JP5339045B2 - Gas barrier substrate for display element and display device - Google Patents

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Description

本発明は、表示素子用ガスバリア性基板に関する。より詳しくは、紫外線洗浄耐性を備えた表示素子用ガスバリア性基板、及びこれが用いられた有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ等の表示装置に関する。   The present invention relates to a gas barrier substrate for a display element. More specifically, the present invention relates to a gas barrier substrate for a display element having ultraviolet cleaning resistance and a display device such as an organic electroluminescence display using the same.

最近、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、液晶ディスプレイ、又はプラズマディスプレイ等の表示装置では、表示装置の大型化、薄型化、あるいはフレキシブル化の要請に対応するため、ガラスに代わる基板材料として、破損し難く、可とう性があり、かつ軽量であるプラスチックが注目されている。   Recently, display devices such as organic electroluminescence displays, liquid crystal displays, and plasma displays are difficult to break as a substrate material to replace glass in order to meet the demand for larger, thinner, or flexible display devices. Plastics that are flexible and lightweight are drawing attention.

もっとも、プラスチックフィルムは、酸素や水蒸気等の透過性がガラスに比べて高く、プラスチックフィルム単体では、ガスバリア性が不十分である。特に、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイでは、表示素子に有機化合物からなる発光素子が用いられており、表示素子が酸素や水蒸気の影響を受けやすいので、高いガスバリア性能が要求されている。そのため、表示素子用基板においては、ガスバリア性能を付与するために、ガスバリア性無機化合物層をプラスチックフィルム上に形成することが一般的になされている。   However, the plastic film has higher permeability of oxygen, water vapor, and the like than glass, and the plastic film alone has insufficient gas barrier properties. In particular, in an organic electroluminescence display, a light-emitting element made of an organic compound is used as a display element, and the display element is easily affected by oxygen or water vapor, so that high gas barrier performance is required. Therefore, in a display element substrate, in order to provide gas barrier performance, a gas barrier inorganic compound layer is generally formed on a plastic film.

また、プラスチックフィルム上に複数のガスバリア性無機化合物層を積層して形成し、さらに、これらのガスバリア性無機化合物層の間に、紫外線硬化樹脂層を設ける技術も知られている(特許文献1)。この技術によれば、下地の無機化合物層の表面平滑性が良くなるので、その上に積層した無機化合物層の欠陥を減らし、高いガスバリア性能を得ることができる。また、層間の密着性が向上するので、プラスチックフィルムを屈曲させた場合に、無機化合物層にひび割れ等が発生してガスバリア性能が低下することを防止できる。   A technique is also known in which a plurality of gas barrier inorganic compound layers are laminated on a plastic film, and an ultraviolet curable resin layer is provided between these gas barrier inorganic compound layers (Patent Document 1). . According to this technique, since the surface smoothness of the underlying inorganic compound layer is improved, defects in the inorganic compound layer laminated thereon can be reduced, and high gas barrier performance can be obtained. Moreover, since the adhesion between the layers is improved, when the plastic film is bent, it is possible to prevent the gas barrier performance from being deteriorated due to the occurrence of cracks or the like in the inorganic compound layer.

特開2008−173838号公報JP 2008-173838 A

一方で、表示装置の表示素子に悪影響を与える要因は、酸素や水蒸気だけではなく、表示装置の製造工程において、基板表面に残留溶剤等の有機汚染物が付着していると、汚染箇所で電圧変化や濡れ性変化が生じ、表示装置の性能が低下してしまうという問題がある。そのため、キセノンエキシマランプや低圧水銀ランプなどの高強度かつ短波長の紫外線を各工程において繰り返し照射して、有機汚染物を洗浄することがおこなわれている。   On the other hand, the factors that adversely affect the display element of the display device are not only oxygen and water vapor, but also when organic contaminants such as residual solvent adhere to the substrate surface in the manufacturing process of the display device, the voltage at the contaminated portion There is a problem that a change or wettability change occurs and the performance of the display device deteriorates. Therefore, organic contaminants are washed by repeatedly irradiating high-intensity and short-wavelength ultraviolet rays such as a xenon excimer lamp and a low-pressure mercury lamp in each step.

しかしながら、複数形成されたガスバリア性無機化合物層の間に紫外線硬化樹脂層を設けたガスバリア性基板を表示装置に用いる場合、その表示装置の製造工程で紫外線洗浄をおこなうと、照射した紫外線により紫外線硬化樹脂層が破壊されてガス化し、その結果、無機化合物層にひび割れが発生し、ガスバリア性能が低下するという課題が生じた。   However, when a gas barrier substrate having an ultraviolet curable resin layer provided between a plurality of formed gas barrier inorganic compound layers is used for a display device, if UV cleaning is performed in the manufacturing process of the display device, UV curing is performed by the irradiated ultraviolet light. The resin layer was destroyed and gasified, and as a result, cracks occurred in the inorganic compound layer, resulting in a problem that the gas barrier performance deteriorated.

本発明者は、紫外線照射により、無機化合物層にひび割れが発生し、ガスバリア性能が低下する過程を次の通りと推定した。すなわち、紫外線洗浄装置は、基板表面に付着した有機物を洗浄・除去する装置であり、有機物に対して高い分解・洗浄力を持つが無機系の物質に対しては除去能力がなく、無機膜上の有機物除去に好適に用いられている。ところが、有機物に対する洗浄力が高い反面、ガスバリア性無機化合物層が紫外線を透過する性質を有していると、無機膜の下の紫外線硬化樹脂層にまで洗浄効果が及び、紫外線硬化樹脂層が分解・ガス化してしまう。このとき、紫外線硬化樹脂層の上下にガスバリア性の高い層を設けた構成では、発生したガスは、逃げ場がないので層間に徐々に蓄積されるが、ガスの蓄積量が一定の限界量を超えると、無機膜を破壊して、大気中に拡散する。   The present inventor presumed that the process in which cracks occur in the inorganic compound layer due to ultraviolet irradiation and the gas barrier performance deteriorates is as follows. In other words, the UV cleaning device is a device that cleans and removes organic substances adhering to the substrate surface. It has a high decomposing / cleaning power for organic substances, but has no ability to remove inorganic substances, and it can be removed on the inorganic film. It is suitably used for removing organic substances. However, while the detergency for organic substances is high, if the gas barrier inorganic compound layer has the property of transmitting ultraviolet rays, the ultraviolet curable resin layer under the inorganic film has a cleaning effect and the ultraviolet curable resin layer is decomposed. -Gasification will occur. At this time, in the configuration in which layers having high gas barrier properties are provided above and below the UV curable resin layer, the generated gas is gradually accumulated between the layers because there is no escape, but the amount of accumulated gas exceeds a certain limit amount. And destroys the inorganic film and diffuses it into the atmosphere.

本発明者は、先に、上記の課題に対して、紫外線硬化樹脂層の膜厚を一定の範囲内に制御することで解決し得ることを見出した(特許文献1)。ただし、特許文献1に記載された発明では、紫外線硬化樹脂層がガスバリア性を有する無機化合物層の間に挟まれて設けられているので、僅かながらでも発生したガスは逃げることができず、層間に保持され続けることになり、層間の密着性が低下してしまうことは否めない。また、紫外線洗浄を何回も繰り返すと、徐々に蓄積されたガスによって結局、無機化合物層にひび割れが発生することがあり得ることも判明した。さらに、同等のガスバリア性が得られるのであれば、積層数が少ない方が生産性やコストの面から好ましいことは明らかである。   The present inventor previously found that the above problem can be solved by controlling the film thickness of the ultraviolet curable resin layer within a certain range (Patent Document 1). However, in the invention described in Patent Document 1, since the ultraviolet curable resin layer is provided between the inorganic compound layers having gas barrier properties, the generated gas cannot escape even slightly, and the interlayer Therefore, it cannot be denied that the adhesion between the layers is lowered. It has also been found that if the ultraviolet cleaning is repeated many times, the inorganic compound layer may eventually crack due to the gradually accumulated gas. Furthermore, if equivalent gas barrier properties can be obtained, it is clear that a smaller number of layers is preferable from the viewpoint of productivity and cost.

本発明は、かかる事情に基づいてなされてものであり、本発明の課題は、高ガスバリア性と紫外線洗浄耐性とを兼ね備え、かつ従来よりも生産性に優れた低コストの表示素子用ガスバリア性基板及び表示装置を提供することにある。   The present invention has been made based on such circumstances, and an object of the present invention is to provide a gas barrier substrate for a display element that has both high gas barrier properties and UV cleaning resistance and is more cost effective than conventional ones. And providing a display device.

一番目の発明は、プラスチックフィルム上の少なくとも片面に、紫外線硬化樹脂層とガスバリア性無機化合物層とがこの順番で1層ずつ形成され、前記プラスチックフィルムのガス透過性は、前記ガスバリア性無機化合物層よりも高く、前記紫外線硬化樹脂層がトリシクロデカン(メタ)アクリレートを主成分とする樹脂からなり、前記プラスチックフィルムが、ポリエチレンナフタレートフィルムであることを特徴とする表示素子用ガスバリア性基板である。
According to a first aspect of the present invention, an ultraviolet curable resin layer and a gas barrier inorganic compound layer are formed in this order on at least one surface of a plastic film, and the gas permeability of the plastic film is determined by the gas barrier inorganic compound layer. A gas barrier substrate for a display element , wherein the ultraviolet curable resin layer is made of a resin mainly composed of tricyclodecane (meth) acrylate, and the plastic film is a polyethylene naphthalate film. .

二番目の発明は、プラスチックフィルム上の少なくとも片面に、紫外線硬化樹脂層とガスバリア性無機化合物層とがこの順番で1層ずつ形成され、前記プラスチックフィルムのガス透過性は、前記ガスバリア性無機化合物層よりも高く、前記紫外線硬化樹脂層がトリシクロデカン(メタ)アクリレートとポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマーとを主成分とする樹脂からなり、前記プラスチックフィルムが、ポリエチレンナフタレートフィルムであることを特徴とする表示素子用ガスバリア性基板である。

According to a second aspect of the present invention, an ultraviolet curable resin layer and a gas barrier inorganic compound layer are formed on at least one surface of the plastic film one by one in this order, and the gas permeability of the plastic film is determined by the gas barrier inorganic compound layer. The UV curable resin layer is made of a resin mainly composed of tricyclodecane (meth) acrylate and polyester (meth) acrylate oligomer, and the plastic film is a polyethylene naphthalate film. It is a gas barrier substrate for a display element.

三番目の発明は、一番目の発明又は二番目の発明において、前記ガスバリア性無機化合物層が、酸化珪素、窒化珪素、及び酸化窒化珪素から選ばれた1種以上の材料が用いられたことを特徴とする表示素子用ガスバリア性基板である。
According to a third invention, in the first invention or the second invention, the gas barrier inorganic compound layer is made of one or more materials selected from silicon oxide, silicon nitride, and silicon oxynitride. This is a gas barrier substrate for a display element.

四番目の発明は、一番目の発明から三番目の発明のいずれか1つの表示素子用ガスバリア性基板が用いられたことを特徴とする表示装置である。



A fourth invention is a display device using the gas barrier substrate for a display element according to any one of the first invention to the third invention.



本発明のトリシクロデカン(メタ)アクリレートを主成分とする紫外線硬化樹脂層、又はトリシクロデカン(メタ)アクリレートとポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマーとを主成分とする紫外線硬化樹脂層は、緻密な膜を形成することができるので、ガスバリア性と紫外線洗浄耐性の潜在的能力が極めて高く、本発明の表示素子用ガスバリア性基板は、紫外線洗浄耐性と高ガスバリア性に優れている。   The ultraviolet curable resin layer mainly composed of tricyclodecane (meth) acrylate or the ultraviolet curable resin layer mainly composed of tricyclodecane (meth) acrylate and a polyester (meth) acrylate oligomer is a dense film. Therefore, the potential capability of gas barrier property and ultraviolet cleaning resistance is extremely high, and the gas barrier substrate for a display element of the present invention is excellent in ultraviolet cleaning resistance and high gas barrier property.

また、トリシクロデカン(メタ)アクリレートとポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマーとを主成分とする紫外線硬化樹脂層の場合は、膜に柔軟性が付与されるので、本発明の表示素子用ガスバリア性基板は、耐屈曲性が向上し、反り返り(カール)が軽減される。   In addition, in the case of an ultraviolet curable resin layer mainly composed of tricyclodecane (meth) acrylate and polyester (meth) acrylate oligomer, since the film is given flexibility, the gas barrier substrate for a display element of the present invention is , Bending resistance is improved and curling is reduced.

さらに、本発明の表示素子用ガスバリア性基板では、プラスチックフィルムと紫外線硬化樹脂層との間には、ガスバリア性を有する無機化合物層が形成されていないので、紫外線洗浄により紫外線硬化樹脂が分解されて生じたガスは、プラスチックフィルムを通して逃げることができる。そのため、紫外線洗浄を繰り返しても、ひび割れの発生は見られず、ガスバリア性能を安定化させることができる。   Furthermore, in the gas barrier substrate for a display element of the present invention, since the inorganic compound layer having gas barrier properties is not formed between the plastic film and the ultraviolet curable resin layer, the ultraviolet curable resin is decomposed by the ultraviolet cleaning. The resulting gas can escape through the plastic film. Therefore, even if the ultraviolet cleaning is repeated, the occurrence of cracks is not seen, and the gas barrier performance can be stabilized.

また、ガスバリア性無機化合物層の積層数が1層であっても、2層以上を積層した場合と同等の高いガスバリア性を得ることができ、従来よりも生産性に優れた低コストの表示素子用ガスバリア性基板を提供するものである。   In addition, even when the number of laminated gas barrier inorganic compound layers is one, a high gas barrier property equivalent to the case where two or more layers are laminated can be obtained, and a low-cost display element that is more productive than conventional ones. A gas barrier substrate for use is provided.

さらに、本発明の表示装置は、表示素子用ガスバリア性基板が紫外線洗浄耐性と高ガスバリア性とを備えているので、良好な表示性能を有するものである。   Furthermore, the display device of the present invention has good display performance because the gas barrier substrate for display elements has ultraviolet cleaning resistance and high gas barrier properties.

[表示素子用ガスバリア性基板]
以下に、本発明の表示素子用ガスバリア性基板及びその製造方法について、詳しく説明する。
[Gas barrier substrate for display element]
Hereinafter, the gas barrier substrate for a display element and the method for producing the same according to the present invention will be described in detail.

本発明の表示素子用ガスバリア性基板は、プラスチックフィルム上の少なくとも片面に、紫外線硬化樹脂層とガスバリア性無機化合物層とがこの順番で1層ずつ形成された積層体である。前記紫外線硬化樹脂層には、トリシクロデカン(メタ)アクリレートを主成分とする樹脂、又はトリシクロデカン(メタ)アクリレートとポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマーとを主成分とする樹脂が用いられている。また、前記プラスチックフィルムが、ポリエチレンナフタレートフィルム又はポリエチレンテレフタレートフィルムであることが好ましく、前記ガスバリア性無機化合物層には、酸化珪素、窒化珪素、及び酸化窒化珪素から選ばれた1種以上の材料が用いられていることが好ましい。   The gas barrier substrate for a display element of the present invention is a laminate in which an ultraviolet curable resin layer and a gas barrier inorganic compound layer are formed in this order on at least one surface of a plastic film. For the ultraviolet curable resin layer, a resin mainly composed of tricyclodecane (meth) acrylate or a resin mainly composed of tricyclodecane (meth) acrylate and a polyester (meth) acrylate oligomer is used. The plastic film is preferably a polyethylene naphthalate film or a polyethylene terephthalate film, and the gas barrier inorganic compound layer includes at least one material selected from silicon oxide, silicon nitride, and silicon oxynitride. It is preferably used.

図1は、本発明のガスバリア性基板の構成例を示す断面図である。図1に示す本発明のガスバリア性基板4は、プラスチックフィルム1に、紫外線硬化樹脂層2とガスバリア性無機化合物層3とがこの順番で1層ずつ積層された構成である。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration example of a gas barrier substrate of the present invention. A gas barrier substrate 4 of the present invention shown in FIG. 1 has a configuration in which an ultraviolet curable resin layer 2 and a gas barrier inorganic compound layer 3 are laminated on a plastic film 1 one by one in this order.

プラスチックフィルムのガス透過性は、ガスバリア性無機化合物層よりも高いので、上記構成とすることで、表示素子用ガスバリア性基板にはガス透過性の勾配が設けられ、紫外線硬化樹脂層の劣化により発生したガスは、プラスチックフィルム側逃げられるようになる。その結果、無機化合物層のひび割れの発生を防止し、ガスバリア性能を維持できるものである。
なお、紫外線硬化樹脂層とガスバリア性無機化合物層が交互に2層ずつ以上積層された場合は、中間の紫外線硬化樹脂層の上下にガスバリア性無機化合物層が形成されることになるので、紫外線照射により発生したガスが逃げられず、ガスバリア性能に影響を及ぼす。そのため、本発明では、紫外線硬化樹脂層とガスバリア性無機化合物層とは、プラスチックフィルム上にこの順番で1層ずつだけ形成される。
Since the gas permeability of the plastic film is higher than that of the gas barrier inorganic compound layer, the gas barrier substrate for display element has a gas permeability gradient due to the above configuration, and is caused by deterioration of the UV curable resin layer. The gas that escapes can escape from the plastic film. As a result, the generation of cracks in the inorganic compound layer can be prevented and the gas barrier performance can be maintained.
In addition, when two or more layers of the ultraviolet curable resin layer and the gas barrier inorganic compound layer are alternately laminated, the gas barrier inorganic compound layer is formed above and below the intermediate ultraviolet curable resin layer. The gas generated by the gas cannot escape and affects the gas barrier performance. Therefore, in the present invention, the ultraviolet curable resin layer and the gas barrier inorganic compound layer are formed only one layer at a time in this order on the plastic film.

本発明の表示素子用ガスバリア性基板の製造方法の例としては、下記に説明する樹脂材料を使用したプラスチックフィルム上に、トリシクロデカン(メタ)アクリレートを主成分とした組成物、又はトリシクロデカン(メタ)アクリレートとポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマーとを主成分とした組成物を塗布法により膜形成させた後、紫外線照射して硬化させて、紫外線硬化樹脂層を1回形成する。次に、この紫外線硬化樹脂層上に、下記に説明するガスバリア性を有する無機化合物を用いた真空成膜法により、ガスバリア性無機化合物層を1回形成する。   Examples of the method for producing a gas barrier substrate for a display device of the present invention include a composition mainly composed of tricyclodecane (meth) acrylate on a plastic film using a resin material described below, or tricyclodecane. A film composed of (meth) acrylate and polyester (meth) acrylate oligomer as main components is formed into a film by a coating method and then cured by irradiation with ultraviolet rays to form an ultraviolet curable resin layer once. Next, a gas barrier inorganic compound layer is formed once on the ultraviolet curable resin layer by a vacuum film forming method using an inorganic compound having a gas barrier property described below.

以下に、本発明の表示素子用ガスバリア性基板を構成するプラスチックフィルム、紫外線硬化樹脂層、ガスバリア性無機化合物層について、さらに詳しく説明する。   Hereinafter, the plastic film, the ultraviolet curable resin layer, and the gas barrier inorganic compound layer constituting the gas barrier substrate for a display element of the present invention will be described in more detail.

(プラスチックフィルム)
プラスチックフィルムに用いられる高分子材料としては、一般的に表示素子用ガスバリア性基板の基材として使用される樹脂を適宜選択することができ、例えば、ポリプロピレンやポリエチレン等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリアリレート、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、ポリアミド、又はポリビニルアルコール等を挙げることができる。
(Plastic film)
As a polymer material used for a plastic film, a resin generally used as a base material for a gas barrier substrate for a display element can be appropriately selected. For example, polyolefins such as polypropylene and polyethylene, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are used. Examples thereof include polyester such as phthalate, polyarylate, polyethersulfone, polycarbonate, polyamide, and polyvinyl alcohol.

このうち、ポリオレフィンフィルム又はポリエステルフィルムは、汎用性や加工適性が高いので、比較的安価かつ容易に入手することができる点で利点が多い。   Among these, the polyolefin film or the polyester film has many advantages in that it is relatively inexpensive and can be easily obtained because of its high versatility and processability.

さらに、ポリエステルフィルムは、適度な物理的強度や化学的耐性を有し、可視光領域での光透過率が良く、良好な表面平滑性を得ることができる点で、好ましく用いることができる。ポリエステルフィルムは、酸成分とグリコール成分とを共重合させることで得られるものであり、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム(PET)、ポリトリメチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム(PBT)、ポリエチレンナフタレートフィルム(PEN)、又はポリトリメチレンナフタレートフィルム等を挙げることができる。   Furthermore, the polyester film can be preferably used in that it has appropriate physical strength and chemical resistance, good light transmittance in the visible light region, and good surface smoothness. The polyester film is obtained by copolymerizing an acid component and a glycol component. For example, a polyethylene terephthalate film (PET), a polytrimethylene terephthalate film, a polybutylene terephthalate film (PBT), a polyethylene naphthalate film ( PEN) or polytrimethylene naphthalate film.

ポリエチレンナフタレートフィルム(PEN)は、耐熱性が高く、かつ比較的高いガスバリア性を有する点で特に好ましい。ポリエチレンナフタレートフィルムでは、主たるジカルボン酸成分としてナフタレンジカルボン酸が用いられ、主たるジオール成分としてエチレングリコールが用いられる。   Polyethylene naphthalate film (PEN) is particularly preferred because of its high heat resistance and relatively high gas barrier properties. In the polyethylene naphthalate film, naphthalenedicarboxylic acid is used as the main dicarboxylic acid component, and ethylene glycol is used as the main diol component.

ポリエチレンテレフタレートフィルム(PET)は、ポリエチレンナフタレートフィルム(PEN)よりもガスバリア性は低いが、紫外線洗浄により紫外線硬化樹脂が分解されて生じたガスがプラスチックフィルムを通して逃げやすいので、紫外線洗浄耐性の観点からは有利であり、特に好ましい。ポリエチレンテレフタレートフィルムでは、主たるジカルボン酸成分としてテレフタル酸が用いられ、主たるジオール成分としてエチレングリコールが用いられる。   Polyethylene terephthalate film (PET) has a lower gas barrier property than polyethylene naphthalate film (PEN), but the gas generated by decomposition of the UV curable resin by UV cleaning is likely to escape through the plastic film, so from the viewpoint of UV cleaning resistance. Are advantageous and particularly preferred. In the polyethylene terephthalate film, terephthalic acid is used as the main dicarboxylic acid component, and ethylene glycol is used as the main diol component.

ポリエステルフィルムの酸成分として、ナフタレンジカルボン酸とテレフタル酸を混合して用いてもよい。これにより、ポリエチレンナフタレートフィルム(PEN)の良好なガスバリア性と、ポリエチレンテレフタレートフィルム(PET)の優れた紫外線洗浄耐性とをバランスよく両立させたプラスチックフィルムを得ることができる。なお、本発明においては、酸成分のうちナフタレンジカルボン酸の割合が多いときは、ポリエチレンナフタレートフィルムに分類され、また、テレフタル酸の割合が多いときは、ポリエチレンテレフタレートフィルムに分類されるものとする(等量のときは、いずれにも分類されるものとする)。   As an acid component of the polyester film, naphthalenedicarboxylic acid and terephthalic acid may be mixed and used. Thereby, it is possible to obtain a plastic film in which the good gas barrier property of the polyethylene naphthalate film (PEN) and the excellent ultraviolet washing resistance of the polyethylene terephthalate film (PET) are balanced. In the present invention, when the proportion of naphthalene dicarboxylic acid in the acid component is large, it is classified as a polyethylene naphthalate film, and when the proportion of terephthalic acid is large, it is classified as a polyethylene terephthalate film. (Equal amounts shall be classified as either).

プラスチックフィルムは、未延伸、一軸延伸、あるいは二軸延伸のいずれでもよいが、寸法安定性と機械特性の観点から、二軸延伸されたものが好ましい。また、上記のプラスチックフィルムは、透明性を損なわない程度であれば、添加剤として、紫外線防止剤、酸化防止剤、帯電防止剤、界面活性剤、又は滑剤等が含まれていてもよい。   The plastic film may be unstretched, uniaxially stretched, or biaxially stretched, but is preferably biaxially stretched from the viewpoint of dimensional stability and mechanical properties. In addition, the plastic film may contain, as an additive, an ultraviolet ray inhibitor, an antioxidant, an antistatic agent, a surfactant, a lubricant, or the like as long as the transparency is not impaired.

プラスチックフィルムの厚みは、通常は12〜200μm、より好ましくは50〜130μが望ましい。厚みが薄すぎると必要な機械強度が得られず、一方厚みが厚すぎると加工適性の悪化や高コスト化の問題が生じるからである。   The thickness of the plastic film is usually 12 to 200 μm, more preferably 50 to 130 μm. If the thickness is too thin, the required mechanical strength cannot be obtained. On the other hand, if the thickness is too thick, the processability deteriorates and the cost increases.

プラスチックフィルムには、プラスチックフィルムの表面の密着性を向上させるために、何らかの表面処理をおこなってもよい。例えば、コロナ放電処理、火炎処理、プラズマ処理、グロー放電処理、紫外線オゾン処理、薬品処理等を挙げることができる。また、ポリエステル樹脂やウレタン樹脂等を用いたアンダーコート層を設けることで、プラスチックフィルムの表面の密着性を改善させてもよい。このアンダーコート層には、滑り性改善や膜強度付与のために炭酸カルシウム等の無機フィラーを含有させてもよい。なお、上記のプラスチックフィルムの表面処理又は/及びアンダーコート層形成は、プラスチックフィルムの紫外線硬化樹脂層が形成された面とは反対面におこなってもよい。   The plastic film may be subjected to some surface treatment in order to improve the adhesion of the surface of the plastic film. For example, corona discharge treatment, flame treatment, plasma treatment, glow discharge treatment, ultraviolet ozone treatment, chemical treatment and the like can be mentioned. Moreover, you may improve the adhesiveness of the surface of a plastic film by providing the undercoat layer using a polyester resin, a urethane resin, etc. The undercoat layer may contain an inorganic filler such as calcium carbonate for improving slipperiness and imparting film strength. In addition, you may perform the surface treatment of said plastic film or / and undercoat layer formation on the surface opposite to the surface in which the ultraviolet curable resin layer of the plastic film was formed.

(紫外線硬化樹脂層)
紫外線硬化樹脂層に用いる材料としては、トリシクロデカン(メタ)アクリレートを主成分とする組成物、又はトリシクロデカン(メタ)アクリレートとポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマーとを主成分とする組成物に紫外線を照射して硬化して得られたものである。なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート及びメタクリレートの両方を総称する用語とする。
(UV curable resin layer)
As a material used for the ultraviolet curable resin layer, a composition mainly composed of tricyclodecane (meth) acrylate or a composition mainly composed of tricyclodecane (meth) acrylate and a polyester (meth) acrylate oligomer is used as an ultraviolet ray. And obtained by curing. In the present specification, the term “(meth) acrylate” is a general term for both acrylate and methacrylate.

トリシクロデカン(メタ)アクリレートは、重合反応性のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するトリシクロデカン誘導体であり、具体的には、ジメチロールトリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、等を挙げることができる。   Tricyclodecane (meth) acrylate is a tricyclodecane derivative having a polymerization-reactive acryloyl group or methacryloyl group, specifically, dimethylol tricyclodecane di (meth) acrylate, tricyclodecane di (meth). An acrylate etc. can be mentioned.

ポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマーは、分子中に少なくとも1個の重合反応性のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する飽和もしくは不飽和ポリエステルオリゴマーである。このポリエステルオリゴマーは、グリコール成分又はトリオール成分等の多価アルコールと、二塩基酸又は三塩基酸成分等の多塩基酸とのエステル化反応によって得られるものであり、分子量が概ね1,000〜10,000の範囲にあるものである。必要により、エポキシ化合物、イソシアネート化合物を併用してグリコール成分、多塩基酸成分を結合してもよい。   The polyester (meth) acrylate oligomer is a saturated or unsaturated polyester oligomer having at least one polymerization-reactive acryloyl group or methacryloyl group in the molecule. This polyester oligomer is obtained by an esterification reaction between a polyhydric alcohol such as a glycol component or a triol component and a polybasic acid such as a dibasic acid or a tribasic acid component, and has a molecular weight of approximately 1,000 to 10. , 000. If necessary, an epoxy compound and an isocyanate compound may be used in combination to bind the glycol component and the polybasic acid component.

グリコールとしては、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、スピログリコール等に代表されるアルキレングリコール類、ジエチレングリコール、ポリオキシエチレングリコール、ジプロピレングリコール、ポリオキシプロピレングリコール等に代表されるポリオキシアルキレングリコール類、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS等に代表される2価フェノールとエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドに代表されるアルキレンオキサイドとの付加反応生成物などがある。トリオールとしては、グリセリン、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、1,2,6−ヘキサントリオールなどが例示され、いずれも使用可能である。   Examples of the glycol include alkylene glycols represented by ethylene glycol, propylene glycol, butylene glycol, spiro glycol and the like, polyoxyalkylene glycols represented by diethylene glycol, polyoxyethylene glycol, dipropylene glycol, polyoxypropylene glycol and the like, There are addition reaction products of dihydric phenols typified by bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S and the like and alkylene oxides typified by ethylene oxide and propylene oxide. Examples of the triol include glycerin, trimethylolpropane, trimethylolethane, 1,2,6-hexanetriol, and any of them can be used.

二塩基酸(無水物)としては、i−フタル酸、o−フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラクロルフタル酸、マロン酸、コハク酸、アジピン酸、マレイン酸、無水マレイン酸等があり、三塩基酸としては、トリメリット酸、アコユニット酸、ブタントリカルボン酸、6−カルボキシ−3−メチル1,2,3,6ヘキサヒドロフタル酸等がある。四塩基酸としてはピロメリット酸等がある。   Dibasic acids (anhydrides) include i-phthalic acid, o-phthalic acid, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, tetrachlorophthalic acid, malonic acid, succinic acid, adipic acid, maleic acid, maleic anhydride Examples of tribasic acids include trimellitic acid, acounitic acid, butanetricarboxylic acid, 6-carboxy-3-methyl 1,2,3,6 hexahydrophthalic acid and the like. Examples of tetrabasic acids include pyromellitic acid.

トリシクロデカン(メタ)アクリレートとポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマーとを混合する場合、組成物の主成分におけるにおけるトリシクロデカン(メタ)アクリレート(A)とポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマー(B)との配合質量比(A/B)は、適宜調整すればよいが、40/60から60/40の範囲が良好なガスバリア性を得る観点から好ましい。なお、本発明において、主成分とは、組成物全体の概ね80質量%以上を構成する成分を意味するものとする。   When mixing tricyclodecane (meth) acrylate and polyester (meth) acrylate oligomer, blending of tricyclodecane (meth) acrylate (A) and polyester (meth) acrylate oligomer (B) in the main component of the composition The mass ratio (A / B) may be adjusted as appropriate, but a range of 40/60 to 60/40 is preferable from the viewpoint of obtaining good gas barrier properties. In addition, in this invention, a main component shall mean the component which comprises about 80 mass% or more of the whole composition.

(メタ)アクリレート又は/及び(メタ)アクリレートオリゴマーの硬化に用いる光重合開始剤としては、ベンゾイル系、アゾ系等の公知のものが使用できる。例えば、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、ベンジルジメチルケタール等などが使用できる。また、粘度調整や塗工性改善あるいはガスバリア性基板の性能向上の目的で、公知の添加剤を組成物の副成分として加えても良い。   As the photopolymerization initiator used for curing the (meth) acrylate or / and (meth) acrylate oligomer, known ones such as benzoyl series and azo series can be used. For example, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, benzyl dimethyl ketal and the like can be used. Moreover, you may add a well-known additive as a subcomponent of a composition for the purpose of viscosity adjustment, coating property improvement, or the performance improvement of a gas-barrier board | substrate.

トリシクロデカン(メタ)アクリレート及び必要に応じてその他の成分を含有する組成物、又はトリシクロデカン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマー、及び必要に応じてその他の成分を含有する組成物の塗布方法は、例えば、ロールコート法、ディップコート法、バーコート法、ノズルコート法、ダイコート法、スプレーコート法、スピンコート法、カーテンコート法、フローコート法、スクリーン印刷、グラビア印刷、若しくは曲面印刷等の各種印刷法、又はこれらを組み合わせた方法等を用いることができる。   Composition containing tricyclodecane (meth) acrylate and other components as required, or composition containing tricyclodecane (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate oligomer, and other components as necessary The coating method is, for example, roll coating method, dip coating method, bar coating method, nozzle coating method, die coating method, spray coating method, spin coating method, curtain coating method, flow coating method, screen printing, gravure printing, or curved surface Various printing methods such as printing, or a combination of these can be used.

組成物の紫外線硬化に用いる紫外線源としては、例えば、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアーク灯、ブラックライト蛍光灯、メタルハライドランプ灯等の光源が挙げられる。紫外線の波長としては、190〜380nmの波長域を使用することができる。   Examples of the ultraviolet light source used for ultraviolet curing of the composition include light sources such as an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a low pressure mercury lamp, a carbon arc lamp, a black light fluorescent lamp, and a metal halide lamp. As the wavelength of the ultraviolet light, a wavelength range of 190 to 380 nm can be used.

紫外線硬化樹脂層の膜厚は、3.5〜30μmが好ましく、さらに好ましくは4〜20μm、最も好ましくは、4〜10μmである。膜厚が3.5μm未満であると、紫外線洗浄による紫外線硬化樹脂層のダメージが生じ、また、30μmを超えると表示素子用ガスバリア性基板がカールしてしまう。
紫外線硬化樹脂層層は、プラスチックフィルムの少なくとも片面に形成される。
The film thickness of the ultraviolet curable resin layer is preferably 3.5 to 30 μm, more preferably 4 to 20 μm, and most preferably 4 to 10 μm. When the film thickness is less than 3.5 μm, the UV curable resin layer is damaged by UV cleaning, and when it exceeds 30 μm, the gas barrier substrate for display element is curled.
The ultraviolet curable resin layer is formed on at least one side of the plastic film.

(ガスバリア性無機化合物層)
ガスバリア性無機化合物層に用いられる材料は、透明性を有し、酸素や水蒸気等のガスバリア性を有するものであればよく、例えば、マグネシウム、アルミニウム、カルシウム、チタン、亜鉛、インジウム、又はスズ等の酸化物、窒化物、又は酸化窒化物を挙げることができる。これらの材料は、1種類又は2種類以上を組み合わせて用いてもよい。特に、ガスバリア性に優れているので、酸化珪素、窒化珪素、及び酸化窒化珪素から選ばれた1種以上の材料を用いることが好ましい。
(Gas barrier inorganic compound layer)
The material used for the gas barrier inorganic compound layer only needs to have transparency and gas barrier properties such as oxygen and water vapor. For example, magnesium, aluminum, calcium, titanium, zinc, indium, tin, etc. Mention may be made of oxides, nitrides or oxynitrides. These materials may be used alone or in combination of two or more. In particular, since it has excellent gas barrier properties, it is preferable to use one or more materials selected from silicon oxide, silicon nitride, and silicon oxynitride.

ガスバリア性無機化合物層の形成方法としては、真空蒸着法、反応蒸着法、イオンビームアシスト蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、プラズマCVD法、熱CVD法等の真空成膜法を用いる。また、膜厚は10〜300nm、より好ましくは30〜150nmの範囲で適宜設定することができる。膜厚が薄すぎると、十分なガスバリア性を得ることが難しく、一方、膜厚さが厚すぎると、成膜に要する時間が長くなって生産性を損なうおそれがあるからである。   As a method for forming the gas barrier inorganic compound layer, a vacuum film formation method such as a vacuum vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion beam assisted vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a plasma CVD method, or a thermal CVD method is used. The film thickness can be appropriately set in the range of 10 to 300 nm, more preferably 30 to 150 nm. If the film thickness is too thin, it is difficult to obtain a sufficient gas barrier property. On the other hand, if the film thickness is too thick, the time required for film formation may become long and the productivity may be impaired.

ガスバリア性無機化合物層は、プラスチックフィルムの少なくとも片面に形成される。プラスチックフィルムの両面にガスバリア性無機化合物層を形成した場合は、片面側に発生する応力ともう一方の面側に発生する応力とが均衡するので、表示素子用ガスバリア性基板の反り返り(カール)の発生を抑えることができる。   The gas barrier inorganic compound layer is formed on at least one side of the plastic film. When the gas barrier inorganic compound layer is formed on both sides of the plastic film, the stress generated on one side is balanced with the stress generated on the other side, so that the gas barrier substrate for display element is warped (curled). Occurrence can be suppressed.

[表示装置]
以下に、本発明の表示装置について、詳しく説明する。
[Display device]
Hereinafter, the display device of the present invention will be described in detail.

表示装置としては、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ(以下「EL」と記載する)、液晶ディスプレイ、又はプラズマディスプレイ等を挙げることができる。本発明の表示装置は、表示装置に使用される表示素子の基板として、上記の表示素子用ガスバリア性基板が用いられたものである。   Examples of the display device include an organic electroluminescence display (hereinafter referred to as “EL”), a liquid crystal display, a plasma display, and the like. In the display device of the present invention, the gas barrier substrate for a display element described above is used as a substrate of a display element used in the display device.

以下に、ELディスプレイを例にして説明する。
本発明のELディスプレイは、上記の表示素子用ガスバリア性基板上に、少なくとも、EL表示素子、封止層がこの順で積層された積層構造である。このうち、封止層は、EL表示素子を封止し、ガスバリア性を付与させるために設けるもので、例えば、EL表示素子にエポキシ樹脂系の熱硬化型接着剤やアクリル樹脂系の紫外線硬化型接着剤を樹脂基材を貼り合わせて、形成することができる。なお、接着剤自体で十分なガスバリア性を確保できるときは、樹脂基材を用いなくてもよい。逆に、樹脂基材単体を貼り付けても十分なガスバリアフィルムを確保できないときは、樹脂基材に酸化珪素等を蒸着してガスバリア性を付与してもよい。
Hereinafter, an EL display will be described as an example.
The EL display of the present invention has a laminated structure in which at least an EL display element and a sealing layer are laminated in this order on the gas barrier substrate for a display element. Among these, the sealing layer is provided for sealing the EL display element and imparting gas barrier properties. For example, the EL display element is provided with an epoxy resin thermosetting adhesive or an acrylic resin ultraviolet curing type. An adhesive can be formed by laminating a resin base material. In addition, when sufficient gas barrier property is securable with adhesive itself, it is not necessary to use a resin base material. On the contrary, when a sufficient gas barrier film cannot be secured even if a single resin base material is pasted, silicon oxide or the like may be deposited on the resin base material to provide gas barrier properties.

EL表示素子は、陽極と陰極との間に主にEL層が形成された積層構造である。このうち、陽極に用いられる材料としては、正孔を注入し易いように仕事関数の大きい導電性材料(例えば、酸化インジウム錫(ITO))が好ましく、陰極に用いられる材料としては、電子を注入し易いように仕事関数の小さい導電性材料(例えば、金属カルシウム)が好ましい。これらは、通常、スパッタリング法や真空蒸着法等によりEL層に隣接するように形成される。   The EL display element has a laminated structure in which an EL layer is mainly formed between an anode and a cathode. Of these, the material used for the anode is preferably a conductive material having a high work function (for example, indium tin oxide (ITO)) so that holes can be easily injected, and the material used for the cathode is injected with electrons. A conductive material having a small work function (for example, metallic calcium) is preferable so that it can be easily formed. These are usually formed so as to be adjacent to the EL layer by sputtering or vacuum deposition.

EL層は、正孔輸送層、発光体層及び電子輸送層等の各エレメント層が機能するような積層構造とすることができる。有機発光体を含有する発光体層には、EL層として一般に使用されているアゾ系化合物を使用することができる。正孔輸送材料としては電子輸送材料としては芳香族アミン誘導体等、電子輸送材料としてはオキサゾール誘導体やトリアゾール誘導体等の通常使用されるものを用いることができる。それらの各層は、高分子材料を溶解させた塗布液を塗布することにより製作でき、紙への印刷法を応用した製法やインクジェット法を応用した製法が適用可能である。   The EL layer can have a laminated structure in which each element layer such as a hole transport layer, a light emitter layer, and an electron transport layer functions. An azo compound that is generally used as an EL layer can be used in the phosphor layer containing the organic phosphor. As the hole transport material, an aromatic amine derivative or the like can be used as the electron transport material, and a commonly used material such as an oxazole derivative or a triazole derivative can be used as the electron transport material. Each of these layers can be manufactured by applying a coating solution in which a polymer material is dissolved, and a manufacturing method applying a printing method on paper or a manufacturing method applying an ink jet method can be applied.

以下に、実施例を示して、本発明の実施態様の一例を説明する。   An example is shown below and an example of the embodiment of the present invention is explained.

(ガスバリア性の評価方法)ガスバリア性基板の酸素透過率の測定は、酸素ガス透過率測定装置(MOCON社製、OXTRAN2/20)を用いて、温度23℃、湿度90%RH、バックグラウンド除去測定を行うインディヴィジュアルゼロ測定ありの条件で測定した。また、ガスバリア性基板の水蒸気透過率の測定は、水蒸気透過率測定装置(MOCON社製、PERMATRAN−W3/31)を用いて、温度40℃、湿度100%RHの条件で測定した。 (Evaluation method of gas barrier property) The oxygen permeability of the gas barrier substrate is measured using an oxygen gas permeability measuring device (manufactured by MOCON, OXTRAN 2/20) at a temperature of 23 ° C., a humidity of 90% RH, and a background removal measurement. The measurement was performed under the condition with the individual zero measurement. Moreover, the water vapor transmission rate of the gas barrier substrate was measured using a water vapor transmission rate measuring device (manufactured by MOCON, PERMATRAN-W3 / 31) under the conditions of a temperature of 40 ° C. and a humidity of 100% RH.

(紫外線洗浄耐性の評価方法)ガスバリア性基板の紫外線洗浄耐性は、次の手順で評価をおこなった。まず、長156mm×幅156mm×厚2mmの平滑な鉄板(又はSUS板)を用意し、その鉄板の四辺に高さ8mmの樹脂製の足台を設けた。その足台の上に長150mm×幅150mm×厚1mmのガラス板を載せることで、測定台を作成した。次に、測定台のガラス板の上に、長150mm×幅150mmの評価サンプルを載せた。なお、評価サンプルのカールが大きい場合には、ポリイミドテープを用いて評価サンプルの四辺をガラス板に固定した。次に、評価サンプルを載せた測定台を低圧水銀ランプ(120W×7灯)を用いた紫外線洗浄装置((株)オーク製作所製UV DRY PROCESSOR)に取り付け、15分間の照射を所定の回数繰り返した。次に、紫外線洗浄装置から取り出した評価サンプルについて、目視で表面外観を観察して評価した。
目視外観の評価基準は、ガスバリア性基板の表面にひび割れや泡状の欠陥が発生していない場合に○、発生した場合に×とした。
(Evaluation method of UV cleaning resistance) The UV cleaning resistance of the gas barrier substrate was evaluated by the following procedure. First, a smooth iron plate (or SUS plate) having a length of 156 mm, a width of 156 mm, and a thickness of 2 mm was prepared, and resin foots having a height of 8 mm were provided on four sides of the iron plate. A measuring table was created by placing a glass plate having a length of 150 mm, a width of 150 mm and a thickness of 1 mm on the footrest. Next, an evaluation sample having a length of 150 mm and a width of 150 mm was placed on the glass plate of the measurement table. In addition, when the curl of the evaluation sample was large, four sides of the evaluation sample were fixed to a glass plate using a polyimide tape. Next, the measurement table on which the evaluation sample was placed was attached to an ultraviolet cleaning device (UV DRY PROCESSOR manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) using a low-pressure mercury lamp (120 W × 7 lamps), and irradiation for 15 minutes was repeated a predetermined number of times. . Next, about the evaluation sample taken out from the ultraviolet cleaning device, the surface appearance was visually observed and evaluated.
The evaluation criteria for visual appearance was ◯ when no crack or bubble-like defect occurred on the surface of the gas barrier substrate, and x when it occurred.

(実施例1)
まず、プラスチックフィルムとして、片面に易接着処理が施された厚100μmのポリエチレン−2,6−ナフタレンフィルム(帝人デュポンフィルム(株)製Q65F)を用いた。このプラスチックフィルムの未処理面上に、下記の組成に調整した紫外線硬化樹脂層用インキ(1)をダイコートにて塗布し、120℃で3分間乾燥させた後、積算光量150mJの条件で紫外線を照射し、厚み10μmの紫外線硬化樹脂層(1)を形成した。
< 紫外線硬化樹脂層用インキ(1)の組成>
ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート
(日本化薬(株)製KAYARAD R−684) 40重量部
トルエン(溶剤) 60重量部
1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン
(光重合開始剤、日本チバガイギー(株)製イルガキュア184) 2重量部
Example 1
First, as a plastic film, a polyethylene-2,6-naphthalene film (Q65F manufactured by Teijin DuPont Films Co., Ltd.) having a thickness of 100 μm and subjected to easy adhesion treatment on one side was used. On the untreated surface of this plastic film, the ultraviolet curable resin layer ink (1) adjusted to the following composition was applied by die coating, dried at 120 ° C. for 3 minutes, and then irradiated with ultraviolet rays under the condition of an integrated light quantity of 150 mJ. Irradiation was performed to form an ultraviolet curable resin layer (1) having a thickness of 10 μm.
<Composition of UV curable resin layer ink (1)>
Dimethylol tricyclodecane diacrylate (KAYARAD R-684, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 40 parts by weight toluene (solvent) 60 parts by weight 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone (photopolymerization initiator, Nippon Ciba-Geigy Co., Ltd.) Irgacure 184) 2 parts by weight

次に、ガスバリア性無機化合物層を形成するために、紫外線硬化樹脂層を形成したプラスチックフィルムを、バッチ式スパッタリング装置(アネルバ(株)製SPF−530H)のチャンバー内に紫外線硬化樹脂層側に成膜する向きに設置し、珪素をターゲット材としてチャンバー内に搭載した。ターゲットとプラスチックフィルムの距離(TS距離)は50mmに設定した。成膜時の添加ガスとして、窒素ガス(太陽東洋酸素(株)製、純度99.9995%以上)、アルゴンガス(太陽東洋酸素(株)製、純度99.9999%以上)を用いた。チャンバー内を、油回転ポンプ及びクライオポンプで到達真空度2.5×10-4Paまで減圧した。次いで、チャンバー内に窒素ガスを流量15sccmで導入し、アルゴンガスを流量20sccmで導入した。そして、真空ポンプとチャンバーとの間にあるバルブの開閉度を制御することにより、チャンバー内圧力を0.25Paに保ちながら、RFマグネトロンスパッタリング法により、投入電力1.2kWで、紫外線硬化樹脂層上に厚み80nmの酸化窒化珪素層を形成した。なお、sccmとは、standard cubic centimeter per minuteの略である。
最後に、プラスチックフィルムの易接着処理面上に、上記と同様の手順(ただし、チャンバー内に窒素ガスは導入しない)で、厚み80nmの酸化珪素層を形成し、ガスバリア性基板を得た。得られたガスバリア性基板の層構成は、酸化珪素層/(易接着処理面)ポリエチレン−2,6−ナフタレンフィルム(未処理面)/紫外線硬化樹脂層(1)/酸化窒化珪素層、である。
Next, in order to form the gas barrier inorganic compound layer, the plastic film on which the ultraviolet curable resin layer is formed is formed on the ultraviolet curable resin layer side in the chamber of a batch type sputtering apparatus (SPF-530H manufactured by Anelva Co., Ltd.). The film was installed in the direction of film formation and mounted in the chamber using silicon as a target material. The distance between the target and the plastic film (TS distance) was set to 50 mm. Nitrogen gas (manufactured by Taiyo Toyo Oxygen Co., Ltd., purity 99.9999% or more) and argon gas (manufactured by Taiyo Toyo Oxygen Co., Ltd., purity 99.9999% or more) were used as additive gases during film formation. The inside of the chamber was decompressed to an ultimate vacuum of 2.5 × 10 −4 Pa with an oil rotary pump and a cryopump. Next, nitrogen gas was introduced into the chamber at a flow rate of 15 sccm, and argon gas was introduced at a flow rate of 20 sccm. Then, by controlling the opening / closing degree of the valve between the vacuum pump and the chamber, the RF pressure in the chamber is kept at 0.25 Pa and the RF magnetron sputtering method is used with an input power of 1.2 kW on the ultraviolet curable resin layer. A silicon oxynitride layer having a thickness of 80 nm was formed. Note that sccm is an abbreviation for standard cubic centimeter per minute.
Finally, a silicon oxide layer having a thickness of 80 nm was formed on the easy-adhesion treated surface of the plastic film by the same procedure as described above (however, nitrogen gas was not introduced into the chamber) to obtain a gas barrier substrate. The layer structure of the obtained gas barrier substrate is silicon oxide layer / (easy adhesion treated surface) polyethylene-2,6-naphthalene film (untreated surface) / ultraviolet curable resin layer (1) / silicon oxynitride layer. .

(実施例2)
紫外線硬化樹脂層用インキとして、下記の紫外線硬化樹脂層用インキ(2)を用いて紫外線硬化樹脂層(2)を形成した以外は、実施例1と同様の手順で、ガスバリア性基板を得た。
< 紫外線硬化樹脂層用インキ(2)の組成>
ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート
(日本化薬(株)製KAYARAD R−684) 30重量部
ポリエステルアクリレートオリゴマー
(東亜合成(株)製アロニックスM−8060) 10重量部
トルエン(溶剤) 60重量部
1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン
(光重合開始剤、日本チバガイギー(株)製イルガキュア184) 2重量部
(Example 2)
A gas barrier substrate was obtained in the same procedure as in Example 1 except that the ultraviolet curable resin layer (2) was formed using the following ultraviolet curable resin layer ink (2) as the ultraviolet curable resin layer ink. .
<Composition of UV curable resin layer ink (2)>
30 parts by weight of polyester acrylate oligomer (Aronix M-8060, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) 10 parts by weight Toluene (solvent) 60 parts by weight 1- 2 parts by weight of hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone (photopolymerization initiator, Irgacure 184 manufactured by Ciba Geigy Japan)

(実施例3)
紫外線硬化樹脂層用インキとして、下記の紫外線硬化樹脂層用インキ(3)を用いて紫外線硬化樹脂層(3)を形成した以外は、実施例1と同様の手順で、ガスバリア性基板を得た。
< 紫外線硬化樹脂層用インキ(3)の組成>
ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート
(日本化薬(株)製KAYARAD R−684) 20重量部
ポリエステルアクリレートオリゴマー
(東亜合成(株)製アロニックスM−8060) 20重量部
トルエン(溶剤) 60重量部
1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン
(光重合開始剤、日本チバガイギー(株)製イルガキュア184) 2重量部
(Example 3)
A gas barrier substrate was obtained in the same procedure as in Example 1 except that the ultraviolet curable resin layer (3) was formed using the following ultraviolet curable resin layer ink (3) as the ultraviolet curable resin layer ink. .
<Composition of UV curable resin layer ink (3)>
Dimethylol tricyclodecane diacrylate (KAYARAD R-684 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 20 parts by weight polyester acrylate oligomer (Aronix M-8060 manufactured by Toagosei Co., Ltd.) 20 parts by weight Toluene (solvent) 60 parts by weight 1- 2 parts by weight of hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone (photopolymerization initiator, Irgacure 184 manufactured by Ciba Geigy Japan)

(実施例4)
紫外線硬化樹脂層用インキとして、下記の紫外線硬化樹脂層用インキ(4)を用いて紫外線硬化樹脂層(4)を形成した以外は、実施例1と同様の手順で、ガスバリア性基板を得た。
< 紫外線硬化樹脂層用インキ(4)の組成>
ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート
(日本化薬(株)製KAYARAD R−684) 15重量部
ポリエステルアクリレートオリゴマー
(東亜合成(株)製アロニックスM−8060) 30重量部
トルエン(溶剤) 55重量部
1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン
(光重合開始剤、日本チバガイギー(株)製イルガキュア184) 2重量部
Example 4
A gas barrier substrate was obtained in the same procedure as in Example 1 except that the ultraviolet curable resin layer (4) was formed using the following ultraviolet curable resin layer ink (4) as the ultraviolet curable resin layer ink. .
<Composition of UV curable resin layer ink (4)>
Dimethylol tricyclodecane diacrylate (KAYARAD R-684, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 15 parts by weight polyester acrylate oligomer (Aronix M-8060, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) 30 parts by weight Toluene (solvent) 55 parts by weight 1- 2 parts by weight of hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone (photopolymerization initiator, Irgacure 184 manufactured by Ciba Geigy Japan)

(比較例1)
プラスチックフィルムの未処理面上に、まず、厚み80nmの酸化珪素層を設けた後に、その酸化珪素層上に紫外線硬化樹脂層を形成した以外は、実施例1と同様の手順で、ガスバリア性基板を得た。得られたガスバリア性基板の層構成は、酸化珪素層/(易接着処理面)ポリエチレン−2,6−ナフタレンフィルム(未処理面)/酸化珪素層/紫外線硬化樹脂層(1)/酸化窒化珪素層、である。
(Comparative Example 1)
A gas barrier substrate was prepared in the same manner as in Example 1, except that a silicon oxide layer having a thickness of 80 nm was first formed on the untreated surface of the plastic film, and then an ultraviolet curable resin layer was formed on the silicon oxide layer. Got. The layer structure of the obtained gas barrier substrate was as follows: silicon oxide layer / (easy adhesion treated surface) polyethylene-2,6-naphthalene film (untreated surface) / silicon oxide layer / ultraviolet curable resin layer (1) / silicon oxynitride Layer.

(比較例2)
紫外線硬化樹脂層に用いる材料として、アクリレート(東亞合成(株)製UVT−302)を用いた以外は、実施例1と同様の手順で、ガスバリア性基板を得た。
(Comparative Example 2)
A gas barrier substrate was obtained in the same procedure as in Example 1 except that acrylate (UVT-302 manufactured by Toagosei Co., Ltd.) was used as the material for the ultraviolet curable resin layer.

(比較例3)
紫外線硬化樹脂層に用いる材料として、アクリレート(三洋化成(株)製RC−501)を用いた以外は、実施例1と同様の手順で、ガスバリア性基板を得た。
(Comparative Example 3)
A gas barrier substrate was obtained in the same procedure as in Example 1 except that acrylate (RC-501 manufactured by Sanyo Chemical Co., Ltd.) was used as a material for the ultraviolet curable resin layer.

実施例1〜4及び比較例1〜3で得られたガスバリア性基板の評価結果を表1に示す。なお、紫外線洗浄耐性は、15分間の紫外線照射を1回おこなった後と3回繰り返しておこなった後に評価した。また、酸素透過率と水蒸気透過率は、紫外線照射をおこなう前と15分間の紫外線照射を3回繰り返しておこなった後に測定した。   Table 1 shows the evaluation results of the gas barrier substrates obtained in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3. In addition, the ultraviolet-ray washing tolerance was evaluated after performing ultraviolet irradiation for 15 minutes once and after repeating it three times. Moreover, the oxygen transmission rate and the water vapor transmission rate were measured before performing ultraviolet irradiation and after repeating 15 minutes of ultraviolet irradiation three times.

Figure 0005339045
Figure 0005339045

実施例1〜4のガスバリア性基板は、紫外線洗浄を繰り返しても目視外観観察の評価結果が良好だった。また、高い初期ガスバリア性能を示し、紫外線洗浄を繰り返してもガスバリア性能の低下が見られなかった(なお、表中の「>」は、測定下限値を下回っていることを意味する)。なお、実施例2〜4のガスバリア性基板は、紫外線照射前の反り返り(カール)が実施例1のガスバリア性基板よりも小さかった。これに対して、比較例1のガスバリア性基板は、ガスバリア性能は高くても、紫外線洗浄を繰り返すと、表面にひび割れや泡状の欠陥の発生が見られ、ガスバリア性能の低下が起こった。一方で、比較例2〜3のガスバリア性基板は、紫外線洗浄耐性は有しても、酸素透過率が低く、ガスバリア性能が低かった。   The gas barrier substrates of Examples 1 to 4 had good visual appearance observation evaluation results even after repeated ultraviolet cleaning. Moreover, it showed a high initial gas barrier performance, and even when the UV cleaning was repeated, the gas barrier performance was not lowered (“>” in the table means that it was below the lower limit of measurement). In addition, the gas barrier board | substrate of Examples 2-4 had the curvature (curl) before ultraviolet irradiation smaller than the gas barrier board | substrate of Example 1. FIG. On the other hand, even if the gas barrier substrate of Comparative Example 1 had a high gas barrier performance, cracks and bubble-like defects were observed on the surface when the ultraviolet cleaning was repeated, resulting in a decrease in gas barrier performance. On the other hand, the gas barrier substrates of Comparative Examples 2 to 3 had low oxygen permeability and low gas barrier performance even though they had UV cleaning resistance.

本発明のガスバリア性基板の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structural example of the gas-barrier board | substrate of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1:プラスチックフィルム
2:紫外線硬化樹脂層
3:ガスバリア性無機化合物層
4:表示素子用ガスバリア性基板
1: Plastic film 2: UV curable resin layer 3: Gas barrier inorganic compound layer 4: Gas barrier substrate for display element

Claims (4)

プラスチックフィルム上の少なくとも片面に、紫外線硬化樹脂層とガスバリア性無機化合物層とがこの順番で1層ずつ形成され、
前記プラスチックフィルムのガス透過性は、前記ガスバリア性無機化合物層よりも高く、
前記紫外線硬化樹脂層がトリシクロデカン(メタ)アクリレートを主成分とする樹脂からなり、
前記プラスチックフィルムが、ポリエチレンナフタレートフィルムであり、
ことを特徴とする表示素子用ガスバリア性基板。
On at least one side of the plastic film, an ultraviolet curable resin layer and a gas barrier inorganic compound layer are formed one by one in this order,
The gas permeability of the plastic film is higher than that of the gas barrier inorganic compound layer,
The ultraviolet curable resin layer is made of a resin mainly composed of tricyclodecane (meth) acrylate,
The plastic film is a polyethylene naphthalate film;
A gas barrier substrate for a display element, characterized in that:
プラスチックフィルム上の少なくとも片面に、紫外線硬化樹脂層とガスバリア性無機化合物層とがこの順番で1層ずつ形成され、
前記プラスチックフィルムのガス透過性は、前記ガスバリア性無機化合物層よりも高く、
前記紫外線硬化樹脂層がトリシクロデカン(メタ)アクリレートとポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマーとを主成分とする樹脂からなり、
前記プラスチックフィルムが、ポリエチレンナフタレートフィルムであることを特徴とする表示素子用ガスバリア性基板。
On at least one side of the plastic film, an ultraviolet curable resin layer and a gas barrier inorganic compound layer are formed one by one in this order,
The gas permeability of the plastic film is higher than that of the gas barrier inorganic compound layer,
The ultraviolet curable resin layer is made of a resin mainly composed of tricyclodecane (meth) acrylate and polyester (meth) acrylate oligomer,
A gas barrier substrate for a display element, wherein the plastic film is a polyethylene naphthalate film.
前記ガスバリア性無機化合物層が、酸化珪素、窒化珪素、及び酸化窒化珪素から選ばれた1種以上の材料が用いられたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の表示素子用ガスバリア性基板。   3. The gas barrier for a display element according to claim 1, wherein the gas barrier inorganic compound layer is made of at least one material selected from silicon oxide, silicon nitride, and silicon oxynitride. Substrate. 請求項1から請求項3のいずれか1つに記載の表示素子用ガスバリア性基板が用いられたことを特徴とする表示装置。   A display device comprising the gas barrier substrate for a display element according to any one of claims 1 to 3.
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