JP5349265B2 - 静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法および偏向器・レンズ - Google Patents
静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法および偏向器・レンズ Download PDFInfo
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着する例もある。
と絶縁45した4個のパターンがそれぞれ並ぶ。即ち内側から、
・2段目電極子用パターンpl
・l段目電極子用パターンp2
・2段目電極子用及びFT用パターンp3
・1段目電極子用及びFT用パターンp4
の順に並ぶ(図4)。
す部分である。最終的に上記パターンplとp3間、P2とp4間は電極子を介して電位接続される。
板32はベース治具61に並行に且つ同芯に固定される。
1から61’に、中心合わせ治具を62から62’に、押し込み治具63から63’に変更して、2段目の8極子31’を組み立てる。ここで1段目と2段目の電極子31,31’は、治具62’によって同位相を保証される。
偏向器もしくはレンズとなる。この基板・電極子アセンブリは基板の固定ネジ穴と介して外筒(図2)にまたはホルダーに固定され、鏡筒(電子光学系)のパーツとなる。
の光学的軌道長を加減出来るので、軸対称レンズの収差補正用レンズとしても用いられて
いる(公知技術である)。
12:偏向器(アライナー)
13、27:レンズ
16:偏向器(スキャナー)
31、31’:電極子
32:P板(プリント基板)
33:半田付け又は銀ロウ付け部
52:ピン
53、53’:切り欠き部
61、61’、72:ベース治具
62、62’:中心合わせ治具
63、63’:押さえ治具
71:外枠
73:芯出し治具
Claims (10)
- 粒子線ビームを偏向あるいは集束・発散する静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法において、
前記静電多極子を構成する各電極子について、軸方向の位置および当該軸方向と直角方向である半径方向の位置を所望の位置に固定する治具と、
前記静電多極子を構成する各電極子を固定すると共に当該固定した各電極子に電圧を印加するためのパターンを設けたプリント基板とを備え、
前記静電多極子を構成する各電極子を前記治具に固定して当該静電多極子の軸方向および半径方向の位置を所望の位置に保持した状態で、当該各電極子を前記プリント基板の該当パターンに固定した後、治具を解放して当該静電多極子をプリント基板上に形成することを特徴とする静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法。 - 前記各電極子について軸方向と直角方向である半径方向の位置に加えて、各電極子間の回転角度に対応する所望の位置に固定する治具を備え、
前記静電多極子を構成する各電極子を前記治具に固定して当該静電多極子の軸方向および半径方向の位置と各電極子間の回転角度に対応する所望の位置とに保持した状態で、当該各電極子を前記プリント基板の該当パターンに固定した後、治具を解放して当該静電多極子をプリント基板上に形成することを特徴とする請求項1記載の静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法。 - 前記プリント基板を治具に位置あわせした後に、前記各電極子を前記プリント基板の該当パターンに固定したことを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法。
- 前記固定として、半田付けあるいはロー付けで固定したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法。
- 請求項1から請求項4のいずれかに記載の静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法において、プリント基板に代えて、金属製の外枠が取り付けられたプリント基板を備えたことを特徴とする静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法。
- 前記静電多極子を構成する各電極子を、治具の軸方向および半径方向に一括して押圧して固定する際に、当該各電極子の押圧する部分あるいは近傍に切込みを入れて当該切込みによる変形応力で各電極子を一定の押圧力で一括して、あるいは治具の各電極子を押圧する部分にバネを設けて当該バネを介して各電極子を一定の押圧力で一括して、治具にそれぞれ固定することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法。
- プリント基板あるいは当該プリント基板を固定した取り付け板を、電子光学系を形成する鏡筒に位置合わせして固定し、当該電子光学系の偏向器あるいはレンズを形成したことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法。
- 前記プリント基板の表側および裏側のいずれか一方あるいは両者に前記各電極子を固定したことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれかに記載の静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法。
- 前記電極子の数を2の倍数としたことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれかに記載の静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法。
- 静電多極子を構成する各電極子を治具に固定して当該静電多極子の軸方向および半径方向の位置に保持した状態で、当該各電極子をプリント基板の該当パターンに固定した後、治具を解放してプリント基板上に形成した静電多極子型の偏向器・レンズ。
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