JP5341111B2 - アキシコン部を用いた光学的パターン生成器 - Google Patents
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Description
本出願は米国特許法119条(e)に基づいて、2008年2月5日に米国にて出願された仮特許出願No.61/026,459「アキシコン部を用いた光学的パターン生成器」を基礎として優先権を主張するものである。
12 回転軸
14 入射光ビーム
16、16’、16S、16S’ 反射光ビーム
100 入射ビーム
102 レンズ
104 レンズ
106 拡張ビーム
108 ビーム調整レンズ
110 フォルダーミラー
112 回転部材
114、114’、114’’ アキシコン部
116 射出ビーム
118 イメージングレンズ
120 ウィンドウ
122 処理位置(表面)
124 円筒表面
126 球状表面
130 ビーム
132,132’,132’’ 像点
138 点
140 線焦点
200 入射ビーム
202 円筒レンズ
204、204’、204’’ 円筒表面(アキシコン部)
206 回転部材
208 自転軸
210,210’,210’’ 反射光
212 フォルダーミラー
214 円筒レンズ
216 円筒表面
218 イメージングレンズ
220 処理位置
300 入射ビーム
302 レンズ
304 円筒表面
306 部材
308 軸
310 フォルダーミラー
312 レンズ
314 イメージングレンズグループ
400 入射光ビーム
402 レンズ
404 回転部材
406 自転軸
408 フォルダーミラー
410 レンズ
412 円筒表面
414 イメージングレンズ
416 処理位置
500 入射光ビーム
502 円筒レンズ
506 アキシコン部
508、510 軸
600,600’,600’’ 流入光ビーム
602 円筒レンズ
604 円筒表面
606 アキシコン部
608 開口絞り
610 レンズ
612 円筒表面
614 イメージングレンズ
616,616’,616’’ 画像図形
700,700’,700’’ 流入ビーム
702 レンズ
705,705’,705’’ 像点
706 アキシコン部
714 イメージングレンズ
716,716’,716’’ 像点
800 流入光ビーム
802 アキシコン部
804 回転軸
806 アキシコン部
808 レンズ
810 円筒表面
812 表面
814 二重平面ウィンドウ要素
816,816’,816’’ 像点
900 入射ビーム
902 レンズ
904 円筒表面
906 アキシコン部
908 回転軸
910 アキシコン部
Claims (11)
- 目標位置に図形パターンを生成する単一アキシコン光学的パターン生成器であって、
複数の反射アキシコン部を有する回転部材と、
回転部材の自転軸に対する少なくとも二つの異なる傾斜角を有するアキシコン部とを備え、
回転部材が自転軸周りに回転するときにアキシコン部が回転してそこに入射光ビームが入射するように回転部材が配置され、
各々のアキシコン部が入射光を偏向させて図形パターンを生成し、
アキシコン部は共通の回転軸を有する直円錐の表面部分であり、
アキシコン部の回転軸は回転部材の自転軸と一致しないが離れていて平行である、単一アキシコン光学的パターン生成器。 - サジタル面中の入射光ビームを圧縮してアキシコン部上に結像させる第一のアナモフィック光学部材と、
アキシコン部から離れた後のサジタル面中の入射光ビームの圧縮を解除する第二のアナモフィック光学部材とを備え、
回転部材は第一及び第二のアナモフィック光学部材の間に光学的に配置される、請求項1に記載の単一アキシコン光学的パターン生成器。 - 第一のアナモフィック光学部材は入射光ビームをアキシコン部における線焦点に圧縮する、請求項2に記載の単一アキシコン光学的パターン生成器。
- 入射光ビームは第一のアナモフィック光学部材に入るときに平行で、第一のアナモフィック光学部材は入射光ビームをアキシコン部における線焦点に圧縮し、第二のアナモフィック光学部材は入射光ビームを再度平行にする、請求項2に記載の単一アキシコン光学的パターン生成器。
- 第一のアナモフィック光学部材は第一の円筒光学部材を備え、第二のアナモフィック光学部材は第二の円筒光学部材を備える、請求項2に記載の単一アキシコン光学的パターン生成器。
- 光ビームを目標位置の領域に集束させるように、回転部材と目標位置の間に光学的に配置されたノンアナモフィックなイメージングレンズをさらに備える、請求項2に記載の単一アキシコン光学的パターン生成器。
- 自転軸と共通の面に存在するが自転軸に平行でない方向から光ビームが光学的パターン生成器に入る、請求項1に記載の単一アキシコン光学的パターン生成器。
- 自転軸と共通の面に存在する方向から光ビームが光学的パターン生成器に入って出て行く、請求項1に記載の単一アキシコン光学的パターン生成器。
- 自転軸とねじれの位置にある方向から光ビームが光学的パターン生成器に入って出て行く、請求項1に記載の単一アキシコン光学的パターン生成器。
- 回転部材が自転軸周りに回転するとアキシコン部が回転して多重入射光ビームがそのアキシコン部に入射するように、回転部材が配置され、異なる光ビームが異なる図形パターンを生成する、請求項1に記載の単一アキシコン光学的パターン生成器。
- サジタル面中の多重入射光ビームが自転軸と垂直に位置する、請求項1に記載の単一アキシコン光学的パターン生成器。
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