極が固定されるめっき槽とを有し、前記導電性帯板と前記陽極電極との間にめっき液を供給して、前記導電性帯板に電気めっきを行う横型電気めっき装置において、
   前後の前記上ロール及び下ロールのいずれか一方又は双方のロールにそれぞれ隙間を有して対峙する前記陽極電極及び該陽極電極に重なる前記めっき槽の端面と前記導電性帯板に対峙する前記陽極電極の水平面との角度θが鋭角であって、
   しかも、前記ロールの中心と前記ロールに対峙する前記陽極電極の先端部を結ぶ線分が通る前記ロール外周の接線と前記水平面との角度をαとした場合、０＜θ≦αとし、前記ロールとこれに対峙する前記陽極電極とで形成されるめっき液の流路断面積を前記導電性帯板から離れる方向に向かって増大させたことを特徴とする横型電気めっき装置。
2. 請求項１記載の横型電気めっき装置において、前記角度θは２０〜７０度の範囲にあることを特徴とする横型電気めっき装置。
3. 請求項１又は２記載の横型電気めっき装置において、前記導電性帯板の上側に配置された前記上ロールと前記陽極電極との間には、めっき液排出カバーが設けられ、前記導電性帯板と前記陽極電極の間を通過するめっき液の上方への飛散を防止し、めっき液の上方から側方への排出を可能としたことを特徴とする横型電気めっき装置。
4. 請求項３記載の横型電気めっき装置において、前記めっき液排出カバーと前記上ロールとの間には、めっき液が該めっき液排出カバーと該上ロールとの間を通過するのを防止するシール材が設けられていることを特徴とする横型電気めっき装置。
5. 請求項１〜４のいずれか１記載の横型電気めっき装置において、前記上ロール及び下ロールには、めっき液を通過させる溝が形成されていることを特徴とする横型電気めっき装置。
6. 請求項５記載の横型電気めっき装置において、前記溝の断面積の合計が前記めっき槽の液通過部の断面積以上になっていることを特徴とする横型電気めっき装置。
7. 請求項１〜６のいずれか１記載の横型電気めっき装置において、前記通電ロール及び前記導電性帯板の接触位置と、前記通電ロールに対峙する前記陽極電極の先端部に対応する前記導電性帯板の位置との距離が４０〜１００ｍｍであることを特徴とする横型電気めっき装置。
8. 請求項１〜７のいずれか１記載の横型電気めっき装置において、前記導電性帯板の表面抵抗が０．３Ω/sq.以上であることを特徴とする横型電気めっき装置。
9. 請求項１〜８のいずれか１記載の横型電気めっき装置において、前記導電性帯板が樹脂製の支持フィルムと、前記支持フィルム上に形成された導電部とを有するものであることを特徴とする横型電気めっき装置。
10. 請求項９記載の横型電気めっき装置において、前記導電部がメッシュパターン形状であることを特徴とする横型電気めっき装置。

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