JP5328473B2 - 治具およびその製造方法 - Google Patents
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Description
従来、このような基体の表面への高分子膜の形成方法としては、湿式法、蒸着重合法などが用いられている。湿式法は、適当な溶媒に原料モノマーを溶解し、溶媒中にて原料モノマーを重合させて、その重合体を含む溶媒を基体の表面に塗布して、基体の表面に高分子膜を形成する方法である。また、蒸着重合法は、原料モノマーを蒸発させ、この気化した原料モノマーを、基体を配置した真空処理室内に導入して、基体の表面にて原料モノマーを重合させて、基体の表面に高分子膜を形成する方法である。
このような表面処理としては、環状分子と、これを串刺し状に包接する直鎖状分子と、この直鎖状分子の両末端に配置された環状分子の脱離を防止する封鎖基とを有し、直鎖状分子および環状分子の少なくとも一方が疎水性を有する親油性ポリロタキサンからなる常温乾燥型溶剤系上塗り塗料用材料を用いて、基体の表面にベースコート塗膜を形成する方法が挙げられる(例えば、特許文献1参照)。
また、プラズマ処理などの物理的処理を用いる方法では、物理処理によって基体の表面の極性を高めているものの、部分的にしか極性を十分に高めることができないため、高分子膜の基体の表面への密着力が十分ではなかった。
なお、この形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
(1)第一の実施形態
図1は、本発明の治具の第一の実施形態を示す概略断面図である。
この実施形態の治具10は、基体11と、基体11の一方の面11aに設けられた自己組織化単分子膜12とから概略構成されている。
また、基体11は、基材13、および、基材13の一方の面13aに順に積層されたクロム膜14と金膜15から構成されている。
すなわち、自己組織化単分子膜12は、金膜15のクロム膜14と接している面とは反対側の面(以下、「一方の面」という。)15aに設けられている。
同様に、自己組織化単分子膜12がジスルフィドから構成される場合、ジスルフィドの硫黄と金膜15を構成する金との間の化学反応による吸着により、ジスルフィドが金膜15の一方の面15aに吸着し、この化学吸着過程において、ジスルフィド同士の相互作用によって吸着分子が密に集合して、分子の配向性の揃った、厚みの均一な有機単分子膜、すなわち、自己組織化単分子膜12が金膜15の一方の面15aに形成される。
アルケンチオールおよびアルキンチオールは、不飽和結合が分子末端になければ、不飽和結合の数および場所は特に限定されないが、不飽和結合の数が少ない方が好ましく、不飽和結合が分子末端近傍にないことが好ましい。そして、ポリ尿素、ポリイミド、ポリウレタンなどからなる高分子膜との親和性の観点から、炭素数が2〜30であることが好ましく、18〜22であることがより好ましい。
基材13の厚みは、特に限定されず、治具10の用途などに応じて適宜調整される。
クロム膜14の厚みは、基材13と金膜15との密着性を確保する観点から、10μm〜300μm程度が好ましい。
金膜15の厚みは、自己組織化単分子膜12との結合性を確保する観点から、50μm〜500μm程度が好ましい。
図2は、本発明の治具の第二の実施形態を示す概略断面図である。
図2において、図1に示した第一の実施形態の構成要素と同じ構成要素には同一符号を付して、その説明を省略する。
この実施形態の治具20は、基体11と、基体11の一方の面11aに設けられた自己組織化単分子膜12と、自己組織化単分子膜12上に設けられた高分子膜21とから概略構成されている。
すなわち、高分子膜21は、自己組織化単分子膜12の表面12aに設けられている。
まず、図4に示すように、スパッタや電子ビーム蒸着などの物理蒸着法により、基材13の一方の面13aに所定の厚みのクロム膜14を形成し、次いで、クロム膜14の基材13と接している面とは反対側の面14aに所定の厚みの金膜15を形成し(工程A)、基体11を得る。
図4では、自己組織化単分子膜12を構成する有機化合物として、アミンチオールを用いた場合を例示する。
浸漬法において用いられるジスルフィドの塩としては、2,2´−ジチオビス(エチルアミン)二塩酸塩(S2(CH2CH2NH2)2・2HCl)、ホルムアミジンジスルフィド二塩酸、2,2´−ジチオジアニリン、DL−ホモシスチンなどが挙げられる。
ポリ尿素からなる高分子膜21を形成する場合、原料モノマーとしては、アミンモノマーとイソシアネートモノマーが用いられる。
ポリイミドからなる高分子膜21を形成する場合、原料モノマーとしては、無水ピロメリト酸とビス(4−アミノフェニル)エーテルが用いられる。
ポリウレタンからなる高分子膜21を形成する場合、原料モノマーとしては、1,3−ビス(イソシアナトメチル)シクロヘキサンとトリエチレングリコールが用いられる。
まず、電子ビーム蒸着を用いた一貫二源同時成膜法により、基材13の一方の面13a上にクロム膜14と金膜15を順に形成し、基体11を得た。
次いで、2,2´−ジチオビス(エチルアミン)二塩酸塩(S2(CH2CH2NH2)2・2HCl)のエタノール溶液(濃度2mM)に、基体11を15℃にて、1日間浸漬して、金膜15の一方の面15aに自発的にジスルフィドからなる自己組織化単分子膜12を形成した。
次いで、自己組織化単分子膜12を形成した基体11を、エタノールにより3分間超音波洗浄した後、乾燥させた。
次いで、自己組織化単分子膜12が設けられた基体11を、真空処理室内に配置し、この真空処理室内に、蒸発させた4,4´−ジアミノジシクロヘキシルメタンと1,3−ビス(イソシアナトメチル)シクロヘキサン)を導入し、これらのモノマーを自己組織化単分子膜12上で重合させて、ポリ尿素かなる高分子膜21を形成し、治具20を得た。
蒸着重合法において、真空処理室内の温度を30℃、真空処理室内の圧力を0.3Pa、4,4´−ジアミノジシクロヘキシルメタンの温度を80℃、1,3−ビス(イソシアナトメチル)シクロヘキサン)の温度を70℃、成膜時間を15分とした。
高分子膜21の密着強度を、Quad Group社製のRomulus IV 薄膜強度試験により測定した。
詳細には、まず、治具20の高分子膜21の表面に、直径2.7mmのエポキシ接着剤付きアルミニウム製のスタッドピン(商品名:901106、フォトテクニカ製)31を、クリップで挟んで保持した。
次いで、この状態で、治具20とスタッドピン31を150℃にて1時間加熱することにより、スタッドピン31の高分子膜21と接している面に設けられている樹脂32を溶融させて、高分子膜21の表面にスタッドピン31を固定した。
次いで、クリップを外して、スタッドピン31が固定された治具20を、薄膜強度試験に設置し、スタッドピン31を高分子膜21の表面に対して垂直方向(図6に示す矢印の方向)に引っ張って、高分子膜21が剥離した時の強度を測定した。
結果を表1に示す。
実施例と同様にして、蒸着重合法により、基材13の一方の面13aにポリ尿素かなる高分子膜21を形成し、図7に示す試料41を得た。
実施例と同様にして、得られた試料41について、高分子膜21の密着力(密着強度)を測定した。
結果を表1に示す。
実施例と同様にして、電子ビーム蒸着により、基材13の一方の面13aにクロム膜14を形成し、次いで、蒸着重合法により、クロム膜14上にポリ尿素かなる高分子膜21を形成し、図8に示す試料42を得た。
実施例と同様にして、得られた試料42について、高分子膜21の密着力(密着強度)を測定した。
結果を表1に示す。
実施例と同様にして、電子ビーム蒸着を用いた一貫二源同時成膜法により、基材13の一方の面13a上にクロム膜14と金膜15を順に形成し、次いで、蒸着重合法により、クロム膜14上にポリ尿素かなる高分子膜21を形成し、図8に示す試料43を得た。
実施例と同様にして、得られた試料43について、高分子膜21の密着力(密着強度)を測定した。
結果を表1に示す。
クロム膜14を介して基材13上に設けられた金膜15上に高分子膜21を設けた比較例3は、基材13の一方の面13aに直接、高分子膜21を設けた比較例1よりも密着強度が低くなることが確認された。
Claims (2)
- 一方の面に厚みが10μm〜300μmのクロム膜と厚みが50μm〜500μmの金膜とが順に積層された基体と、該基体の一方の面に設けられた自己組織化単分子膜とを備え、前記自己組織化単分子膜上に、ポリ尿素、ポリウレタンのうち少なくとも1つからなる高分子膜が設けられてなることを特徴とする治具。
- 基体と、該基体の一方の面に設けられた自己組織化単分子膜と、該自己組織化単分子膜上に設けられた高分子膜とを備えてなる治具の製造方法であって、
基材の一方の面に、物理蒸着法により厚みが10μm〜300μmのクロム膜と厚みが50μm〜500μmの金膜を順に形成して基体を作製する工程Aと、前記基体の前記金膜上に、浸漬法または昇華法により自己組織化単分子膜を形成する工程Bと、前記自己組織化単分子膜上に、蒸着重合法によりポリ尿素、ポリウレタンのうち少なくとも1つからなる高分子膜を形成する工程Cとを有することを特徴とする治具の製造方法。
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